JP3204246B2 - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
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- Japan
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- magnetic sensor
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/028—Electrodynamic magnetometers
Description
に、外部磁界の変動を電流値として検出する磁気センサ
に関する。
ップコイルを使用したものが知られている。この磁気セ
ンサは、下鍔部2、上鍔部3、胴部4からなるフェライ
ト製のコア1と、胴部4に巻回したコイル5とで構成さ
れ、コア1を透過する磁束φの変化によってコイル5に
流れる電流を検出する。例えば、磁束φが回転体に取り
付けられた永久磁石から発せられるものであれば、回転
検出センサとして機能する。
示した磁気センサにあっては、コア1に心線を巻回して
製作する構造であるため、量産性に劣り、かつ、感度が
低いという問題点を有していた。感度の点では、磁束φ
を集める部分である上鍔部3の面積が大きいことが有利
であるが、大きくすることに限界を有していた。即ち、
一般的な製造工程においては、下鍔部2をチャッキング
して自動巻き線機でコイル5を巻回するため、上鍔部3
はどうしても面積的に小さくならざるを得ないからであ
った。また、鍔部2,3は欠けやすく、取り扱いに注意
を要していた。
高感度であり、取り扱いが容易な積層タイプの磁気セン
サを提供することにある。
成するため、本発明に係る磁気センサは、コイルパター
ンを形成した非磁性体シートを積層してなり、該コイル
パターンの中央部に磁性体シートを積層してなる磁性体
を配置したコイル部と、磁性体シートを積層してなり、
前記コイル部の表面及び裏面にそれぞれ積層した第1及
び第2の外層部と、前記コイルパターンの端部に電気的
に接続した電極とを備えている。
の表裏面に配置した第1及び第2の外層部との積層構造
からなり、従来からある積層タイプのインダクタやコン
デンサ等の電子部品と同様の手法で量産され、取り扱い
も容易である。第1又は第2の外層部は外部磁束を集め
る機能を果たし、この外層部はコイル部と同じ面積に設
定されて相対的に大きな面積を有することになり、外部
磁束を効率的に集めてコイルパターンの中央部に位置す
る磁性体を透過させる。従って、センサとしての感度を
向上させる作用を有する。
前記コイル部を構成するシートは、略中央部が磁性体か
らなり、その周辺部が非磁性体からなり、非磁性体上に
前記コイルパターンが形成されていることが好ましい。
磁気効率が良好であり、かつ、コイル部を1枚ずつのシ
ート状態として取り扱うことができる。
実施形態について、添付図面を参照して説明する。
プの磁気センサを構成するシートを分解状態で示し、図
2は該磁気センサの外観、図3はその断面構成と磁束の
透過状態を示す。
11を積層した第1外層部Aと、複数枚のコイルパター
ン付きシート12(121,122,123,…12n)
を積層したコイル部Bと、複数枚の磁性体シート13を
積層した第2外層部Cとで構成されている。
央部に長円形の磁性体15が配置され、その周辺部には
非磁性体16が配置されている。シート121〜124に
は磁性体15の周囲にコイルパターン17が成膜されて
おり、これらのコイルパターン17は各シート12が積
層されることで、それぞれの端部が図示しないビアホー
ルで電気的に接続され、1本のコイル(インダクタ)を
構成する。最上層及び最下層のコイルパターン17は各
シート12の端部に引き出され、接続用端部17a,1
7bが形成されている。
磁性体としてはフェライトが使用され、非磁性体として
はガラス、セラミックあるいは種々の誘電体材料が使用
される。コイルパターンにはカーボンペーストあるいは
各種導電性材料が使用され、ペーストの塗布による厚膜
法、分子の蒸着等による薄膜法などによって成膜され
る。
の磁気センサを構成するものとして図示されており、実
際上は大面積のマザーシートとして用意され、所定枚数
のものを積層し、焼成した後に1単位ずつ切り出され
る。また、コイル部Bを構成するシート123,124の
間には図示しない複数枚のパターン付きシートが介在さ
れ、所定ターン数のコイルを構成する。1単位に切り出
された積層体の両端部には、図2に示すように、外部電
極18,18が形成される。この外部電極18,18は
前記コイルパターン17の接続用端部17a,17bと
電気的に接続されている。
図3に示すように、外部磁束φは磁性体からなる第1外
層部Aから流入し、コイル部Bの中心部に位置する磁性
体15を透過する。磁性体15を透過する磁束φの変化
に応じてコイルパターン17に流れる電流も変化し、磁
束φは外部電極18,18間の電流値として検出され
る。
体の全面積を被覆し、コイルパターン17よりも大きな
面積を有している。従って、コイルパターン17の周囲
に存在する磁束φは効率的に第1外層部Aによって集め
られ、センサとしての感度が良好である。また、シート
11,12,13の積層構造であるため、チップインダ
クタ等類似の積層タイプの電子部品と同じ製造工程によ
って量産することができ、チップ部品であることから取
り扱いも容易である。
形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々
に変更することができる。例えば、コイルパターンの形
状は任意である。
よれば、コイル部の表裏面を挟み込む磁性体からなる第
1及び第2外層部は少なくともコイル部と同じ面積を有
し、効率よく外部磁束を集めることができ、センサとし
ての感度が向上する。しかも、積層タイプとして構成さ
れているため、大量生産が可能であり、その取り扱いも
容易である。
視図。
Claims (2)
- 【請求項1】 コイルパターンを形成した非磁性体シー
トを積層してなり、該コイルパターンの中央部に磁性体
シートを積層してなる磁性体を配置したコイル部と、 磁性体シートを積層してなり、前記コイル部の表面及び
裏面にそれぞれ積層した第1及び第2の外層部と、 前記コイルパターンの端部に電気的に接続した電極と、 を備えたことを特徴とする磁気センサ。 - 【請求項2】 前記コイル部を構成するシートは、略中
央部が磁性体からなり、その周辺部が非磁性体からな
り、非磁性体上に前記コイルパターンが形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の磁気センサ。
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