JP3189865B2 - 機械振動検出装置および制振制御装置 - Google Patents
機械振動検出装置および制振制御装置Info
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- JP3189865B2 JP3189865B2 JP23352895A JP23352895A JP3189865B2 JP 3189865 B2 JP3189865 B2 JP 3189865B2 JP 23352895 A JP23352895 A JP 23352895A JP 23352895 A JP23352895 A JP 23352895A JP 3189865 B2 JP3189865 B2 JP 3189865B2
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D19/00—Control of mechanical oscillations, e.g. of amplitude, of frequency, of phase
- G05D19/02—Control of mechanical oscillations, e.g. of amplitude, of frequency, of phase characterised by the use of electric means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H1/00—Measuring characteristics of vibrations in solids by using direct conduction to the detector
- G01H1/003—Measuring characteristics of vibrations in solids by using direct conduction to the detector of rotating machines
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P23/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control
- H02P23/16—Controlling the angular speed of one shaft
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、モータが駆動する機構
の振動を検出する機械振動検出装置を備えたモータ制御
装置に関する。
の振動を検出する機械振動検出装置を備えたモータ制御
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】モータ制御系における機械振動検出装置
および制振制御装置としては、本出願人が特願平６−１
２７８５９で提案した装置がある。この従来技術では、
モータを含む機構系を等価剛体系と機械振動系とに分離
し、等価剛体系のモデルに基づいたオブザーバにより機
械振動を高速で推定し、制振制御を行っていた。
および制振制御装置としては、本出願人が特願平６−１
２７８５９で提案した装置がある。この従来技術では、
モータを含む機構系を等価剛体系と機械振動系とに分離
し、等価剛体系のモデルに基づいたオブザーバにより機
械振動を高速で推定し、制振制御を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術
（特願平６−１２７８５９号）では、機械振動検出装置
を構成するため、等価剛体系の角速度とステップ状トル
ク外乱（クーロン摩擦等をモデル化）とを状態変数とし
て２次のオブザーバを構成しており、オブザーバ内のフ
ィードバックループは比例演算手段と積分手段で構成し
ている。前記比例演算手段はオブザーバの状態推定誤差
を低減するが、前記トルク外乱によりオブザーバの速度
推定値に定常偏差が生じることがあるため、前記積分演
算手段により、これを抑えている。オブザーバとしては
比例演算手段と積分手段の２つのパラメータを設定する
必要があり、しかも、その設定値によって機械振動信号
の位相が大きく変化するため、パラメータ調整が難しい
という問題があった。そこで本発明は、調整が容易で、
かつ、機械振動を高精度で取り出すことのできる機械振
動検出装置、および、機会振動の制振制御を達成できる
制振制御装置を提供することを目的とする。
（特願平６−１２７８５９号）では、機械振動検出装置
を構成するため、等価剛体系の角速度とステップ状トル
ク外乱（クーロン摩擦等をモデル化）とを状態変数とし
て２次のオブザーバを構成しており、オブザーバ内のフ
ィードバックループは比例演算手段と積分手段で構成し
ている。前記比例演算手段はオブザーバの状態推定誤差
を低減するが、前記トルク外乱によりオブザーバの速度
推定値に定常偏差が生じることがあるため、前記積分演
算手段により、これを抑えている。オブザーバとしては
比例演算手段と積分手段の２つのパラメータを設定する
必要があり、しかも、その設定値によって機械振動信号
の位相が大きく変化するため、パラメータ調整が難しい
という問題があった。そこで本発明は、調整が容易で、
かつ、機械振動を高精度で取り出すことのできる機械振
動検出装置、および、機会振動の制振制御を達成できる
制振制御装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、本願の第１の発明は、トルク指令を与えるとモータ
のトルクを制御するモータ制御系に適用する機械振動検
出装置であって、γを等価剛体系の慣性モーメントの逆
数とし、Ｄ 0 ／γを等価剛体系の粘性摩擦係数とした時
に、入力信号にγを乗じた信号と積分器の出力にＤ O を
乗じた信号の差を前記積分器の入力として前記積分器の
出力をその出力とする等価剛体モデルと、比例演算手段
と、機械振動信号を出力するハイパスフィルタと、前記
トルク指令と前記比例演算手段の出力を加算して前記等
価剛体モデルに入力する手段と、速度検出手段によって
得られる前記モータの速度に対応する速度信号から前記
等価剛体モデルの出力を差し引いた差信号を前記比例演
算手段と前記ハイパスフィルタに入力する手段と、を備
えたことを特徴とするものである。
め、本願の第１の発明は、トルク指令を与えるとモータ
のトルクを制御するモータ制御系に適用する機械振動検
出装置であって、γを等価剛体系の慣性モーメントの逆
数とし、Ｄ 0 ／γを等価剛体系の粘性摩擦係数とした時
に、入力信号にγを乗じた信号と積分器の出力にＤ O を
乗じた信号の差を前記積分器の入力として前記積分器の
出力をその出力とする等価剛体モデルと、比例演算手段
と、機械振動信号を出力するハイパスフィルタと、前記
トルク指令と前記比例演算手段の出力を加算して前記等
価剛体モデルに入力する手段と、速度検出手段によって
得られる前記モータの速度に対応する速度信号から前記
等価剛体モデルの出力を差し引いた差信号を前記比例演
算手段と前記ハイパスフィルタに入力する手段と、を備
えたことを特徴とするものである。
【０００５】本願の第２の発明は、トルク指令を与える
とモータのトルクを制御するモータ制御系に適用する制
振制御装置であって、γを等価剛体系の慣性モーメント
の逆数とし、Ｄ 0 ／γを等価剛体系の粘性摩擦係数とし
た時に、入力信号にγを乗じた信号と積分器の出力にＤ
O を乗じた信号の差を前記積分器の入力として前記積分
器の出力をその出力とする等価剛体モデルと、比例演算
手段と、機械振動信号を出力するハイパスフィルタと、
その機械振動信号を入力とする位相調整器と、その位相
調整器の出力を入力とする振幅調整器と、前記トルク指
令と前記比例演算手段の出力を加算して前記等価剛体モ
デルに入力する手段と、速度検出手段によって得られる
前記モータの速度に対応する速度信号から前記等価剛体
モデルの出力を差し引いた差信号を前記比例演算手段と
前記ハイパスフィルタに入力する手段と、前記トルク指
令と前記振幅調整器の出力を加えた信号を新たなトルク
指令とする手段と、を備えたことを特徴とするものであ
る。
とモータのトルクを制御するモータ制御系に適用する制
振制御装置であって、γを等価剛体系の慣性モーメント
の逆数とし、Ｄ 0 ／γを等価剛体系の粘性摩擦係数とし
た時に、入力信号にγを乗じた信号と積分器の出力にＤ
O を乗じた信号の差を前記積分器の入力として前記積分
器の出力をその出力とする等価剛体モデルと、比例演算
手段と、機械振動信号を出力するハイパスフィルタと、
その機械振動信号を入力とする位相調整器と、その位相
調整器の出力を入力とする振幅調整器と、前記トルク指
令と前記比例演算手段の出力を加算して前記等価剛体モ
デルに入力する手段と、速度検出手段によって得られる
前記モータの速度に対応する速度信号から前記等価剛体
モデルの出力を差し引いた差信号を前記比例演算手段と
前記ハイパスフィルタに入力する手段と、前記トルク指
令と前記振幅調整器の出力を加えた信号を新たなトルク
指令とする手段と、を備えたことを特徴とするものであ
る。
【０００６】本願の第３の発明は、速度指令を与えると
速度制御手段がトルク指令を出力してモータを駆動し、
モータの角速度を制御するモータ制御系に適用する制振
制御装置であって、γを等価剛体系の慣性モーメントの
逆数とし、Ｄ 0 ／γを等価剛体系の粘性摩擦係数とした
時に、入力信号にγを乗じた信号と積分器の出力にＤ O
を乗じた信号の差を前記積分器の入力として前記積分器
の出力をその出力とする等価剛体モデルと、比例演算手
段と、機械振動信号を出力するハイパスフィルタと、そ
の機械振動信号を入力とする位相調整器と、その位相調
整器の出力を入力とする振幅調整器と、前記トルク指令
と前記比例演算手段の出力を加算して前記等価剛体モデ
ルに入力する手段と、速度検出手段によって得られる前
記モータの速度に対応する速度信号から前記等価剛体モ
デルの出力を差し引いた差信号を前記比例演算手段と前
記ハイパスフィルタに入力する手段と、前記速度指令と
前記振幅調整器の出力を加えた信号を新たな速度指令と
する手段と、を備えたことを特徴とするものである。
速度制御手段がトルク指令を出力してモータを駆動し、
モータの角速度を制御するモータ制御系に適用する制振
制御装置であって、γを等価剛体系の慣性モーメントの
逆数とし、Ｄ 0 ／γを等価剛体系の粘性摩擦係数とした
時に、入力信号にγを乗じた信号と積分器の出力にＤ O
を乗じた信号の差を前記積分器の入力として前記積分器
の出力をその出力とする等価剛体モデルと、比例演算手
段と、機械振動信号を出力するハイパスフィルタと、そ
の機械振動信号を入力とする位相調整器と、その位相調
整器の出力を入力とする振幅調整器と、前記トルク指令
と前記比例演算手段の出力を加算して前記等価剛体モデ
ルに入力する手段と、速度検出手段によって得られる前
記モータの速度に対応する速度信号から前記等価剛体モ
デルの出力を差し引いた差信号を前記比例演算手段と前
記ハイパスフィルタに入力する手段と、前記速度指令と
前記振幅調整器の出力を加えた信号を新たな速度指令と
する手段と、を備えたことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】上記手段により、１次の等価剛体オブザーバが
構成されるため、積分手段が１つ少ない分、系を安定と
するパラメータの領域が広がる。さらに、オブザーバの
設定パラメータも１つであり、かつ、そのパラメータの
機械振動信号の位相に対する感度も低いため、パラメー
タ調整が容易に行えるようになる。
構成されるため、積分手段が１つ少ない分、系を安定と
するパラメータの領域が広がる。さらに、オブザーバの
設定パラメータも１つであり、かつ、そのパラメータの
機械振動信号の位相に対する感度も低いため、パラメー
タ調整が容易に行えるようになる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の具体的実施例を説明する。本
発明の機械振動検出装置に関する第１の実施例を図１に
示して説明する。図中ブロック１０２は、等価剛体モデ
ル１０３と、比例演算手段１０４と、ハイパスフィルタ
１０５とからなる機械振動検出装置であり、モータのト
ルク信号τとモータ速度信号（ここではモータ角速度ｖ
ｍを使用する）を入力し、機械振動信号を出力する。ブ
ロック１０１は機械共振系を持つ機構（モータを含む）
を示している。以下、機械振動信号の検出原理を説明す
る。機構系１０１の伝達関数は、特願平６−１２７８５
９で提案した近似法を用いると、等価剛体系Ｇ1 （ｓ）
発明の機械振動検出装置に関する第１の実施例を図１に
示して説明する。図中ブロック１０２は、等価剛体モデ
ル１０３と、比例演算手段１０４と、ハイパスフィルタ
１０５とからなる機械振動検出装置であり、モータのト
ルク信号τとモータ速度信号（ここではモータ角速度ｖ
ｍを使用する）を入力し、機械振動信号を出力する。ブ
ロック１０１は機械共振系を持つ機構（モータを含む）
を示している。以下、機械振動信号の検出原理を説明す
る。機構系１０１の伝達関数は、特願平６−１２７８５
９で提案した近似法を用いると、等価剛体系Ｇ1 （ｓ）
【０００９】
【数１】
【００１０】との分離できる。ここで、γは等価剛体系
の慣性モーメントの逆数、Ｄ0／γは等価剛体系の粘性
摩擦係数である。また、ωrとωaは機械共振系の共振周
波数と反共振周波数である。従来技術（特願平６−１２
７８５９号）によると、機械共振系を含む機構系をモデ
ル化するとき簡単化のため剛体系にのみ限定しているた
め、ここでもその等価剛体系Ｇ 1 だけをモデルとする状
態オブザーバを構成することを考える。
の慣性モーメントの逆数、Ｄ0／γは等価剛体系の粘性
摩擦係数である。また、ωrとωaは機械共振系の共振周
波数と反共振周波数である。従来技術（特願平６−１２
７８５９号）によると、機械共振系を含む機構系をモデ
ル化するとき簡単化のため剛体系にのみ限定しているた
め、ここでもその等価剛体系Ｇ 1 だけをモデルとする状
態オブザーバを構成することを考える。
【００１１】
【数２】
【００１２】 ｙ（ｔ）＝ｃｘ （４ｂ） となる。ただし、 ｘ（ｔ）＝ｖ（ｔ）、ｕ（ｔ）＝τ（ｔ）、ａ＝−Ｄ0 、ｂ＝γ、ｃ＝１（４ ｃ） である。上式より、次式のオブザーバが構成できる。
【００１３】
【数３】
【００１４】（６）式の出力ｙには通常ｖが用いられる
が、本発明ではこのｖに代えてモータ角速度ｖｍを用い
ることを特徴としており、ｙをｖｍに置き換えて（６）
式を具体化したのが図１のハイパスフィルタ１０５を除
く機械振動検出装置１０２である。この図からわかるよ
うに、求めるべき機械振動信号は、モータの角速度ｖｍ
と等価剛体モデル１０３の角速度推定値との差信号ｅ、
が、本発明ではこのｖに代えてモータ角速度ｖｍを用い
ることを特徴としており、ｙをｖｍに置き換えて（６）
式を具体化したのが図１のハイパスフィルタ１０５を除
く機械振動検出装置１０２である。この図からわかるよ
うに、求めるべき機械振動信号は、モータの角速度ｖｍ
と等価剛体モデル１０３の角速度推定値との差信号ｅ、
【００１５】
【数４】
【００１６】によって得られる。しかし、（５）式のオ
ブザーバではトルク外乱ｄを考慮していないため、ステ
ップ状のトルク外乱ｄがあると差信号ｅに推定誤差が残
ってしまう。そこで本発明では、差信号ｅをハイパスフ
ィルタ１０５に通し、トルク外乱による推定誤差を除い
た信号を機械振動信号としている。このように、上記オ
ブザーバを具体化して組み込むとともに出力段にハイパ
スフィルタを設けた機械振動検出装置１０２によって、
モータを含む機構系１０１の機械振動を検出する機械振
動信号が得られるのである。
ブザーバではトルク外乱ｄを考慮していないため、ステ
ップ状のトルク外乱ｄがあると差信号ｅに推定誤差が残
ってしまう。そこで本発明では、差信号ｅをハイパスフ
ィルタ１０５に通し、トルク外乱による推定誤差を除い
た信号を機械振動信号としている。このように、上記オ
ブザーバを具体化して組み込むとともに出力段にハイパ
スフィルタを設けた機械振動検出装置１０２によって、
モータを含む機構系１０１の機械振動を検出する機械振
動信号が得られるのである。
【００１７】本発明の制振制御装置に関する第２の実施
例を図２に示して説明する。同図は、本発明をモータの
トルク制御装置に適用したものである。図中、モータを
含む機構系１０１と機械振動検出装置１０２は、第１の
実施例と同様である。１０６は、トルク指令を入力し、
モータが発生するトルクを出力するモータ駆動装置であ
り、パワーアンプ等で構成される。機械振動検出装置１
０２へ入力するモータのトルク信号τとしては、発生ト
ルクモニタ信号あるいはトルク指令信号を用いる。機械
振動検出装置１０２が推定した機械振動信号を位相調整
器１０７に入力する。位相調整器１０７の出力を振幅調
整器１０８に入力し、その出力ｗをトルク指令に加えた
信号を新たなトルク指令としてモータのトルク制御装置
へ出力する。
例を図２に示して説明する。同図は、本発明をモータの
トルク制御装置に適用したものである。図中、モータを
含む機構系１０１と機械振動検出装置１０２は、第１の
実施例と同様である。１０６は、トルク指令を入力し、
モータが発生するトルクを出力するモータ駆動装置であ
り、パワーアンプ等で構成される。機械振動検出装置１
０２へ入力するモータのトルク信号τとしては、発生ト
ルクモニタ信号あるいはトルク指令信号を用いる。機械
振動検出装置１０２が推定した機械振動信号を位相調整
器１０７に入力する。位相調整器１０７の出力を振幅調
整器１０８に入力し、その出力ｗをトルク指令に加えた
信号を新たなトルク指令としてモータのトルク制御装置
へ出力する。
【００１８】位相調整器１０７および振幅調整器１０８
は、モータと機械共振系を含んだ制御系の振動を抑制す
るように、機械振動検出装置１０２の出力である機械振
動信号の位相および振幅を調整するものである。機械振
動検出装置１０２の出力する機械振動信号の位相は、モ
ータ角速度ｖｍの振動の位相よりも進んでおり、その進
み具合は前記比例演算手段１０４のゲインｋによって調
整されるため、位相調整器１０７はローパスフィルタな
どの位相遅れ要素で実現される。振幅調整器１０８は、
前記位相調整器１０７の出力信号をゲイン倍する増幅器
あるいは演算器で実現される。
は、モータと機械共振系を含んだ制御系の振動を抑制す
るように、機械振動検出装置１０２の出力である機械振
動信号の位相および振幅を調整するものである。機械振
動検出装置１０２の出力する機械振動信号の位相は、モ
ータ角速度ｖｍの振動の位相よりも進んでおり、その進
み具合は前記比例演算手段１０４のゲインｋによって調
整されるため、位相調整器１０７はローパスフィルタな
どの位相遅れ要素で実現される。振幅調整器１０８は、
前記位相調整器１０７の出力信号をゲイン倍する増幅器
あるいは演算器で実現される。
【００１９】本発明の制振制御装置に関する第３の実施
例を図３に示して説明する。同図は、本発明をモータの
速度制御装置に適用したものである。図中、モータを含
む機構系１０１と機械振動検出装置１０２は、第１の実
施例と同様であり、モータ駆動装置１０６、位相調整器
１０７および振幅調整器１０８は第２の実施例と同様の
働きをする。ただし、振幅調整器１０８の出力ｗは速度
指令に加算され、加算された信号は新たな速度指令とし
てモータの速度制御装置へ出力される。１０９は、速度
指令と速度フィードバックとの差信号を入力し、トルク
指令を出力する速度制御用補償器である。
例を図３に示して説明する。同図は、本発明をモータの
速度制御装置に適用したものである。図中、モータを含
む機構系１０１と機械振動検出装置１０２は、第１の実
施例と同様であり、モータ駆動装置１０６、位相調整器
１０７および振幅調整器１０８は第２の実施例と同様の
働きをする。ただし、振幅調整器１０８の出力ｗは速度
指令に加算され、加算された信号は新たな速度指令とし
てモータの速度制御装置へ出力される。１０９は、速度
指令と速度フィードバックとの差信号を入力し、トルク
指令を出力する速度制御用補償器である。
【００２０】以上第１、第２、第３の実施例において、
トルク外乱ｄの検出値あるいは推定値が得られる場合に
は、トルク指令にトルク外乱ｄを加えた値をトルク信号
として機械振動検出装置１０２に入力しても良い。この
場合、ハイパスフィルタ１０５は不要となる。例えば、
第３の実施例における速度制御用補償器１０９内で、比
例積分制御によりトルク指令を決定する場合には、積分
演算値の正負を反転したものを前記トルク外乱推定値と
して用いれば良い。
トルク外乱ｄの検出値あるいは推定値が得られる場合に
は、トルク指令にトルク外乱ｄを加えた値をトルク信号
として機械振動検出装置１０２に入力しても良い。この
場合、ハイパスフィルタ１０５は不要となる。例えば、
第３の実施例における速度制御用補償器１０９内で、比
例積分制御によりトルク指令を決定する場合には、積分
演算値の正負を反転したものを前記トルク外乱推定値と
して用いれば良い。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、設定
パラメータの数が少なくその設定領域が広い等価剛体オ
ブザーバが構成されるため、調整が容易で、かつ、機械
振動を高精度で取り出すことのできる機械振動検出装
置、および、機械振動の制振を達成できる制振制御装置
が実現されるという効果がある。
パラメータの数が少なくその設定領域が広い等価剛体オ
ブザーバが構成されるため、調整が容易で、かつ、機械
振動を高精度で取り出すことのできる機械振動検出装
置、および、機械振動の制振を達成できる制振制御装置
が実現されるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例を示す図
【図２】本発明の第２の実施例を示す図
【図３】本発明の第３の実施例を示す図
１０１ モータを含む機構系 １０２ 機械振動検出装置 １０３ 等価剛体モデル １０４ 比例演算手段 １０５ ハイパスフィルタ １０６ モータ駆動装置 １０７ 位相調整器 １０８ 振幅調整器 １０９ 速度制御用補償器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−161507（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−319715（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−147105（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02P 5/00
Claims (5)
- 【請求項１】トルク指令を与えるとモータのトルクを制
御するモータ制御系に適用する機械振動検出装置であっ
て、 γを等価剛体系の慣性モーメントの逆数とし、Ｄ 0 ／γ
を等価剛体系の粘性摩擦係数とした時に、入力信号にγ
を乗じた信号と積分器の出力にＤ O を乗じた信号の差を
前記積分器の入力として前記積分器の出力をその出力と
する 等価剛体モデルと、 比例演算手段と、 機械振動信号を出力するハイパスフィルタと、 前記トルク指令と前記比例演算手段の出力を加算して前
記等価剛体モデルに入力する手段と、 速度検出手段によって得られる前記モータの速度に対応
する速度信号から前記等価剛体モデルの出力を差し引い
た差信号を前記比例演算手段と前記ハイパスフィルタに
入力する手段と、 を備えたことを特徴とする機械振動検出装置。 - 【請求項２】トルク指令を与えるとモータのトルクを制
御するモータ制御系に適用する制振制御装置であって、 γを等価剛体系の慣性モーメントの逆数とし、Ｄ 0 ／γ
を等価剛体系の粘性摩擦係数とした時に、入力信号にγ
を乗じた信号と積分器の出力にＤ O を乗じた信号の差を
前記積分器の入力として前記積分器の出力をその出力と
する等価剛体モデルと、 比例演算手段と、 機械振動信号を出力するハイパスフィルタと、 その機械振動信号を入力とする位相調整器と、 その位相調整器の出力を入力とする振幅調整器と、 前記トルク指令と前記比例演算手段の出力を加算して前
記等価剛体モデルに入力する手段と、 速度検出手段によって得られる前記モータの速度に対応
する速度信号から前記等価剛体モデルの出力を差し引い
た差信号を前記比例演算手段と前記ハイパスフィルタに
入力する手段と、 前記トルク指令と前記振幅調整器の出力を加えた信号を
新たなトルク指令とする手段と、 を備えたことを特徴とする制振制御装置。 - 【請求項３】速度指令を与えると速度制御手段がトルク
指令を出力してモータを駆動し、モータの角速度を制御
するモータ制御系に適用する制振制御装置であって、 γを等価剛体系の慣性モーメントの逆数とし、Ｄ 0 ／γ
を等価剛体系の粘性摩擦係数とした時に、入力信号にγ
を乗じた信号と積分器の出力にＤ O を乗じた信号の差を
前記積分器の入力として前記積分器の出力をその出力と
する等価剛体モデルと、 比例演算手段と、機械振動信号を出力するハイパスフィ
ルタと、 その機械振動信号を入力とする位相調整器と、 その位相調整器の出力を入力とする振幅調整器と、 前記トルク指令と前記比例演算手段の出力を加算して前
記等価剛体モデルに入力する手段と、 速度検出手段によって得られる前記モータの速度に対応
する速度信号から前記等価剛体モデルの出力を差し引い
た差信号を前記比例演算手段と前記ハイパスフィルタに
入力する手段と、 前記速度指令と前記振幅調整器の出力を加えた信号を新
たな速度指令とする手段と、 を備えたことを特徴とする制振制御装置。 - 【請求項４】トルク外乱信号を検出あるいは推定によっ
て求める手段と、前記トルク信号に前記トルク外乱信号
を加えた信号を新たなトルク信号とする手段を備えたこ
とを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の機械
振動検出装置又は制振制御装置。 - 【請求項５】比例積分制御等の積分演算を含む演算によ
りトルク指令を決定する手段と、この積分演算値の正負
を反転したものを前記トルク外乱信号とする手段とを備
えたことを特徴とする請求項４記載の機械振動検出装置
又は制振制御装置。
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