JP3151691B2 - 超音波ホーンのキヤピラリ保持構造 - Google Patents

超音波ホーンのキヤピラリ保持構造

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波ホーンのキヤピラ
リ保持構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンデイング装置は、周知の如
く、一端にキヤピラリを保持した超音波ホーンを上下動
及びＸＹ方向に移動させ、前記キヤピラリに挿通された
ワイヤを半導体ペレットの電極と外部リードのリードポ
ストとの間に接続する。
【０００３】従来の超音波ホーンのキヤピラリ保持構造
は、図３に示すような構造より成る。超音波ホーン１０
の一端には、キヤピラリ３０を保持するキヤピラリ取付
け穴１１が形成され、また超音波ホーン１０の先端面よ
りキヤピラリ取付け穴１１に直角にスリット部１２が設
けられている。また超音波ホーン１０の側面には、スリ
ット部１２の一方側に締め付けねじ３１を挿入するねじ
挿入穴１３が形成され、スリット部１２の他方側に締め
付けねじ３１が螺合するねじ部１４がねじ挿入穴１３と
同心に形成されている。そこで、締め付けねじ３１を締
め込むと、スリット部１２が撓んでキヤピラリ３０は超
音波ホーン１０に保持される。そして、半導体ペレット
の電極及び外部リードのリードポストにキヤピラリ３０
に挿通されたワイヤ（図示せず）をボンデイングする時
は、超音波ホーン１０に図示しない超音波振動子より超
音波が伝えられてキヤピラリ３０を振動させる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、締め
付けねじ３１を締め込むと、その応力は超音波ホーン１
０のねじ部１４周辺に集中する。この応力により、ねじ
部１４のスリット部１２の近傍部１５がキヤピラリ３０
に当たるように歪み、キヤピラリ３０の保持が不安定に
なる。キヤピラリ３０の保持が不安定であると、超音波
ホーン１０の振動特性が安定しなく、ワイヤボンデイン
グのボンダビリティが劣化するという問題があった。
【０００５】本発明の目的は、キヤピラリ保持の安定化
を図り、超音波ホーンの振動特性を安定させ、ワイヤボ
ンデイングのボンダビリティの向上が図れる超音波ホー
ンのキヤピラリ保持構造を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の第１の構成は、超音波ホーンの一端にキヤピ
ラリを保持するキヤピラリ取付け穴が形成され、超音波
ホーンの先端面より前記キヤピラリ取付け穴に直角にス
リット部を設け、また超音波ホーンの側面のスリット部
の一方側に締め付けねじを挿入するねじ挿入穴が形成さ
れ、スリット部の他方側に締め付けねじが螺合するねじ
部が前記ねじ挿入穴と同心に形成され、締め付けねじを
前記ねじ挿入穴に挿入して前記ねじ部に螺合させて締め
付けることにより、キヤピラリを超音波ホーンに保持さ
せるワイヤボンデイング装置における超音波ホーンのキ
ヤピラリ保持構造において、前記キヤピラリ取付け穴の
前記締め付けねじに対応した部分に応力逃げ穴を形成
し、キヤピラリをキヤピラリ取付け穴の上部と下部で保
持することを特徴とする。
【０００７】上記目的を達成するための本発明の第２の
構成は、超音波ホーンの一端にキヤピラリを保持するキ
ヤピラリ取付け穴が形成され、超音波ホーンの先端面よ
り前記キヤピラリ取付け穴に直角にスリット部を設けた
ワイヤボンデイング装置における超音波ホーンのキヤピ
ラリ保持構造において、前記超音波ホーンの側面に貫通
してねじ挿入穴を形成し、ねじ挿入穴に対応した側面に
ナット受座を形成し、ねじ挿入穴に締め付けねじを挿入
して前記ナット受座に配置したナットに螺合させて締め
付けることにより、キヤピラリを超音波ホーンに保持さ
せることを特徴とする。
【０００８】
【作用】第１の構成によれば、ねじ部のスリット部の近
傍部の応力による歪みは応力逃げ穴で吸収され、キヤピ
ラリには影響を与えなく、キヤピラリの保持が安定す
る。また応力逃げ穴を全周に形成することにより、キヤ
ピラリはキヤピラリ取付け穴の上部と下部で保持され、
更にキヤピラリの保持が安定する。
【０００９】第２の構成によれば、締め付けねじの締め
付け応力は、ナットが当たるナット受座の部分に分散す
る。従って、キヤピラリ取付け穴周辺の局部的な変形が
なくなり、キヤピラリ取付け穴が均等に閉まることによ
り、キヤピラリの保持が安定する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の第１実施例を図１により説明
する。なお、図４と同じ部材又は相当部分には、同一符
号を付し、その説明は省略する。キヤピラリ取付け穴１
１のほぼ中央部（締め付けねじ３１に対応した部分）に
は、キヤピラリ取付け穴１１より大きな応力逃げ穴１６
が形成されている。従って、ねじ部１４のスリット部１
２の近傍部１５の応力による歪みは応力逃げ穴１６で吸
収され、キヤピラリ３０には影響を与えなく、キヤピラ
リ３０の保持が安定する。またキヤピラリ３０はキヤピ
ラリ取付け穴１１の上部１７と下部１８で保持され、こ
の点からもキヤピラリ３０の保持が安定する。
【００１１】図２は本発明の第２実施例を示す。超音波
ホーン１０には、締め付けねじ３１を挿入するねじ挿入
穴２２が貫通して形成され、ねじ挿入穴２２に対応した
側面には、ナット受座２３が形成されている。そこで、
ねじ挿入穴２２に挿入された締め付けねじ３１にナット
３２を螺合させて締め付け、キヤピラリ３０を保持させ
る。
【００１２】本実施例では、締め付けねじ３１の締め付
け応力は、ナット３２が当たるナット受座２３の部分に
分散する。従って、キヤピラリ取付け穴１１周辺の局部
的な変形がなくなり、キヤピラリ取付け穴１１が均等に
閉まることにより、キヤピラリ３０の保持が安定する。
なお、本実施例において、キヤピラリ取付け穴１１とね
じ挿入穴２２の最短距離Ｈを０．１９ｍｍ以下にして肉
厚を薄くすると、キヤピラリ３０を締め付ける時、薄い
部分２４からキヤピラリ３０に加えられる応力が減少
し、キヤピラリ３０はキヤピラリ取付け穴１１の上部１
７と下部１８とで保持されるので、より一層キヤピラリ
３０の保持が安定する。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、キヤピラリ取付け穴の
前記締め付けねじに対応した部分に応力逃げ穴を形成
し、キヤピラリをキヤピラリ取付け穴の上部と下部で保
持するか又は超音波ホーンの側面に貫通してねじ挿入穴
を形成し、ねじ挿入穴に対応した側面にナット受座を形
成し、ねじ挿入穴に締め付けねじを挿入して前記ナット
受座に配置したナットに螺合させて締め付けることによ
り、キヤピラリを超音波ホーンに保持させてなるので、
キヤピラリ保持の安定化を図り、超音波ホーンの振動特
性を安定させ、ワイヤボンデイングのボンダビリティの
向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明になる超音波ホーン先端部の第１実施例
を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図２】本発明になる超音波ホーン先端部の第２実施例
を示し、（ａ）は横断面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図３】従来の超音波ホーン先端部を示し、（ａ）は横
断面図、（ｂ）は縦断面図である。
【符号の説明】
１０ 超音波ホーン １１ キヤピラリ取付け穴 １２ スリット部 １３ ねじ挿入穴 １４ ねじ部 １６ 応力逃げ穴 ２２ ねじ挿入穴 ２３ ナット受座 ３０ キヤピラリ ３１ 締め付けねじ ３２ ナット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 正治 東京都武蔵村山市伊奈平１丁目37番地の １ (56)参考文献 実開 平２−101540（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/60

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 超音波ホーンの一端にキヤピラリを保持
    するキヤピラリ取付け穴が形成され、超音波ホーンの先
    端面より前記キヤピラリ取付け穴に直角にスリット部を
    設け、また超音波ホーンの側面のスリット部の一方側に
    締め付けねじを挿入するねじ挿入穴が形成され、スリッ
    ト部の他方側に締め付けねじが螺合するねじ部が前記ね
    じ挿入穴と同心に形成され、締め付けねじを前記ねじ挿
    入穴に挿入して前記ねじ部に螺合させて締め付けること
    により、キヤピラリを超音波ホーンに保持させるワイヤ
    ボンデイング装置における超音波ホーンのキヤピラリ保
    持構造において、前記キヤピラリ取付け穴の前記締め付
    けねじに対応した部分に応力逃げ穴を形成し、キヤピラ
    リをキヤピラリ取付け穴の上部と下部で保持することを
    特徴とする超音波ホーンのキヤピラリ保持構造。
  2. 【請求項２】 前記応力逃げ穴は、前記キヤピラリ取付
    け穴より大きな穴よりなることを特徴とする請求項１記
    載の超音波ホーンのキヤピラリ保持構造。
  3. 【請求項３】 超音波ホーンの一端にキヤピラリを保持
    するキヤピラリ取付け穴が形成され、超音波ホーンの先
    端面より前記キヤピラリ取付け穴に直角にスリット部を
    設けたワイヤボンデイング装置における超音波ホーンの
    キヤピラリ保持構造において、前記超音波ホーンの側面
    に貫通してねじ挿入穴を形成し、ねじ挿入穴に対応した
    側面にナット受座を形成し、ねじ挿入穴に締め付けねじ
    を挿入して前記ナット受座に配置したナットに螺合させ
    て締め付けることにより、キヤピラリを超音波ホーンに
    保持させることを特徴とする超音波ホーンのキヤピラリ
    保持構造。
  4. 【請求項４】 前記キヤピラリ取付け穴と前記ねじ挿入
    穴の最短距離を０．１９ｍｍ以下に形成したことを特徴
    とする請求項３記載の超音波ホーンのキヤピラリ保持構
    造。
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