JP3400323B2 - 超音波ホーンのキャピラリ保持構造 - Google Patents

超音波ホーンのキャピラリ保持構造

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤボンデイン
グ装置における超音波ホーンのキャピラリ保持構造に関
する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンデイング装置は、周知の如
く、一端にキャピラリを保持した超音波ホーンを上下動
及びＸＹ方向に移動させ、前記キャピラリに挿通された
ワイヤを半導体ペレットの電極と外部リードのリードポ
ストとの間に接続する。
【０００３】従来の超音波ホーンのキャピラリ保持構造
は、図５及び図６に示すような構造となっている。な
お、この種の超音波ホーンのキャピラリ保持構造とし
て、例えば実開平５−５９８４０号公報、特開平６−１
６３６４８号公報に示すものが挙げられる。
【０００４】図５に示す構造は、超音波ホーン１の一端
には、キャピラリ２を保持するキャピラリ取付け穴３が
形成され、超音波ホーン１の先端面よりキャピラリ取付
け穴３に縦のスリット部４が設けられており、スリット
部４をボルト５で締め付けることにより、キャピラリ２
を超音波ホーン１に保持させている。
【０００５】図６に示す構造は、キャピラリ取付け穴３
は上端まで貫通していなく、キャピラリ２の上端を位置
決めする段付き穴３ａが設けられている。また超音波ホ
ーン１の先端面よりキャピラリ取付け穴３に縦のスリッ
ト部４を設け、かつキャピラリ取付け穴３の部分に弾性
力を持たせており、この弾性力のみでキャピラリ２を超
音波ホーン１に保持させている。なお、６はキャピラリ
２を交換する時にボルトを螺合させるためのねじ部で、
ボルトを螺合させてスリット部４を開く。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】スリット部４は超音波
ホーン１の先端面より形成されているので、超音波ホー
ン１の先端部は開放部４ａとなっている。このため、図
５に示す構造は、ボルト５を締め付けると、開放部４ａ
が外側に広がり、ボルト５の締め付け力が逃げ、保持力
が弱くなるので、ボンディング時にキャピラリ２がぐら
ついたり、落下したりするという問題があった。また図
６に示す構造は、単にキャピラリ取付け穴３部分の弾性
力で保持し、かつ開放部４ａを有するので、保持力の経
時劣化が著しく、長期間安定して保持力を確保できない
という問題があった。
【０００７】本発明の課題は、安定した保持力を確保で
き、しかも保持力の経時劣化がない超音波ホーンのキャ
ピラリ保持構造を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の第１の手段は、超音波ホーンの一端に形成さ
れたキャピラリ取付け穴にキャピラリを保持し、半導体
ペレットの電極と外部リードのリードポストとの間を前
記キャピラリに挿通されたワイヤで接続するワイヤボン
デイング装置における超音波ホーンのキャピラリ保持構
造において、前記キャピラリ取付け穴より超音波ホーン
の先端と反対側に垂直のスリット部を設け、かつ前記キ
ャピラリ取付け穴の部分を薄肉にした薄肉部とし、前記
スリット部をボルトで締め付けてなり、前記キャピラリ
取付け穴の内壁には、垂直に複数個の縦逃げ溝が形成さ
れていることを特徴とする。
【０００９】
【００１０】上記課題を解決するための本発明の第２の
手段は、超音波ホーンの一端に形成されたキャピラリ取
付け穴にキャピラリを保持し、半導体ペレットの電極と
外部リードのリードポストとの間を前記キャピラリに挿
通されたワイヤで接続するワイヤボンデイング装置にお
ける超音波ホーンのキャピラリ保持構造において、前記
キャピラリ取付け穴より超音波ホーンの先端と反対側に
垂直のスリット部を設け、かつ前記キャピラリ取付け穴
の部分を薄肉にした薄肉部とし、前記スリット部をボル
トで締め付けてなり、前記超音波ホーンには、先端のほ
ぼ中央部より前記キャピラリ取付け穴と直角方向に、か
つ前記ボルト取付け穴部の手前まで横逃げ溝が形成され
ていることを特徴とする。
【００１１】上記課題を解決するための本発明の第３の
手段は、超音波ホーンの一端に形成されたキャピラリ取
付け穴にキャピラリを保持し、半導体ペレットの電極と
外部リードのリードポストとの間を前記キャピラリに挿
通されたワイヤで接続するワイヤボンデイング装置にお
ける超音波ホーンのキャピラリ保持構造において、前記
キャピラリ取付け穴より超音波ホーンの先端と反対側に
垂直のスリット部を設け、かつ前記キャピラリ取付け穴
の部分を薄肉にした薄肉部とし、前記スリット部をボル
トで締め付けてなり、前記超音波ホーンには、先端のほ
ぼ中央部より前記キャピラリ取付け穴と直角方向に、か
つ前記ボルト取付け穴部の手前まで横逃げ穴が形成され
ていることを特徴とする。
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１及び
図２により説明する。超音波ホーン１０の一端には、キ
ャピラリ２０を保持させるためのキャピラリ取付け穴１
１が形成され、このキャピラリ取付け穴１１より超音波
ホーン１０の先端と反対側には、垂直にスリット部１２
が設けられている。キャピラリ取付け穴１１の部分の肉
厚は、弾性を有するように薄肉部１３となっている。ま
たキャピラリ取付け穴１１の内壁には、３個の縦逃げ溝
１４が垂直に形成されている。前記スリット部１２に対
応した超音波ホーン１０の側面には、該側面を貫通して
ボルト挿入穴１５が形成されている。ボルト挿入穴１５
には、一方側面より座金２１を介してボルト２２が挿入
され、ボルト２２の先端部には、他方側面に配設された
ナット２３が螺合されている。
【００１５】そこで、超音波ホーン１０へのキャピラリ
２０の取付けは、ボルト２２とナット２３を緩めた状態
でキャピラリ取付け穴１１にキャピラリ２０を挿入し、
ボルト２２をナット２３に締め付けることにより行う。
ボルト２２をナット２３に締め付けると、スリット部１
２が内側に撓み、この時の締め付け力は逃げることなく
薄肉部１３に加わって薄肉部１３が弾性変形し、適度な
力でキャピラリ取付け穴１１を縮めることができる。従
って、安定した保持力を確保でき、しかも保持力の経時
劣化も生じない。また本実施の形態のように、キャピラ
リ取付け穴１１内壁に複数個の縦逃げ溝１４を設ける
と、薄肉部１３は更にキャピラリ２０にフィットし易く
なり、より好ましい。
【００１６】図３は本発明の第２の実施の形態を示す。
本実施の形態は、超音波ホーン１０の先端のほぼ中央部
よりキャピラリ取付け穴１１と直角方向に、かつボルト
挿入穴１５の手前まで横逃げ溝１６が形成されている。
その他は前記実施の形態と同じ構成となっている。この
ように横逃げ溝１６を形成すると、キャピラリ２０はキ
ャピラリ取付け穴１１の上部と下部で保持され、キャピ
ラリ２０の保持がより一層安定する。
【００１７】図４は本発明の第３の実施の形態を示す。
本実施の形態は、超音波ホーン１０の先端のほぼ中央部
よりキャピラリ取付け穴１１と直角方向に、かつボルト
挿入穴１５の手前まで横逃げ穴１７が形成されている。
このように、前記実施の形態の横逃げ溝１６に代えて横
逃げ穴１７を形成しても前記実施の形態と同様の効果が
得られる。
【００１８】なお、上記各実施の形態においては、超音
波ホーン１０にボルト挿入穴１５を形成し、ボルト２２
とナット２３とで締め付けたが、スリット部１２の一方
側は単にボルト挿入穴とし、他方側にねじ部を形成し、
このねじ部にボルト２２を直接螺合させて締め付けるよ
うにしてもよい。
【００１９】また超音波ホーン１０をチタン材とする
と、熱膨張が小さい（例えばステンレス材よりも約６０
％小さい）ので、ボルト２２の緩みが軽減され、キャピ
ラリ２０の保持力がより安定すると共に、軽量となり好
ましい。またボンディング位置の位置ずれが少なくな
る。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、キャピラリ取付け穴よ
り超音波ホーンの先端と反対側に垂直のスリット部を設
け、かつ前記キャピラリ取付け穴の部分を薄肉部とし、
前記スリット部をボルトで締め付けてなり、前記キャピ
ラリ取付け穴の内壁には、垂直に複数個の縦逃げ溝が形
成されているか、または前記超音波ホーンには、先端の
ほぼ中央部より前記キャピラリ取付け穴と直角方向に、
かつ前記ボルト取付け穴部の手前まで横逃げ溝が形成さ
れているか、若しくは前記超音波ホーンには、先端のほ
ぼ中央部より前記キャピラリ取付け穴と直角方向に、か
つ前記ボルト取付け穴部の手前まで横逃げ穴が形成され
ているので、安定した保持力を確保でき、しかも保持力
の経時劣化がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の超音波ホーンを示す平
面図である。
【図２】図１の超音波ホーン先端部を示し、（Ａ）は平
面拡大図、（Ｂ）は側面拡大図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態の超音波ホーン先端
部を示し、（Ａ）は平面拡大図、（Ｂ）は側面拡大図で
ある。
【図４】本発明の第３の実施の形態の超音波ホーン先端
部を示し、（Ａ）は平面斜視拡大図、（Ｂ）は側面拡大
図である。
【図５】従来の超音波ホーン先端部の一例を示し、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図６】従来の超音波ホーン先端部の他の例を示し、
（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
１０ 超音波ホーン １１ キャピラリ取付け穴 １２ スリット部 １３ 薄肉部 １４ 縦逃げ溝 １５ ボルト挿入穴 １６ 横逃げ溝 １７ 横逃げ穴 ２０ キャピラリ ２２ ボルト ２３ ナット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 秋池 雅 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の １ 株式会社新川内 (56)参考文献 特開 平９−162222（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−74877（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−23012（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−17874（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−162507（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/60

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 超音波ホーンの一端に形成されたキャピ
    ラリ取付け穴にキャピラリを保持し、半導体ペレットの
    電極と外部リードのリードポストとの間を前記キャピラ
    リに挿通されたワイヤで接続するワイヤボンデイング装
    置における超音波ホーンのキャピラリ保持構造におい
    て、前記キャピラリ取付け穴より超音波ホーンの先端と
    反対側に垂直のスリット部を設け、かつ前記キャピラリ
    取付け穴の部分を薄肉にした薄肉部とし、前記スリット
    部をボルトで締め付けてなり、前記キャピラリ取付け穴
    の内壁には、垂直に複数個の縦逃げ溝が形成されている
    ことを特徴とする超音波ホーンのキャピラリ保持構造。
  2. 【請求項２】 超音波ホーンの一端に形成されたキャピ
    ラリ取付け穴にキャピラリを保持し、半導体ペレットの
    電極と外部リードのリードポストとの間を前記キャピラ
    リに挿通されたワイヤで接続するワイヤボンデイング装
    置における超音波ホーンのキャピラリ保持構造におい
    て、前記キャピラリ取付け穴より超音波ホーンの先端と
    反対側に垂直のスリット部を設け、かつ前記キャピラリ
    取付け穴の部分を薄肉にした薄肉部とし、前記スリット
    部をボルトで締め付けてなり、前記超音波ホーンには、
    先端のほぼ中央部より前記キャピラリ取付け穴と直角方
    向に、かつ前記ボルト取付け穴部の手前まで横逃げ溝が
    形成されていることを特徴とする超音波ホーンのキャピ
    ラリ保持構造。
  3. 【請求項３】 超音波ホーンの一端に形成されたキャピ
    ラリ取付け穴にキャピラリを保持し、半導体ペレットの
    電極と外部リードのリードポストとの間を前記キャピラ
    リに挿通されたワイヤで接続するワイヤボンデイング装
    置における超音波ホーンのキャピラリ保持構造におい
    て、前記キャピラリ取付け穴より超音波ホーンの先端と
    反対側に垂直のスリット部を設け、かつ前記キャピラリ
    取付け穴の部分を薄肉にした薄肉部とし、前記スリット
    部をボルトで締め付けてなり、前記超音波ホーンには、
    先端のほぼ中央部より前記キャピラリ取付け穴と直角方
    向に、かつ前記ボルト取付け穴部の手前まで横逃げ穴が
    形成されていることを特徴とする超音波ホーンのキャピ
    ラリ保持構造。
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