KR19990036913A - 초음파 혼의 캐필러리 유지구조 - Google Patents

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Abstract

(과제) 안정된 유지력을 확보할 수 있고 게다가 유지력이 시간이 지남에 따라 열화되지 않는다.
(해결수단) 캐필러리 부착구멍(11)으로부터 초음파 혼(10)의 선단과 반대측에 수직의 슬릿부(12)을 설치하고, 또한 캐필러리 부착구멍(11)의 부분을 얇은 두께부(13)로 하고 슬릿부(12)를 볼트(22)로 체결하여 이룬다.

Description

초음파 혼의 캐필러리 유지구조
본 발명은 와이어 본딩장치에 있어서, 초음파 혼의 캐필러리 유지구조에 관한 것이다.
와이어 본딩장치는 주지하는 바와 같이, 일단에 캐필러리를 유지한 초음파 혼을 상하로 이동 및 XY방향으로 이동시켜, 상기 캐필러리에 삽통된 와이어를 반도체 팰릿의 전극과 외부 리드의 리드 포스트 사이에 접속한다.
종래의 초음파 혼의 캐필러리 유지구조는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같은 구조로 되어 있다. 더욱이, 이러한 종류의 초음파 혼의 캐필러리 유지구조로서, 예를들면 일본 실개평 5-59840호 공보, 일본 특개평 6-163648호 공보에 개시하는 것이 열거된다.
도 5에 도시된 구조는 초음파 혼(1)의 일단에는 캐필러리(2)를 유지하는 캐필러리 부착구멍(3)이 형성되고, 초음파 혼(1)의 선단면으로부터 캐필러리 부착구멍(3)에 세로의 슬릿부(4)가 설치되어 있고, 슬릿부(4)를 볼트(5)로 체결함으로서, 캐필러리(2)를 초음파 혼(1)에 유지시키고 있다.
도 6에 도시된 구조는, 캐필러리 부착구멍(3)은 상단까지 관통되어 있지 않고, 캐필러리(2)의 상단을 위치결정하는 단붙임구멍(3a)이 설치되어 있다. 또 초음파 혼(1)의 선단면으로부터 캐필러리 부착구멍(3)에 세로의 슬릿부(4)를 설치하고, 또한 캐필러리 부착구멍(3)의 부분에 탄성력을 갖게 하고, 이 탄성력 만으로 캐필러리(2)를 초음파 혼(1)에 유지시키고 있다. 더욱이, 6은 캐필러리(2)를 교환할 때에 볼트를 나사마춤시키기 위한 나사부로 볼트를 나사맞춤시켜 슬릿부(4)를 연다.
슬릿부(4)는 초음파 혼(1)의 선단면으로부터 형성되어 있으므로, 초음파 혼(1)의 선단부는 개방부(4a)로 되어 있다. 이 때문에, 도 5에 도시된 구조는 볼트(5)를 체결하면, 개방부(4a)가 외측으로 넓어지고, 볼트(5)의 체결력이 없어지고, 유지력이 약해지므로, 본딩시에 캐필러리(2)가 흔들리거나, 낙하하거나 하는 문제가 있었다. 또, 도 6에 도시된 구조는 단순히 캐필러리 부착구멍(3) 부분의 탄성력으로 유지하고, 또한 개방부(4a)를 가지므로 유지력이 시간이 지남에 따라 현저하게 열화되고, 장기간 안정되게 유지력을 확보할 수 없다라는 문제가 있었다.
본 발명의 과제는 안정된 유지력을 확보할 수 있고, 게다가 유지력이 시간이 지남에 따라 열화되지 않는 초음파 혼의 캐필러리 유지구조를 제공하는 것에 있다.
도 1은 본 발명의 일실시의 형태의 초음파 혼를 도시하는 평면도이다.
도 2는 도 1의 초음파 혼 선단부를 도시하고 있으며, 도 2a는 평면확대도, 도 2b는 측면확대도이다.
도 3은 본 발명의 제2실시형태의 초음파 혼 선단부를 도시하고 있으며, 도 3a는 평면확대도, 도 3b는 측면확대도이다.
도 4는 본 발명의 제3실시형태의 초음파 혼 선단부를 도시하고 있으며, 도 4a는 평면사시 확대도, 도 4b는 측면확대도이다.
도 5는 종래의 초음파 혼 선단부의 일예를 도시하고 있으며, 도 5a는 평면도, 도 5b는 측면도이다.
도 6는 종래의 초음파 혼 선단부의 다른 예를 도시하고 있으며, 도 6a는 평면도, 도 6b는 측면도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
10: 초음파 혼 11: 캐필러리 부착구멍 12: 슬릿부
13: 얇은 두께부 14: 세로 도피홈 15: 볼트삽입구멍
16: 가로 도피홈 17: 가로 도피 구멍 20: 캐필러리
22: 볼트 23: 너트
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 제1의 수단은 초음파 혼의 일단에 형성된 캐필러리 부착구멍에 캐필러리를 유지하고, 반도체 팰릿의 전극과 외부리드의 리드 포스트와의 사이를 상기 캐필러리에 삽통된 와이어로 접속하는 와이어 본딩장치에서의 초음파 혼의 캐필러리 유지구조에 있어서, 상기 캐필러리 부착구멍으로부터 초음파 혼의 선단과 반대측에 수직의 슬릿부를 설치하고, 또한 상기 캐필러리 부착구멍의 부분을 얇은 두께로한 얇은 두께부로하고, 상기 슬릿부를 볼트로 체결하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 제2수단은 상기 제1수단에 있어서, 상기 캐필러리 부착구멍의 내벽에는 수직으로 1개 또는 복수개의 세로 도피홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 제3수단은 상기 제1수단에 있어서, 상기 초음파 혼에는 선단의 거의 중앙부로부터 상기 캐필러리 부착구멍과 직각 방향으로, 또한 상기 볼트부착구멍부의 바로 앞까지 가로 도피홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 제4수단은 상기 제1수단에 있어서, 상기 초음파 혼에는 선단의 거의 중앙부로부터 상기 캐필러리 부착구멍과 직각 방향으로, 또한 상기 볼트부착구멍부의 바로 앞까지 가로 도피 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 제5의 수단은 상기 제1수단에 있어서, 상기 얇은 두께부는 탄성력을 갖는 것을 특징으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 제6수단은 상기 제1 내지 제4수단에 있어서 상기 초음파 혼은 티탄재로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시의 형태를 도 1 및 도 2로 설명한다. 초음파 혼(10)의 일단에는 캐필러리(20)를 유지시키기 위한 캐필러리 부착구멍(11)이 형성되고, 이 캐필러리 부착구멍(11)으로 부터 초음파 혼(10)의 선단과 반대측에는 수직으로 슬릿부(12)가 설치되어 있다. 캐필러리 부착구멍(11)의 부분의 두께는 탄성을 갖도록 얇은 두께부(13)로 되어 있다. 또, 캐필러리 부착구멍(11)의 내벽에는 3개의 세로 도피홈(14)이 수직으로 형성되어 있다. 상기 슬릿부(12)에 대응된 초음파 혼(10)의 측면에는 그 측면을 관통하여 볼트삽입구멍(15)이 형성되어 있다. 볼트삽입구멍(15)에는 한쪽측면에서 와셔(21)를 통하여 볼트(22)가 삽입되고, 볼트(22)의 선단부에는 다른쪽 측면에 배열설치된 너트(23)가 나사맞춤되어 있다.
그래서, 초음파 혼(10)으로의 캐필러리(20)의 부착은 볼트(22)와 너트(23)을 느슨하게 한 상태에서 캐필러리 부착구멍(11)에 캐필러리(20)를 삽입시키고, 볼트(22)를 너트(23)에 체결시킴으로서 행한다. 볼트(22)를 너트(23)에 체결하면, 슬릿부(12)가 내측으로 휘고, 이때의 체결력은 없어지는 일없이 얇은 두께부(13)에 가하여져서, 얇은 두께부(13)가 탄성변형하고, 적당한 힘으로 캐필러리 부착구멍(11)을 축소할 수 있다. 따라서, 안정된 유지력을 확보할 수 있고 게다가 유지력이 시간이 지남에 따라 열화되지 않는다. 또 본 실시의 형태와 같이, 캐필러리 부착구멍(11) 내벽에 복수개의 세로 도피홈(14)을 설치하면, 얇은 두께부(13)는 더욱더 캐필러리(20)에 피트하기 쉬워지고, 보다 바람직하다. 더구나, 세로 도피홈(14)은 1개 설치하여도 좋다.
도 3은 본 발명의 제2실시 형태를 도시하고 있다. 본 실시의 형태는 초음파 혼(10)의 선단의 거의 중앙부에서 캐필러리 부착구멍(11)과 직각방향으로, 또한 볼트삽입구멍(15)의 바로 앞까지 가로 도피홈(16)이 형성되어 있다. 기타는 상기 실시형태와 같은 구성으로 되어 있다. 이와같이 가로 도피홈(16)을 형성하면, 캐필러리(20)는 캐필러리 부착구멍(11)의 상부와 하부에서 유지되어, 캐필러리(20)의 유지는 더한층 안정된다.
도 4는 본 발명의 제3실시형태를 도시한다. 본 실시의 형태는 초음파 혼(10)의 선단의 거의 중앙부에서 캐필러리 부착구멍(11)과 직각방향으로 또한 볼트삽입구멍(15)의 바로 앞에서 가로 도피 구멍(17)이 형성되어 있다. 이와같이 상기 실시형태의 가로 도피홈(16)에 대신하여 가로 도피 구멍(17)을 형성하더라도 상기 실시의 형태와 꼭같은 효과가 얻어진다.
더욱이, 상기 각 실시형태에 있어서는 초음파 혼(10)에 볼트삽입구멍(15)을 형성하고, 볼트(22)와 너트(23)를 체결하였지만, 슬릿부(12)의 한쪽은 단순히 볼트 삽입구멍으로 하고, 다른쪽에 나사부를 형성하고, 이 나사부에 볼트(22)를 직접나사맞춤시켜 체결하도록 하여도 좋다.
또 초음파 혼(10)을 티탄재로 하면 열팽창이 작으 (예를들면 스테인리스재 보다도 약 60% 작음) 므로, 볼트(22)의 느슨함이 경감되고, 캐필러리(20)의 유지력이 보다 안정됨과 동시에, 경량으로 되어 바람직하다. 또 본딩위치의 위치 어긋남도 적어진다.
본 발명에 의하면 캐필러리 부착구멍에서 초음파 혼의 선단과 반대측에 수직의 슬릿부를 설치하고, 또한 상기 캐필러리 구멍의 부분을 얇은 두께부로 하고, 상기 슬릿부를 볼트로 체결하여 이르므로, 안정된 유지력을 확보할 수 있고 게다가 유지력이 시간이 지남에 따라 열화되지 않는다.

Claims (6)

  1. 초음파 혼의 일단에 형성된 캐필러리 부착구멍에 캐필러리를 유지하고, 반도체 팰릿의 전극과 외부리드의 리드 포스트 사이를 상기 캐필러리에 삽통된 와이어로 접속하는 와이어 본딩장치에서의 초음파 혼의 캐필러리 유지구조에 있어서, 상기 캐필러리 부착구멍으로부터 초음파 혼의 선단과 반대측에 수직의 슬릿부를 설치하고, 또한 상기 캐필러리 부착구멍의 부분을 얇은 두께로 한 얇은 두께부로 하고, 상기 슬릿부를 볼트로 체결하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 초음파 혼의 캐필러리 유지구조.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 캐필러리 부착구멍의 내벽에는 수직으로 1개 또는 복수개의 세로 도피홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 초음파 혼.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 초음파 혼에는 선단의 거의 중앙부에서 상기 캐필러리 부착구멍과 직각방향으로, 또한 상기 볼트부착구멍부의 바로 앞까지 가로 도피홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 초음파 혼의 캐필러리 유지구조.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 초음파 혼에는 선단의 거의 중앙부에서 상기 캐필러리 부착구멍과 직각 방향으로, 또한 상기 볼트부착 구멍부의 바로 앞까지 가로 도피 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 초음파 혼의 캐필러리 유지구조.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 얇은 두께부는 탄성력을 갖는 것을 특징으로 하는 초음파 혼의 캐필러리 유지구조.
  6. 제 1 항, 제 2 항, 제 3 항 또는 제 4 항중의 어느 한항에 있어서, 상기 초음파 혼은 티탄재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 초음파 혼의 캐필러리 유지구조.
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