JP3118443B2 - ウェーハ洗浄装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハ洗浄装置
に係り、より詳しくは洗浄槽の内部にウェーハを収納し
たトレイを浸漬させて洗浄液を流出することでウェーハ
を洗浄するウェーハ洗浄装置に関する。
に係り、より詳しくは洗浄槽の内部にウェーハを収納し
たトレイを浸漬させて洗浄液を流出することでウェーハ
を洗浄するウェーハ洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウェーハの製造工程では、
半導体ウェーハ（以下、ウェーハと称する）の表面を薬
液、純水などの洗浄液によりリンスおよびすすぎを行う
洗浄工程が実行されており、この工程にはウェーハ洗浄
装置およびウェーハ洗浄装置に使用するトレイが使用さ
れている。このウェーハ洗浄装置およびトレイは、ウェ
ーハの性能および信頼性を維持するために、ウェーハの
表面に付着する汚染物質を低減させる高い洗浄度が必要
とされている。特に、直径が１２インチ（３００ｍｍ）
の大きさを有する大型のウェーハにおいては、洗浄槽に
供給する洗浄液の流れ、またはウェーハを搬送するトレ
イなどの条件により洗浄効果が大きく変化してしまう。
また、このような大型のウェーハは、洗浄に使用する洗
浄液の量も増大するため洗浄槽の容量も重要になる。従
来、このような条件を解決するために様々なウェーハ洗
浄装置およびウェーハ洗浄装置に使用するトレイが開発
されている。
半導体ウェーハ（以下、ウェーハと称する）の表面を薬
液、純水などの洗浄液によりリンスおよびすすぎを行う
洗浄工程が実行されており、この工程にはウェーハ洗浄
装置およびウェーハ洗浄装置に使用するトレイが使用さ
れている。このウェーハ洗浄装置およびトレイは、ウェ
ーハの性能および信頼性を維持するために、ウェーハの
表面に付着する汚染物質を低減させる高い洗浄度が必要
とされている。特に、直径が１２インチ（３００ｍｍ）
の大きさを有する大型のウェーハにおいては、洗浄槽に
供給する洗浄液の流れ、またはウェーハを搬送するトレ
イなどの条件により洗浄効果が大きく変化してしまう。
また、このような大型のウェーハは、洗浄に使用する洗
浄液の量も増大するため洗浄槽の容量も重要になる。従
来、このような条件を解決するために様々なウェーハ洗
浄装置およびウェーハ洗浄装置に使用するトレイが開発
されている。
【０００３】図３は、従来のウェーハ洗浄装置を示す斜
視図である。また、図４は図３に示したＢ−Ｂ部の断面
を示す断面図である。図３に示すように、従来のウェー
ハ洗浄装置は、搬送ロボット４２により搬送したウェー
ハ４０を収納して洗浄する洗浄槽５０と、この洗浄槽５
０の底部に搬送ロボット４２により搬送されたウェーハ
４０を配列させて設置する設置台５２とにより構成され
ている。
視図である。また、図４は図３に示したＢ−Ｂ部の断面
を示す断面図である。図３に示すように、従来のウェー
ハ洗浄装置は、搬送ロボット４２により搬送したウェー
ハ４０を収納して洗浄する洗浄槽５０と、この洗浄槽５
０の底部に搬送ロボット４２により搬送されたウェーハ
４０を配列させて設置する設置台５２とにより構成され
ている。
【０００４】このように構成されたウェーハ洗浄装置を
使用する場合、所定の工程から複数枚の配列したウェー
ハ４０を搬送ロボット４２により把持させて洗浄槽５０
の上部まで搬送する。ウェーハ４０を洗浄槽５０の上部
まで搬送すると、搬送ロボット４２が下部に降下して洗
浄槽５０の設置台５２に複数枚のウェーハ４０を設置す
る。ウェーハ４０を設置すると、洗浄槽５０の底部に設
けた流出口（図示せず）から洗浄液を流出させて、この
水流によりウェーハ４０を洗浄する。このような構造に
よるウェーハ洗浄装置によると、搬送ロボット４２がウ
ェーハ４０を設置および取り出しする際に洗浄液により
常に洗浄されるため、ウェーハ４０が搬送ロボット４２
により汚染することがない。
使用する場合、所定の工程から複数枚の配列したウェー
ハ４０を搬送ロボット４２により把持させて洗浄槽５０
の上部まで搬送する。ウェーハ４０を洗浄槽５０の上部
まで搬送すると、搬送ロボット４２が下部に降下して洗
浄槽５０の設置台５２に複数枚のウェーハ４０を設置す
る。ウェーハ４０を設置すると、洗浄槽５０の底部に設
けた流出口（図示せず）から洗浄液を流出させて、この
水流によりウェーハ４０を洗浄する。このような構造に
よるウェーハ洗浄装置によると、搬送ロボット４２がウ
ェーハ４０を設置および取り出しする際に洗浄液により
常に洗浄されるため、ウェーハ４０が搬送ロボット４２
により汚染することがない。
【０００５】しかし、このようなウェーハ洗浄装置の構
造では、図４に示すように、ウェーハ４０の側面と洗浄
槽５０の側面との間に、搬送ロボット４２が浸漬するス
ペースＨが必要になる。これにより洗浄槽が大型化して
使用する洗浄液の量も増大する。また、洗浄槽５０の底
部に設けた設置台５２は、洗浄によりウェーハ４０から
剥離した汚染物質が沈積して新たに搬入したウェーハを
再汚染させてしまう不具合があった。このような、問題
を解決するために、ウェーハをトレイに収納して洗浄す
るウェーハ洗浄装置がある。
造では、図４に示すように、ウェーハ４０の側面と洗浄
槽５０の側面との間に、搬送ロボット４２が浸漬するス
ペースＨが必要になる。これにより洗浄槽が大型化して
使用する洗浄液の量も増大する。また、洗浄槽５０の底
部に設けた設置台５２は、洗浄によりウェーハ４０から
剥離した汚染物質が沈積して新たに搬入したウェーハを
再汚染させてしまう不具合があった。このような、問題
を解決するために、ウェーハをトレイに収納して洗浄す
るウェーハ洗浄装置がある。
【０００６】図５は、このような従来のウェーハ洗浄装
置およびウェーハ洗浄装置に使用するトレイを示す斜視
図である。また、図６は図５に示したＣ−Ｃ部の断面を
示す断面図である。図５に示すように、従来のウェーハ
洗浄装置およびウェーハ洗浄装置に使用するトレイは、
上部および底部が開口した略箱状に形成された内部にウ
ェーハ６０を垂直に複数配列させて収納するトレイ７０
と、搬送ロボット６２により搬送したトレイ７０内のウ
ェーハ６０を洗浄する洗浄槽８０とにより構成されてい
る。
置およびウェーハ洗浄装置に使用するトレイを示す斜視
図である。また、図６は図５に示したＣ−Ｃ部の断面を
示す断面図である。図５に示すように、従来のウェーハ
洗浄装置およびウェーハ洗浄装置に使用するトレイは、
上部および底部が開口した略箱状に形成された内部にウ
ェーハ６０を垂直に複数配列させて収納するトレイ７０
と、搬送ロボット６２により搬送したトレイ７０内のウ
ェーハ６０を洗浄する洗浄槽８０とにより構成されてい
る。
【０００７】このように構成されたウェーハ洗浄装置お
よびウェーハ洗浄装置に使用するトレイを使用する場
合、所定の工程から複数枚のウェーハ６０をトレイ７０
に格納させて、このトレイ７０を搬送ロボット６２によ
り把持して洗浄槽８０の上部まで搬送する。搬送ロボッ
ト６２がウェーハ６０を洗浄槽８０の上部まで搬送する
と、この搬送ロボット６２が下部に降下して洗浄槽８０
内の底部にトレイ７０を設置する。トレイ７０が設置さ
れると、洗浄槽８０の底部に設けた流出口（図示せず）
から洗浄液を流出させて、この水流によりウェーハ６０
を洗浄する。
よびウェーハ洗浄装置に使用するトレイを使用する場
合、所定の工程から複数枚のウェーハ６０をトレイ７０
に格納させて、このトレイ７０を搬送ロボット６２によ
り把持して洗浄槽８０の上部まで搬送する。搬送ロボッ
ト６２がウェーハ６０を洗浄槽８０の上部まで搬送する
と、この搬送ロボット６２が下部に降下して洗浄槽８０
内の底部にトレイ７０を設置する。トレイ７０が設置さ
れると、洗浄槽８０の底部に設けた流出口（図示せず）
から洗浄液を流出させて、この水流によりウェーハ６０
を洗浄する。
【０００８】このようなウェーハ洗浄装置およびウェー
ハ洗浄装置に使用するトレイによると、図６に示すよう
にトレイ７０の側面と洗浄槽８０の側面との間に搬送ロ
ボット６２が浸漬するスペースが不要となり、このスペ
ースを排除することで洗浄槽８０を小型化することがで
きる。また、ウェーハ６０を収納したトレイ７０は、洗
浄が完了すると洗浄槽８０から取り出されて常に清浄な
状態にあるため、ウェーハ６０を汚染させることがな
い。このように、従来のウェーハ洗浄装置およびウェー
ハ洗浄装置に使用するトレイは、ウェーハの汚染を防止
することで効果的に洗浄を実行していた。
ハ洗浄装置に使用するトレイによると、図６に示すよう
にトレイ７０の側面と洗浄槽８０の側面との間に搬送ロ
ボット６２が浸漬するスペースが不要となり、このスペ
ースを排除することで洗浄槽８０を小型化することがで
きる。また、ウェーハ６０を収納したトレイ７０は、洗
浄が完了すると洗浄槽８０から取り出されて常に清浄な
状態にあるため、ウェーハ６０を汚染させることがな
い。このように、従来のウェーハ洗浄装置およびウェー
ハ洗浄装置に使用するトレイは、ウェーハの汚染を防止
することで効果的に洗浄を実行していた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のウェーハ洗浄装置では、図５に示したトレイ７
０の内部で洗浄液の流体抵抗が大きくなるため、ウェー
ハ近傍での洗浄液の流量が相対的に減少する。このた
め、ウェーハの洗浄に必要な一定量の流量を確保するた
めには、全体として多大な流量が必要となり使用する洗
浄液の量も増大してしまう不具合があった。また、従来
のウェーハ洗浄装置では、トレイ内でウェーハを把持す
る把持部において、ウェーハと当接する接地面が多く、
パーティクルなどの汚染物質により汚染する確率が高か
った。このパーティクルなどの汚染物質は生産歩留りに
影響を与えて品質を著しく低下させてしまう不具合があ
った。本発明は上述の問題点を解決し、ウェーハの汚染
を防止するとともに、ウェーハを効果的に洗浄できるウ
ェーハ洗浄装置を提供することを目的とする。
た従来のウェーハ洗浄装置では、図５に示したトレイ７
０の内部で洗浄液の流体抵抗が大きくなるため、ウェー
ハ近傍での洗浄液の流量が相対的に減少する。このた
め、ウェーハの洗浄に必要な一定量の流量を確保するた
めには、全体として多大な流量が必要となり使用する洗
浄液の量も増大してしまう不具合があった。また、従来
のウェーハ洗浄装置では、トレイ内でウェーハを把持す
る把持部において、ウェーハと当接する接地面が多く、
パーティクルなどの汚染物質により汚染する確率が高か
った。このパーティクルなどの汚染物質は生産歩留りに
影響を与えて品質を著しく低下させてしまう不具合があ
った。本発明は上述の問題点を解決し、ウェーハの汚染
を防止するとともに、ウェーハを効果的に洗浄できるウ
ェーハ洗浄装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するために、洗浄槽に所定の間隔で複数配列するウェ
ーハを収納して底面から洗浄液を供給することでウェー
ハを洗浄するウェーハ洗浄装置において、ウェーハが複
数配列する上部と下部とが露出するように外周を囲む帯
状の周壁にウェーハが配列する両側端を把持する把持溝
および周壁を搬送する把持部を設けたトレイを有し、こ
のトレイを所定の位置に収納するガイドおよびウェーハ
の底面の形状に合わせて底面を形成するとともに底面と
ウェーハの底面との間に洗浄液を流出させる流出口を設
けた洗浄槽とを備え、ウェーハを洗浄する際にトレイの
把持部に把持されたウェーハの側端を容易に洗浄できる
ように洗浄槽の底部からウェーハを少し上部に上昇させ
る昇降部材を設けてあり、これによりウェーハを少し浮
かして洗浄するように設ける。ここで、洗浄槽の底部は
ウェーハの底面の形状に合わせて略Ｖ字状に形成して水
平面に対して２４°の角度で傾斜させる。また、洗浄槽
には外部の側面に洗浄液がオーバーフローするオーバー
フロー槽を更に設け、このオーバーフロー槽にはオーバ
ーフローする洗浄液を再び洗浄槽に循環させて洗浄槽の
流出部から流出する洗浄液の流量を変化させる循環手段
とを更に設ける。
決するために、洗浄槽に所定の間隔で複数配列するウェ
ーハを収納して底面から洗浄液を供給することでウェー
ハを洗浄するウェーハ洗浄装置において、ウェーハが複
数配列する上部と下部とが露出するように外周を囲む帯
状の周壁にウェーハが配列する両側端を把持する把持溝
および周壁を搬送する把持部を設けたトレイを有し、こ
のトレイを所定の位置に収納するガイドおよびウェーハ
の底面の形状に合わせて底面を形成するとともに底面と
ウェーハの底面との間に洗浄液を流出させる流出口を設
けた洗浄槽とを備え、ウェーハを洗浄する際にトレイの
把持部に把持されたウェーハの側端を容易に洗浄できる
ように洗浄槽の底部からウェーハを少し上部に上昇させ
る昇降部材を設けてあり、これによりウェーハを少し浮
かして洗浄するように設ける。ここで、洗浄槽の底部は
ウェーハの底面の形状に合わせて略Ｖ字状に形成して水
平面に対して２４°の角度で傾斜させる。また、洗浄槽
には外部の側面に洗浄液がオーバーフローするオーバー
フロー槽を更に設け、このオーバーフロー槽にはオーバ
ーフローする洗浄液を再び洗浄槽に循環させて洗浄槽の
流出部から流出する洗浄液の流量を変化させる循環手段
とを更に設ける。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に添付図面を参照して本発明に
よるウェーハ洗浄装置およびウェーハ洗浄装置に使用す
るトレイの実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発
明によるウェーハ洗浄装置およびウェーハ洗浄装置に使
用するトレイの実施の形態を示す斜視図である。また、
図２は図１に示したＡ−Ａ部の断面を示す断面図であ
る。図１に示すように、本発明によるウェーハ洗浄装置
およびウェーハ洗浄装置に使用するトレイの実施の形態
は、複数枚のウェーハ１を垂直に挿入することで両端が
把持されて収納されるトレイ１０と、搬送ロボット２に
より搬送したトレイ１０内のウェーハ２を洗浄する洗浄
槽２０とにより構成されている。
よるウェーハ洗浄装置およびウェーハ洗浄装置に使用す
るトレイの実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発
明によるウェーハ洗浄装置およびウェーハ洗浄装置に使
用するトレイの実施の形態を示す斜視図である。また、
図２は図１に示したＡ−Ａ部の断面を示す断面図であ
る。図１に示すように、本発明によるウェーハ洗浄装置
およびウェーハ洗浄装置に使用するトレイの実施の形態
は、複数枚のウェーハ１を垂直に挿入することで両端が
把持されて収納されるトレイ１０と、搬送ロボット２に
より搬送したトレイ１０内のウェーハ２を洗浄する洗浄
槽２０とにより構成されている。
【００１２】ここでトレイ１０は、ウェーハ１が複数配
列する上部および下部が露出させて格納できるように外
周を囲む帯状の周壁を設けている。この周壁はウェーハ
１の配列方向に平行に延長する側壁１２と、この側壁１
２の両端を連結する連結壁１４とを有している。この側
壁１２は、複数配列するウェーハ１の両側端を把持する
把持溝１２ａを形成している。一方、連結壁１４には、
底部に一部切り欠いた係合部１４ａが形成されている。
また、連結壁１４には、垂直に延長した把持部１４ｂを
設け、搬送ロボット２が把持して搬送できるように形成
している。このように、ウェーハ１を収納するトレイ１
０の形状は、収納されるウェーハ１の上部および下部が
露出するように周壁を帯状に形成し、ウェーハ１の把持
部を小さく設けてある。このようにウェーハ１と当接す
る部分を減少させることで、トレイ１０によりウェーハ
１が汚染することを防止するとともに、洗浄液が効果的
に流出する形状になっている。
列する上部および下部が露出させて格納できるように外
周を囲む帯状の周壁を設けている。この周壁はウェーハ
１の配列方向に平行に延長する側壁１２と、この側壁１
２の両端を連結する連結壁１４とを有している。この側
壁１２は、複数配列するウェーハ１の両側端を把持する
把持溝１２ａを形成している。一方、連結壁１４には、
底部に一部切り欠いた係合部１４ａが形成されている。
また、連結壁１４には、垂直に延長した把持部１４ｂを
設け、搬送ロボット２が把持して搬送できるように形成
している。このように、ウェーハ１を収納するトレイ１
０の形状は、収納されるウェーハ１の上部および下部が
露出するように周壁を帯状に形成し、ウェーハ１の把持
部を小さく設けてある。このようにウェーハ１と当接す
る部分を減少させることで、トレイ１０によりウェーハ
１が汚染することを防止するとともに、洗浄液が効果的
に流出する形状になっている。
【００１３】一方、洗浄槽２０は、搬送ロボット２によ
り搬送されたトレイ１０を格納するとともに、トレイ１
０を所定の高さに設置するガイド２２が設けてある。こ
のガイド２２は、洗浄槽２０の内部側壁から垂直に突出
するように凸状に形成してあり、トレイ１０の係合部１
４ａに引っ掛かるように設けてある。ここで、洗浄槽２
０のガイド２２に設置されたトレイ１０の把持部１４ｂ
は、洗浄槽２０の上部に突出している。これは、搬送ロ
ボット２が洗浄槽２０の外部でトレイ１０を設置できる
ようにするためである。これにより洗浄槽２０には、搬
送ロボット２用のスペースが不要となるために小型化す
ることができる。また、洗浄槽２０は、底面が略Ｖ字状
に傾斜した底部２６を有している。ここで、洗浄槽２０
の略Ｖ字状に傾斜した底部２６は、好ましくは、水平面
に対しての角度θが２４°に傾斜させることが望まし
い。また、洗浄槽２０内には、底部２６の近傍に洗浄液
を流出させる流出口２４が設けてある。このように本実
施の形態は、図２に示すように、ウェーハ１の外周と洗
浄槽２０の内面との間のスペースを狭く設けられるた
め、流出口２４から供給される洗浄液は効率よくウェー
ハ１の全体に流出する。
り搬送されたトレイ１０を格納するとともに、トレイ１
０を所定の高さに設置するガイド２２が設けてある。こ
のガイド２２は、洗浄槽２０の内部側壁から垂直に突出
するように凸状に形成してあり、トレイ１０の係合部１
４ａに引っ掛かるように設けてある。ここで、洗浄槽２
０のガイド２２に設置されたトレイ１０の把持部１４ｂ
は、洗浄槽２０の上部に突出している。これは、搬送ロ
ボット２が洗浄槽２０の外部でトレイ１０を設置できる
ようにするためである。これにより洗浄槽２０には、搬
送ロボット２用のスペースが不要となるために小型化す
ることができる。また、洗浄槽２０は、底面が略Ｖ字状
に傾斜した底部２６を有している。ここで、洗浄槽２０
の略Ｖ字状に傾斜した底部２６は、好ましくは、水平面
に対しての角度θが２４°に傾斜させることが望まし
い。また、洗浄槽２０内には、底部２６の近傍に洗浄液
を流出させる流出口２４が設けてある。このように本実
施の形態は、図２に示すように、ウェーハ１の外周と洗
浄槽２０の内面との間のスペースを狭く設けられるた
め、流出口２４から供給される洗浄液は効率よくウェー
ハ１の全体に流出する。
【００１４】さらに、洗浄槽２０の外側側面には、洗浄
槽２０からオーバーフローして流出した洗浄液を収容す
るオーバーフロー槽３０が設けてある。このオーバーフ
ロー槽３０には、洗浄槽２０から流出する洗浄液を再び
洗浄槽２０内に循環させるポンプ３４および循環ライン
３２が接続されている。また、ポンプ３４から洗浄槽２
０に接続した循環ライン３２には、洗浄槽２０に排出す
る洗浄液の量を調節するバルブ３６が装着されている。
槽２０からオーバーフローして流出した洗浄液を収容す
るオーバーフロー槽３０が設けてある。このオーバーフ
ロー槽３０には、洗浄槽２０から流出する洗浄液を再び
洗浄槽２０内に循環させるポンプ３４および循環ライン
３２が接続されている。また、ポンプ３４から洗浄槽２
０に接続した循環ライン３２には、洗浄槽２０に排出す
る洗浄液の量を調節するバルブ３６が装着されている。
【００１５】このように構成されたウェーハ洗浄装置お
よびウェーハ洗浄装置に使用するトレイを使用する場
合、まず、所定の工程からトレイ１０に複数のウェーハ
１を収納させて搬送ロボット２により把持部１４ｂを把
持させて洗浄槽２０まで搬送する。トレイ１０を洗浄槽
２０の上部まで搬送すると、搬送ロボット２が下部に降
下して洗浄槽２０内のガイド２２にトレイ１０の係合部
１４ａを設置する。トレイ１０をガイド２２に設置する
と、洗浄槽２０の底部２６近傍に設けた流出口２４から
洗浄液を供給する。この洗浄液は、流出口２４から洗浄
槽２０の内面に沿って流出するとともに、この水流によ
りウェーハ１が洗浄される。
よびウェーハ洗浄装置に使用するトレイを使用する場
合、まず、所定の工程からトレイ１０に複数のウェーハ
１を収納させて搬送ロボット２により把持部１４ｂを把
持させて洗浄槽２０まで搬送する。トレイ１０を洗浄槽
２０の上部まで搬送すると、搬送ロボット２が下部に降
下して洗浄槽２０内のガイド２２にトレイ１０の係合部
１４ａを設置する。トレイ１０をガイド２２に設置する
と、洗浄槽２０の底部２６近傍に設けた流出口２４から
洗浄液を供給する。この洗浄液は、流出口２４から洗浄
槽２０の内面に沿って流出するとともに、この水流によ
りウェーハ１が洗浄される。
【００１６】この際、洗浄槽２０内に流出した洗浄液
は、洗浄槽２０の上部からオーバーフロー槽３０に流出
する。このオーバーフロー槽３０に収容された洗浄液
は、ポンプ３４により循環ライン３２を介して再び洗浄
槽２０内に排出される。ここで、洗浄液が洗浄槽２０内
に排出される際には、バルブ３６により洗浄液の流量を
調節して洗浄槽２０内に流出する。このようにバルブ３
６により、洗浄液の流量を変化させることでウェーハ１
を効果的に洗浄することができる。
は、洗浄槽２０の上部からオーバーフロー槽３０に流出
する。このオーバーフロー槽３０に収容された洗浄液
は、ポンプ３４により循環ライン３２を介して再び洗浄
槽２０内に排出される。ここで、洗浄液が洗浄槽２０内
に排出される際には、バルブ３６により洗浄液の流量を
調節して洗浄槽２０内に流出する。このようにバルブ３
６により、洗浄液の流量を変化させることでウェーハ１
を効果的に洗浄することができる。
【００１７】ここで、ウェーハ１を洗浄する際には、ト
レイ１０の把持溝１２ａに把持されたウェーハ１側端の
洗浄を容易にできるように、洗浄槽２０の底部２６から
ウェーハ１を少し上部に昇降させる昇降部材（図示せ
ず）が設けてあり、これによりウェーハ１を少し浮かし
て洗浄している。
レイ１０の把持溝１２ａに把持されたウェーハ１側端の
洗浄を容易にできるように、洗浄槽２０の底部２６から
ウェーハ１を少し上部に昇降させる昇降部材（図示せ
ず）が設けてあり、これによりウェーハ１を少し浮かし
て洗浄している。
【００１８】このように本実施の形態によると、洗浄液
を効果的に流出できるとともに、ウェーハ１の汚染を防
止できる。これにより従来のウェーハ洗浄装置に比べ
て、洗浄液を無駄に消費することがなく、ウェーハの再
汚染により生産歩留りに影響を与えることが減少する。
を効果的に流出できるとともに、ウェーハ１の汚染を防
止できる。これにより従来のウェーハ洗浄装置に比べ
て、洗浄液を無駄に消費することがなく、ウェーハの再
汚染により生産歩留りに影響を与えることが減少する。
【００１９】以上、本発明によってなされたウェーハ洗
浄装置およびウェーハ洗浄装置に使用するトレイの実施
の形態を詳細に説明したが、本発明は前述の実施の形態
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で変更可能である。例えば、オーバーフロー槽に設けた
ポンプおよびバルブによる循環構造に限定されるもので
はなく、洗浄槽内に排出される洗浄液を濾過可能なフィ
ルタなどの濾過装置を装着してもよい。また、洗浄槽の
底面を略Ｖ字状に形成した実施の形態を説明したが、こ
れに限定されるものではなく、例えば、ウェーハの形状
に合わせて底面を略半円形状に形成した底面を設けても
よい。さらに、トレイを洗浄槽に設置した際に把持部が
洗浄槽から突出する実施の形態を説明したが、これに限
定されるものではなく、例えば、把持部を洗浄槽内に浸
漬させて搬送ロボットと一緒に洗浄することもできる。
浄装置およびウェーハ洗浄装置に使用するトレイの実施
の形態を詳細に説明したが、本発明は前述の実施の形態
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で変更可能である。例えば、オーバーフロー槽に設けた
ポンプおよびバルブによる循環構造に限定されるもので
はなく、洗浄槽内に排出される洗浄液を濾過可能なフィ
ルタなどの濾過装置を装着してもよい。また、洗浄槽の
底面を略Ｖ字状に形成した実施の形態を説明したが、こ
れに限定されるものではなく、例えば、ウェーハの形状
に合わせて底面を略半円形状に形成した底面を設けても
よい。さらに、トレイを洗浄槽に設置した際に把持部が
洗浄槽から突出する実施の形態を説明したが、これに限
定されるものではなく、例えば、把持部を洗浄槽内に浸
漬させて搬送ロボットと一緒に洗浄することもできる。
【００２０】
【発明の効果】このように、本発明のウェーハ洗浄装置
によれば、洗浄槽の底面の形状を略Ｖ字状に形成してい
るため、従来に比べて洗浄槽に収容する洗浄液の収容量
が少なくなり無駄に消費されることなく有効に利用され
ると同時に、トレイに格納されたウェーハの上部および
下部を露出しているため、ウェーハの全表面に洗浄液が
効果的に流出して高い洗浄効果を得ることができる。ま
た、ウェーハを収納するトレイを帯状に小さく設けてウ
ェーハと当接する接地面を減少させているため、トレイ
がパーティクルなどの汚染物質によりウェーハを汚染さ
せることを防止することができる。
によれば、洗浄槽の底面の形状を略Ｖ字状に形成してい
るため、従来に比べて洗浄槽に収容する洗浄液の収容量
が少なくなり無駄に消費されることなく有効に利用され
ると同時に、トレイに格納されたウェーハの上部および
下部を露出しているため、ウェーハの全表面に洗浄液が
効果的に流出して高い洗浄効果を得ることができる。ま
た、ウェーハを収納するトレイを帯状に小さく設けてウ
ェーハと当接する接地面を減少させているため、トレイ
がパーティクルなどの汚染物質によりウェーハを汚染さ
せることを防止することができる。
【図１】本発明によるウェーハ洗浄装置およびウェーハ
洗浄装置に使用するトレイの実施の形態を示す斜視図。
洗浄装置に使用するトレイの実施の形態を示す斜視図。
【図２】図１に示したＡ−Ａ部の断面を示す断面図。
【図３】従来のウェーハ洗浄装置を示す斜視図。
【図４】図３に示したＢ−Ｂ部の断面を示す断面図。
【図５】従来のウェーハ洗浄装置およびウェーハ洗浄装
置に使用するトレイを示す斜視図。
置に使用するトレイを示す斜視図。
【図６】図５に示したＣ−Ｃ部の断面を示す断面図。
１ ウェーハ ２ 搬送ロボット １０ トレイ １２ 側壁 １２ａ 把持溝 １４ 連結壁 １４ａ 係合部 １４ｂ 把持部 ２０ 洗浄槽 ２２ ガイド ２４ 流出口 ２６ 底部 ３０ オーバーフロー槽 ３２ 循環ライン ３４ ポンプ ３６ バルブ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ▲廣▼川 昌利 静岡県島田市阿知ケ谷25番地 島田理化 工業株式会社 島田製作所内 (72)発明者 安藤 英一 静岡県島田市阿知ケ谷25番地 島田理化 工業株式会社 島田製作所内 (72)発明者 阿部 裕介 静岡県島田市阿知ケ谷25番地 島田理化 工業株式会社 島田製作所内 (72)発明者 大森 雅司 静岡県島田市阿知ケ谷25番地 島田理化 工業株式会社 島田製作所内 (56)参考文献 特開 平９−260478（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−333907（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−267263（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−141526（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−37228（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−195368（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−195431（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−64667（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−333903（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−301138（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−120339（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/304 648 H01L 21/304 642
Claims (5)
- 【請求項１】 洗浄槽を具備し、この洗浄槽に所定の間
隔で複数配列するウェーハを収納して前記洗浄槽の底面
から洗浄液を供給することで、前記ウェーハを洗浄する
ウェーハ洗浄装置において、 前記ウェーハが複数配列する上部および下部が露出する
ように外周を囲む帯状の周壁を有し、この周壁により配
列する前記ウェーハの両側端を把持し、このウェーハを
把持した周壁を搬送する把持部を設けたトレイと、 前記トレイを所定の位置に固定するガイドを設け、底面
の形状を前記ウェーハの底面の形状に合わせて形成し、
この底面と前記ウェーハの底面との間に洗浄液を流出さ
せる流出口を備えた洗浄槽とを備え、 前記ウェーハを洗浄する際に前記トレイの把持部に把持
された前記ウェーハの側端を容易に洗浄できるように前
記洗浄槽の底部から前記ウェーハを少し上部に上昇させ
る昇降部材を設けてあり、これにより前記ウェーハを少
し浮かして洗浄するように 設けたことを特徴とするウェ
ーハ洗浄装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載のウェーハ洗浄装置にお
いて、 前記洗浄槽の底部は、前記ウェーハの底面の形状に合わ
せて略Ｖ字状に形成したことを特徴とするウェーハ洗浄
装置。 - 【請求項３】 請求項２に記載のウェーハ洗浄装置にお
いて、 前記洗浄槽に形成した略Ｖ字状の底部は、水平面に対し
ておよそ２４°の角度で傾斜させたことを特徴とするウ
ェーハ洗浄装置。 - 【請求項４】 請求項１に記載のウェーハ洗浄装置にお
いて、 前記洗浄槽の外部側面には、オーバーフローした洗浄液
を収容するオーバーフロー槽を更に設けたことを特徴と
するウェーハ洗浄装置。 - 【請求項５】 請求項４に記載のウェーハ洗浄装置にお
いて、 前記オーバーフロー槽には、オーバーフローする洗浄液
を再び前記洗浄槽に循環させて前記洗浄槽の流出部から
流出する洗浄液の流量を変化させる循環手段とを更に設
けたことを特徴とするウェーハ洗浄装置。
Priority Applications (7)
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| JP09361350A JP3118443B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | ウェーハ洗浄装置 |
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| DE69811355T DE69811355T2 (de) | 1997-12-26 | 1998-09-04 | Waferreinigungsvorrichtung mit einem reinigungstank und einem einsatz |
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|---|---|---|---|
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| CN101255012B (zh) * | 2007-02-27 | 2010-08-18 | 睿明科技股份有限公司 | Tft lcd玻璃基板的蚀刻装置及其蚀刻方法 |
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| JP3008001B2 (ja) * | 1992-03-05 | 2000-02-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄処理装置 |
| JP2970894B2 (ja) * | 1993-04-07 | 1999-11-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄装置 |
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- 1997-12-26 JP JP09361350A patent/JP3118443B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1998
- 1998-09-04 US US09/355,544 patent/US20010047817A1/en not_active Abandoned
- 1998-09-04 DE DE69811355T patent/DE69811355T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-09-04 WO PCT/JP1998/003984 patent/WO1999034420A1/ja not_active Application Discontinuation
- 1998-09-04 EP EP98941729A patent/EP0975015B1/en not_active Expired - Lifetime
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