JP3101297B2 - 半導体メモリ装置 - Google Patents

半導体メモリ装置

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JP3101297B2 JP02084609A JP8460990A JP3101297B2 JP 3101297 B2 JP3101297 B2 JP 3101297B2 JP 02084609 A JP02084609 A JP 02084609A JP 8460990 A JP8460990 A JP 8460990A JP 3101297 B2 JP3101297 B2 JP 3101297B2
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    • G11C11/4091Sense or sense/refresh amplifiers, or associated sense circuitry, e.g. for coupled bit-line precharging, equalising or isolating

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明はビット線上の微小信号を増幅して出力する
センスアンプを有するダイナミック型半導体メモリ装置
に関する。
(従来の技術) 従来のダイナミック型半導体メモリ装置(以下、DRAM
と称する)におけるセンスアンプ部分の構成を第15図
に、その動作波形を第16図のタイミングチャートにそれ
ぞれ示す。
すなわち、ワード線WLの信号が立ち上ると、メモリセ
ルMC内のMOSトランジスタ1がオンし、キャパシタ2に
記憶されているデータに応じた信号がビット線BLに読み
出され、一対のビット線BL、▲▼間に微小電位差が
発生する。この後、2個のNチャネルMOSトンランジス
タ3、4からなるNチャネル側センスアンプを活性化す
るためのセンスアンプ制御線▲▼の信号が0.5・V
ccからVssに落ちると、低電位側のビット線(第16図で
は▲▼)の電位が0.5・VccからVssに順次低下して
いく。これより遅れて、2個のPチャネルMOSトランジ
スタ5、6からなるPチャネル側センスアンプを活性化
するためのセンスアンプ制御線SAPの信号が0.5・Vccか
らVccに上昇すると、高電位側のビット線(第16図ではB
L)の電位が0.5・VccからVccに順次上昇していく。そし
て、ビット線BL、▲▼間の電位差が十分に大きくな
った時期にカラム選択線CSLの信号を立ち上げ、一対の
カラム選択用のNチャネルMOSトランジスタ7、8をオ
ンさせることにより、予めVccにプリチャージされてい
たデータ入出力線対DQ、▲▼にビット線の信号が現
れる。
(発明が解決しようとする課題) ところで、上記従来のDRAMでは、データ入出力線対に
ビット線対の信号を高速に伝えることができないという
欠点がある。何故ならば、センスアンプを活性化させ
て、ビット線対の電位差を十分に大きく増幅させた後で
ないと、カラム選択線CSLを立ち上げることができない
からである。もし、ビット線対の電位差が小さい時期に
カラム選択線CSLを立ち上げると、データ入出力線対に
プリチャージされていた電荷の流入により、ビット線対
の電位が浮き上がり、ビット線対間にわずかなアンバラ
ンスがあるとデータが破壊されてしまう危険があるから
である。しかも、DRAMにおけるメモリセルの集積度が上
ってくると、ビット線対の電位差の増幅に要する時間は
増々大きくなる傾向にあり、アクセスタイムの中でこの
センスアンプ部分における遅延時間が占める割合は非常
に大きいもので、今後、この時間は更に大きくなると考
えられる。
この発明は上記のような事情を考慮してなされたもの
であり、その目的は、ビット線からデータ入出力線に至
るデータ読み出し経路における信号伝播遅延を少なく
し、もって高速動作を可能にするダイナミック型半導体
メモリ装置を提供することにある。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) この発明のダイナミック型半導体メモリ装置は、1個
のMOSトランジスタ及び1個のキャパシタからなる複数
のメモリセルを有するダイナミック型半導体メモリ装置
において、上記メモリセルにデータを供給する複数のビ
ット線対と、上記複数の各ビット線対に対して1個の割
合で配置されたビット線信号増幅用の第1のセンス増幅
器と、上記ビット線対からデータを取り出すデータ入出
力線対と、上記データ入出力線対の一方のデータ入出力
線と第1のノードとの間及び上記データ入出力線対の他
方のデータ入出力線と第2のノードとの間にそれぞれ挿
入され、カラム選択線がゲートに接続された一対のカラ
ム選択用トランジスタと、上記複数の各ビット線対に対
して1個の割合で配置され、上記第1のノードと第1の
電源電圧のノードとの間に挿入されゲートが上記ビット
線対の一方のビット線に接続されたドライバ用の第1の
トランジスタと、上記第1のノードと第2の電源電圧の
ノードとの間に挿入されゲートが上記ビット線対の一方
のビット線に接続された負荷用の第2のトランジスタ
と、上記第2のノードと第1の電源電圧のノードとの間
に挿入されゲートが上記ビット線対の他方のビット線に
接続されたドライバ用の第3のトランジスタと、上記第
2のノードと第2の電源電圧のノードとの間に挿入され
ゲートが上記ビット線対の他方のビット線に接続された
負荷用の第4のトランジスタとからなり、データの読み
出し時に上記データ入出力線対の信号を増幅するデータ
入出力線信号増幅用の第2のセンス増幅器と、上記デー
タ入出力線対と上記ビット線対との間に挿入され、デー
タの書き込み時に導通する一対の書き込み用トランジス
タとを具備したことを特徴とする。
この発明のダイナミック型半導体メモリ装置は、1個
のMOSトランジスタ及び1個のキャパシタからなる複数
のメモリセルを有するダイナミック型半導体メモリ装置
において、上記メモリセルにデータを供給する複数のビ
ット線対と、上記複数の各ビット線対に対して1個の割
合で配置されたビット線信号増幅用の第1のセンス増幅
器と、上記ビット線対からデータを取り出すデータ入出
力線対と、上記データ入出力線対の一方のデータ入出力
線と第1のノードとの間及び上記データ入出力線対の他
方のデータ入出力線と第2のノードとの間にそれぞれ挿
入され、カラム選択線がゲートに接続された一対のカラ
ム選択用トランジスタと、上記複数の各ビット線対に対
して1個の割合で配置され、上記第1のノードと第1の
電源電圧のノードとの間に挿入されゲートが上記ビット
線対の一方のビット線に接続されたドライバ用の第1の
トランジスタと、上記第1のノードと第2の電源電圧の
ノードとの間に挿入されゲートが上記第2のノードに接
続された負荷用の第2のトランジスタと、上記第2のノ
ードと第1の電源電圧のノードとの間に挿入されゲート
が上記ビット線対の他方のビット線に接続されたドライ
バ用の第3のトランジスタと、上記第2のノードと第2
の電源電圧のノードとの間に挿入されゲートが上記第2
のノードに接続された負荷用の第4のトランジスタとか
らなり、データの読み出し時に上記データ入出力線対の
信号を増幅するデータ入出力線信号増幅用の第2のセン
ス増幅器と、上記第1、第2のノードと上記ビット線対
との間に挿入され、データの書き込み時に導通する一対
の書き込み用トランジスタとを具備したことを特徴とす
る (作 用) ビット線信号増幅用の第1のセンス増幅器とは別に、
データの読み出し時に一対のデータ入出力線の信号を増
幅するデータ入出力線信号増幅用の第2のセンス増幅器
を設け、この第2のセンス増幅器を構成する2個のドラ
イバ用のMOSトランジスタのゲートに一対のビット線を
接続することにより、第1のセンス増幅器におけるビッ
ト線信号の増幅作用には何等影響を与えることなく、一
対のデータ入出力線の信号を増幅することができる。従
って、上記第2のセンス増幅器を設けることによって、
ビット線信号の増幅とデータ入出力線信号の増幅とをほ
ぼ同時に開始することができる。
(実施例) 以下、図面を参照してこの発明を実施例により説明す
る。
第1図はこの発明の途中で考えられたDRAMの構成を示
す回路図である。ワード線WLには複数個のメモリセルMC
(1個のみ図示)が接続されている。これら各メモリセ
ルMCは、図示するように選択用のMOSトランジスタ1と
データ記憶用のキャパシタ2とから構成されている。そ
して、上記選択用のMOSトランジスタ1のゲートは上記
ワード線WLに接続され、キャパシタ2の所定電位VPL
印加されている電極とは反対側の電極に接続されたトラ
ンジスタ1のソースもしくはドレインは対応するビット
線BLもしくは▲▼(図ではBL側)に接続されてい
る。
一対のビット線BL、▲▼間には、2個のNチャネ
ルMOSトランジスタ3、4からなるNチャネル側センス
アンプ9及び2個のPチャネルMOSトランジスタ5、6
からなるPチャネル側センスアンプ10が接続されてい
る。上記Nチャネル側センスアンプ9のトランジスタ3
のドレイン、ゲートは上記ビット線BL、▲▼にそれ
ぞれ接続され、トランジスタ4のドレイン、ゲートは上
記ビット線▲▼、BLにそれぞれ接続され、さらに両
トランジスタ3、4のソースは共通接続されている。す
なわち、上記両トランジスタ3、4はフロップフロップ
接続されており、トランジスタ3、4の共通ソースはこ
のセンスアンプ9を活性化するためのセンスアンプ制御
線▲▼に接続されている。また、上記Pチャネル
側センスアンプ10のトランジスタ5のドレイン、ゲート
は上記ビット線BL、▲▼にそれぞれ接続され、トラ
ンジスタ6のドレイン、ゲートは上記ビット線▲
▼、BLにそれぞれ接続され、さらに両トランジスタ5、
6のソースは共通接続されている。すなわち、上記両ト
ランジスタ5、6もフロップフロップ接続されており、
トランジスタ5、6の共通ソースはこのセンスアンプ10
を活性化するためのセンスアンプ制御線SAPに接続され
ている。そして、上記Nチャネル側センスアンプ9及び
Pチャネル側センスアンプ10により、ビット線対間の電
位差を増幅するビット線センスアンプが構成されてい
る。
また、一対の一方のデータ入出力線DQと接地電位Vss
との間にはカラム選択用のNチャネルMOSトランジスタ
7及びデータ入出力線信号増幅用のNチャネルMOSトラ
ンジスタ11が直列接続されており、他方のデータ入出力
線▲▼と接地電位Vssとの間にもカラム選択用のN
チャネルMOSトランジスタ8及びデータ入出力線信号増
幅用のNチャネルMOSトランジスタ12が直列接続されて
いる。上記両カラム選択用のトランジスタ7、8のゲー
トは同一のカラム選択線CSLに接続され、データ入出力
線信号増幅用の一方のトランジスタ11のゲートは上記ビ
ット線Bに接続され、他方のトランジスタ12のゲート
は上記ビット線BLに接続されている。すなわち、上記両
トランジスタ11、12により上記ビット線BL、▲▼の
信号に応じてデータ入出力線対の電位差を増幅するデー
タ入出力線センスアンプが構成されており、両トランジ
スタ11、12はドライバ用トランジスタになっている。
また、上記トランジスタ7と11の共通接続ノードAと
上記ビット線BLとの間にはデータ書き込み用のNチャネ
ルMOSトンランジスタ13が接続されており、上記トラン
ジスタ8と12の共通接続ノードBと上記ビット線▲
▼との間にはデータ書き込み用のNチャネルMOSトラン
ジスタ14が接続されている。そして、上記両データ書き
込み用のトンランジスタ13、14のゲートはデータ書き込
み制御線WRTに接続され、この信号線WRTの信号で同時に
オン、オフ制御されるようになっている。
次に上記構成でなるDRAMの動作を第2図及び第3図の
タイミングチャートにより説明する。第2図のタイミン
グチャートはデータ読み出し時の場合のものであり、ま
ず、ワード線WLの信号が立ち上る。このとき、ほぼ同時
にカラム選択線CSLの信号も立ち上る。ワード線WLの信
号が立ち上ると、メモリセルMC内のMOSトランジスタ1
がオンし、キャパシタ2に記憶されているデータに応じ
た信号がビット線BL側に読み出される。この場合、ビッ
ト線BL、▲▼の電位は、図示しない手段により予め
電源電位Vccの1/2である0.5・Vccの電位にプリチャージ
されているので、トランジスタ11、12は共にオンする。
従って、カラム選択線CSLの信号によりトランジスタ
7、8がオンすると、一方のデータ入出力線DQの電荷ト
ランジスタ7、11を直列に介して、他方のデータ入出力
線▲▼の電荷はトランジスタ8、12を直列に介して
それぞれ引き抜かれる。すなわち、ビット線対に比べて
寄生容量の大きいデータ入出力線対の電位は共に低下し
ていく。
次にワード線WLの信号が完全に“H"レベル(通常は電
源電位Vccをブートストラップさせたレベルであり、例
えば1.5・Vcc)にまで達すると、Nチャネル側センスア
ンプ9を活性化するためのセンスアンプ制御線▲
▼の信号が0.5・Vccから接地電位Vssに引き落とされ
る。これにより、ビット線対のうち電位が低い方(この
場合は▲▼)が順次Vss側に引き落とされていく。
このときのビット線▲▼の電位の低下速度が遅い理
由は、一本のワード線に接続されたメモリセルの数が非
常に多く、例えば4MビットDRAMでは1024個もあり、従っ
て活性化するNチャネル側センスアンプもこれと同数だ
けあり、大量の電荷を共通の信号線▲▼を通して
引き抜かなければならないからであり、この信号線▲
▼に存在する配線抵抗の影響により電荷の引き抜き
速度が遅くなるからである。この傾向は、16MビットDRA
M、64MビットDRAMとメモリセルの集積度が上がるにつれ
て、より強くなることが予想される。
センスアンプ制御線▲▼の信号が低下してから
後、しばらくしてからPチャネル側センスアンプ10を活
性化するためのセンスアンプ制御線SAPの信号が0.5・Vc
cからVccに上昇する。これにより、今度は電位が高い方
(この場合はBL)が順次Vccに上昇していく。このとき
の電位上昇速度も上記と同じ理由で、非常にゆっくりし
ている。そして、ビット線対間に電位差が生じてくる
と、両ビット線の信号がゲートに供給されているトラン
ジスタ11、12のコンダクタンスに差がついてくる。今の
場合、高電位側のビット線BLの信号がゲートに供給され
ているトランジスタ12の方が、低電位側のビット線▲
▼の信号がゲートに供給されているトランジスタ11よ
りもコンダクタンスが高い。従って、データ入出力線対
DQ、▲▼の電荷引き抜きの速度にも差が生じて来
て、データ入出力線▲▼の方がDQよりも早く電位が
低下していく。データ入出力線▲▼の電位がさらに
低下し、NチャネルMOSトランジスタ11の閾値電圧VTH
りも下がると、このトランジスタ11がカットオフし、デ
ータ入出力線▲▼の電位の低下が止まる。このよう
にして、ビット線対に読み出されたデータがデータ入出
力線対に伝達される。
上記のようにデータ読み出し時には、カラム選択線CS
Lを、Nチャネル側センスアンプ9及びPチャネル側セ
ンスアンプ10を活性化するための信号▲▼、SAP
それぞよりも早く活性化することができるため、ビット
線対における信号の増幅とデータ入出力線対における信
号の増幅とをほぼ同時期に開始することができ、ビット
線対からデータ入出力線対に至るデータ読み出し経路に
おける信号伝播遅延が少なくなるため、高速なデータ読
み出しが実現できる。
第3図のタイミングチャートは、データ書き込み時の
ものであり、まず、ワード線WLの信号が立ち上り、始め
は第2図と同じデータ読み出し動作が行われる。この読
み出し動作が終了した時点でデータ書き込み制御線WRT
の信号がパルス的に立ち上がると同時に、図示しない書
き込み回路により、データ入出力線対DQ、▲▼の電
位が設定される。図では読み出しデータとは逆レベルの
データの書き込みが行われる場合を示しており、データ
入出力線対DQ、▲▼の電位が逆転する。このとき、
信号線WRTの信号が“H"レベルなので、データ書き込み
用のトランジスタ13、14が共にオンする。これにより、
トランジスタ7及び11を通じ、今まで“H"レベルであっ
たビット線BLの信号電位が“L"レベルに低下し、トラン
ジスタ8及び12を通じ、今まで“L"レベルであったビッ
ト線▲▼の信号電位が“H"レベルに上昇する。そし
て、Nチャネル側センスアンプ9及びPチャネル側セン
スアンプ10は共に、書き込まれた新たなデータをラッチ
する。また、このとき、トランジスタ11がオンし、逆に
トランジスタ12は、オフするので、データの書き込み動
作が終了し、書き込み回路によるデータ入出力線対DQ、
▲▼の駆動がなくなっても、データ入出力線DQは
“L"レベル側に引き落とされ、データ入出力線▲▼
は“H"レベルに保たれる。これによりデータ書き込み動
作が完了する。
なお、第3図のタイミングチャートに示されるデータ
書き込み動作では、データ書き込みはデータの読み出し
動作が完了してから行われているが、書き込みの時期を
早め、データの読み出し動作が未完の状態で書き込みを
開始するようにしてもよい。すなわち、書き込み動作の
開始時期がビット線センスアンプの活性化時期よりも後
であればよい。また、上記実施例では、データ入出力線
はVccにプリチャージされている状態からデータの読み
出しが行われる場合について説明したが、これはこの電
位に限られるものではなく、例えば0.5・Vccにプリチャ
ージすることも可能である。
第4図はこの発明の途中で考えられたDRAMの構成を示
す回路図である。前記第1図のDRAMでは、カラム選択用
のMOSトランジスタ7、8、データ入出力線信号増幅用
のMOSトランジスタ11、12及びデータ書き込み用のMOSト
ランジスタ13、14がそれぞれNチャネルであり、データ
入出力線信号増幅用のMOSトランジスタ11、12の一端が
接地電位Vssに接続されている場合について説明した
が、この第4図のDRAMではこれらMOSトランジスタの代
わりに全てPチャネルのものを使用するようにしたもの
である。
すなわち、一方のデータ入出力線対DQと電源電位Vcc
との間にはカラム選択用のPチャネルMOSトランジスタ1
5及びデータ入出力線信号増幅用のPチャネルMOSトラン
ジスタ16が直列接続されており、他方のデータ入出力線
対▲▼と電源電位Vccとの間にはカラム選択用のP
チャネルMOSトランジスタ17及びデータ入出力線信号増
幅用のPチャネルMOSトランジスタ18が直列接続されて
いる。上記両カラム選択用のトランジスタ15、17のゲー
トは活性時に“L"レベルの信号が供給されるカラム選択
線▲▼に共通に接続され、データ入出力線信号増
幅用の一方のトランジスタ16のゲートは前記ビット線▲
▼に接続され、他方のトランジスタ18のゲートは前
記ビット線BLに接続されている。すなわち、上記両トラ
ンジスタ16、18により上記ビット線BL、▲▼の信号
に応じてデータ入出力線対の電位差を増幅するデータ入
出力線センスアンプが構成されており、この場合も両ト
ランジスタ16、18はドライバ用トランジスタになってい
る。
また、上記トランジスタ15、16の共通接続ノードAと
上記ビット線BLとの間にはデータ書き込み用のPチャネ
ルMOSトランジスタ19が接続されており、上記トランジ
スタ17、18の共通接続ノードBと上記ビット線▲▼
との間にはデータ書き込み用のPチャネルMOSトランジ
スタ20が接続されている。そして、上記両データ書き込
み用のトランジスタ19、20のゲートは活性時に“L"レベ
ルの信号が供給されるデータ書き込み制御線▲▼
に接続され、この信号線▲▼の信号で同時にオ
ン、オフ制御されるようになっている。
次に上記構成でなるDRAMの動作を第5図及び第6図の
タイミングチャートにより説明する。第5図のタイミン
グチャートはデータ読み出し時の場合のものであり、ま
ず、ワード線WLの信号が立ち上り、ビット線対にデータ
に応じた信号が読み出される。その後、Nチャネル側セ
ンスアンプ9を活性化するためのセンスアンプ制御線▲
▼の信号及びPチャネル側センスアンプ10を活性
化するためのセンスアンプ制御線SAPの信号が順次活性
化され、両センスアンプによりビット線対間の電位差が
増幅される。
一方、カラム選択線▲▼の信号は元々Vccレベ
ルにプリチャージされており、ワード線WLの信号の立ち
上り後に接地電位Vssに落とされる。これにより、図示
しない手段により予め接地電位Vssにプリチャージされ
ていたデータ入出力線対に、トランジスタ15と16及びト
ランジスタ17と18をそれぞれ直列に介して電源電位Vcc
から電荷が流入する。そして、ビット線対の信号がビッ
ト線センスアンプにより増幅されると同時に、データ入
出力線対にもトランジスタ16、18のコンダクタンスの差
により電位差が生じる。このようにして、ビット線対に
読み出されたデータがデータ入出力線対に伝達される。
この第4図のDRAMの場合にも、データ読み出し時に
は、カラム選択線▲▼を、Nチャネル側センスア
ンプ9及びチャネル側センスアンプ10を活性化するため
の信号▲▼、SAPそれぞよりも早く活性化するこ
とができるため、ビット線対における信号の増幅とデー
タ入出力線対における信号の増幅とをほぼ同時期に開始
することができ、ビット線対からデータ入出力線対に至
るデータ読み出し経路における信号伝播遅延が少なくな
るため、高速なデータ読み出しが実現できる。
第6図のタイミングチャートはデータ書き込み時のも
のであり、まず、ワード線WLの信号が立ち上り、始めは
第5図と同じデータ読み出し動作が行われる。この読み
出し動作が終了した時点でデータ書き込み制御線▲
▼の信号がパルス的に立ち下がると同時に、図示しな
い書き込み回路により、データ入出力線対DQ、▲▼
の電位が設定される。図では読み出しデータとは逆レベ
ルのデータの書き込みが行われる場合を示しており、デ
ータ入出力線対DQ、▲▼の電位が逆転する。このと
き、信号線▲▼の信号が“L"レベルなので、デー
タ書き込み用のトランジスタ19、20が共にオンし、デー
タ入出力線対のデータがビット線対に伝達される。そし
て、Nチャネル側センスアンプ9及びPチャネル側セン
スアンプ10は共に、書き込まれた新たなデータをラッチ
する。また、このとき、トンランジスタ18がオンし、逆
にトランジスタ16はオフするので、データの書き込み動
作が終了し、書き込み回路によるデータ入出力線対DQ、
▲▼の駆動がなくなっても、データ入出力線DQは
“L"レベル側に引き落とされ、データ入出力線▲▼
は“H"レベルに保たれる。これによりデータ書き込み動
作が完了する。
第7図はこの発明の第1の実施例に係るDRAMの構成を
示す回路図である。
このDRAMでは、前記第1図の実施例のDRAMにおける前
記ノードAと電源電位Vccとの間に負荷用のPチャネルM
OSトランジスタ21を挿入し、そのゲートを前記データ入
出力線信号増幅用のNチャネルMOSトランジスタ11のゲ
ートと共通接続してCMOSインバータ22を構成すると共
に、前記ノードBと電源電位Vccとの間にも負荷用のP
チャネルMOSトランジスタ23を挿入し、そのゲートを前
記データ入出力線信号増幅用のNチャネルMOSトランジ
スタ12のゲートと共通接続してCMOSインバータ24を構成
するようにしたものである。
この実施例によるDRAMでは、前記第1図のDRAMに比べ
て負荷用のPチャネルMOSトランジスタ21、23を追加し
た分だけ素子数は増加するが、データ入出力線対の増幅
能力が強くなるという利点がある。また、ビット線に接
続されたNチャネル側センスアンプ9とPチャネル側セ
ンスアンプ10とが動作した直後で、ビット線BL、▲
▼間に電位差がそれ程生じていないときは、データ入出
力線信号増幅用のトランジスタ11と12が共にオンして、
データ入出力線DQ、▲▼の両方から電荷が引き抜か
れる。しかし、この実施例のDRAMでは電源電位Vccとノ
ードAとの間及びVccとノードBとの間に負荷用のPチ
ャネルMOSトランジスタ21、23が挿入されており、このM
OSトランジスタ21、23を介してノードAもしくはBはい
ずれはVccに充電されるために、DQ、▲▼が共にVss
の状態のままにされて誤読み出しが行なわれることを防
止することができる。
第8図はこの発明の第2の実施例に係るDRAMの構成を
示す回路図である。
この実施例のDRAMでは、上記第7図の実施例のDRAMに
おけるNチャネルMOSトランジスタ11、12の各一端を接
地電位Vssに接続する代わりに、貫通電流抑制用のNチ
ャネルMOSトランジスタ25を上記両トランジスタ11、12
と接地電位Vssとの間に挿入し、このトランジスタ25の
ゲートをカラム選択線CSLに接続するようにしたもので
ある。
この実施例によるDRAMでは、カラム選択線CSLの信号
に応じてカラム選択用のトランジスタ7、8がオン状態
にされるときは、選択されたカラムにおける上記貫通電
流抑制用のトランジスタ25のみがオン状態となり、非選
択なカラムの貫通電流抑制用のトランジスタ25は全てオ
フ状態となる。このため、多数の非選択なデータ入出力
線センスアンプで貫通電流が流れることを防止すること
ができ、低消費電力化を図ることができる。
第9図はこの発明の第3の実施例に係るDRAMの構成を
示す回路図である。
このDRAMでは、前記第1図の実施例のDRAMにおける前
記ノードAと電源電位Vccとの間に負荷用のPチャネルM
OSトランジスタ26を挿入すると共に、前記ノードBと電
源電位Vccとの間にも負荷用のPチャネルMOSトランジス
タ27を挿入し、両トランジスタ26、27のゲートをノード
Bに共通接続することにより、前記データ入出力線信号
増幅用のNチャネルMOSトランジスタ11、12に対してP
チャネルのカレントミラー負荷を追加するようにしたも
のである。
この実施例によるDRAMの場合も、前記第1図のDRAMに
比べて負荷用のPチャネルMOSトランジスタ26、27を追
加した分だけ素子数は増加するが、データ入出力線対の
増幅能力が強くなるという利点がある。
第10図はこの発明の第4の実施例に係るDRAMの構成を
示す回路図である。
この実施例のDRAMでは、上記第9図の実施例のDRAMに
おけるNチャネルMOSトランジスタ11、12の各一端を接
地電位Vssに直接に接続する代わりに、貫通電流抑制用
のNチャネルMOSトランジスタ25を上記両トランジスタ1
1、12と接地電位Vssとの間に挿入し、このトランジスタ
25のゲートをカラム選択線CSLに接続することにより、
前記第8図の実施例のものと同様に多数の非選択なデー
タ入出力線センスアンプにおける貫通電流の発生を防止
するようにしたものである。
第11図はこの発明の第5の実施例に係るDRAMの構成を
示す回路図である。上記第9図の実施例では、カラム選
択用のMOSトランジスタ7、8、データ入出力線信号増
幅用のMOSトランジスタ11、12及びデータ書き込み用のM
OSトランジスタ13、14がそれぞれNチャネルであり、MO
Sトランジスタ11、12のカレントミラー負荷がPチャネ
ルMOSトランジスタ26、27で構成されており、MOSトラン
ジスタ11、12の一端が接地電位Vssに接続されている場
合について説明したが、この実施例のDRAMでは、これら
MOSトランジスタの代わりにそれぞれ反対チャネルのも
のを使用するようにしたものである。
すなわち、一方のデータ入出力線DQと電源電位Vccと
の間にはカラム選択用のPチャネルMOSトランジスタ15
及びデータ入出力線信号増幅用のPチャネルMOSトラン
ジスタ16が直列接続されており、他方のデータ入出力線
▲▼と電源電位Vccとの間にはカラム選択用のPチ
ャネルMOSトランジスタ17及びデータ入出力線信号増幅
用のPチャネルMOSトランジスタ18が直列接続されてい
る。上記両カラム選択用のトランジスタ15、17のゲート
は活性時に“L"レベルとなる信号が供給されるカラム選
択線▲▼に接続され、データ入出力線信号増幅用
の一方のトランジスタ16のゲートは前記ビット線▲
▼に接続され、他方のトランジスタ18のゲートは前記ビ
ット線BLに接続されている。また、ノードAと接地電位
Vssとの間には負荷用のNチャネルMOSトランジスタ28
が、ノードBと接地電位Vssとの間には負荷用のNチャ
ネルMOSトランジスタ29がそれぞれ挿入されており、両
トランジスタ28、28のゲートはノードBに共通に接続さ
れている。すなわち、上記PチャネルMOSトランジスタ1
6、18及びNチャネルMOSトランジスタ28、29により上記
ビット線BL、▲▼の信号に応じてデータ入出力線対
の電位差を増幅するデータ入出力線センスアンプが構成
されている。
また、上記ノードAと上記ビット線BLとの間にはデー
タ書き込み用のPチャネルMOSトランジスタ19が、上記
ノードBと上記ビット線▲▼との間にはデータ書き
込み用のPチャネルMOSトランジスタ20がそれぞれ接続
されており、上記両データ書き込み用のトランジスタ1
9、20の各ゲートは活性時に“L"レベルとなる信号が供
給されるデータ書き込み制御線▲▼に接続されて
いる。
第12図はこの発明の第6の実施例に係るDRAMの構成を
示す回路図である。
この実施例のDRAMでは、上記第11図の実施例のDRAMに
おけるPチャネルMOSトランジスタ16、18の各一端を電
源電位Vccに接続する代わりに、貫通電流抑制用のPチ
ャネルMOSトンランジスタ30を上記両トランジスタ16、1
8と電源電位Vccとの間に挿入し、このトランジスタ30の
ゲートをカラム選択線▲▼に接続することによ
り、前記第8図の実施例のものと同様に、多数の非選択
なデータ入出力線センスアンプにおける貫通電流の発生
を防止するようにしたものである。
なお、上記各実施例のDRAMにおいて、データ入出力線
対の信号の増幅は、ワード線WLの信号が立ち上り、セン
スアンプ制御線▲▼の信号が立ち下がってビット
線対の信号増幅が開始されると同時期に行う場合につい
て説明したが、データ入出力線センスアンプ(例えば、
第1図のDRAMではNチャネルMOSトランジスタ11と12か
ら構成され、第4図のDRAMではPチャネルMOSトランジ
スタ16と18から構成され、第7図の実施例では2個のCM
OSインバータ22と24とから構成されている)の感度が高
くされている場合には、ビット線対の信号増幅よりも先
にデータ入出力線対の信号増幅を開始させることが可能
である。つまり、ワード線WLの信号が立ち上がり、ビッ
ト線対にメモリセルの微小信号が伝達されると同時にデ
ータ入出力線センスアンプが動作を開始し、素早くデー
タ入出力線対に信号を増幅するようにしてもよい。この
場合、ビット線センスアンプは、その後、比較的ゆっく
りビット線対間の電位差を増幅する。
第13図はこの発明の途中で考えられたDRAMの構成を示
す回路図である。
上記各実施例のDRAMでは1対のビット線毎に1個のデ
ータ入出力線センスアンプを設けるようにしていたが、
これは複数対のビット線毎に1個のデータ入出力線セン
スアンプを設けるようにしてもよい。そして、この実施
例のDRAMでは4対のビット線毎に1個のデータ入出力線
センスアンプを設けるようにしたものである。
図中、4個のCMOS−S/A41は、例えば前記第1図にお
いてそれぞれ2個のNチャネルMOSトランジスタ3、4
及びPチャネルMOSトランジスタ5、6によって構成さ
れたビット線センスアンプにそれぞれ対応している。ま
た、図中のDQS/A42は、例えば前記第1図における2個
のNチャネルMOSトランジスタ11、12によって構成され
たビット線センスアンプに対応しており、このDQS/A42
内には前記データ書き込み用のNチャネルMOSトランジ
スタ13、14も含まれている。
上記4個のビット線センスアンプ41は4対のビット線
BL0、▲▼〜BL3、▲▼のそれぞれの間に接
続されており、それぞれセンスアンプ制御線▲
▼、SAPの信号に応じて活性化されるようになってい
る。また、上記4対のビット線BL0、▲▼〜BL3、
▲▼は、BL側毎に各NチャネルMOSトランジスタ4
3を介して、▲▼側毎に各NチャネルMOSトランジス
タ44を介してそれぞれ上記DQS/A42に接続されている。
上記トランジスタ43、44のゲートは各ビット線対毎に共
通接続され、これら各共通ゲートには4本のカラム選択
線CSL0〜CSL3のそれぞれが接続されている。さらにDQS/
A42とデータ入出力線対との間に接続されている2個の
カラム選択用のNチャネルMOSトランジスタ7、8のゲ
ートには、上記4本のカラム選択線CSL0〜CSL3それぞれ
の信号が入力されるORゲート45の出力が供給される。
上記構成でなるDRAMでは、4本のカラム選択線CSL0〜
CSL3のいずれか一つの信号が“H"レベルとなり、4組の
トランジスタ43、44のうちのいずれか一組がオンし、4
個のCMOS−S/A41のいずれか一つがDQS/A42と選択的に接
続される際に、ORゲート45の出力も“H"レベルとなり、
DQS/A42が活性化される。
この実施例のDRAMは、データ入出力線センスアンプ部
分の占めるシリコンチップ上の面積が大き過ぎ、各ビッ
ト線対毎にデータ入出力線センスアンプを配置できない
場合、あるいは各ビット線対毎にデータ入出力線センス
アンプを配置するとチップ面積の増大が許容範囲を越え
る場合、等に有効である。
第14図はこの発明の途中で考えられたDRAMの構成を示
す回路図である。
この実施例でも複数対のビット線毎に1個のデータ入
出力線センスアンプを設けるようにしたものである。図
において、4個のビット線センスアンプ41は4対のビッ
ト線BL0、▲▼〜BL3、▲▼のそれぞれの間
に接続されており、それぞれセンスアンプ制御線▲
▼、SAPの信号に応じて活性化されるようになってい
る。また、上記4対のビット線BL0、▲▼〜BL3、
▲▼は、BL側毎に各NチャネルMOSトランジスタ4
6を介して、▲▼側毎に各NチャネルMOSトランジス
タ47を介してそれぞれ前記DQS/A42に接続されている。
上記トランジスタ46、47のゲートは各ビット線対毎に共
通接続され、これらの各共通ゲートには4本のデコード
信号線X0〜X3のそれぞれが接続されている。さらにDQS/
A42とデータ入出力線対DQ、▲▼との間に接続され
ている2個のカラム選択用のNチャネルMOSトランジス
タ7、8のゲートにはカラム選択線CSLが接続されてい
る。
上記構成でなるDRAMでは、4本のデコード信号線X0〜
X3のいずれか一つの信号が“H"レベルとなり、4組のト
ランジスタ46、47のうちのいずれか一組がオンして4個
のCMOS−S/A41のいずれか一つがDQS/A42と選択的に接続
される。また、このとき、カラム選択線CSLの信号に応
じてDQS/A42が活性化される。
この実施例のDRAMの場合も上記第13図の実施例の場合
と同様に、データ入出力線センスアンプ部分の占めるシ
リコンチップ上の面積が大き過ぎ、各ビット線対毎にデ
ータ入出力線センスアンプを配置できない場合、あるい
は各ビット線対毎にデータ入出力線センスアンプを配置
するとチップ面積の増大が許容範囲を越える場合、等に
有効である。
また、上記第13図及び第14図の実施例では4対のビッ
ト線毎に1個のデータ入出力線センスアンプを設けるよ
うにしたが、これは2対、4対、8対、16対のビット線
毎に1個のデータ入出力線センスアンプを設けることが
可能であり、一般に2n(nは自然数)対のビット線毎に
1個のデータ入出力線センスアンプを配置することが可
能である。
なお、この発明は上記した各実施例に限定されるもの
ではなく、種々の変形が可能であることはいうまでもな
い。例えば前記第7図及び第8図の各実施例において、
カラム選択用のトランジスタ7、8及びデータ書き込み
用のトランジスタ13、14の代わりにそれぞれPチャネル
のMOSトランジスタを使用することができる。同様に第
9図及び第10図の各実施例において、カラム選択用のト
ランジスタ7、8及びデータ書き込み用のランジスタ1
3、14の代わりにそれぞれPチャネルのMOSトランジスタ
を使用することができる。また、第9図及び第10図の各
実施例では、データ入出力線センスアンプのドライバ用
トランジスタがNチャネルMOSトランジスタ11、12であ
り、カレントミラー負荷用のトランジスタがPチャネル
MOSトランジスタ26、27である場合について説明した
が、これはドライバ用トランジスタをPチャネルMOSト
ランジスタで、カレントミラー負荷用トランジスタをN
チャネルMOSトランジスタでそれぞれ構成するようにし
てもよい。
[発明の効果] 以上説明したようにこの発明によれば、ビット線から
データ入出力線に至るデータ読み出し経路における信号
伝播遅延を少なくし、もって高速動作を可能にするダイ
ナミック型半導体メモリ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の途中で考えられたDRAMの構成を示す
回路図、第2図及び第3図はそれぞれ上記第1図のDRAM
の動作を示すタイミングチャート、第4図はこの発明の
途中で考えられた別のDRAMの構成を示す回路図、第5図
及び第6図はそれぞれ上記第4図のDRAMの動作を示すタ
イミングチャート、第7図はこの発明の第1の実施例に
よるDRAMの構成を示す回路図、第8図はこの発明の第2
の実施例によるDRAMの構成を示す回路図、第9図はこの
発明の第3の実施例によるDRAMの構成を示す回路図、第
10図はこの発明の第4の実施例によるDRAMの構成を示す
回路図、第11図はこの発明の第5の実施例によるDRAMの
構成を示す回路図、第12図はこの発明の第6の実施例に
よるDRAMの構成を示す回路図、第13図はこの発明の途中
で考えられたDRAMの構成を示す回路図、第14図はこの発
明の途中で考えられたDRAMの構成を示す回路図、第15図
は従来のDRAMの回路図、第16図は上記従来のDRAMのタイ
ミングチャートである。 WL……ワード線、MC……メモリセル、1……選択用のMO
Sトランジスタ、2……データ記憶用のキャパシタ、BL,
▲▼……ビット線、3,4……NチャネルMOSトランジ
スタ、9……Nチャネル側センスアンプ、5,6……Pチ
ャネルMOSトランジスタ、10……Pチャネル側センスア
ンプ、▲▼,SAP……センスアンプ制御線、DQ,▲
▼……データ入出力線、7,8……カラム選択用のN
チャネルMOSトランジスタ、11,12……データ入出力線信
号増幅用のNチャネルMOSトランジスタ、13,14……デー
タ書き込み用のNチャネルMOSトランジスタ、CSL……カ
ラム選択線、WRT……データ書き込み制御線、15,17……
データ入出力線信号増幅用のPチャネルMOSトランジス
タ、16,18……データ入出力線信号増幅用のPチャネルM
OSトランジスタ、19,20……データ書き込み用のPチャ
ネルMOSトランジスタ、21,23……PチャネルMOSトラン
ジスタ、22,24……CMOSインバータ、25……貫通電流抑
制用のNチャネルMOSトランジスタ、26,27……Pチャネ
ルMOSトランジスタ、28,29……NチャネルMOSトランジ
スタ、30……貫通電流抑制用のPチャネルMOSトランジ
スタ、41……CMOS−S/A、42……DQS/A、43,44……Nチ
ャネルMOSトランジスタ、45……ORゲート、46,47……N
チャネルMOSトランジスタ。

Claims (20)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数のメモリセルを有する半導体メモリ装
    置において、 上記メモリセルにデータを供給する複数のビット線対
    と、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、センスアンプ活性化信号に基づいて活性化され、ビ
    ット線対の信号を増幅するビット線信号増幅用の第1の
    センス増幅器と、 上記ビット線対からデータを取り出すデータ入出力線対
    と、 一端が上記データ入出力線対の一方のデータ入出力線
    に、一端が上記データ入出力線対の他方のデータ入出力
    線にそれぞれ接続され、カラム選択線がゲートに接続さ
    れ、このカラム選択線の信号に基づいて、上記第1のセ
    ンス増幅器が上記活性化信号に基づいて活性化されるよ
    りも前に導通するように制御される第1、第2のトラン
    ジスタからなる一対のカラム選択用トランジスタと、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、一端が上記第1のトランジスタの他端に接続され、
    他端が接地電圧のノードに接続され、ゲートが上記ビッ
    ト線対の一方のビット線に接続されたNチャネルMOSト
    ランジスタからなるドライバ用の第3のトランジスタ
    と、一端が上記第2のトランジスタの他端に接続され、
    他端が上記接地電圧のノードに接続され、ゲートが上記
    ビット線対の他方のビット線に接続されたNチャネルMO
    Sトランジスタからなるドライバ用の第4のトランジス
    タと、一端が電源電圧のノードに接続され、他端が上記
    第1のトランジスタの他端に接続され、ゲートが上記ビ
    ット線対の一方のビット線に接続されたPチャネルMOS
    トランジスタからなる負荷用の第5のトランジスタと、
    一端が上記電源電圧のノードに接続され、他端が上記第
    2のトランジスタの他端に接続され、ゲートが上記ビッ
    ト線対の他方のビット線に接続されたPチャネルMOSト
    ランジスタからなる負荷用の第6のトランジスタとから
    なり、データの読み出し時に上記データ入出力線対の信
    号を増幅するデータ入出力線信号増幅用の第2のセンス
    増幅器と、 上記第1及び第2のトランジスタの他端と上記ビット線
    対との間に挿入され、データの書き込み時に導通する一
    対の書き込み用トランジスタと を具備したことを特徴とする半導体メモリ装置。
  2. 【請求項2】前記ビット線信号増幅用の第1のセンス増
    幅器が、2個のNチャネルMOSトランジスタからなる第
    1のフリップフロップと2個のPチャネルMOSトランジ
    スタからなる第2のフリップフロップとを備えたCMOS型
    センス増幅器であり、 前記一対のカラム選択用トランジスタである前記第1、
    第2のトランジスタのそれぞれがNチャネルMOSトラン
    ジスタであり、 前記一対の書き込み用トランジスタのそれぞれがNチャ
    ネルMOSトランジスタである請求項1記載の半導体メモ
    リ装置。
  3. 【請求項3】複数のメモリセルを有する半導体メモリ装
    置において、 上記メモリセルにデータを供給する複数のビット線対
    と、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、センスアンプ活性化信号に基づいて活性化され、ビ
    ット線対の信号を増幅するビット線信号増幅用の第1の
    センス増幅器と、 上記ビット線対からデータを取り出すデータ入出力線対
    と、 一端が上記データ入出力線対の一方のデータ入出力線
    に、一端が上記データ入出力線対の他方のデータ入出力
    線にそれぞれ接続され、カラム選択線がゲートに接続さ
    れ、このカラム選択線の信号に基づいて、上記第1のセ
    ンス増幅器が上記活性化信号に基づいて活性化されるよ
    りも前に導通するように制御される第1、第2のトラン
    ジスタからなる一対のカラム選択用トランジスタと、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、一端が上記第1のトランジスタの他端に接続され、
    ゲートが上記ビット線対の一方のビット線に接続された
    NチャネルMOSトランジスタからなるドライバ用の第3
    のトランジスタと、一端が上記第2のトランジスタの他
    端に接続され、他端が上記第3のトランジスタの他端に
    接続され、ゲートが上記ビット線対の他方のビット線に
    接続されたNチャネルMOSトランジスタからなるドライ
    バ用の第4のトランジスタと、一端が電源電圧のノード
    に接続され、他端が上記第1のトランジスタの他端に接
    続され、ゲートが上記ビット線対の一方のビット線に接
    続されたPチャネルMOSトランジスタからなる負荷用の
    第5のトランジスタと、一端が上記電源電圧のノードに
    接続され、他端が上記第2のトランジスタの他端に接続
    され、ゲートが上記ビット線対の他方のビット線に接続
    されたPチャネルMOSトランジスタからなる負荷用の第
    6のトランジスタとからなり、データの読み出し時に上
    記データ入出力線対の信号を増幅するデータ入出力線信
    号増幅用の第2のセンス増幅器と、 上記第3及び第4のトランジスタの他端共通接続ノード
    と接地電圧のノードとの間に挿入され、カラム選択線で
    制御される貫通電流抑制用トランジスタと、 上記第1及び第2のトランジスタの他端と上記ビット線
    対との間に挿入され、データの書き込み時に導通する一
    対の書き込み用トランジスタと を具備したことを特徴とする半導体メモリ装置。
  4. 【請求項4】前記ビット線信号増幅用の第1のセンス増
    幅器が、2個のNチャネルMOSトランジスタからなる第
    1のフリップフロップと2個のPチャネルMOSトランジ
    スタからなる第2のフリップフロップとを備えたCMOS型
    センス増幅器であり、 前記一対のカラム選択用トランジスタである前記第1、
    第2のトランジスタのそれぞれがNチャネルMOSトラン
    ジスタであり、 前記一対の書き込み用トランジスタのそれぞれがNチャ
    ネルMOSトランジスタであり、 前記貫通電流抑制用トランジスタがNチャネルMOSトラ
    ンジスタである請求項3記載の半導体メモリ装置。
  5. 【請求項5】複数のメモリセルを有する半導体メモリ装
    置において、 上記メモリセルにデータを供給する複数のビット線対
    と、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、センスアンプ活性化信号に基づいて活性化され、ビ
    ット線対の信号を増幅するビット線信号増幅用の第1の
    センス増幅器と、 上記ビット線対からデータを取り出すデータ入出力線対
    と、 一端が上記データ入出力線対の一方のデータ入出力線
    に、一端が上記データ入出力線対の他方のデータ入出力
    線にそれぞれ接続され、カラム選択線がゲートに接続さ
    れ、このカラム選択線の信号に基づいて、上記第1のセ
    ンス増幅器が上記活性化信号に基づいて活性化されるよ
    りも前に導通するように制御される第1、第2のトラン
    ジスタからなる一対のカラム選択用トランジスタと、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、一端が上記第1のトランジスタの他端に接続され、
    他端が接地電圧または電源電圧のノードに接続され、ゲ
    ートが上記ビット線対の一方のビット線に接続されたド
    ライバ用の第3のトランジスタと、一端が上記第2のト
    ランジスタの他端に接続され、他端が上記接地電圧また
    は電源電圧のノードに接続され、ゲートが上記ビット線
    対の他方のビット線に接続されたドライバ用の第3のト
    ランジスタと、一端が電源電圧または接地電圧のノード
    に接続され、他端が上記第1のトランジスタの他端に接
    続され、ゲートが上記第2のトランジスタの他端に接続
    された負荷用の第5のトランジスタと、一端が上記電源
    電圧または接地電圧のノードに接続され、他端及びゲー
    トが上記第2のトランジスタの他端に接続された負荷用
    の第6のトランジスタとからなり、データの読み出し時
    に上記データ入出力線対の信号を増幅するカレントミラ
    ー型増幅器からなるデータ入出力線信号増幅用の第2の
    センス増幅器と、 上記第1、第2のトランジスタの他端と上記ビット線対
    との間に挿入され、データの書き込み時に導通する一対
    の書き込み用トランジスタと を具備したことを特徴とする半導体メモリ装置。
  6. 【請求項6】前記ビット線信号増幅用の第1のセンス増
    幅器が、2個のNチャネルMOSトランジスタからなる第
    1のフリップフロップと2個のPチャネルMOSトランジ
    スタからなる第2のフリップフロップとを備えたCMOS型
    センス増幅器であり、 前記一対のカラム選択用トランジスタである前記第1、
    第2のトランジスタのそれぞれがNチャネルMOSトラン
    ジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第3及び第4のトランジスタ
    のそれぞれがNチャネルMOSトランジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第5及び第6のトランジスタ
    のそれぞれがPチャネルMOSトランジスタであり、 前記一対の書き込み用トランジスタのそれぞれがNチャ
    ネルMOSトランジスタである請求項5記載の半導体メモ
    リ装置。
  7. 【請求項7】前記ビット線信号増幅用の第1のセンス増
    幅器が、2個のNチャネルMOSトランジスタからなる第
    1のフリップフロップと2個のPチャネルMOSトランジ
    スタからなる第2のフリップフロップとを備えたCMOS型
    センス増幅器であり、 前記一対のカラム選択用トランジスタである前記第1、
    第2のトランジスタのそれぞれがPチャネルMOSトラン
    ジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第3及び第4のトランジスタ
    のそれぞれがPチャネルMOSトランジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第5及び第6のトランジスタ
    のそれぞれがNチャネルMOSトランジスタであり、 前記一対の書き込み用トランジスタのそれぞれがPチャ
    ネルMOSトランジスタである請求項5記載の半導体メモ
    リ装置。
  8. 【請求項8】複数のメモリセルを有する半導体メモリ装
    置において、 上記メモリセルにデータを供給する複数のビット線対
    と、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、センスアンプ活性化信号に基づいて活性化され、ビ
    ット線対の信号を増幅するビット線信号増幅用の第1の
    センス増幅器と、 上記ビット線対からデータを取り出すデータ入出力線対
    と、 一端が上記データ入出力線対の一方のデータ入出力線
    に、一端が上記データ入出力線対の他方のデータ入出力
    線にそれぞれ接続され、カラム選択線がゲートに接続さ
    れ、このカラム選択線の信号に基づいて、上記第1のセ
    ンス増幅器が上記活性化信号に基づいて活性化されるよ
    りも前に導通するように制御される第1、第2のトラン
    ジスタからなる一対のカラム選択用トランジスタと、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、一端が上記第1のトランジスタの他端に接続され、
    ゲートが上記ビット線対の一方のビット線に接続された
    ドライバ用の第3のトランジスタと、一端が上記第2の
    トランジスタの他端に接続され、他端が上記第3のトラ
    ンジスタの他端に接続され、ゲートが上記ビット線対の
    他方のビット線に接続されたドライバ用の第4のトラン
    ジスタと、一端が電源電圧または接地電圧のノードに接
    続され、他端が上記第1のトランジスタの他端に接続さ
    れ、ゲートが上記第2のトランジスタの他端に接続され
    た負荷用の第5のトランジスタと、一端が上記電源電圧
    または接地電圧のノードに接続され、他端及びゲートが
    上記第2のトランジスタの他端に接続された負荷用の第
    6のトランジスタとからなり、データの読み出し時に上
    記データ入出力線対の信号を増幅するカレントミラー型
    増幅器からなるデータ入出力線信号増幅用の第2のセン
    ス増幅器と、 上記第3及び第4のトランジスタの他端共通接続ノード
    と上記接地電圧または電源電圧のノードとの間に挿入さ
    れ、カラム選択線で制御される貫通電流抑制用トランジ
    スタと、 上記第1及び第2のトランジスタの他端と上記ビット線
    対との間に挿入され、データの書き込み時に導通する一
    対の書き込み用トランジスタと を具備したことを特徴とする半導体メモリ装置。
  9. 【請求項9】前記ビット線信号増幅用の第1のセンス増
    幅器が、2個のNチャネルMOSトランジスタからなる第
    1のフリップフロップと2個のPチャネルMOSトランジ
    スタからなる第2のフリップフロップとを備えたCMOS型
    センス増幅器であり、 前記一対のカラム選択用トランジスタである前記第1、
    第2のトランジスタのそれぞれがNチャネルMOSトラン
    ジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第3及び第4のトランジスタ
    のそれぞれがNチャネルMOSトランジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第5及び第6のトランジスタ
    のそれぞれがPチャネルMOSトランジスタであり、 前記貫通電流抑制用トランジスタがNチャネルMOSトラ
    ンジスタであり、 前記一対の書き込み用トランジスタのそれぞれがチャネ
    ルMOSトランジスタである請求項8記載のダイナミック
    型半導体メモリ装置。
  10. 【請求項10】前記ビット線信号増幅用の第1のセンス
    増幅器が、2個のNチャネルMOSトランジスタからなる
    第1のフリップフロップと2個のPチャネルMOSトラン
    ジスタからなる第2のフリップフロップとを備えたCMOS
    型センス増幅器であり、 前記一対のカラム選択用トランジスタである前記第1、
    第2のトランジスタのそれぞれがPチャネルMOSトラン
    ジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第3及び第4のトランジスタ
    のそれぞれがPチャネルMOSトランジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第5及び第6のトランジスタ
    のそれぞれがNチャネルMOSトランジスタであり、 前記貫通電流抑制用トランジスタがPチャネルMOSトラ
    ンジスタであり、 前記一対の書き込み用トランジスタのそれぞれがPチャ
    ネルMOSトランジスタである請求項8記載の半導体メモ
    リ装置。
  11. 【請求項11】複数のメモリセルを有する半導体メモリ
    装置において、 上記メモリセルにデータを供給する複数のビット線対
    と、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、センスアンプ活性化信号に基づいて活性化され、ビ
    ット線対の信号を増幅するビット線信号増幅用の第1の
    センス増幅器と、 上記ビット線対からデータを取り出すデータ線対と、 一端が上記データ線対の一方のデータ線に、一端が上記
    データ線対の他方のデータ線にそれぞれ接続され、カラ
    ム選択線がゲートに接続され、このカラム選択線の信号
    に基づいて、上記第1のセンス増幅器が上記活性化信号
    に基づいて活性化されるよりも前に導通するように制御
    される第1、第2のトランジスタからなる一対のカラム
    選択用トランジスタと、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、一端が上記第1のトランジスタの他端に接続され、
    他端が接地電圧のノードに接続され、ゲートが上記ビッ
    ト線対の一方のビット線に接続されたNチャネルMOSト
    ランジスタからなるドライバ用の第3のトランジスタ
    と、一端が上記第2のトランジスタの他端に接続され、
    他端が上記接地電圧のノードに接続され、ゲートが上記
    ビット線対の他方のビット線に接続されたNチャネルMO
    Sトランジスタからなるドライバ用の第4のトランジス
    タと、一端が電源電圧のノードに接続され、他端が上記
    第1のトランジスタの他端に接続され、ゲートが上記ビ
    ット線対の一方のビット線に接続されたPチャネルMOS
    トランジスタからなる負荷用の第5のトランジスタと、
    一端が上記電源電圧のノードに接続され、他端が上記第
    2のトランジスタの他端に接続され、ゲートが上記ビッ
    ト線対の他方のビット線に接続されたPチャネルMOSト
    ランジスタからなる負荷用の第6のトランジスタとから
    なり、データの読み出し時に上記データ線対の信号を増
    幅するデータ線信号増幅用の第2のセンス増幅器と を具備したことを特徴とする半導体メモリ装置。
  12. 【請求項12】前記ビット線信号増幅用の第1のセンス
    増幅器が、2個のNチャネルMOSトランジスタからなる
    第1のフリップフロップと2個のPチャネルMOSトラン
    ジスタからなる第2のフリップフロップとを備えたCMOS
    型センス増幅器であり、 前記一対のカラム選択用トランジスタである前記第1、
    第2のトランジスタのそれぞれがNチャネルMOSトラン
    ジスタである請求項11記載の半導体メモリ装置。
  13. 【請求項13】複数のメモリセルを有する半導体メモリ
    装置において、 上記メモリセルにデータを供給する複数のビット線対
    と、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、センスアンプ活性化信号に基づいて活性化され、ビ
    ット線対の信号を増幅するビット線信号増幅用の第1の
    センス増幅器と、 上記ビット線対からデータを取り出すデータ線対と、 一端が上記データ線対の一方のデータ線に、一端が上記
    データ線対の他方のデータ線にそれぞれ接続され、カラ
    ム選択線がゲートに接続され、このカラム選択線の信号
    に基づいて、上記第1のセンス増幅器が上記活性化信号
    に基づいて活性化されるよりも前に導通するように制御
    される第1、第2のトランジスタからなる一対のカラム
    選択用トランジスタと、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、一端が上記第1のトランジスタの他端に接続され、
    ゲートが上記ビット線対の一方のビット線に接続された
    NチャネルMOSトランジスタからなるドライバ用の第3
    のトランジスタと、一端が上記第2のトランジスタの他
    端に接続され、他端が上記第3のトランジスタの他端に
    接続され、ゲートが上記ビット線対の他方のビット線に
    接続されたNチャネルMOSトランジスタからなるドライ
    バ用の第4のトランジスタと、一端が電源電圧のノード
    に接続され、他端が上記第1のトランジスタの他端に接
    続され、ゲートが上記ビット線対の一方のビット線に接
    続されたPチャネルMOSトランジスタからなる負荷用の
    第5のトランジスタと、一端が上記電源電圧のノードに
    接続され、他端が上記第2のトランジスタの他端に接続
    され、ゲートが上記ビット線対の他方のビット線に接続
    されたPチャネルMOSトランジスタからなる負荷用の第
    6のトランジスタとからなり、データの読み出し時に上
    記データ線対の信号を増幅するデータ線信号増幅用の第
    2のセンス増幅器と、 上記第3及び第4のトランジスタの他端共通接続ノード
    と接地電圧のノードとの間に挿入され、カラム選択線で
    制御される貫通電流抑制用トランジスタと を具備したことを特徴とする半導体メモリ装置。
  14. 【請求項14】前記ビット線信号増幅用の第1のセンス
    増幅器が、2個のNチャネルMOSトランジスタからなる
    第1のフリップフロップと2個のPチャネルMOSトラン
    ジスタからなる第2のフリップフロップとを備えたCMOS
    型センス増幅器であり、 前記一対のカラム選択用トランジスタである前記第1、
    第2のトランジスタのそれぞれがNチャネルMOSトラン
    ジスタであり、 前記貫通電流抑制用トランジスタがNチャネルMOSトラ
    ンジスタである請求項13記載の半導体メモリ装置。
  15. 【請求項15】複数のメモリセルを有する半導体メモリ
    装置において、 上記メモリセルにデータを供給する複数のビット線対
    と、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、センスアンプ活性化信号に基づいて活性化され、ビ
    ット線対の信号を増幅するビット線信号増幅用の第1の
    センス増幅器と、 上記ビット線対からデータを取り出すデータ線対と、 一端が上記データ線対の一方のデータ線に、一端が上記
    データ線対の他方のデータ線にそれぞれ接続され、カラ
    ム選択線がゲートに接続され、このカラム選択線の信号
    に基づいて、上記第1のセンス増幅器が上記活性化信号
    に基づいて活性化されるよりも前に導通するように制御
    される第1、第2のトランジスタからなる一対のカラム
    選択用トランジスタと、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、一端が上記第1のトランジスタの他端に接続され、
    他端が接地電圧または電源電圧のノードに接続され、ゲ
    ートが上記ビット線対の一方のビット線に接続されたド
    ライバ用の第3のトランジスタと、一端が上記第2のト
    ランジスタの他端に接続され、他端が上記接地電圧また
    は電源電圧のノードに接続され、ゲートが上記ビット線
    対の他方のビット線に接続されたドライバ用の第3のト
    ランジスタと、一端が電源電圧または接地電圧のノード
    に接続され、他端が上記第1のトランジスタの他端に接
    続され、ゲートが上記第2のトランジスタの他端に接続
    された負荷用の第5のトランジスタと、一端が上記電源
    電圧または接地電圧のノードに接続され、他端及びゲー
    トが上記第2のトランジスタの他端に接続された負荷用
    の第6のトランジスタとからなり、データの読み出し時
    に上記データ線対の信号を増幅するカレントミラー型増
    幅器からなるデータ線信号増幅用の第2のセンス増幅器
    と を具備したことを特徴とする半導体メモリ装置。
  16. 【請求項16】前記ビット線信号増幅用の第1のセンス
    増幅器が、2個のNチャネルMOSトランジスタからなる
    第1のフリップフロップと2個のPチャネルMOSトラン
    ジスタからなる第2のフリップフロップとを備えたCMOS
    型センス増幅器であり、 前記一対のカラム選択用トランジスタである前記第1、
    第2のトランジスタのそれぞれがNチャネルMOSトラン
    ジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第3及び第4のトランジスタ
    のそれぞれがNチャネルMOSトランジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第5及び第6のトランジスタ
    のそれぞれがPチャネルMOSトランジスタである請求項1
    5記載の半導体メモリ装置。
  17. 【請求項17】前記ビット線信号増幅用の第1のセンス
    増幅器が、2個のNチャネルMOSトランジスタからなる
    第1のフリップフロップと2個のPチャネルMOSトラン
    ジスタからなる第2のフリップフロップとを備えたCMOS
    型センス増幅器であり、 前記一対のカラム選択用トランジスタである前記第1、
    第2のトランジスタのそれぞれがPチャネルMOSトラン
    ジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第3及び第4のトランジスタ
    のそれぞれがPチャネルMOSトランジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第5及び第6のトランジスタ
    のそれぞれがNチャネルMOSトランジスタである請求項1
    5記載の半導体メモリ装置。
  18. 【請求項18】複数のメモリセルを有する半導体メモリ
    装置において、 上記メモリセルにデータを供給する複数のビット線対
    と、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、センスアンプ活性化信号に基づいて活性化され、ビ
    ット線対の信号を増幅するビット線信号増幅用の第1の
    センス増幅器と、 上記ビット線対からデータを取り出すデータ線対と、 一端が上記データ線対の一方のデータ線に、一端が上記
    データ線対の他方のデータ線にそれぞれ接続され、カラ
    ム選択線がゲートに接続され、このカラム選択線の信号
    に基づいて、上記第1のセンス増幅器が上記活性化信号
    に基づいて活性化されるよりも前に導通するように制御
    される第1、第2のトランジスタからなる一対のカラム
    選択用トランジスタと、 上記複数の各ビット線対に対して1個の割合で配置さ
    れ、一端が上記第1のトランジスタの他端に接続され、
    ゲートが上記ビット線対の一方のビット線に接続された
    ドライバ用の第3のトランジスタと、一端が上記第2の
    トランジスタの他端に接続され、他端が上記第3のトラ
    ンジスタの他端に接続され、ゲートが上記ビット線対の
    他方のビット線に接続されたドライバ用の第4のトラン
    ジスタと、一端が電源電圧または接地電圧のノードに接
    続され、他端が上記第1のトランジスタの他端に接続さ
    れ、ゲートが上記第2のトランジスタの他端に接続され
    た負荷用の第5のトランジスタと、一端が上記電源電圧
    または接地電圧のノードに接続され、他端及びゲートが
    上記第2のトランジスタの他端に接続された負荷用の第
    6のトランジスタとからなり、データの読み出し時に上
    記データ線対の信号を増幅するカレントミラー型増幅器
    からなるデータ線信号増幅用の第2のセンス増幅器と、 上記第3及び第4のトランジスタの他端共通接続ノード
    と上記接地電圧または電源電圧のノードとの間に挿入さ
    れ、カラム選択線で制御される貫通電流抑制用トランジ
    スタと を具備したことを特徴とする半導体メモリ装置。
  19. 【請求項19】前記ビット線信号増幅用の第1のセンス
    増幅器が、2個のNチャネルMOSトランジスタからなる
    第1のフリップフロップと2個のPチャネルMOSトラン
    ジスタからなる第2のフリップフロップとを備えたCMOS
    型センス増幅器であり、 前記一対のカラム選択用トランジスタである前記第1、
    第2のトランジスタのそれぞれがNチャネルMOSトラン
    ジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第3及び第4のトランジスタ
    のそれぞれがNチャネルMOSトランジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第5及び第6のトランジスタ
    のそれぞれがPチャネルMOSトランジスタであり、 前記貫通電流抑制用トランジスタがNチャネルMOSトラ
    ンジスタである請求項18記載の半導体メモリ装置。
  20. 【請求項20】前記ビット線信号増幅用の第1のセンス
    増幅器が、2個のNチャネルMOSトランジスタからなる
    第1のフリップフロップと2個のPチャネルMOSトラン
    ジスタからなる第2のフリップフロップとを備えたCMOS
    型センス増幅器であり、 前記一対のカラム選択用トランジスタである前記第1、
    第2のトランジスタのそれぞれがPチャネルMOSトラン
    ジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第3及び第4のトランジスタ
    のそれぞれがPチャネルMOSトランジスタであり、 前記第2のセンス増幅器の第5及び第6のトランジスタ
    のそれぞれがNチャネルMOSトランジスタであり、 前記貫通電流抑制用トランジスタがPチャネルMOSトラ
    ンジスタである請求項18記載の半導体メモリ装置。
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