JP3093723B2 - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP3093723B2 JP11227998A JP11227998A JP3093723B2 JP 3093723 B2 JP3093723 B2 JP 3093723B2 JP 11227998 A JP11227998 A JP 11227998A JP 11227998 A JP11227998 A JP 11227998A JP 3093723 B2 JP3093723 B2 JP 3093723B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路に
関し、特に、外部からプログラムデータを取り込んでラ
ッチするフラッシュメモリに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、この種の半導体集積回路では、
複数のメモリセルを備えており、メモリセルにプログラ
ムデータを書き込む際には、プログラムデータを書き込
んだ後、メモリセルに対してプログラムベリファイ動作
を行っている。ベリファイ動作のため、外部からプログ
ラムデータは外部からプログラムデータを取り込んで一
旦ラッチする必要がある。そして、ラッチ回路から書き
込み回路にプログラムデータを送るようにしている。つ
まり、従来の半導体集積回路では、書き込み回路にデー
タを送るためのラッチ回路(以下書き込み用ラッチ回路
という)及びメモリセルにプログラムデータが正しく書
き込まれたか否かのベリファイを行う際のデータを保持
するラッチ回路(以下ベリファイ用ラッチ回路という)
を共用している。このように、書き込み用ラッチ回路と
ベリファイ用ラッチ回路とを共用している関係上、従来
の半導体集積回路では、ラッチ回路内には常に最初入力
したプログラムデータを保持しておく必要がある。
【0003】ところで、自動プログラムの一連の動作と
して、所定時間のプログラムの後、セルデータを読み出
してベリファイを行う。この際、セルデータが1ビット
でもベリファイデータと一致しないフェイル(Fail)ビ
ットが存在すると、再プログラムを実行する。
【0004】ここで、図5を参照して、従来の半導体集
積回路では、ベリファイ・プログラム用ラッチ回路1
1、センスアンプ(SA)12、書き込み回路13、及
び排他的OR回路(EX−OR回路)14を備えてい
る。
【0005】図6及び図7も参照して、まず、自動プロ
グラムコマンドとともにプログラムデータを入力する
(ステップS1)。ここでは、アドレス“0”及び
“1”に対応して同一のプログラムデータが入力される
ものとする(図7(a))。そして、ベリファイ・プロ
グラム用ラッチ回路11にはクロック(図7(b))に
基づいてプログラムデータがラッチされる(ステップS
2:図7(c)及び(g)にVIIIで示す)。つまり、入
力プログラムデータは、書き込み回路13を制御するプ
ログラム用データ及びベリファイの際にデータを比較す
るためのベリファイ用データとしてベリファイ・プログ
ラム用ラッチ回路11に保持される。
【0006】次に、各アドレスについてプログラム前ベ
リファイを実行する(図7(d)及び(h)参照)。つ
まり、ベリファイ用データ(ベリファイ・プログラム用
ラッチ回路11に取り込んだデータ)とアドレスで指定
されるメモリセル(図示せず)のデータを照合(ベリフ
ァイ)する(ステップS3)。そして、ステップS3に
おいて、Fail ビットが一つでもあると、全ビットにつ
いて再プログラムを実行する(ステップS4)。つま
り、Failビットの再プログラムを行う際、ベリファイデ
ータ及びプログラムデータがベリファイ・プログラム用
ラッチ回路11に保持されている関係上、ラッチデータ
はベリファイデータとして保持されなければならず、こ
のため、Passしたビットについても再プログラムを実行
することになる(図7(f)及び(j)参照のIXに示
す)。全てのビットがパスした時点で、ベリファイプロ
グラム用ラッチ回路11はリセット信号によってリセッ
トされる(ステップS5:図7(e)及び(f)のXに
示す)。
【0007】また、この種の半導体集積回路として、例
えば、特開平3−286497号公報に記載された不揮
発性半導体記憶装置が知られている。この不揮発性半導
体記憶装置では、プログラムデータをデータラッチ回路
にラッチしておき、メモリアレイから読み出したデータ
をデータ比較回路でラッチデータと比較している。ベリ
ファイの際には、プログラムデータが“1”で読み出し
データが“0”であると、つまり、データが誤書き込み
されていた場合には、“1”を再度データラッチ回路に
ラッチして、メモリセルに対して再度書き込み動作を行
う。そして、このような動作をベリファイが完了するま
で行う。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、図5に
示す半導体集積回路では、セルデータを読み出してベリ
ファイを行い、セルデータが1ビットでもベリファイデ
ータと一致しない場合には、再プログラムを実行するよ
うにしており、そして、プログラムデータが最初に入力
・ラッチした状態のままである関係上、Failビットだけ
でなく、正しく書き込まれたセルデータも再プログラム
されてしまうことになる。このため、電圧供給回路は常
に全ビット分の電圧を供給しなければなず、しかも、セ
ルに対して過剰書き込みを行ってストレスをかけること
になってしまうという問題点がある。
【0009】また、特開平3−286497号公報に記
載された不揮発性半導体記憶装置では、ベリファイの結
果に応じてラッチ回路をリセットするか否かを決定して
いるものの、全ビット一括でリセットを行っており、従
って、この不揮発性半導体記憶装置においても、電圧供
給回路は常に全ビット分の電圧を供給しなければなず、
しかも、セルに対して過剰書き込みを行ってストレスを
かけることになってしまうという問題点がある。
【0010】本発明の目的は、電圧供給回路の負担を軽
減することのできる半導体集積回路を提供することにあ
る。
【0011】本発明の他の目的は、セルに対する余分な
ストレスを防止することのできる半導体集積回路を提供
することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、複数の
メモリセルを備え、書き込み回路によって前記メモリセ
ルにプログラムデータをセルデータとして書き込んで該
セルデータが正しく書き込まれているか否かのベリファ
イ動作を行うようにした半導体集積回路において、前記
プログラムデータをベリファイ用データとして保持する
第1のラッチ回路と、前記プログラムデータをベリファ
イ毎にあらためて書き込み用データとして保持して書き
込み回路に与える第2のラッチ回路と、前記セルデータ
と前記ベリファイ用データとをベリファイしてベリファ
イ結果がパスであると前記書き込み用データを1ビット
ずつリセットするベリファイ手段とを有することを特徴
とする半導体集積回路が得られる。
【0013】ここでは、前記書き込み用データとして前
記ベリファイ用データが前記第1のラッチ回路から前記
第2のラッチ回路に与えられており、前記ベリファイ結
果がパスでない場合にはフェイルビットとされ、前記ベ
リファイ手段は前記書き込み用データを前記フェイルビ
ットを残してリセットして、該フェイルビットのみが前
記書き込み回路によって前記メモリセルに再プログラム
される。そして、前記ベリファイ手段は前記ベリファイ
結果が全てのビットについてパスとなると前記第1及び
前記第2のラッチ回路をリセットする。
【0014】
【発明の実施の形態】以下本発明について図面を参照し
て説明する。
【0015】図1を参照して、図示の半導体集積回路
は、入出力バッファ(I/Oバッファ)21、コマンド
コントロール回路22、ビットカウント回路23、クロ
ック発生器24、メモリ回路25、アドレスバッファ2
6、Xデコーダ27、及びYデコーダ28を備えてお
り、ビットカウント回路23はベリファイ回路23a、
ラッチ回路23b、及びラッチ回路23cを備えてい
る。また、メモリ回路25には、メモリセル25a、セ
ンスアンプ(SA)25b、及び書き込み回路25cが
備えられている。なお、図1には便宜上セルメモリは一
つだけ示されているが、実際には複数のメモリセルが存
在し、これに対応して、センスアンプ及び書き込み回路
も複数存在する。つまり、半導体集積回路には複数のメ
モリ回路が備えられている。
【0016】ここで、図2を参照して、図2において
は、ラッチ回路23bがベリファイ用ラッチ回路として
示され、ラッチ回路23cがプログラム用ラッチ回路と
して示されている。そして、ベリファイ回路23aはE
X−OR回路として示されている。そして、ラッチ回路
23bにはプログラムデータが保持され、ラッチ回路2
3cにはベリファイデータが保持される。つまり、図示
の例では、ラッチ回路23b及び23cがそれぞれ独立
している。
【0017】ここで、図3及び図4も参照して、まず、
自動プログラムコマンドとともにプログラムデータを入
力する(ステップP1)。ここでは、アドレス“0”及
び“1”に対応して同一のプログラムデータが入力され
るものとする(図4(a))。プログラムデータはクロ
ック1(図4(b))に応じてベリファイデータとして
ベリファイ用ラッチ回路23bに取り込まれラッチされ
る(ステップP2:図4(c)及び(i)にIで示
す)。そして、このベリファイデータ(プログラムデー
タ)はクロック2(図4(g)及び(m))に応じてプ
ログラム用データとしてプログラム用ラッチ回路23c
に取り込まれラッチされる(ステップP3:図4(d)
及び(j)にIIで示す)。
【0018】次に、ベリファイ用ラッチ回路23bに取
り込んだデータ(ベリファイデータ)とセルメモリ25
a(なお、図1には便宜上セルメモリは一つだけ示され
ているが、実際には複数のメモリセルが存在する)のデ
ータとをベリファイ回路(EX−OR回路)23aによ
って照合(ベリファイ)する(ステップP4:図4
(f)及び(l)参照)。そして、このベリファイ結果
がパス(Pass)であれば、EX−OR回路23aの出力
によってプログラム用ラッチ回路23cのデータが1ビ
ットずつリセットされる(ステップP5:図4(l)に
IIIで示す)。
【0019】このようにして、プログラムデータ用ラッ
チ回路23c内のデータはFailビットを残してリセット
されることになり、Failビットのみについて再プログラ
ムが行われる(ステップP6:図4(h)及び(n)に
IVで示す)。
【0020】上述のようにして、再プログラムが終了す
ると、次のベリファイの前に、プログラム用ラッチ回路
23cにはベリファイ用ラッチ回路23bに保持されて
いるデータが再び入力される(図4(d)及び(j)に
Vで示す)。これによって、ベリファイ後の再プログラ
ムは、常にベリファイの結果に応じ、Failビットに対す
る再プログラムを行うことができることになる。
【0021】そして、全ビットがPassとなると、プログ
ラム用ラッチ回路23cがリセットされ、リセット信号
(EX−OR回路の出力)によってベリファイ用ラッチ
回路23bがリセットされる(ステップP7:図4
(e),(f),(k),及び(l)にVIで示す)。
【0022】なお、この例では、フラッシュメモリにお
いて、データ(ビット)“0”とはメモリセルに書き込
みがされている状態、つまり、電圧が高い状態を表して
おり(以下状態という)、データ“1”とはメモリセ
ルが消去されている状態、つまり、電圧が低い状態を表
している(以下状態という)。従って、メモリセルに
書き込み(プログラム)を行う場合には、低い電圧を高
くすることを意味する。そして、ベリファイの際の判定
基準は、元データが“0”の際、プログラムデータが
“0”、読み出しデータが“0”であると、Passと
なる。また、元データが“0”の際、プログラムデータ
が“1”、読み出しデータが“0”であると、Fail
となる。同様に、元データが“1”の際、プログラムデ
ータが“0”、読み出しデータが“0”であると、Pa
ssとなり、元データが“1”の際、プログラムデータ
が“1”、読み出しデータが“1”であると、Pass
となる。
【0023】いま、入力プログラムデータを“110
0”とする。プログラムデータ“1100”はアドレス
(ビット)0及び1には何も書き込まないで、ビット2
及び3に書き込みを行うことを示しており、前述のよう
に、このプログラムデータはベリファイ用ラッチ回路2
3b及びプログラム用ラッチ回路23cにラッチされ
る。一方、読み出しデータを“1101”とすると、こ
の読み出しデータはビット0,1,及び3には何も書き
込まれておらず、ビット2に書き込みが行われたことを
表しており、この読み出しデータをプログラムデータと
比較すると、ビット0及び1については、プログラムデ
ータ及び読み出しデータともに“1”であるため、ベリ
ファイの結果はPassとなり、プログラム用ラッチ回
路23cはこのビットに関してリセットされることにな
り、プログラム用ラッチ回路23c内のデータは“1”
となる。
【0024】同様に、ビット2に関しては、プログラム
データ及び読み出しデータともに“0”であるため、ベ
リファイの結果はPassとなり、プログラム用ラッチ
回路23cはこのビットに関してリセットされることに
なり、プログラム用ラッチ回路23c内のデータは
“1”となる。
【0025】ビット3に関しては、プログラムデータが
“0”で読み出しデータともに“1”であるため、ベリ
ファイの結果はFailとなり、前述のようにして、再
書き込みが行われることになる。そして、この再書き込
みが行われる際のプログラム用ラッチ回路23c内のデ
ータは“1110”となる。
【0026】このように、図示の半導体集積回路では、
自動プログラムコマンドとともにプログラムデータが入
力され、入力プログラムデータがベリファイの際データ
を比較するための照合用データとしてベリファイ用ラッ
チ回路23bに保持される。次に、ベリファイ用ラッチ
回路23bのデータがプログラムデータ用ラッチ回路2
3cに入力され、ベリファイ回路(EX−OR回路)2
3aによってプログラム前ベリファイが実行される。そ
して、ベリファイ結果に応じてEX−OR回路23aに
よってプログラムデータ用ラッチ回路23cからPassし
たビットがリセットされる。次に、Fail ビットのみに
ついて再プログラムが実行され、全ビットがPassした時
点で、ベリファイ用ラッチ回路23b及びプログラム用
ラッチ回路23cがともにリセットされる。
【0027】なお、メモリセルの電圧(Vt)がベリファ
イの判定レベル近傍にある場合には、Pass/Fail 判定が
ベリファイ時の状況により異なることがある。例えば、
一度Passしたセルが次回のベリファイではワードの揺れ
などによりFailと判定されることがある。このような場
合には、一度Passと判定されたデータがラッチからリセ
ットされてしまうとFailビットであっても再プログラム
されることはなくなる。このような不具合を防止するた
め、毎回ベリファイ前にプログラムデータを初期状態に
戻して、改めてベリファイの結果に応じてPassデータの
みリセットをかける(II)(III)(VII)。なお、(VI
I)では、前回のベリファイでPassしたが、次にFailと
なり再びプログラムを行っている例が示されている。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、再プ
ログラムをFailビットについてのみ実行するようにした
から、過剰書き込みによるセルに対する無駄なストレス
がかからなくなるという効果がある。
【0029】また、再プログラムをFailビットについて
のみ実行するようにしたから、電圧供給回路の負担が軽
減されるという効果もある。そして、半導体集積回路が
低電圧化する中で、全ビット分のプログラム電圧を供給
するのは困難となり、数ビットずつの分割書き込み制御
が行われる際、分割書き込みの制御を容易に行うことが
できるという効果もある
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による半導体集積回路の一例を示すブロ
ック図である。
【図2】図1に示す半導体集積回路の要部を示すブロッ
ク図である。
【図3】図1に示す半導体集積回路のベリファイ動作を
説明するためのフローチャートである。
【図4】図1に示す半導体集積回路のベリファイ動作を
説明するためのタイミングチャートである。
【図5】従来の半導体集積回路の要部を示すブロック図
である。
【図6】図5に示す半導体集積回路のベリファイ動作を
説明するためのフローチャートである。
【図7】図5に示す半導体集積回路のベリファイ動作を
説明するためのタイミングチャートである。
【符号の説明】
21 入出力バッファ(I/O)バッファ 22 コマンドコントロール回路 23 ビットコントロール回路 23a ベリファイ回路(EX−OR回路) 23b ベリファイ用ラッチ回路 23c プログラム用ラッチ回路 24 クロック発生器 25 メモリ回路 25a メモリセル(セル) 25b センスアンプ(SA) 25c 書き込み回路 26 アドレスバッファ 27 Xデコーダ 28 Yデコーダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−294565(JP,A) 特開 平6−120454(JP,A) 特開 昭60−15896(JP,A) 特表 平4−507320(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11C 17/00

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のメモリセルを備え、書き込み回路
    によって前記メモリセルにプログラムデータをセルデー
    タとして書き込んで該セルデータが正しく書き込まれて
    いるか否かのベリファイ動作を行うようにした半導体集
    積回路において、前記プログラムデータをベリファイ用
    データとして保持する第1のラッチ回路と、前記プログ
    ラムデータをベリファイ毎にあらためて書き込み用デー
    タとして保持して書き込み回路に与える第2のラッチ回
    路と、前記セルデータと前記ベリファイ用データとをベ
    リファイしてベリファイ結果がパスであると前記書き込
    み用データを1ビットずつリセットするベリファイ手段
    とを有することを特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載された半導体集積回路に
    おいて、前記ベリファイ結果がパスでない場合のみ前記
    第2のラッチ回路から前記書き込み回路にデータが与え
    られて再プログラムを行うようにしたことを特徴とする
    半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載された半導体集積回路に
    おいて、前記ベリファイ手段は前記セルデータが与えら
    れるとともに前記ベリファイ用データが与えられる排他
    的OR回路であることを特徴とする半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載された半導体集積回路に
    おいて、前記書き込み用データとして前記ベリファイ用
    データが前記第1のラッチ回路から前記第2のラッチ回
    路に与えられるようにしたことを特徴とする半導体集積
    回路。
  5. 【請求項5】 請求項1に記載された半導体集積回路に
    おいて、前記ベリファイ結果がパスでない場合にはフェ
    イルビットとされ、前記ベリファイ手段は前記書き込み
    用データを前記フェイルビットを残してリセットして、
    該フェイルビットのみが前記書き込み回路によって前記
    メモリセルに再プログラムされるようにしたことを特徴
    とする半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 請求項1に記載された半導体集積回路に
    おいて、前記ベリファイ手段は前記ベリファイ結果が全
    てのビットについてパスとなると前記第1及び前記第2
    のラッチ回路をリセットするようにしたことを特徴とす
    る半導体集積回路。
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