JP2937716B2 - タンタル固体電解コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents
タンタル固体電解コンデンサ及びその製造方法Info
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- H01G9/022—Electrolytes; Absorbents
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-
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、タンタル固体電解コン
デンサ及びその製造方法に関し、特に導電性高分子化合
物を固体電解質として用いたタンタル固体電解コンデン
サ及びその製造方法に関する。
デンサ及びその製造方法に関し、特に導電性高分子化合
物を固体電解質として用いたタンタル固体電解コンデン
サ及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】タンタル固体電解コンデンサは、一般
に、タンタル粉末を焼結して得られる陽極体と、陽極体
上に形成された誘電体としてのタンタル酸化皮膜と、こ
の酸化皮膜上に形成された固体電解質と、更に固体電解
質上に形成された陰極側導電体とからなる。
に、タンタル粉末を焼結して得られる陽極体と、陽極体
上に形成された誘電体としてのタンタル酸化皮膜と、こ
の酸化皮膜上に形成された固体電解質と、更に固体電解
質上に形成された陰極側導電体とからなる。
【０００３】固体電解質としては、従来、二酸化マンガ
ンを用いたものが良く知られているが、近年、例えば特
公平４−５６４４５号公報（特願昭５８−１４４３７４
号公報）に開示されているように、二酸化マンガンの代
りにポリピロールなどの導電性高分子化合物を用いたコ
ンデンサも提案されている。尚、陰極側導電体には、グ
ラファイト層および銀層が多く用いられている。
ンを用いたものが良く知られているが、近年、例えば特
公平４−５６４４５号公報（特願昭５８−１４４３７４
号公報）に開示されているように、二酸化マンガンの代
りにポリピロールなどの導電性高分子化合物を用いたコ
ンデンサも提案されている。尚、陰極側導電体には、グ
ラファイト層および銀層が多く用いられている。
【０００４】導電性高分子化合物を固体電解質として用
いたコンデンサは、二酸化マンガンを用いたものと比較
して、導電性高分子化合物の導電率が二酸化マンガンに
対して数十倍大きいことから、優れた高周波特性を示
し、近年の電子機器の動作周波数の高周波化に対応する
ものとして注目を集めている。但し、二酸化マンガンは
硝酸マンガンを熱分解することにより形成するので、２
００〜３００℃程度の熱ストレスがくり返しコンデンサ
素子に加えられ、このため酸化皮膜に欠陥が生じ漏れ電
流が増大するという欠点がある。これに対して導電性高
分子化合物を固体電解質として用いた場合は、コンデン
サ素子を高温で処理する必要が無いために、酸化皮膜の
劣化がなく高信頼性の製品を提供できると言われている
（例えば、前述の特公平４−５６４４５号公報参照）。
導電性高分子化合物の種類としては、ポリピロール及び
その誘導体（特公平４−５６４４５および特開昭６４−
４９１２号公報参照）や、例えば特開平２−９８９１５
（特願昭６３−２５０８０３号公報）に開示されている
ようなポリピロール、ポリチオフェン及びその誘導体等
の複素５員環の共重合物又は混合物等がある。
いたコンデンサは、二酸化マンガンを用いたものと比較
して、導電性高分子化合物の導電率が二酸化マンガンに
対して数十倍大きいことから、優れた高周波特性を示
し、近年の電子機器の動作周波数の高周波化に対応する
ものとして注目を集めている。但し、二酸化マンガンは
硝酸マンガンを熱分解することにより形成するので、２
００〜３００℃程度の熱ストレスがくり返しコンデンサ
素子に加えられ、このため酸化皮膜に欠陥が生じ漏れ電
流が増大するという欠点がある。これに対して導電性高
分子化合物を固体電解質として用いた場合は、コンデン
サ素子を高温で処理する必要が無いために、酸化皮膜の
劣化がなく高信頼性の製品を提供できると言われている
（例えば、前述の特公平４−５６４４５号公報参照）。
導電性高分子化合物の種類としては、ポリピロール及び
その誘導体（特公平４−５６４４５および特開昭６４−
４９１２号公報参照）や、例えば特開平２−９８９１５
（特願昭６３−２５０８０３号公報）に開示されている
ようなポリピロール、ポリチオフェン及びその誘導体等
の複素５員環の共重合物又は混合物等がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、導電性
高分子化合物を用いた固体電解質コンデンサは、二酸化
マンガンのみを固体電解質として用いたタンタル固体電
解質コンデンサと比較して高周波特性が優れるという特
徴を有しているが、一方では、単一の化学種で構成して
いることに起因するいくつかの問題点を含んでいる。特
に電解コンデンサの固体電解質としての利用を考えた場
合、導電率と耐熱性とのバランスが問題である。つま
り、ポリピロールとポリアニリンとは両者共、固体電解
コンデンサの固体電解質としての適用が試みられている
ものの、一般的にポリピロールは導電率は高いが耐熱性
が低く、ポリアニリンは逆に耐熱性は高いが導電率が低
いという問題点がある。導電率は高周波特性に直接影響
を与え、また耐熱性はコンデンサの使用温度に影響を与
える。
高分子化合物を用いた固体電解質コンデンサは、二酸化
マンガンのみを固体電解質として用いたタンタル固体電
解質コンデンサと比較して高周波特性が優れるという特
徴を有しているが、一方では、単一の化学種で構成して
いることに起因するいくつかの問題点を含んでいる。特
に電解コンデンサの固体電解質としての利用を考えた場
合、導電率と耐熱性とのバランスが問題である。つま
り、ポリピロールとポリアニリンとは両者共、固体電解
コンデンサの固体電解質としての適用が試みられている
ものの、一般的にポリピロールは導電率は高いが耐熱性
が低く、ポリアニリンは逆に耐熱性は高いが導電率が低
いという問題点がある。導電率は高周波特性に直接影響
を与え、また耐熱性はコンデンサの使用温度に影響を与
える。
【０００６】上記の諸問題を解決するために、基本骨格
を等しくする共重合物あるいは混合物を固体電解質とす
る提案（例えば、ピロール、Ｎ−メチルピロール、Ｎ−
エチルピロールなどの共重合物あるいは混合物。上記特
公平４−５６４４５号公報参照）がなされているが、そ
の効果は十分ではない。一方、前述のように、ポリピロ
ール、ポリチオフェン及びその誘導体の複素５員環の共
重合物あるいは混合物を固体電解質とする提案（上記特
開平２−９８９１５号公報参照）もあるが、構成要素間
に耐熱性および導電率上の有意な差がないことから、こ
の公報にも記載されているように、二酸化マンガンを固
体電解質として用いるコンデンサに比べて高周波特性が
向上するのみである。
を等しくする共重合物あるいは混合物を固体電解質とす
る提案（例えば、ピロール、Ｎ−メチルピロール、Ｎ−
エチルピロールなどの共重合物あるいは混合物。上記特
公平４−５６４４５号公報参照）がなされているが、そ
の効果は十分ではない。一方、前述のように、ポリピロ
ール、ポリチオフェン及びその誘導体の複素５員環の共
重合物あるいは混合物を固体電解質とする提案（上記特
開平２−９８９１５号公報参照）もあるが、構成要素間
に耐熱性および導電率上の有意な差がないことから、こ
の公報にも記載されているように、二酸化マンガンを固
体電解質として用いるコンデンサに比べて高周波特性が
向上するのみである。
【０００７】本発明の目的は、上述の欠点を解決し、優
れた高周波特性と耐熱性能とを併せもつタンタル固体電
解コンデンサを提供することにある。
れた高周波特性と耐熱性能とを併せもつタンタル固体電
解コンデンサを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のタンタル固体電
解コンデンサは、一般式、
解コンデンサは、一般式、
【０００９】
【００１０】で表される繰り返し単位を有するポリピロ
ール若しくはその誘導体と、一般式、
ール若しくはその誘導体と、一般式、
【００１１】
【００１２】で表される繰り返し単位を有するポリアニ
リン若しくはその誘電体との共重合物または混合物にド
ーパントをドープして得られた導電性高分子化合物を固
体電解質とするタンタル固体電解コンデンサである。
リン若しくはその誘電体との共重合物または混合物にド
ーパントをドープして得られた導電性高分子化合物を固
体電解質とするタンタル固体電解コンデンサである。
【００１３】上記の固体電解コンデンサは、前記導電性
高分子化合物の形成を化学酸化重合で行い、その化学酸
化重合を繰り返し実施することにより、前記導電性高分
子化合物の厚さを所望の厚さに調整することを特徴とす
る製造方法によって製造される。
高分子化合物の形成を化学酸化重合で行い、その化学酸
化重合を繰り返し実施することにより、前記導電性高分
子化合物の厚さを所望の厚さに調整することを特徴とす
る製造方法によって製造される。
【００１４】
【作用】すなわち、本発明は、誘電体酸化皮膜上に導電
性高分子化合物を固体電解質として形成してなるタンタ
ル固体電解コンデンサであって、前記導電性高分子化合
物が、導電率の高いポリピロール若しくはその誘導体
と、耐熱性に優れたポリアリニン若しくはその誘導体と
の共重合物又は混合物にドーパントをドープして得られ
るものであることを特徴とするタンタル固体電解コンデ
ンサである。このタンタル固体電解コンデンサを製造す
るには、誘電体酸化皮膜が形成された陽極体を酸化剤溶
液と上記モノマーの混合溶液に交互に浸漬して導電性高
分子化合物を形成する方法や、酸化剤とモノマーとを混
合した溶液を重合反応が進行する温度より低い温度に保
ち、この混合溶液にコンデンサ素子を浸漬した後これを
引き上げ、所定の温度雰囲気で重合反応を進行させるこ
とによって導電性高分子化合物を形成すると共にその膜
厚調整を行なう。可溶性のポリピロール及びその誘導体
とポリアニリン及びその誘導体との混合溶液にタンタル
焼結体を浸漬することによっても、同じ効果が得られ
る。
性高分子化合物を固体電解質として形成してなるタンタ
ル固体電解コンデンサであって、前記導電性高分子化合
物が、導電率の高いポリピロール若しくはその誘導体
と、耐熱性に優れたポリアリニン若しくはその誘導体と
の共重合物又は混合物にドーパントをドープして得られ
るものであることを特徴とするタンタル固体電解コンデ
ンサである。このタンタル固体電解コンデンサを製造す
るには、誘電体酸化皮膜が形成された陽極体を酸化剤溶
液と上記モノマーの混合溶液に交互に浸漬して導電性高
分子化合物を形成する方法や、酸化剤とモノマーとを混
合した溶液を重合反応が進行する温度より低い温度に保
ち、この混合溶液にコンデンサ素子を浸漬した後これを
引き上げ、所定の温度雰囲気で重合反応を進行させるこ
とによって導電性高分子化合物を形成すると共にその膜
厚調整を行なう。可溶性のポリピロール及びその誘導体
とポリアニリン及びその誘導体との混合溶液にタンタル
焼結体を浸漬することによっても、同じ効果が得られ
る。
【００１５】
【実施例】次に、本発明の実施例および従来の技術によ
る比較例により、本発明を更に具体的に説明する。
る比較例により、本発明を更に具体的に説明する。
【００１６】実施例１ タンタル粉末を焼結して作成した陽極体をリン酸水溶液
中で陽極酸化し、焼結体表面にタンタル酸化皮膜を形成
した後、ピロール，アニリン及びエタノールを重量比で
１５：１５：７０の割合で含有するピロール・アニリン
混合溶液に浸漬した。次に、過硫酸アンモニウム，トル
エンスルホン酸，ドデシルベンゼンスルホン酸第二鉄及
びエタノールを重量比で２０：１０：１０：６０の割合
で含有する温度１５℃の酸化剤溶液に浸漬し、酸化皮膜
上に導電性高分子化合物を重合させた。反応終了後、未
反応の酸化剤と過剰の酸とを水洗によって洗浄し、５０
℃で１時間、真空中で乾燥した。次に、生成した導電性
高分子化合物層の上にグラファイト層、銀層を順次形成
し、得られたコンデンサの電気特性、耐熱性能を測定し
た。耐熱性能の評価は、コンデンサを１５０℃の空気中
に放置し、１００ｋＨｚでの等価直列抵抗（ＥＳＲ）が
初期値の２倍となる時間を求めた。
中で陽極酸化し、焼結体表面にタンタル酸化皮膜を形成
した後、ピロール，アニリン及びエタノールを重量比で
１５：１５：７０の割合で含有するピロール・アニリン
混合溶液に浸漬した。次に、過硫酸アンモニウム，トル
エンスルホン酸，ドデシルベンゼンスルホン酸第二鉄及
びエタノールを重量比で２０：１０：１０：６０の割合
で含有する温度１５℃の酸化剤溶液に浸漬し、酸化皮膜
上に導電性高分子化合物を重合させた。反応終了後、未
反応の酸化剤と過剰の酸とを水洗によって洗浄し、５０
℃で１時間、真空中で乾燥した。次に、生成した導電性
高分子化合物層の上にグラファイト層、銀層を順次形成
し、得られたコンデンサの電気特性、耐熱性能を測定し
た。耐熱性能の評価は、コンデンサを１５０℃の空気中
に放置し、１００ｋＨｚでの等価直列抵抗（ＥＳＲ）が
初期値の２倍となる時間を求めた。
【００１７】比較例１ 実施例１と同じ酸化皮膜形成後の陽極体を、ピロールと
エタノールとを重量比で３０：７０の割合で含有するピ
ロール溶液に浸漬した。次にドデシルヘンゼンスルホン
第二鉄とエタノールとを重量比で４０：６０の割合で含
有する温度１５℃の酸化剤溶液に浸漬し、酸化皮膜上に
導電性高分子化合物を重合させた。反応終了後、未反応
の酸化剤と過剰の酸とを水洗によって洗浄し、５０℃で
１時間、真空中で乾燥した。次に、生成した導電性高分
子化合物層の上に、グラファイト層、銀層を順次形成
し、得られたコンデンサの電気特性および耐熱性能を測
定した。
エタノールとを重量比で３０：７０の割合で含有するピ
ロール溶液に浸漬した。次にドデシルヘンゼンスルホン
第二鉄とエタノールとを重量比で４０：６０の割合で含
有する温度１５℃の酸化剤溶液に浸漬し、酸化皮膜上に
導電性高分子化合物を重合させた。反応終了後、未反応
の酸化剤と過剰の酸とを水洗によって洗浄し、５０℃で
１時間、真空中で乾燥した。次に、生成した導電性高分
子化合物層の上に、グラファイト層、銀層を順次形成
し、得られたコンデンサの電気特性および耐熱性能を測
定した。
【００１８】比較例２ 実施例１と同じ酸化皮膜形成後の陽極体を、アニリンと
エタノールとを重量比で３０：７０の割合で含有するア
ニリン溶液に浸漬した。次に、過硫酸アンモニウム，ト
ルエンスルホン酸およびエタノールを重量比で２０：２
０：６０の割合で含有する温度１５℃の酸化剤溶液に浸
漬し、酸気皮膜上に導電性高分子化合物を重合させた。
反応終了後、未反応の酸化剤と過剰の酸とを水洗によっ
て洗浄し、５０℃で１時間、真空中で乾燥した。次に、
生成した導電性高分子化合物層の上に、グラファイト
層、銀層を順次形成し、得られたコンデンサの電気特性
および耐熱性能を測定した。
エタノールとを重量比で３０：７０の割合で含有するア
ニリン溶液に浸漬した。次に、過硫酸アンモニウム，ト
ルエンスルホン酸およびエタノールを重量比で２０：２
０：６０の割合で含有する温度１５℃の酸化剤溶液に浸
漬し、酸気皮膜上に導電性高分子化合物を重合させた。
反応終了後、未反応の酸化剤と過剰の酸とを水洗によっ
て洗浄し、５０℃で１時間、真空中で乾燥した。次に、
生成した導電性高分子化合物層の上に、グラファイト
層、銀層を順次形成し、得られたコンデンサの電気特性
および耐熱性能を測定した。
【００１９】実施例２ ピロール，アニリン及びエタノールを重量比で１５：１
５：７０の割合で含有するピロール・アニリン混合溶液
と、過硫酸アンモニウム，トルエンスルホン酸，デドシ
ルベンスルホン酸第二鉄及びエタノールを重量比で２
０：１０：１０：６０の割合で含む酸化剤溶液とを当量
混合し、この混合液をろ紙でろ過した。ろ紙上の生成物
を水洗によって洗浄し、５０℃で１時間、真空中で乾燥
した。乾燥後、この生成物を錠剤成形機でペッレト化し
た。得られた導電性高分子化合物のペレットの導電率を
三端子法により測定した。次に、実施例１，比較例１及
び２の場合と同じ様に、耐熱性能を評価するために、１
５０℃の空気中に放置し導電率が初期値の２倍となる時
間を求めた。
５：７０の割合で含有するピロール・アニリン混合溶液
と、過硫酸アンモニウム，トルエンスルホン酸，デドシ
ルベンスルホン酸第二鉄及びエタノールを重量比で２
０：１０：１０：６０の割合で含む酸化剤溶液とを当量
混合し、この混合液をろ紙でろ過した。ろ紙上の生成物
を水洗によって洗浄し、５０℃で１時間、真空中で乾燥
した。乾燥後、この生成物を錠剤成形機でペッレト化し
た。得られた導電性高分子化合物のペレットの導電率を
三端子法により測定した。次に、実施例１，比較例１及
び２の場合と同じ様に、耐熱性能を評価するために、１
５０℃の空気中に放置し導電率が初期値の２倍となる時
間を求めた。
【００２０】比較例３ ピロールとエタノールとを重量比で３０：７０の割合で
含有するピロール溶液と、ドデシルベンゼンスルホン酸
第二鉄及びエタノールを重量比で４０：６０の割合で含
有する酸化剤溶液とを当量混合し、実施例１と同じ操作
をくり返し、導電率および耐熱性能を評価した。
含有するピロール溶液と、ドデシルベンゼンスルホン酸
第二鉄及びエタノールを重量比で４０：６０の割合で含
有する酸化剤溶液とを当量混合し、実施例１と同じ操作
をくり返し、導電率および耐熱性能を評価した。
【００２１】比較例４ アニリンとエタノールとを重量比で３０：７０の割合で
含有するアニリン溶液と、過硫酸アンモニウム，トルエ
ンスルホン酸及びエタノールを重量比で２０：２０：６
０の割合で含有する酸化剤溶液とを当量混合し、実施例
１と同じ操作を繰り返して導電率および耐熱性能を評価
した。
含有するアニリン溶液と、過硫酸アンモニウム，トルエ
ンスルホン酸及びエタノールを重量比で２０：２０：６
０の割合で含有する酸化剤溶液とを当量混合し、実施例
１と同じ操作を繰り返して導電率および耐熱性能を評価
した。
【００２２】上述の実施例１，比較例１及び２で作成し
たコンデンサの電気特性及び耐熱性能を表１に示す。
又、実施例２，比較例３及び４で作成した導電性高分子
ペレットの導電率及び耐熱性能を表２に示す。
たコンデンサの電気特性及び耐熱性能を表１に示す。
又、実施例２，比較例３及び４で作成した導電性高分子
ペレットの導電率及び耐熱性能を表２に示す。
【００２３】
【表１】
【００２４】
【表２】
【００２５】表１及び表２を参照すると、本発明の実施
例１，２は、ポリピロール単独の高分子化合物を固体電
解質とするもの（比較例１および３）に比べて、耐熱性
能が６〜１０倍程度に向上している。又、ポリアニリン
単独の高分子化合物を固体電解質とするもの（比較例２
及び４）に比べて、固体電解質の導電率が約２倍程度に
高くなっている。すなわち、実施例１および２は、それ
ぞれポリピロール及びポリアニリンの持つ優れた性質を
兼ね備えていることが分る。
例１，２は、ポリピロール単独の高分子化合物を固体電
解質とするもの（比較例１および３）に比べて、耐熱性
能が６〜１０倍程度に向上している。又、ポリアニリン
単独の高分子化合物を固体電解質とするもの（比較例２
及び４）に比べて、固体電解質の導電率が約２倍程度に
高くなっている。すなわち、実施例１および２は、それ
ぞれポリピロール及びポリアニリンの持つ優れた性質を
兼ね備えていることが分る。
【００２６】尚、上述の実施例において、導電性高分子
化合物を生成する際の化学酸化重合を繰り返せば、その
回数により固体電解質の厚さを調整し、そのＥＳＲおよ
び耐熱性の度合をコントロールできることを確認した。
化合物を生成する際の化学酸化重合を繰り返せば、その
回数により固体電解質の厚さを調整し、そのＥＳＲおよ
び耐熱性の度合をコントロールできることを確認した。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のタンタル
固体電解コンデンサは、固体電解質にポリピロール若し
くはその誘導体とポリアニリン若しくはその誘導体との
共重合物又は混合物にドーパントをドープして得られる
導電性高分子化合物を用いているために、高周波特性に
優れ、かつ耐熱性能にも優れるタンタル固体電解コンデ
ンサである。
固体電解コンデンサは、固体電解質にポリピロール若し
くはその誘導体とポリアニリン若しくはその誘導体との
共重合物又は混合物にドーパントをドープして得られる
導電性高分子化合物を用いているために、高周波特性に
優れ、かつ耐熱性能にも優れるタンタル固体電解コンデ
ンサである。
【００２８】このような優れたタンタル固体電解コンデ
ンサは、導電性高分子化合物の形成を化学酸化重合で行
い、その化学酸化重合を繰り返し実施することにより、
導電性高分子化合物の厚さを所望の厚さに調整すること
を特徴とする本発明の製造方法により、固体電解質層の
厚さの再現性よく、すなわち導電率および耐熱性発現の
制御性良く製造することができる。
ンサは、導電性高分子化合物の形成を化学酸化重合で行
い、その化学酸化重合を繰り返し実施することにより、
導電性高分子化合物の厚さを所望の厚さに調整すること
を特徴とする本発明の製造方法により、固体電解質層の
厚さの再現性よく、すなわち導電率および耐熱性発現の
制御性良く製造することができる。
フロントページの続き (72)発明者 深海 隆 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 小林 淳 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (72)発明者 荒井 智次 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気 株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−98915（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−239617（ＪＰ，Ａ) 特公 平４−56445（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (2)
- 【請求項１】 一般式、 で表される繰り返し単位を有するポリピロール若しくは
その誘導体と、一般式、 で表される繰り返し単位を有するポリアニリン若しくは
その誘電体との共重合物または混合物にドーパントをド
―プして得られた導電性高分子化合物を固体電解質とす
るタンタル固体電解コンデンサ。 - 【請求項２】 前記導電性高分子化合物の形成を化学酸
化重合で行い、その化学酸化重合を繰り返し実施するこ
とにより、前記導電性高分子化合物の厚さを所望の厚さ
に調整することを特徴とする請求項１記載のタンタル固
体電解コンデンサの製造方法。
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|---|---|---|---|
| JP5288931A JP2937716B2 (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | タンタル固体電解コンデンサ及びその製造方法 |
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| DE69408284T DE69408284T2 (de) | 1993-11-18 | 1994-11-15 | Festelektrolytkondensator |
| EP94118041A EP0654804B1 (en) | 1993-11-18 | 1994-11-15 | Solid electrolytic capacitor |
| KR1019940030357A KR0164234B1 (ko) | 1993-11-18 | 1994-11-18 | 고체 전해 콘덴서 및 이의 제조방법 |
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|---|---|---|---|
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| JP3251208B2 (ja) * | 1997-07-24 | 2002-01-28 | 富山日本電気株式会社 | 固体電解コンデンサの製造方法 |
| KR100596166B1 (ko) * | 1998-06-11 | 2006-07-03 | 쇼와 덴코 가부시키가이샤 | 단판 콘덴서 소자 및 적층형 고체 전해 콘덴서 |
| EP1100097B1 (en) * | 1998-06-25 | 2008-08-06 | Nichicon Corporation | Process for producing a solid electrolytic capacitor |
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| JP4036985B2 (ja) * | 1998-10-26 | 2008-01-23 | 三洋電機株式会社 | 固体電解コンデンサ |
| JP2000235937A (ja) | 1999-02-16 | 2000-08-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体電解コンデンサおよびその製造方法 |
| JP2000243665A (ja) | 1999-02-17 | 2000-09-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体電解コンデンサおよびその製造方法 |
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| JP3663952B2 (ja) | 1999-02-17 | 2005-06-22 | 松下電器産業株式会社 | 固体電解コンデンサの製造方法 |
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| US6483694B1 (en) * | 1999-06-22 | 2002-11-19 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Electrode for electrolytic capacitor, electrolytic capacitor, and manufacturing method therefor |
| JP2001081220A (ja) * | 1999-09-20 | 2001-03-27 | Honda Motor Co Ltd | 高分子複合膜、その製造方法、ならびに高分子固体電解質膜 |
| US6334945B1 (en) | 2000-09-07 | 2002-01-01 | Kemet Electronics Corporation | Aging process for solid electrode capacitor |
| CN1226760C (zh) * | 2001-02-08 | 2005-11-09 | 松下电器产业株式会社 | 固体电解电容的制造方法及固体电解电容 |
| US7061772B2 (en) * | 2002-08-05 | 2006-06-13 | Nec Tokin Corporation | Electronic circuit with transmission line type noise filter |
| US6682989B1 (en) * | 2002-11-20 | 2004-01-27 | Intel Corporation | Plating a conductive material on a dielectric material |
| MXPA05008151A (es) * | 2003-02-07 | 2005-10-05 | Showa Denko Kk | Capacitor y metodo de produccion del capacitor. |
| US7218506B2 (en) * | 2004-03-31 | 2007-05-15 | Tdk Corporation | Electrolytic capacitor and method of manufacturing the same |
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| US7423862B2 (en) * | 2004-12-24 | 2008-09-09 | Showa Denko K.K. | Solid electrolytic capacitor element, solid electrolytic capacitor and production method thereof |
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| JPS61239617A (ja) * | 1985-04-16 | 1986-10-24 | 昭和電工株式会社 | 固体電解コンデンサ |
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| JPH0697494B2 (ja) * | 1987-06-29 | 1994-11-30 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
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| JPH0456445A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-02-24 | Mitsubishi Electric Corp | ネットワークシステム試験方式 |
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- 1993-11-18 JP JP5288931A patent/JP2937716B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1994
- 1994-11-14 US US08/339,681 patent/US5428500A/en not_active Expired - Lifetime
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