JP2852156B2 - Ｉｃ検査装置の自己診断方法 - Google Patents
Ｉｃ検査装置の自己診断方法Info
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- JP2852156B2 JP2852156B2 JP4099067A JP9906792A JP2852156B2 JP 2852156 B2 JP2852156 B2 JP 2852156B2 JP 4099067 A JP4099067 A JP 4099067A JP 9906792 A JP9906792 A JP 9906792A JP 2852156 B2 JP2852156 B2 JP 2852156B2
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- Japan
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ検査装置の自己診
断方法に係わり、特に設定した時刻に自動的に自己診断
プログラムを実行する自己診断方法に関する。
断方法に係わり、特に設定した時刻に自動的に自己診断
プログラムを実行する自己診断方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ検査装置の概略の構成としては、図
４に示すように、被測定ＩＣ１の特性試験（ＤＣテス
ト，ＡＣテスト，ファンクションテスト等）を実行する
計測部２と、計測部２の機能を制御する制御部３と、外
部接続機器５であるハンドラ又はプローバを制御部３に
よりコントロールするためのＩ／Ｆ部４とを有してお
り、ＩＣ検査装置が正常に機能するかどうかを確認する
手段として、固定の自己診断プログラムによる自己診断
（機能性能試験）を行なっている。
４に示すように、被測定ＩＣ１の特性試験（ＤＣテス
ト，ＡＣテスト，ファンクションテスト等）を実行する
計測部２と、計測部２の機能を制御する制御部３と、外
部接続機器５であるハンドラ又はプローバを制御部３に
よりコントロールするためのＩ／Ｆ部４とを有してお
り、ＩＣ検査装置が正常に機能するかどうかを確認する
手段として、固定の自己診断プログラムによる自己診断
（機能性能試験）を行なっている。
【０００３】従来の自己診断方法は、オペレータの操作
により自己診断を実行する場合と固定の自己診断プログ
ラムを所定の時間に自動的に実行することができる自動
自己診断によるものがある。
により自己診断を実行する場合と固定の自己診断プログ
ラムを所定の時間に自動的に実行することができる自動
自己診断によるものがある。
【０００４】特に自動自己診断方法では、従来制御部３
に対して自己診断実行のための割込みコントロールを行
なう自己診断実行コントロール部６と自己診断コントロ
ール部６が割込みを行なう時刻を設定する時刻設定部９
とを有しており、自己診断を実行する自己診断プログラ
ム１２は、計測部２のさまざまな機能チェックを行なう
固定のプログラムのみであった。又、１日の間に自己診
断を実行する時刻設定の可能数も数項目であった。
に対して自己診断実行のための割込みコントロールを行
なう自己診断実行コントロール部６と自己診断コントロ
ール部６が割込みを行なう時刻を設定する時刻設定部９
とを有しており、自己診断を実行する自己診断プログラ
ム１２は、計測部２のさまざまな機能チェックを行なう
固定のプログラムのみであった。又、１日の間に自己診
断を実行する時刻設定の可能数も数項目であった。
【０００５】次に、この図４の従来技術を図５の動作フ
ロー図を用いて説明する。
ロー図を用いて説明する。
【０００６】従来の自己診断方法は自己診断の設定時刻
１３となると外部接続機器５に対して一時停止要求１５
を送り、制御部３内のメモリ上に収集されている測定デ
ータ１６（ピンデータ，デバイスプログラム等）を記憶
部７にセーブし、自己診断実行１７を行なう。自己診断
実行後、制御部３内のメモリに測定データ復帰１８を行
ない、自己診断結果１９が正常であれば外部接続機器５
に対し動作の再開要求２０を送り測定を再開する。自己
診断結果１９が異常である場合は、そのままストップ２
１状態を維持し、装置の修理２２を持つ。
１３となると外部接続機器５に対して一時停止要求１５
を送り、制御部３内のメモリ上に収集されている測定デ
ータ１６（ピンデータ，デバイスプログラム等）を記憶
部７にセーブし、自己診断実行１７を行なう。自己診断
実行後、制御部３内のメモリに測定データ復帰１８を行
ない、自己診断結果１９が正常であれば外部接続機器５
に対し動作の再開要求２０を送り測定を再開する。自己
診断結果１９が異常である場合は、そのままストップ２
１状態を維持し、装置の修理２２を持つ。
【０００７】修理完了後、外部接続機器５に対し動作の
再開要求２０を送り、測定を再開する。以上の動作フロ
ーを自己診断の設定時刻となるごとに繰り返す。
再開要求２０を送り、測定を再開する。以上の動作フロ
ーを自己診断の設定時刻となるごとに繰り返す。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】この従来の自己診断方
法は、自己診断を自動的に実行するための自己診断実行
コントロール部６および自己診断コントロール部６が制
御部３に対して割込みを行なう時刻を設定する時刻設定
部９しか有していないために、固定の自己診断プログラ
ム１２を時刻設定部９に設定された時刻に実行すること
しかできず、ＩＣ測定装置の不良発生頻度が高い項目及
び不良発生頻度を低い項目を含めて全自己診断項目の自
己診断を毎回実行するものであるために、非効率的であ
った。また、自己診断の実行時間が長くなるという問題
点があった。
法は、自己診断を自動的に実行するための自己診断実行
コントロール部６および自己診断コントロール部６が制
御部３に対して割込みを行なう時刻を設定する時刻設定
部９しか有していないために、固定の自己診断プログラ
ム１２を時刻設定部９に設定された時刻に実行すること
しかできず、ＩＣ測定装置の不良発生頻度が高い項目及
び不良発生頻度を低い項目を含めて全自己診断項目の自
己診断を毎回実行するものであるために、非効率的であ
った。また、自己診断の実行時間が長くなるという問題
点があった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のＩＣ検査装置の
自己診断方法は、自己診断実行時刻を自由に設定可能な
時刻設定部と、個別の自己診断プログラムの実行日間隔
を自由に設定可能な日間隔設定部と、自己診断実行時刻
に実行する自己診断プログラムを自由に設定可能な自己
診断プログラム名設定部とを有して自己診断定義部を構
成し、前記自己診断プログラム名設定部の設定に基づい
た前記自己診断プログラムを実行するに際して、前記時
刻設定部で設定された時刻になったときに前記日間隔設
定部で設定された日間隔と一致したときには当該自己診
断プログラムによる自己診断を行い、前記時刻設定部で
設定された時刻になったときに前記日間隔設定部で設定
された日間隔と一致しないときには当該自己診断プログ
ラムによる自己診断を行わないようにし、且つある時刻
に数種類の日間隔の設定がされて日間隔が重なる日の場
合は、長い日間隔を優先することを特徴とする。
自己診断方法は、自己診断実行時刻を自由に設定可能な
時刻設定部と、個別の自己診断プログラムの実行日間隔
を自由に設定可能な日間隔設定部と、自己診断実行時刻
に実行する自己診断プログラムを自由に設定可能な自己
診断プログラム名設定部とを有して自己診断定義部を構
成し、前記自己診断プログラム名設定部の設定に基づい
た前記自己診断プログラムを実行するに際して、前記時
刻設定部で設定された時刻になったときに前記日間隔設
定部で設定された日間隔と一致したときには当該自己診
断プログラムによる自己診断を行い、前記時刻設定部で
設定された時刻になったときに前記日間隔設定部で設定
された日間隔と一致しないときには当該自己診断プログ
ラムによる自己診断を行わないようにし、且つある時刻
に数種類の日間隔の設定がされて日間隔が重なる日の場
合は、長い日間隔を優先することを特徴とする。
【００１０】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の実施例のにおけるシステムの構成図
である。
る。図１は本発明の実施例のにおけるシステムの構成図
である。
【００１１】本発明のＩＣ測定装置の自動診断方法は、
計測部２の機能チェックを定期的に自動で実行するため
のものであり、自己診断定義部８に設定されている内容
に従って自己診断コントロール部６が制御部３に対して
割込みを実施し、設定されている自己診断プログラム名
の自己診断プログラムを実行するものである。自己診断
定義部８は、自己診断実行時刻を自由に設定可能な時刻
設定部９と個別の自己診断プログラムの実行日間隔を自
由に設定可能な日間隔設定部１０と自己診断実行時刻に
実行する自己診断プログラム名を自由に設定可能な自己
診断プログラム名設定部１１を有している。
計測部２の機能チェックを定期的に自動で実行するため
のものであり、自己診断定義部８に設定されている内容
に従って自己診断コントロール部６が制御部３に対して
割込みを実施し、設定されている自己診断プログラム名
の自己診断プログラムを実行するものである。自己診断
定義部８は、自己診断実行時刻を自由に設定可能な時刻
設定部９と個別の自己診断プログラムの実行日間隔を自
由に設定可能な日間隔設定部１０と自己診断実行時刻に
実行する自己診断プログラム名を自由に設定可能な自己
診断プログラム名設定部１１を有している。
【００１２】又、自己診断プログラム名に対応する、自
己診断内容の異なる自己診断プログラム１２は、あらか
じめ数種類用意しておき、自己診断定義部８の自己診断
プログラム名設定部１１の設定に基づき、実際の自己診
断を実行する。
己診断内容の異なる自己診断プログラム１２は、あらか
じめ数種類用意しておき、自己診断定義部８の自己診断
プログラム名設定部１１の設定に基づき、実際の自己診
断を実行する。
【００１３】以上が本発明の自動自己診断方法の概略で
あるが、次に本発明の第１の実施例について図２の動作
フロー図を用いて詳細に説明する。
あるが、次に本発明の第１の実施例について図２の動作
フロー図を用いて詳細に説明する。
【００１４】まず、自己診断定義部８の時刻設定部９に
設定されている所定の時刻１３となった場合、自己診断
定義部８は、初期設定してある基準日から日間隔設定部
１０の日間隔の設定が一致しているかどうか日間隔判別
１４を行ない、一致しない場合は、そのまま次の設定時
刻を待つ。又、ある時刻に、数種類の日間隔の設定がさ
れており、日間隔が重なる日の場合は、長い日間隔の設
定を優先することとし、長い日間隔で設定されている自
己診断プログラム名の自己診断プログラムを実行する。
設定されている所定の時刻１３となった場合、自己診断
定義部８は、初期設定してある基準日から日間隔設定部
１０の日間隔の設定が一致しているかどうか日間隔判別
１４を行ない、一致しない場合は、そのまま次の設定時
刻を待つ。又、ある時刻に、数種類の日間隔の設定がさ
れており、日間隔が重なる日の場合は、長い日間隔の設
定を優先することとし、長い日間隔で設定されている自
己診断プログラム名の自己診断プログラムを実行する。
【００１５】日間隔が一致した場合、自己診断コントロ
ール部６から制御部３に対して自己診断実行の割込みを
行ない、制御部３は、外部接続機器５にＩ／Ｆ部４を通
して一時停止要求１５を送る。測定動作停止後、制御部
３内のメモリ上に収集されている測定データを記憶部７
に測定データセーブ１６を行ない、自己診断プログラム
名設定部１１に設定されている自己診断プログラム名の
自己診断プログラムを実行する。
ール部６から制御部３に対して自己診断実行の割込みを
行ない、制御部３は、外部接続機器５にＩ／Ｆ部４を通
して一時停止要求１５を送る。測定動作停止後、制御部
３内のメモリ上に収集されている測定データを記憶部７
に測定データセーブ１６を行ない、自己診断プログラム
名設定部１１に設定されている自己診断プログラム名の
自己診断プログラムを実行する。
【００１６】自己診断終了後、制御部３は記憶部７にセ
ーブしておいた測定データ復帰１８を行ない、自己診断
結果１９が正常であれば、外部接続機器５に再開要求２
０を送り、測定動作を再開する。
ーブしておいた測定データ復帰１８を行ない、自己診断
結果１９が正常であれば、外部接続機器５に再開要求２
０を送り、測定動作を再開する。
【００１７】自己診断結果１９が異常である場合は、そ
のままストップ２１状態を維持し、装置の修理２２完了
後、外部接続機器５に対し再開要求２０を送り、測定を
再開する。
のままストップ２１状態を維持し、装置の修理２２完了
後、外部接続機器５に対し再開要求２０を送り、測定を
再開する。
【００１８】以上の動作フローを自己診断の設定時刻と
なるごとに繰り返す。
なるごとに繰り返す。
【００１９】次に本発明の第２の実施例の動作を図３の
動作フロー図を用いて説明をする。
動作フロー図を用いて説明をする。
【００２０】第２の実施例は、前述した第１の実施例の
自己診断実行１７と自己診断結果１９の間に自己診断結
果のデータ（自己診断実行日時、自己診断プログラム
名、自己診断結果、不良項目等）を記憶部７にセーブす
る、自己診断結果データセーブ２３機能を有することを
特徴とし、過去の自己診断履歴を確認、トレースするこ
とが可能である。
自己診断実行１７と自己診断結果１９の間に自己診断結
果のデータ（自己診断実行日時、自己診断プログラム
名、自己診断結果、不良項目等）を記憶部７にセーブす
る、自己診断結果データセーブ２３機能を有することを
特徴とし、過去の自己診断履歴を確認、トレースするこ
とが可能である。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、自己診断
の実行が任意の時刻に任意の日間隔で任意の自己診断プ
ログラムでできるようにしたので、ＩＣ検査装置の不良
発生頻度が高い項目用の自己診断プログラムは、高い頻
度で実行し、不良発生頻度の低い項目用の自己診断プロ
グラムの実行は低い頻度で実行することが可能となり、
ＩＣ検査装置の信頼性の向上、及び自己診断プログラム
を細分化し、効率的な自己診断の実行による時刻診断時
間の短縮ができるという効果を有する。
の実行が任意の時刻に任意の日間隔で任意の自己診断プ
ログラムでできるようにしたので、ＩＣ検査装置の不良
発生頻度が高い項目用の自己診断プログラムは、高い頻
度で実行し、不良発生頻度の低い項目用の自己診断プロ
グラムの実行は低い頻度で実行することが可能となり、
ＩＣ検査装置の信頼性の向上、及び自己診断プログラム
を細分化し、効率的な自己診断の実行による時刻診断時
間の短縮ができるという効果を有する。
【図１】本発明の実施例におけるシステムの構成図。
【図２】本発明の第１の実施例の動作フロー図。
【図３】本発明の第２の実施例の動作フロー図。
【図４】従来技術を示す構成図。
【図５】従来技術の動作フロー図。
１ ＩＣ ２ 計測部 ３ 制御部 ４ Ｉ／Ｆ部 ５ 外部接続機器 ６ 自己診断コントロール部 ７ 記憶部 ８ 自己診断定義部 ９ 時刻設定部 １０ 日間隔設定部 １１ 自己診断プログラム名設定部 １２ 自己診断プログラム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−196891（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−62131（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−173311（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−277984（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−101146（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−116890（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−4994（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−92108（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01D 21/00 G01R 31/00 G01R 31/28 G01R 35/00 H01L 21/66
Claims (2)
- 【請求項１】 自己診断実行時刻を自由に設定可能な時
刻設定部と、個別の自己診断プログラムの実行日間隔を
自由に設定可能な日間隔設定部と、自己診断実行時刻に
実行する自己診断プログラムを自由に設定可能な自己診
断プログラム名設定部とを有して自己診断定義部を構成
し、前記自己診断プログラム名設定部の設定に基づいた
前記自己診断プログラムを実行するに際して、前記時刻
設定部で設定された時刻になったときに前記日間隔設定
部で設定された日間隔と一致したときには当該自己診断
プログラムによる自己診断を行い、前記時刻設定部で設
定された時刻になったときに前記日間隔設定部で設定さ
れた日間隔と一致しないときには当該自己診断プログラ
ムによる自己診断を行わないようにし、且つある時刻に
数種類の日間隔の設定がされて日間隔が重なる日の場合
は、長い日間隔を優先することを特徴とするＩＣ検査装
置の自己診断方法。 - 【請求項２】 自己診断の実行ステップと、自己診断の
結果判定ステップとの間に、前記実行による結果データ
を記憶部に保存させるステップを有することを特徴とす
る請求項１記載のＩＣ検査装置の自己診断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4099067A JP2852156B2 (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | Ｉｃ検査装置の自己診断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4099067A JP2852156B2 (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | Ｉｃ検査装置の自己診断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05296802A JPH05296802A (ja) | 1993-11-12 |
| JP2852156B2 true JP2852156B2 (ja) | 1999-01-27 |
Family
ID=14237475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4099067A Expired - Fee Related JP2852156B2 (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | Ｉｃ検査装置の自己診断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2852156B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999030176A1 (fr) * | 1997-12-09 | 1999-06-17 | Hitachi, Ltd. | Circuit integre a semi-conducteur et procede de diagnostic de circuit logique |
| JP5249123B2 (ja) * | 2009-05-11 | 2013-07-31 | 株式会社アドバンテスト | 診断機能を備える装置、診断方法、およびプログラム |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59100211U (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-06 | 株式会社日立製作所 | 自動試験装置 |
| JPS60196891A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-05 | 松下電器産業株式会社 | デ−タ入出力機器 |
| JPH0362131A (ja) * | 1989-07-28 | 1991-03-18 | Nec Corp | マルチプロセッサシステム |
| JPH03101146A (ja) * | 1989-09-13 | 1991-04-25 | Seiko Instr Inc | Ｉｃ検査装置 |
| JPH03173311A (ja) * | 1989-11-29 | 1991-07-26 | Hikari Shoko Kk | 地絡継電装置の自己診断方式 |
| JPH03277984A (ja) * | 1990-03-28 | 1991-12-09 | Nec Corp | 半導体集積回路試験パターン生成装置 |
-
1992
- 1992-04-20 JP JP4099067A patent/JP2852156B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05296802A (ja) | 1993-11-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981013 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
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