JP2930028B2 - 半導体試験方法及びその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、自己診断機能を有
する半導体試験方法及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５に、従来の半導体試験の作業フロー
を示す。半導体試験装置（以下、テスタという）で半導
体装置（以下、ＩＣという）の試験を開始するとき、ま
ず、治工具の取り付け，被試験ＩＣに対応した試験プロ
グラムの入力，試験条件の入力，被試験ＩＣの仕掛け等
の準備作業を行い、準備作業が終了した後、試験を開始
する。

【０００３】通常、被試験ＩＣは、数千個のロット単位
で管理されて試験が行われる。１ロットの試験が終了し
た後、被試験ＩＣを取り出して試験結果の確認及び整理
等の終了作業を行う。終了作業が終わった後、次ロット
の被試験ＩＣの準備作業を行い、前述した作業を同様に
繰り返す。

【０００４】また、テスタは、ＩＣを試験するための性
能および機能を正常に維持するために、定期的に自己診
断を行う必要があり、自己診断を行うには、上述した作
業を一時中断して自己診断プログラムを実行していた。
自己診断を行う頻度は、テスタの性能不良による不良Ｉ
Ｃの流出を防止するため、１日に１回程度もしくは数日
ないし数週間に１回程度で実施されていた。

【０００５】数千個のロットで構成される被試験ＩＣの
全個数を試験するのに要する時間は、数時間から数十時
間程度であり、準備作業および終了作業に要する時間
は、各々数分から数十分程度である。そのため自己診断
を行うタイミングは、確率的には図５に示すように試験
中に作業を中断して行うことが多かった。

【０００６】図６に、テスタの処理フローを示す。テス
タは、ハンドリング装置からロット開始信号と試験開始
要求信号を順次受信して試験を実行し、試験が終了した
ときにテスタは、ハンドリング装置に試験終了信号を送
信する。試験終了信号を送信後、自己診断の割り込みが
なければ、ハンドリング装置から再び試験開始要求信号
を受信して次のＩＣの試験を実施する。

【０００７】以後、被試験ＩＣがなくなるまで前述した
処理が繰り返し実行され、被試験ＩＣがなくなると、テ
スタは、ハンドリング装置からロット終了信号を受信
し、処理を終了する。

【０００８】前述した処理フローにおいて、自己診断の
割り込みがあった場合は、次の被試験ＩＣの試験を待機
させ、自己診断を自動実行する。自己診断終了後、診断
結果が異常なければ、診断結果の表示および保存を行
い、次の試験ＩＣの試験を実行する。診断結果に異常が
あった場合は、診断結果の表示と保存を行い、処理が終
了する。

【０００９】自己診断の自動実行方法は、実開昭５９−
８２８８０号および特開昭６０−２２６７５号公報に記
載されているように、あらかじめテスタのコンピュータ
のメモリ上に自己診断プログラムを記憶させておき、カ
ウンタにより被試験ＩＣの試験回数をカウントし、定め
られた任意の回数の試験が行われたときに自己診断を行
うルーチンにジャンプして自己診断を実行していた。

【００１０】又は、テスタが本来の機能動作（Ｔｅｓｔ
ｉｎｇ又はＤａｔａ−Ｌｏｇｇｉｎｇ）を要求されてい
ない場合が発生したときに自己診断を行うルーチンにジ
ャンプして自己診断を実行していた。この場合、本来の
機能動作の要求があった場合は、直ちに自己診断を終了
してメインルーチンにジャンプして本来の機能動作を実
行していた。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た自己診断の自動実行方法では、テスタの本来の機能動
作を実行する稼働時間を低下させてしまうという問題が
あった。

【００１２】前述した自己診断の自動実行方法におい
て、前者はテスタの本来の機能動作に強制的に割り込
み、完全にテスタの本来の機能動作を停止させてしま
う。後者は、自己診断が実行されてから自己診断の途中
にテスタの本来の機能動作の要求があると自己診断が中
断されてしまうため、再度、別のタイミングで自己診断
を実行しなければならなかった。

【００１３】前記問題の改善方法として、テスタが本来
の機能動作を実行していない不稼働時間をタイマーによ
り検出して自己診断を自動実行し、自己診断の途中にテ
スタの本来の機能動作の要求があった場合は、それまで
の自己診断結果をレジスタに保存して自己診断を終了し
て本来の機能動作を実行し、次に検出される不稼働時間
に、レジスタに保存されている前回の自己診断結果の続
きから自己診断を自動実行をしていた。前記方法は、特
開平４−１８４１７６号公報に記載されている方法であ
る。

【００１４】しかしながら、前述した従来の技術では、
テスタの不稼働時間をタイマーにより検出しているた
め、検出されるまでの時間はテスタの不稼働時間とな
り、テスタの稼働時間を低減させてしまうという問題が
あった。

【００１５】本発明の目的は、テスタの自己診断を効率
良く自動実行することにより、テスタの不稼働時間を低
減し、テスタの稼働効率を向上させる半導体試験方法及
びその装置を提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る半導体試験方法は、外部に接続された
ハンドリング装置からの試験終了信号（ロット終了信
号）により自己診断プログラムを自動実行し、試験開始
信号（ロット開始信号）により自己診断プログラムを自
動停止させ、且つ停止時にはそれまでの自己診断結果を
保持し、次の試験終了信号を受信するか、又は定められ
た時刻に達したときに、それまでの自己診断の続きから
自己診断を実行するものである。

【００１７】また本発明に係る半導体試験装置は、自己
診断制御部と、診断結果制御部と、診断項目制御部とを
有する半導体試験装置であって、自己診断制御部は、ハ
ンドリング装置からの制御信号及びタイマーボードから
の計時信号により自己診断の実行と停止を制御するもの
であり、診断結果制御部は、前記自己診断制御部による
自己診断の結果の保存と表示を制御するものであり、診
断項目制御部は、前記自己診断制御部による自己診断の
項目を制御するものである。

【００１８】

【作用】テスタは、ハンドリング装置からロット試験終
了信号を受信すると、制御ソフトウエアにより自己診断
が自動実行され、次にロット試験開始信号を受信する
と、自己診断が中止され、それまでの自己診断結果が保
存及び表示されて被試験ＩＣの試験を実行する。次に、
ロット試験終了信号を受信する、或いは指定された任意
の時刻に達したときに、それまでの自己診断の続きから
自己診断を自動実行する。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
より説明する。

【００２０】（実施形態１）図１は、本発明の実施形態
１に係る半導体試験装置を示す構成図である。

【００２１】図において、テスタ１は、テスタ１を制御
するためのコンピュータ２が接続されており、且つコン
ピュータ２はハンドリング装置３と接続されている。コ
ンピュータ２は、試験プログラムの実行及び制御を行う
試験制御部として機能するソフトウエア（以下、試験制
御部という）４と、ハンドリング装置３との通信を制御
する通信制御部として機能するソフトウエア（以下、通
信制御部という）５と、自己診断プログラムの実行と停
止を制御する自己診断制御部として機能するソフトウエ
ア（以下、自己診断制御部という）６と、自己診断の結
果の保存及び表示を制御する診断結果制御部として機能
するソフトウエア（以下、診断結果制御部という）７
と、自己診断プログラムの実行項目を制御する診断項目
制御部として機能するソフトウエア（以下、診断項目制
御部という）８とをロードしている。また、コンピュー
タ２には、計時を行うタイマーボード９を搭載してい
る。

【００２２】次に本発明の実施形態の動作を図１及び図
２に基づいて説明する。まず、テスタ１にて試験を開始
する前に、事前に外部から自己診断プログラムを実行す
る時刻の条件を入力しておく。入力する時刻の条件は、
月日，曜日，時刻等を任意に選択して入力し、通信制御
部５上のソフトウエアレジスタに記憶しておくか、又は
データＦＩＬＥ化してハードディスク等に記憶してお
く。

【００２３】テスタ１は、ハンドリング装置３からのロ
ット開始信号と試験開始要求信号を、通信制御部５から
順次受信すると、通信制御部５から試験制御部４に対し
試験開始要求が送信され、試験制御部４は、試験プログ
ラムの実行と制御を行い試験を実行する。

【００２４】試験制御部４による試験が終了した時点に
てテスタ１は、通信制御部５によりハンドリング装置３
に試験終了信号を送信する。試験終了信号を送信後、通
信制御部５は、タイマーボード９から時刻を読み出し
て、事前に入力された自己診断プログラムを実行する時
刻の条件と比較を行う。比較結果が不一致ならば、ハン
ドリング装置３から再び試験開始要求を受信し、試験制
御部４に対し試験開始要求を送信し、次の被試験ＩＣの
試験を実行する。

【００２５】前述した処理フローにおいて、自己診断プ
ログラムを実行する時刻の条件が一致した場合、通信制
御部５は、試験制御部４に対して次の被試験ＩＣの試験
を待機させる要求信号を送信し、診断項目制御部８に対
し自己診断プログラムの実行要求を送信する。

【００２６】診断項目制御部８は、診断結果制御部７に
より保存された前回の自己診断結果を検索し、前回まで
に終了している診断項目を検出する。検出終了後、診断
項目制御部８は、自己診断制御部６に対して、自己診断
が終了している項目の続きから自己診断を実行するよう
要求信号を送信し、前回の続きの項目から自己診断が実
行される。

【００２７】自己診断終了後、診断結果制御部７は、診
断結果と診断終了項目のデータを保存及び表示し、試験
制御部４に対して、診断結果に異常があった場合は処理
終了要求を送信してテスタ１の処理を終了させ、診断結
果に異常がなかった場合は処理続行要求を送信して次の
被試験ＩＣの試験を実行させる。

【００２８】以後、被試験ＩＣがなくなるまで前述した
処理を繰り返し実行する。１ロット全数の被試験ＩＣが
なくなると、テスタ１はハンドリング装置３から通信制
御部５によりロット終了信号を受信する。

【００２９】ロット終了信号を受信すると、通信制御部
５は、診断項目制御部８に対し自己診断の実行要求を送
信する。診断項目制御部８は、前述した処理と同様に前
回までに終了している自己診断項目を検出し、自己診断
制御部６に対して自己診断の実行要求を送信し、前回の
自己診断の続きの項目から自己診断が実行される。

【００３０】自己診断開始後、自己診断実行中にロット
開始信号を受信すると、通信制御部５は、自己診断制御
部６に対して自己診断の停止要求を送信した後、診断結
果制御部７に対して自己診断結果の保存要求及び表示要
求を送信し、前記した各々の制御部６，７にて自己診断
が停止され、それまでの自己診断結果が保存及び表示さ
れる。前記処理が終了した後、被試験ＩＣの試験が開始
され、以後前述した処理フローが繰り返し行われる。

【００３１】尚、前述した自己診断の実行時、既に前回
の自己診断で全項目が終了していた場合は、その後は自
己診断は実行されず、設定された時刻に達するまでは、
次の処理（診断項目のクリアー、又はロット開始信号の
受信）が続行される。設定された時刻に達すると、診断
終了項目のデータがリセットされる。

【００３２】（実施形態２）図３は本発明の実施形態２
に係る半導体試験装置を示す構成図である。

【００３３】図３において、テスタ１は、コンピュータ
２が接続されており、コンピュータ２はハンドリング装
置３と接続されている。コンピュータ２には、試験制御
部４，通信制御部５がロードされている。また、コンピ
ュータ２には、タイマーボード９，専用プロセッサー１
０が搭載されている。

【００３４】専用プロセッサー１０は、実施形態１で説
明した自己診断制御部６，診断結果制御部７，診断項目
制御部８の機能を組込み、ＩＣ化したものである。前記
制御部６，７，８は、実施形態１で説明したように、定
められた単純な処理を実行するものであるため、容易に
専用ＩＣかが実現できる。

【００３５】実施形態２に係るテスタの処理フローは、
実施形態１で示した図２と同じものとなる。専用プロセ
ッサー１０は、通信制御部５から自己診断実行要求を受
け、自己診断制御部６，診断結果制御部７，診断項目制
御部８が行っていた処理を同様に全て実行する。

【００３６】上述した実施形態１、又は実施形態２のテ
スタの処理フローにより、図４に示すとおりの半導体試
験の作業フローが実行される。

【００３７】被試験ＩＣを試験するための準備作業が終
了した後、試験が開始され、１ロット全ての被試験ＩＣ
が試験終了すると同時に自己診断が自動に実行される。
自己診断が実行されている間に平行して次の被試験ＩＣ
を試験するための準備作業を実施する。準備作業が完了
した後、被試験ＩＣの試験を開始させる。

【００３８】テスタ１は、ハンドリング装置３からロッ
ト開始信号及び試験会指針号を受信した後、自己診断を
中止して、自己診断が終了した項目について、自己診断
の結果を保存及び表示して被試験ＩＣの試験を開始す
る。

【００３９】試験開始後、１ロット全ての被試験ＩＣが
試験終了すると同時に、前回までに自己診断が終了した
項目の続きから自己診断が自動に実行される。

【００４０】１ロットの被試験ＩＣを試験している間
に、事前に設定された時刻に達すると、前回までに自己
診断が終了した項目の続きから自己診断が自動に実行さ
れ、自己診断が終了した後、自己診断の結果を保存及び
表示して被試験ＩＣの試験を再開する。自己診断は、事
前に設定された時刻をサイクルとして必ず１回実施され
る。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、テ
スタの不稼働時間が発生すると同時に自己診断を自動に
実行して、定められた期間の中で最も効率良く自己診断
を行うことができ、テスタの稼働を最大限に向上するこ
とができる。

【００４２】例えば、従来の技術では、不稼働時間を検
出するのに１０分必要としていたならば、この１０分に
不稼働時間が発生する回数を乗じた時間が、テスタの不
稼働時間と成り得るものであり、本発明では、前記不稼
働時間はゼロとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１を示す構成図である。

【図２】本発明の実施形態における半導体試験の作業フ
ローチャートである。

【図３】本発明の実施形態２を示す構成図である。

【図４】本発明の実施形態におけるテスタの処理のフロ
ーチャートである。

【図５】従来技術における半導体試験の作業フローチャ
ートである。

【図６】従来技術におけるテスタの処理のフローチャー
トである。

【符号の説明】

１ テスタ ２ コンピュータ ３ ハンドリング装置 ４ 試験プログラム制御部 ５ 通信制御部 ６ 自己診断制御部 ７ 診断結果制御部 ８ 診断項目制御部 ９ タイマーボード １０ 専用プロセッサー

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外部に接続されたハンドリング装置から
   の試験終了信号（ロット終了信号）により自己診断プロ
   グラムを自動実行し、 試験開始信号（ロット開始信号）により自己診断プログ
   ラムを自動停止させ、且つ停止時にはそれまでの自己診
   断結果を保持し、 次の試験終了信号を受信するか、又は定められた時刻に
   達したときに、それまでの自己診断の続きから自己診断
   を実行することを特徴とする半導体試験方法。
2. 【請求項２】 自己診断制御部と、診断結果制御部と、
   診断項目制御部とを有する半導体試験装置であって、 自己診断制御部は、ハンドリング装置からの制御信号及
   びタイマーボードからの計時信号により自己診断の実行
   と停止を制御するものであり、 診断結果制御部は、前記自己診断制御部による自己診断
   の結果の保存と表示を制御するものであり、 診断項目制御部は、前記自己診断制御部による自己診断
   の項目を制御するものであることを特徴とする半導体試
   験装置。