JP2740134B2 - ピボット運動可能な自己中心位置設定エラストマー圧力ウェハプローブ - Google Patents
ピボット運動可能な自己中心位置設定エラストマー圧力ウェハプローブInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は一般にプローブ、特に集
積回路ダイの試験時に使用するためのピボット運動可能
な自己中心位置設定エラストマー圧力ウェハプローブに
関する。
積回路ダイの試験時に使用するためのピボット運動可能
な自己中心位置設定エラストマー圧力ウェハプローブに
関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明の出願人は、集積回路ダイの試験
に使用する隔膜ウェハプローブを製造している。これら
の隔膜ウェハプローブは、隔膜を駆動するためにコイル
ばねおよびセンターピボットを使用している。隔膜は試
験下のウェハに対して平坦であり、所望の量の接触力を
与えられる必要がある。隔膜を駆動するためにコイルば
ねおよびセンターピボットを使用することは、ほぼ 250
平方インチ以上の大型のダイパターンに対しては良好に
作用するが、それよりはるかに小さい素子のダイパター
ンには不適当である。結果的に、これらの隔膜ウェハプ
ローブを使用して集積回路ダイを試験することは不可能
である。
に使用する隔膜ウェハプローブを製造している。これら
の隔膜ウェハプローブは、隔膜を駆動するためにコイル
ばねおよびセンターピボットを使用している。隔膜は試
験下のウェハに対して平坦であり、所望の量の接触力を
与えられる必要がある。隔膜を駆動するためにコイルば
ねおよびセンターピボットを使用することは、ほぼ 250
平方インチ以上の大型のダイパターンに対しては良好に
作用するが、それよりはるかに小さい素子のダイパター
ンには不適当である。結果的に、これらの隔膜ウェハプ
ローブを使用して集積回路ダイを試験することは不可能
である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、隔膜を駆動するためにコイルばねおよびセンタ
ーピボットを使用する通常のプローブの限界を克服し、
ウインドウにより観察可能な集積回路ダイの試験に使用
するためのピボット運動可能な自己中心位置設定エラス
トマー圧力ウェハプローブを提供することである。
目的は、隔膜を駆動するためにコイルばねおよびセンタ
ーピボットを使用する通常のプローブの限界を克服し、
ウインドウにより観察可能な集積回路ダイの試験に使用
するためのピボット運動可能な自己中心位置設定エラス
トマー圧力ウェハプローブを提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、集積回路ウェ
ハ隔膜プローブを動作するのに欠かせない駆動および平
坦化する力を提供するために透明なエラストマー、プラ
スチックおよび金属部分を使用した機構を利用してい
る。本発明は、通常のプローブでは使用可能な大きいば
ねおよびピボットが適合しないような非常に小さい集積
回路ダイパターンに特に適している。本発明は、上記の
通常のプローブのコイルばねおよびセンターピボットを
使用しないで、同様の運動および動作を提供するために
ピボット運動可能な、円錐形その他の特定の形状のモー
ルドされた透明なエラストマー部材を使用する。
ハ隔膜プローブを動作するのに欠かせない駆動および平
坦化する力を提供するために透明なエラストマー、プラ
スチックおよび金属部分を使用した機構を利用してい
る。本発明は、通常のプローブでは使用可能な大きいば
ねおよびピボットが適合しないような非常に小さい集積
回路ダイパターンに特に適している。本発明は、上記の
通常のプローブのコイルばねおよびセンターピボットを
使用しないで、同様の運動および動作を提供するために
ピボット運動可能な、円錐形その他の特定の形状のモー
ルドされた透明なエラストマー部材を使用する。
【０００５】本発明の集積回路ダイ上に形成された集積
回路を試験する試験プローブは、中央に開口を有する印
刷回路板インターフェイス部材部材と、印刷回路板イン
ターフェイス部材の第１の表面上に形成され、開口を覆
っており、開口の中央領域において開口と反対側の表面
に試験すべき集積回路のパッドと接触する接触部を有し
ているフレキシブルな隔膜と、集積回路への電気接続を
行うために印刷回路板インターフェイス部材上に配置さ
れた複数の電気配線と、開口中に突出する部分を有し、
印刷回路板インターフェイス部材の第２の表面に固定さ
れたウインドウと、このウインドウの開口中に突出する
部分の端部に固定され、その中央に開口を有する保持部
と、保持部により保持され、ウインドウに接触している
ピボット部を備えているピボット運動可能なエラストマ
ー部材と、フレキシブルな隔膜とピボット運動可能なエ
ラストマー部材との間に配置された加圧およびピボット
運動用の剛性のプレートとを具備していることを特徴と
する。
回路を試験する試験プローブは、中央に開口を有する印
刷回路板インターフェイス部材部材と、印刷回路板イン
ターフェイス部材の第１の表面上に形成され、開口を覆
っており、開口の中央領域において開口と反対側の表面
に試験すべき集積回路のパッドと接触する接触部を有し
ているフレキシブルな隔膜と、集積回路への電気接続を
行うために印刷回路板インターフェイス部材上に配置さ
れた複数の電気配線と、開口中に突出する部分を有し、
印刷回路板インターフェイス部材の第２の表面に固定さ
れたウインドウと、このウインドウの開口中に突出する
部分の端部に固定され、その中央に開口を有する保持部
と、保持部により保持され、ウインドウに接触している
ピボット部を備えているピボット運動可能なエラストマ
ー部材と、フレキシブルな隔膜とピボット運動可能なエ
ラストマー部材との間に配置された加圧およびピボット
運動用の剛性のプレートとを具備していることを特徴と
する。
【０００６】さらに説明すると、本発明は集積回路ダイ
上に形成された集積回路を試験するための試験プローブ
に関する。プローブは、その中央に開口を有する印刷回
路板インターフェイス部材を含んでいる。例えば銅被覆
されたポリイミドからなるスポンジ状のフレキシブルな
隔膜は、その中間部分においてフレキシブルな印刷回路
板インターフェイス部材の下部表面上に形成される。複
数の電気配線および複数の突起部（バンプ）は、外部試
験装置への集積回路のインターフェイス部材を可能にす
る複数の終端パッドで終端し、フレキシブルな隔膜上に
形成されている。透明なプラスチックウインドウは、印
刷回路板インターフェイス部材に固定され、その一部分
がインターフェイス部材の開口中に突出している。円錐
形の保持部は、透明なプラスチックウインドウの下面に
接したその中央に円形の開口を有している。切頭円錐形
断面を有するピボット運動可能なエラストマー部材は、
プラスチックウインドウの下面に接している。透明なプ
ラスチックの加圧およびピボット運動用プレートは、フ
レキシブルな隔膜とピボット運動可能なエラストマー部
材の下面との間に配置されている。
上に形成された集積回路を試験するための試験プローブ
に関する。プローブは、その中央に開口を有する印刷回
路板インターフェイス部材を含んでいる。例えば銅被覆
されたポリイミドからなるスポンジ状のフレキシブルな
隔膜は、その中間部分においてフレキシブルな印刷回路
板インターフェイス部材の下部表面上に形成される。複
数の電気配線および複数の突起部（バンプ）は、外部試
験装置への集積回路のインターフェイス部材を可能にす
る複数の終端パッドで終端し、フレキシブルな隔膜上に
形成されている。透明なプラスチックウインドウは、印
刷回路板インターフェイス部材に固定され、その一部分
がインターフェイス部材の開口中に突出している。円錐
形の保持部は、透明なプラスチックウインドウの下面に
接したその中央に円形の開口を有している。切頭円錐形
断面を有するピボット運動可能なエラストマー部材は、
プラスチックウインドウの下面に接している。透明なプ
ラスチックの加圧およびピボット運動用プレートは、フ
レキシブルな隔膜とピボット運動可能なエラストマー部
材の下面との間に配置されている。
【０００７】プローブが組立てられたとき、フレキシブ
ルな隔膜はインターフェイス部材に固着されたフレキシ
ブルでない部分に関して外向きに延ばされたその撓んだ
位置に配置される。フレキシブルな隔膜は、ピボット運
動可能なエラストマー部材および透明なプラスチック加
圧およびピボット運動用プレートによってその上に与え
られた力によって生成された力によってその撓んだ位置
に移動される。エラストマー部材はフレキシブルな隔膜
の傾斜を可能にし、したがって集積回路上の突起部およ
びパッドの適切な結合を可能にするように集積回路への
相互接続中に圧縮し、必要に応じて変位させる。ダイお
よび集積回路の上方移動は、突起部およびパッド間の接
触を確実にし、必要なときにフレキシブルな隔膜を傾斜
させる力を提供する。
ルな隔膜はインターフェイス部材に固着されたフレキシ
ブルでない部分に関して外向きに延ばされたその撓んだ
位置に配置される。フレキシブルな隔膜は、ピボット運
動可能なエラストマー部材および透明なプラスチック加
圧およびピボット運動用プレートによってその上に与え
られた力によって生成された力によってその撓んだ位置
に移動される。エラストマー部材はフレキシブルな隔膜
の傾斜を可能にし、したがって集積回路上の突起部およ
びパッドの適切な結合を可能にするように集積回路への
相互接続中に圧縮し、必要に応じて変位させる。ダイお
よび集積回路の上方移動は、突起部およびパッド間の接
触を確実にし、必要なときにフレキシブルな隔膜を傾斜
させる力を提供する。
【０００８】本発明は、集積回路ダイを試験するために
ウェハプローブにおいて使用されることができる。本発
明は小さい、例えばダイパターンが２５０平方インチよ
り小さいダイの試験時に使用され、モトローラＣＴ-2ダ
イのようなダイプローブにとって重要であるが、本発明
はまた大きいダイの試験に使用されてもよい。
ウェハプローブにおいて使用されることができる。本発
明は小さい、例えばダイパターンが２５０平方インチよ
り小さいダイの試験時に使用され、モトローラＣＴ-2ダ
イのようなダイプローブにとって重要であるが、本発明
はまた大きいダイの試験に使用されてもよい。
【０００９】
【実施例】本発明の種々の特徴および利点は、以下の詳
細な説明および添付図面を参照して容易に理解されるで
あろう。なお、同じ参照符号は同じ素子を示す。図面を
参照すると、図１は本発明の原理にしたがって構成され
たピボット運動可能な自己中心位置設定エラストマー圧
力ウェハプローブ10の上面図を示している。図２は、図
１のピボット運動可能な自己中心位置設定エラストマー
圧力ウェハプローブ10の側断面図を示している。ピボッ
ト運動可能な自己中心位置設定エラストマー圧力ウェハ
プローブ10は、その中央に開口を有する印刷回路板イン
ターフェイス部材11から構成されている。印刷回路板イ
ンターフェイス部材11は、例えばＧ-10 ガラスファイバ
から形成されることができる。透明なプラスチックウイ
ンドウ12はねじ16等によって印刷回路板インターフェイ
ス部材11の上面に固定され、ウインドウ12の一部分はそ
の下面が印刷回路板インターフェイス部材11の下面とほ
ぼ同一平面であるように開口19を通って突出する。透明
なプラスチックウインドウ12は、例えばアクリル樹脂材
料から形成されている。
細な説明および添付図面を参照して容易に理解されるで
あろう。なお、同じ参照符号は同じ素子を示す。図面を
参照すると、図１は本発明の原理にしたがって構成され
たピボット運動可能な自己中心位置設定エラストマー圧
力ウェハプローブ10の上面図を示している。図２は、図
１のピボット運動可能な自己中心位置設定エラストマー
圧力ウェハプローブ10の側断面図を示している。ピボッ
ト運動可能な自己中心位置設定エラストマー圧力ウェハ
プローブ10は、その中央に開口を有する印刷回路板イン
ターフェイス部材11から構成されている。印刷回路板イ
ンターフェイス部材11は、例えばＧ-10 ガラスファイバ
から形成されることができる。透明なプラスチックウイ
ンドウ12はねじ16等によって印刷回路板インターフェイ
ス部材11の上面に固定され、ウインドウ12の一部分はそ
の下面が印刷回路板インターフェイス部材11の下面とほ
ぼ同一平面であるように開口19を通って突出する。透明
なプラスチックウインドウ12は、例えばアクリル樹脂材
料から形成されている。
【００１０】スポンジ状のフレキシブルな隔膜21は、印
刷回路板インターフェイス部材11の下面に形成される。
フレキシブルな隔膜21は、例えば銅被覆されたポリイミ
ドから構成されている。複数の電気配線18はフレキシブ
ルな隔膜21上に形成されており、その一方の端部は複数
の終端パッド30で、また他方の端部は複数の相互接続パ
ッド17で終端されている。複数の電気配線18は、外部試
験装置（示されていない）に対する集積回路ダイ15のイ
ンターフェイスを可能にする。ポリイミド材料の使用
は、隔膜21をフレキシブルにし、一方銅は電気配線18の
形成を可能にする。フレキシブルな隔膜21は、通常の印
刷回路板製造技術によって印刷回路板インターフェイス
部材11上に形成されてもよい。フレキシブルな隔膜21
は、印刷回路板インターフェイス部材11中の開口19に隣
接したその中央部分においてフレキシブルである。
刷回路板インターフェイス部材11の下面に形成される。
フレキシブルな隔膜21は、例えば銅被覆されたポリイミ
ドから構成されている。複数の電気配線18はフレキシブ
ルな隔膜21上に形成されており、その一方の端部は複数
の終端パッド30で、また他方の端部は複数の相互接続パ
ッド17で終端されている。複数の電気配線18は、外部試
験装置（示されていない）に対する集積回路ダイ15のイ
ンターフェイスを可能にする。ポリイミド材料の使用
は、隔膜21をフレキシブルにし、一方銅は電気配線18の
形成を可能にする。フレキシブルな隔膜21は、通常の印
刷回路板製造技術によって印刷回路板インターフェイス
部材11上に形成されてもよい。フレキシブルな隔膜21
は、印刷回路板インターフェイス部材11中の開口19に隣
接したその中央部分においてフレキシブルである。
【００１１】円錐形の保持部13は、透明なプラスチック
ウインドウ12の下面に接している。円錐形の保持部13は
例えばステンレス鋼材料から形成される。円錐形の保持
部13は円形であり、傾斜した外壁23および内壁24を備え
た段を付けられた縦断面を有している。円錐形の保持部
13は、例えばねじ28によって透明なプラスチックウイン
ドウ12に固定されている。
ウインドウ12の下面に接している。円錐形の保持部13は
例えばステンレス鋼材料から形成される。円錐形の保持
部13は円形であり、傾斜した外壁23および内壁24を備え
た段を付けられた縦断面を有している。円錐形の保持部
13は、例えばねじ28によって透明なプラスチックウイン
ドウ12に固定されている。
【００１２】切頭円錐形状を有するピボット運動可能な
エラストマー部材14は、透明なプラスチックウインドウ
12の下面に接している。ピボット運動可能なエラストマ
ー部材14は、例えばシリコン樹脂材料から形成されてい
る。ピボット運動可能なエラストマー部材14は、保持部
13によって透明なプラスチックウインドウ12の下面に対
して保持されている。透明なプラスチック加圧およびピ
ボット運動用プレート22は、フレキシブルな隔膜21と接
触して配置された第１の表面およびピボット運動可能な
エラストマー部材14の下面と接触して配置された第２の
表面を有している。ピボット運動可能なエラストマー部
材14および透明なプラスチック加圧およびピボット運動
用の剛性プレート22は、円錐形の保持部13によって透明
なプラスチックウインドウ12に対して保持されている。
試験プローブ10が組立てられたとき、フレキシブルな隔
膜21はそのフレキシブルでない部分に関して外向きに突
出する撓んだ位置に配置される。フレキシブルな隔膜21
は、ピボット運動可能なエラストマー部材14および透明
なプラスチック加圧およびピボット運動用プレート22に
よってその上に与えられた力により生成された力によっ
てその撓んだ位置に移動される。これは図２に示されて
いる。図３は、中央部分を詳細に示した図１のピボット
運動可能な自己中心位置設定エラストマー圧力ウェハプ
ローブ10の拡大された断面をさらに明瞭に示している。
図３は、円錐形の保持部13、ピボット運動可能なエラス
トマー部材14、フレキシブルな隔膜21および透明なプラ
スチック加圧およびピボット運動用の剛性プレート22の
相対的な位置および断面形状を示す。
エラストマー部材14は、透明なプラスチックウインドウ
12の下面に接している。ピボット運動可能なエラストマ
ー部材14は、例えばシリコン樹脂材料から形成されてい
る。ピボット運動可能なエラストマー部材14は、保持部
13によって透明なプラスチックウインドウ12の下面に対
して保持されている。透明なプラスチック加圧およびピ
ボット運動用プレート22は、フレキシブルな隔膜21と接
触して配置された第１の表面およびピボット運動可能な
エラストマー部材14の下面と接触して配置された第２の
表面を有している。ピボット運動可能なエラストマー部
材14および透明なプラスチック加圧およびピボット運動
用の剛性プレート22は、円錐形の保持部13によって透明
なプラスチックウインドウ12に対して保持されている。
試験プローブ10が組立てられたとき、フレキシブルな隔
膜21はそのフレキシブルでない部分に関して外向きに突
出する撓んだ位置に配置される。フレキシブルな隔膜21
は、ピボット運動可能なエラストマー部材14および透明
なプラスチック加圧およびピボット運動用プレート22に
よってその上に与えられた力により生成された力によっ
てその撓んだ位置に移動される。これは図２に示されて
いる。図３は、中央部分を詳細に示した図１のピボット
運動可能な自己中心位置設定エラストマー圧力ウェハプ
ローブ10の拡大された断面をさらに明瞭に示している。
図３は、円錐形の保持部13、ピボット運動可能なエラス
トマー部材14、フレキシブルな隔膜21および透明なプラ
スチック加圧およびピボット運動用の剛性プレート22の
相対的な位置および断面形状を示す。
【００１３】動作において、図２および図３を参照する
と、その上に形成された複数の集積回路20を備えた集積
回路ダイ15は移動され、フレキシブルな隔膜21の中央部
分の下の位置まで上昇される。その後、試験されるべき
選択された集積回路20は位置が設定されてフレキシブル
な隔膜21に押付けられる。選択された集積回路20は、押
付けられてフレキシブルな隔膜21の下部上の突起部17と
接触する複数の相互接続パッド29を有する。これは一般
的にオペレータによりプローブ10の透明な素子を通して
イメージ化することによって突起部17とパッド29を手動
で整列するために顕微鏡を使用して行われる。これは選
択された集積回路20の試験装置への電気的な相互接続を
行わせ、それによって集積回路20が試験される。スポン
ジ状のフレキシブルなエラストマー部材14は突起部17お
よびパッド29の適切な結合を可能にするように、相互接
続動作中圧縮し、必要に応じて偏向される。
と、その上に形成された複数の集積回路20を備えた集積
回路ダイ15は移動され、フレキシブルな隔膜21の中央部
分の下の位置まで上昇される。その後、試験されるべき
選択された集積回路20は位置が設定されてフレキシブル
な隔膜21に押付けられる。選択された集積回路20は、押
付けられてフレキシブルな隔膜21の下部上の突起部17と
接触する複数の相互接続パッド29を有する。これは一般
的にオペレータによりプローブ10の透明な素子を通して
イメージ化することによって突起部17とパッド29を手動
で整列するために顕微鏡を使用して行われる。これは選
択された集積回路20の試験装置への電気的な相互接続を
行わせ、それによって集積回路20が試験される。スポン
ジ状のフレキシブルなエラストマー部材14は突起部17お
よびパッド29の適切な結合を可能にするように、相互接
続動作中圧縮し、必要に応じて偏向される。
【００１４】典型的にウェハ15は水平でないため、パッ
ド29はフレキシブルな隔膜21の表面およびその突起部17
に関してしばしば傾斜される。このような場合、フレキ
シブルなエラストマー部材14はパッド29に関する突起部
17の傾斜を可能にし、したがって集積回路20の適切な相
互接続を確実にするように圧縮する。外部試験装置は、
試験信号が集積回路ダイ15に送られて、それを試験する
ように、複数の終端パッド30に接続される。段を付けら
れた円錐形の保持部13は、その開口25においてフレキシ
ブルなエラストマー部材14および透明なプラスチック加
圧およびピボット運動用プレート22を自己整列させ、こ
れはダイ15上の多数の集積回路20を試験するためにプロ
ーブ10を使用する場合に反復を可能にする。ダイ15およ
び集積回路20の上方移動は、突起部17とパッド29との間
の接触を確実にし、要求されたときにフレキシブルな隔
膜21傾斜するために必要な力を提供する。
ド29はフレキシブルな隔膜21の表面およびその突起部17
に関してしばしば傾斜される。このような場合、フレキ
シブルなエラストマー部材14はパッド29に関する突起部
17の傾斜を可能にし、したがって集積回路20の適切な相
互接続を確実にするように圧縮する。外部試験装置は、
試験信号が集積回路ダイ15に送られて、それを試験する
ように、複数の終端パッド30に接続される。段を付けら
れた円錐形の保持部13は、その開口25においてフレキシ
ブルなエラストマー部材14および透明なプラスチック加
圧およびピボット運動用プレート22を自己整列させ、こ
れはダイ15上の多数の集積回路20を試験するためにプロ
ーブ10を使用する場合に反復を可能にする。ダイ15およ
び集積回路20の上方移動は、突起部17とパッド29との間
の接触を確実にし、要求されたときにフレキシブルな隔
膜21傾斜するために必要な力を提供する。
【００１５】以上、集積回路ダイの試験時に使用するた
めの新しい改良されたピボット運動可能な自己中心位置
設定圧力ウェハプローブを説明してきた。上記の実施例
は、本発明の原理の適用を表した多数の特定の実施例の
いくつかの単なる例示に過ぎないなことが理解されるべ
きである。種々のその他の構造が本発明の技術的範囲か
ら逸脱することなく当業者によって容易に実施されるこ
とが可能であることは明らかである。
めの新しい改良されたピボット運動可能な自己中心位置
設定圧力ウェハプローブを説明してきた。上記の実施例
は、本発明の原理の適用を表した多数の特定の実施例の
いくつかの単なる例示に過ぎないなことが理解されるべ
きである。種々のその他の構造が本発明の技術的範囲か
ら逸脱することなく当業者によって容易に実施されるこ
とが可能であることは明らかである。
【図１】本発明の原理にしたがって構成されたピボット
運動可能な自己中心位置設定エラストマー圧力ウェハプ
ローブの上面図。
運動可能な自己中心位置設定エラストマー圧力ウェハプ
ローブの上面図。
【図２】図１のピボット運動可能な自己中心位置設定エ
ラストマー圧力ウェハプローブの側断面図。
ラストマー圧力ウェハプローブの側断面図。
【図３】中央部分を詳細に示した図１のピボット運動可
能な自己中心位置設定エラストマー圧力ウェハプローブ
の拡大断面図。
能な自己中心位置設定エラストマー圧力ウェハプローブ
の拡大断面図。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−170044（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−42943（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−732（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−284387（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−163973（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−243344（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−69294（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−4042（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−47864（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−218150（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−297876（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−277766（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−63135（ＪＰ，Ｕ)
Claims (10)
- 【請求項１】 中央に開口を有する印刷回路板インター
フェイス部材と、この 印刷回路板インターフェイス部材の第１の表面上に
形成され、前記開口を覆っており、開口の中央領域にお
いて開口と反対側の表面に試験すべき集積回路のパッド
と接触する接触部を有しているフレキシブルな隔膜と、 集積回路への電気接続を行うために印刷回路板インター
フェイス部材上に配置された複数の電気配線と、前記 印刷回路板インターフェイス部材の第２の表面に固
定され、前記開口中に突出する部分を有している透明な
ウインドウと、 前記ウインドウの前記開口中に突出する部分の端部に固
定され、その中央に開口を有する保持部と、前記保持部により保持され、 ウインドウに接触している
ピボット運動可能なピボット部を備えているエラストマ
ー部材と、 フレキシブルな隔膜とピボット運動可能なエラストマー
部材との間に配置された加圧およびピボット運動用の剛
性のプレートとを具備していることを特徴とする集積回
路ダイ上に形成された集積回路を試験する試験プロー
ブ。 - 【請求項２】 ウインドウは透明なプラスチックによっ
て構成されていることを特徴とする請求項１記載の試験
プローブ。 - 【請求項３】 ウインドウはアクリル樹脂によって構成
されていることを特徴とする請求項１記載の試験プロー
ブ。 - 【請求項４】 保持部は円錐形であり、傾斜した外壁お
よび内壁を備えた段を付けられた断面を有していること
を特徴とする請求項１記載の試験プローブ。 - 【請求項５】 フレキシブルな隔膜は銅被覆されたポリ
イミドによって構成されていることを特徴とする請求項
１記載の試験プローブ。 - 【請求項６】 印刷回路板インターフェイス部材はガラ
スファイバであることを特徴とする請求項１記載の試験
プローブ。 - 【請求項７】 保持部はステンレス鋼から構成されてい
ることを特徴とする請求項１記載の試験プローブ。 - 【請求項８】 エラストマー部材はシリコン樹脂である
ことを特徴とする請求項１記載の試験プローブ。 - 【請求項９】 加圧およびピボット運動用の剛性のプレ
ートは透明なプラスチックであることを特徴とする請求
項１記載の試験プローブ。 - 【請求項１０】 加圧およびピボット運動用の剛性のプ
レートはガラスであることを特徴とする請求項１記載の
試験プローブ。
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