CN213689717U - 一种带有平整装置的探针卡 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带有平整装置的探针卡，包括第一印刷电路板，第一空间转换器与所述第一印刷电路板电性连接，第一探针基板与所述第一空间转换器电性连接且具有多个第一探针，多个所述第一联接件安装在所述第一探针基板和所述第一空间转换器的外周部内侧，通过相互挤压所述第一探针基板和所述第一空间转换器使所述第一探针基板和所述第一空间转换器紧密贴合。根据本实用新型，对于包括装有探针的基板组合件的探针卡，利用平整装置能够方便、有效地调节平整度。

Description

一种带有平整装置的探针卡

技术领域

本实用新型涉及探针卡技术领域，具体涉及一种带有平整装置的探针卡。

背景技术

为了测试半导体元件（如半导体存储器、显示器）的制造过程或制造后有无缺陷，通常利用探针卡电性连接晶圆和半导体元件测试设备，将测试设备的电信号传输到晶圆上形成的焊盘，从焊盘返回的信号传输到半导体元件测试设备。探针卡包括多个探针，随着半导体元件趋向小型化，晶圆上的焊盘尺寸和焊盘间距也随之减小，所以很多围绕接触晶圆焊盘的探针微间距化的研发也在积极开展。连接探针和空间转换器的传统方法是，在牺牲基板上安装探针，再将装有探针的牺牲基板直接安装到空间转换器后去掉牺牲基板。即，用牺牲基板将探针直接安装到空间转换器。然而由于这种方法是将探针直接安装到空间转换器，如果探针安装过程中出现问题，不但探针作废，连昂贵的空间转换器也一并作废。然而由于这种方法是将探针直接安装到空间转换器，如果探针安装过程中出现问题，不但探针作废，连昂贵的空间转换器也一并作废。

因此，实用新型一种带有平整装置的探针卡来解决上述问题很有必要。

在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有平整装置的探针卡，包括第一印刷电路板和平整度调节装置，其特征在于：所述第一印刷电路板底部设有第一空间转换器，所述第一空间转换器与所述第一印刷电路板电性连接，所述第一空间转换器外壁一侧设有第一探针基板，第一探针基板与所述第一空间转换器电性连接有多个第一探针，多个第一联接件安装在所述第一探针基板和所述第一空间转换器的外周部内侧，通过相互挤压所述第一探针基板和所述第一空间转换器使所述第一探针基板和所述第一空间转换器紧密贴合，所述平整度调节装置位于多个所述第一联接件上方，通过对所述第一探针基板施力来调节所述第一探针基板的平整度。

优选的，所述第一探针基板和所述第一空间转换器的外周部内侧形成多个用于安装所述联接件的孔。

优选的，还包括用于固定所述第一探针基板和所述第一空间转换器的外周部的第一卡座和第二卡座。

优选的，还包括置于所述第一探针基板和所述第一空间转换器之间的第一内插板。

优选的，所述第一探针基板外周部的第一卡座和用于固定所述第一空间转换器外周部的第二卡座相连接。

优选的，所述第一探针基板为由多个基板组成的多层基板。

优选的，所述第一空间转换器的上表面和下表面各带多个端子，所述第一空间转换器的下表面上的多个端子与所述第一探针电性连接，所述第一空间转换器的上表面上的多个端子与所述第一印刷电路板电性连接，所述第一空间转换器上表面上的多个端子之间的间距与所述第一空间转换器下表面上的多个端子之间的间距不同。

优选的，所述平整度调节装置包括第一平整螺栓和第一平整螺钉。

在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：

根据本实用新型，对于包括装有探针的基板组合件的探针卡，利用平整装置能够方便、有效地调节平整度。

附图说明

为了更清楚的说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是传统探针卡的大致结构示意图。

图2是根据本实用新型一实施例提供的探针卡基板组合件的结构示意图。

图3是根据本实用新型一实施例提供的靠联接件紧密贴合的探针卡基板组合件的示例侧视图。

图4是根据本实用新型一实施例提供的靠联接件紧密贴合的探针卡基板组合件的另一示例侧视图。

图5是根据本实用新型一实施例提供的靠联接件紧密贴合的探针卡基板组合件的另一示例侧视图。

图6是根据本实用新型一实施例提供的靠联接件紧密贴合的探针卡基板组合件的另一示例侧视图。

图7是根据本实用新型一实施例提供的带有平整装置的探针卡剖面图。

图8是根据本实用新型一实施例提供的带有平整装置的探针卡的第一平整调节装置的示例剖面图。

图9是根据本实用新型一实施例提供的带有平整装置的探针卡的第一平整调节装置的示例剖面图。

附图标记说明：

10第一探针基板、101第二探针、20第一空间转换器、210第一联接件、220第二空间转换器、230第二探针基板、30第一卡座、310第三探针基板、320第三空间转换器、330第二联接件、331第一头部、332第二头部、340第四探针基板、350第四空间转换器、360第三联接件、361第三头部、362突出部、40第二卡座、401第三探针、402第五探针基板、404第五空间转换器、406第四联接件、408第三卡座、410第四卡座、412第一平整度调节装置、414第二印刷电路板、416第二内插板、420下加强板、422上加强板、426浮动基板柱、428第二平整度调节装置、431第四头部、432第五头部、50第一内插板、511第一平整螺钉、512平整转接头、513第一平整螺栓、521第二平整螺钉、522第二平整螺栓、60第一印刷电路板、70平整度调节装置、80第一探针。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些示例实施方式使得本公开的描述将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。

此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多示例实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的示例实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、方法、实现或者操作以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。

图1是传统探针卡的大致结构示意图。

传统探针卡包括第一探针基板10、第一空间转换器20、第一卡座30、第二卡座40、第一内插板50、第一第一印刷电路板60和平整度调节装置70，第一探针基板10是安装有第一探针80的基板，其上表面与第一空间转换器20接触，使第一探针80和第一空间转换器20电性连接，第一探针基板10可以是单个基板，如有必要，也可以贴合多个基板制成多层基板。

如上所述，安装在第一探针基板10上的第一探针80与晶圆上的多个焊盘一对一接触，将从半导体测试设备接收的电信号传输到晶圆上的焊盘，第一探针80一般具有弹性，其形状有多种类型，如悬臂梁、凸块等，第一空间转换器20起到转换间距的作用，其上表面上的多个接触端子之间的间距与下表面上的多个接触端子之间的间距不同，譬如，下表面的间距小于上表面的间距，从而通过下表面的窄间距调节上表面的宽间距，第一空间转换器20的下表面与第一探针基板10接触，使其与安装在第一探针基板10上的第一探针80电性连接。

第一卡座30与第二卡座40连接，使第一探针基板10紧贴第一空间转换器20，即，第一卡座30接触第一探针基板10的外周部，并对第一探针基板10施加朝向第一空间转换器20的力，从而使第一探针基板10紧贴第一空间转换器20，第二卡座40与第一卡座30连接，使第一空间转换器20紧贴第一探针基板10，即，第二卡座40接触第一空间转换器20的外周部，并对第一空间转换器20施加朝向第一探针基板10的力，从而使第一空间转换器20紧贴第一探针基板10，第一内插板50起到电性连接第一印刷电路板60和第一空间转换器20的作用，由弹性接触件构成，第一印刷电路板60从半导体测试设备接收电信号并将其传输到第一内插板50，再从第一内插板50接收电信号并将其传输到半导体测试设备，平整度调节装置70用以调节第一探针基板10的平整度，安装在第一探针基板10上的第一探针80必须与晶圆上的焊盘直接接触，因此，安装在第一探针基板10上的多个第一探针80的端部应与晶圆的多个接触焊盘平行排列，然而由于探针基板倾斜、形状变形或扭曲等原因，实际出现第一探针80排列不平行的情况，因此，平整度调节装置70通过调节第一探针基板10或者调节第一探针基板10和第一空间转换器20的平整度，使安装在第一探针基板10上的第一探针80与晶圆上的焊盘均匀接触。

如上所述，在传统探针卡中，第一探针基板10和第一空间转换器20靠第一卡座30和第二卡座40紧密贴合，但问题是，第一卡座30和第二卡座40对第一探针基板10和第一空间转换器20的夹紧力仅作用于第一探针基板10和第一空间转换器20的外周部，也就是说，第一探针基板10和第一空间转换器20的外周部内侧不受夹紧第一探针基板10和第一空间转换器20的力，所以出现第一探针基板10的外周部内侧向下弯曲，第一空间转换器20的外周部内侧向上弯曲的现象，随着探针卡的大型化发展，第一探针基板10和第一空间转换器20的基板面积也随之增大，第一探针基板10的外周部内侧向下弯曲也就越来越严重，如果随着第一探针基板10的中心部分弯曲，探针基板发生变形，则探针基板的平整度调节会出现严重问题，如上所述，在这种情况下可能出现安装在第一探针基板10上的第一探针80不能均匀接触晶圆上的接触焊盘的问题。

因此，当第一探针80和第一空间转换器20通过第一探针基板10电性连接时，除了探针基板和空间转换器的外周部，外周部内侧也需要使两基板紧贴的探针卡基板组合件，传统探针卡在第一空间转换器20的中心区域上方设置平整度调节装置70，以保持探针的平整度，如果探针卡倾斜地安装在探测器上，或晶圆卡盘上的晶圆倾斜放置，或由于内插板40的压力等外部因素，第一空间转换器20发生几何变形的情况，可通过图示的平整度调节装置70来调节平整度，但是，现有平整调节装置70通常安装在靠近第一空间转换器20中心区域的位置，因此存在不能充分调节探针卡平整度的问题。

图2是根据本实用新型一实施例提供的探针卡基板组合件的结构示意图，根据本实用新型一实施例的探针卡基板组合件包括第一联接件210、第二探针基板230和第二空间转换器220，第一联接件210使第二探针基板230和第二空间转换器220紧密贴合，第一联接件210通过 给第二探针基板230施加朝向第二空间转换器220的作用力，给第二空间转换器220施加朝向第二探针基板230的作用力，使第二探针基板230和第二空间转换器220紧密贴合，第一联接件210可以采用类似具有较强刚性的金属制成。

如图所示，第一联接件210由两部分组成，分别为凹陷部和突出部，通过该部分相互联接，但本实用新型不限于此，可以制成只有突出部的单一构件，使其与第二探针基板230或第二空间转换器220上设置的凹陷部未示出联接，第二探针基板230的外周部内侧包括能够安装多个第一联接件210的孔，第二探针基板230上的孔数应与拟安装的第一联接件210数相同，另外，第二探针基板230包括多个探针未示出，并且将探针电连接到第二空间转换器220，第二探针基板230可以以多种方法制成，如在硅晶圆表面沉积绝缘薄膜，也可以贴合多个基板，第二空间转换器220起到转换间距Pitch的作用，其上表面上的多个接触端子之间的间距与下表面上的多个接触端子之间的间距不同，第二空间转换器220通过下表面的窄间距调节上表面的宽间距，第二空间转换器220通过第一联接件210与第二探针基板230紧密贴合，紧贴第二探针基板230的面上布置的连接端子未示出与安装在第二探针基板230上的探针未示出电性连接，另外，和第二探针基板230一样，第二空间转换器220包括能够安装多个第一联接件210的孔，孔数应与拟安装的第一联接件210数相同。

图3是根据本实用新型一实施例提供的靠联接件紧密贴合的探针卡基板组合件的示例侧视图，根据本实用新型一实施例提供的探针卡基板组合件包括第三探针基板310、第三空间转换器320和第二联接件330，第三探针基板310的下表面安装探针，其上表面紧贴第三空间转换器320的下表面，另外，第三探针基板310包括多个可供第二联接件330穿过的孔，这些孔位于第三探针基板310的外周部内侧，譬如，该孔可以位于第三探针基板310的中心位置，第三探针基板310因安装在第三探针基板310下表面的第二联接件330的头部331而受向上的压力，从而紧贴第三空间转换器320的下表面，第三空间转换器320的上表面与内插板未示出连接，而下表面紧贴第三探针基板310的上表面，第三空间转换器320包括多个可供第二联接件330穿过的孔，这些孔位于第三空间转换器320的外周部内侧，譬如，该孔可以位于第三空间转换器320的中心位置，第三空间转换器320因安装在其上表面的第二联接件330的头部331而受向下的压力，从而紧贴第三探针基板310的上表面，第二联接件330穿过第三探针基板310和第三空间转换器320上的孔而穿设于第三探针基板310和第三空间转换器320，位于第二联接件330的顶端和底端的第一头部331和第二头部332对第三探针基板310和第三空间转换器320加压，这样通过第四头部431和第五头部432加压使第三探针基板310和第三空间转换器320紧密贴合，至此描述的第二联接件330的第一头部331和第二头部332露在第三探针基板310和第三空间转换器320表面，然而按照设计人员考虑安装在第三探针基板310下表面的探针尺寸、位置，或者第三空间转换器320上表面与内插板未示出的接触状态等因素进行的设计，第二联接件330的第一头部331和第二头部332也可置于第三探针基板310和第三空间转换器320的内部。

下面结合图4描述第二联接件330的第一头部331和第二头部332置于第三探针基板310和第三空间转换器320内部的情况，图4是根据本实用新型一实施例提供的靠联接件紧密贴合的探针卡基板组合件的另一示例侧视图，根据基板组合件另一示例，第二联接件330的头部及其他部分插入第三探针基板310和第三空间转换器320中形成的孔内，因此，如图4所示，头部置于基板组合件的内部，在制作基板组合件时，第二联接件330不会从基板组合件向外突出，在上述图3和图4的基板组合件的一个示例和另一示例中，第二联接件330由包括突出部和凹陷部的两部分组成，将其结合形成基板组合件，对于这种情况，突出部可采用螺栓形式，凹陷部可采用螺母形式。

图5和图6是根据本实用新型另一实施例提供的靠联接件紧密贴合的探针卡基板组合件的另一示例侧视图，从图5和图6来看，第三联接件360只有突出部，将其与第四探针基板340或第四空间转换器350的凹陷部联接结构相联接，即，如图5所示，第三联接件360只有突出部362， 联接件460插入空间转换器450上形成的孔内，其突出部362与第四探针基板340上形成的凹陷部形状相吻合，另外，第四探针基板340上形成孔，在空间转换器450上形成凹陷的联接结构，通过该结构联接第三联接件360，又如图6所示，第三联接件360的第三头部361也可置于第四探针基板340和第四空间转换器350的内部。

图7是根据本实用新型一实施例提供的带有平整装置的探针卡剖面图，多个第三探针401以一定间隔装在第五探针基板402的晶圆接触面，第三探针401接收外部测试设备未示出的电信号并将其传输到晶圆，并且接收从晶圆返回的信号并将其传输到外部测试设备，探针101直接接触晶圆上的焊盘以测试晶圆，探针101可以为弹性体，以防接触晶圆上的焊盘时损坏晶圆，第五探针基板402置于与探针卡测试对象晶圆的焊盘直接接触的位置，如上所述，在第五探针基板402的下表面安装与晶圆焊盘直接接触的第三探针401，第五探针基板402与第五空间转换器404连接 ，第五探针基板402从第五空间转换器404接收外部测试设备的电信号并将其传输到第三探针401，从第三探针401接收从晶圆返回的信号并将其传输到第五空间转换器404，即，第五探针基板402起到电性连接探针和空间换能器404的作用，第五探针基板402的外周部通过第三卡座408与空间转换器520紧密贴合，其外周部内侧则通过第四联接件406与第五空间转换器404紧密贴合，第五探针基板402包括多个用于安装第四联接件406的孔，其位置可以考虑装在第五探针基板402上的探针位置而定，这种第五探针基板402可以是单个基板，也可以是由多个基板组成的多层基板，第五空间转换器404的下表面与第五探针基板402连接，其上表面与第二内插板416连接，第五空间转换器404从第二内插板416接收外部测试设备的电信号并将其传输到第五探针基板402，然后从第五探针基板402接收来自晶圆的信号并将其传输到第二内插板416，第五空间转换器404起到调整焊盘间距Pitch的作用，并通过第五探针基板402与探针电性连接，第五空间转换器404的外周部通过第四卡座410与第五探针基板402紧密贴合，其外周部内侧则通过第四联接件406与第五探针基板402紧密贴合，和第五探针基板402一样，第五空间转换器404包括多个用于安装第四联接件406的孔，其位置可以考虑装在第五探针基板402上的探针位置而定，第四联接件406安装在第五探针基板402和第五空间转换器404的孔内，第四联接件406同时挤压第五探针基板402和第五空间转换器404，视具体情况，第四联接件406两端的头部可置于第五探针基板402和第五空间转换器404的外部或内部，第四联接件406受第一平整度调节装置412的压力或拉力，并将此力传递到第五探针基板402和第五空间转换器404。

在本实用新型一实施例中，第一平整度调节装置412可以设在第四联接件406上方，第一平整度调节装置412给第四联接件406传递压力或拉力，第一平整度调节装置412包含的平整度调节装置优选螺钉形式，因此可以通过左右旋转螺钉形式的平整度调节装置来向第五空间转换器404施加压力或拉力，第一平整度调节装置412与第四联接件406连接并施加压力或拉力，因此第一平整度调节装置412施加的压力或拉力可作用于包括第五探针基板402和第五空间转换器404在内的整个基板组合件，也就是说，第五探针基板402和第五空间转换器404靠第四联接件406紧密贴合，通过给第四联接件406施加压力或拉力，可以将其压力或拉力均匀传递到第五探针基板402和第五空间转换器404，从而更有效地调节探针卡的平整度，这种第一平整度调节装置412置于第五空间转换器404的外周部内侧，对于这种情况，可以设置多个第一平整度调节装置412，第二印刷电路板414与第二内插板416、下加强板420和上加强板422连接，第二印刷电路板414靠下加强板420和上加强板422固定，第二印刷电路板414从外部测试设备接收电信号并将其传输到第二内插板416，反过来从第二内插板416接收从晶圆返回的信号并将其传输到外部测试设备，第二印刷电路板414包括可供第一平整度调节装置412、浮动基板柱426和第二平整度调节装置428穿过的多个通道，第二内插板416与第二印刷电路板414和第五空间转换器404连接，第二内插板416从第二印刷电路板414接收外部测试设备的电信号并将其传输到第五空间转换器404，并且从第五空间转换器404接收从晶圆返回的信号并将其传输到第二印刷电路板414，在第二内插板416上，与第二印刷电路板414和第五空间转换器404接触的部分可以是弹性体，因此，在第二印刷电路板414固定的情况下，便于利用第一平整度调节装置412或第二平整度调节装置428调节第五探针基板402和第五空间转换器404的平整度， 第二内插板416包括多个通道，供第一平整度调节装置412从中穿过，弹簧418与第三卡座408和下加强板420连接，弹簧418使第三卡座408和下加强板420之间具有弹性，通过第一平整度调节装置412或第二平整度调节装置428对第三卡座408和第四卡座410施加压力或拉力，当第三卡座408和第四卡座410移动时，能够减小下加强板420的作用，下加强板420连接到弹簧418和第二印刷电路板414，下加强板420固定第二印刷电路板414，并通过弹簧106连接第二印刷电路板414、第三卡座408和第四卡座410，因此，当通过第二平整度调节装置428调节平整度时，防止作用力直接施加到第二印刷电路板414，上加强板422与第二印刷电路板414连接，上加强板422固定第二印刷电路板414，以防止因第二印刷电路板414弯曲或断裂而造成损坏，另外，上加强板422包括多个通道，供第一平整度调节装置412、浮动基板柱426和第二平整度调节装置428从中穿过，浮动基板424与第一平整度调节装置412和浮动基板柱426连接，浮动基板424与上加强板422间隔一定距离布置，并与浮动基板柱426连接，将第一平整度调节装置412连接到第三卡座408和第四卡座410，浮动基板柱426与浮动基板424、第三卡座408和第四卡座410连接，浮动基板柱426不与浮动基板424、第三卡座408和第四卡座410以外的任何部分连接。

如上所述，浮动基板424和浮动基板柱426仅连到第三卡座408、第四卡座410和第一平整度调节装置412，从而使第一平整度调节装置412与第二平整度调节装置428分开，第二平整度调节装置428对第三卡座408和第四卡座410施加拉力或压力来调节第五探针基板402和第五空间转换器404的平整度，第二平整度调节装置428穿透上加强板422和第二印刷电路板414连到第三卡座408和第四卡座410，除此之外，不连接任何其他部分，从而使第二平整度调节装置428与第一平整度调节装置412分开，为了更精确地调整平整度，可以使用多个第二平整度调节装置。

如上所述，根据本实用新型一实施例，第一平整度调节装置412施加的压力或拉力传递到第四联接件406，由于第四联接件406使第五探针基板402和第五空间转换器404紧密贴合，所以传递到第四联接件406的压力或拉力作用于包括第五探针基板402和第五空间转换器404在内的整个基板组合件，因此，能够利用第一平整度调节装置412更有效地实现探针卡的平整度调节。

图8是根据本实用新型一实施例提供的带有平整装置的探针卡的第一平整调节装置的示例剖面图，根据本实用新型一实施例的第一平整度调节装置包括第一平整螺栓513、平整转接头512和第一平整螺钉511，第一平整螺钉511与平整转接头512及浮动安装装置联接，第一平整螺钉511优选螺钉形式，这样通过左右旋转第一平整螺钉511能够对联接件施加拉力或压力，平整转接头512的一端与第一平整螺栓513联接，另一端与第一平整螺钉511联接。

平整转接头512将第一平整螺钉511旋转产生的压力或拉力传递到第一平整螺栓513，第一平整螺栓513的一端与联接件联接，另一端与平整转接头512联接，第一平整螺栓513通过联接件上的联接结构与联接件联接，若没有这种联接结构，则以接合方式与联接件联接。

图9是根据本实用新型一实施例提供的带有平整装置的探针卡的第一平整度调节装置的另一示例剖面图，根据本实用新型另一实施例提供的第一平整度调节装置包括第二平整螺栓522和第二平整螺钉521，第二平整螺钉521与第二平整螺栓522和浮动安装装置紧固，第二平整螺钉521优选螺钉形式，这样通过左右旋转第一平整螺钉511能够对联接件施加拉力或压力，第二平整螺栓522的一端与联接件联接，另一端与第二平整螺钉521联接，第二平整螺栓522通过联接件上的联接结构与联接件联接，若没有这种联接结构，则以接合方式与联接件联接。

以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。

最后应说明的几点是：首先，在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；

其次：本实用新型公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本实用新型同一实施例及不同实施例可以相互组合；

最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种带有平整装置的探针卡，包括第一印刷电路板（60）和平整度调节装置（70），其特征在于：所述第一印刷电路板（60）底部设有第一空间转换器（20），所述第一空间转换器（20）与所述第一印刷电路板（60）电性连接，所述第一空间转换器（20）外壁一侧设有第一探针基板（10），第一探针基板（10）与所述第一空间转换器（20）电性连接有多个第一探针（80），多个第一联接件（210）安装在所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）的外周部内侧，通过相互挤压所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）使所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）紧密贴合，所述平整度调节装置（70）位于多个所述第一联接件（210）上方，通过对所述第一探针基板（10）施力来调节所述第一探针基板（10）的平整度。

2.根据权利要求1所述的一种带有平整装置的探针卡，其特征在于：所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）的外周部内侧形成多个用于安装所述联接件的孔。

3.根据权利要求1所述的一种带有平整装置的探针卡，其特征在于：还包括用于固定所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）的外周部的第一卡座（30）和第二卡座（40）。

4.根据权利要求1所述的一种带有平整装置的探针卡，其特征在于：还包括置于所述第一探针基板（10）和所述第一空间转换器（20）之间的第一内插板（50）。

5.根据权利要求3所述的一种带有平整装置的探针卡，其特征在于：所述第一探针基板（10）外周部的第一卡座（30）和用于固定所述第一空间转换器（20）外周部的第二卡座（40）相连接。

6.根据权利要求1所述的一种带有平整装置的探针卡，其特征在于：所述第一探针基板（10）为由多个基板组成的多层基板。

7.根据权利要求1所述的一种带有平整装置的探针卡，其特征在于：所述第一空间转换器（20）的上表面和下表面各带多个端子，所述第一空间转换器（20）的下表面上的多个端子与所述第一探针（80）电性连接，所述第一空间转换器（20）的上表面上的多个端子与所述第一印刷电路板（60）电性连接，所述第一空间转换器（20）上表面上的多个端子之间的间距与所述第一空间转换器（20）下表面上的多个端子之间的间距不同。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的一种带有平整装置的探针卡，其特征在于：所述平整度调节装置（70）包括第一平整螺栓（511）和第一平整螺钉（513）。

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