JPS62284387A - プロ−ビング方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 ［産業上の利用分野コ この発明は、コンタクトパッドに対するプロービングの
方式に関し、さらに詳細には、微小間隔で配列された微
小なコンタクトバンドのプロービングに好適なプロービ
ング方式に関する。

［従来の技術］ 液晶テレビに用いられる液晶表示パネルは、ガラス基板
上にアルミニウムなどの配線パターンが蒸着法などによ
ってマトリックス状に配列されている。そのＸ方向とＹ
方向の配線パターンの端部は、ガラス基板の周辺部に配
列されたコンタクトパッドに接続されている。このコン
タクトパッドは極めて小さく、また微小間隔で配列され
ている。

ある液晶表示パネルの場合、Ｙ方向の配線パターンに対
しては、幅が約１００μｍで長さが約４ｍｎ＋のコンタ
クトパッドが１２８０個、約２００μｍの配列ピンチ（
隣接したコンタクトバンドの中心間隔）で−・列に配列
されている。また、Ｘ方向の配線パターンに対しては、
幅が約１６０μｍで長さが約４ｍｍ＋のコンタクドパ、
ドが６００個、約３２０μｍの配列ピンチ（隣接したコ
ンタクトパッドの中心間隔）にて　列に配列されている
。そして、Ｘ方向の配線パターンはそれぞれガラス基板
に形成された薄膜ＦＥＴのゲートに接続され、Ｙ方向の
配線パターンはそれぞれ薄膜ＦＥＴのドレインまたはソ
ースにｔ妾続されている。

このような液晶表示パネルは、液晶を塗布する前の段階
で、配線パターン相げ間、薄膜ＦＥＴのゲート・ソース
間およびゲート・ドレイン間のショート検査などがなわ
れている。このようなショート検査などを杆うためには
、コンタクトパッドと外部の検査回路との一時的な接続
（プロービング）が７殼である。

従来、このようなプロービングは、コンタクドパ、７ド
の幅と配列ピッチが極めて小さいため、ＬＳＩウェハに
対するプロービングに適用されている探触ｒと同様な微
小な接触！１をコンタクトパッドに突き当てる方式によ
って行われている。

また、比較的大きな接触ｒ−を複数のコンタクトパッド
に同時に接触させ、その複数のコンタクドパ１．ドに関
してンヨートが検出された場合に、そのｆｆ１ｆｉのコ
ンタクトパッドのうちのンヨートに関連したコンタクト
パッドを見つけるために、それらコンタクトパッドの個
々に接触針を順に突き当てる、といった２段構えのプロ
ービング方式も試みられている。

［解決しようとする問題点］ しかし、いずれのプロービング方式であっても、接触針
の尖鋭な先端がコンタクトパッドに突き当てられるので
、コンタクトパッドに傷がつき、フンタクトパッドの材
料が一部剥離して周囲に付ｉＦするという問題がある。

このようにコンタクトパッドの材料が周囲に付着すると
、その後の液晶塗布工程においてトラブルの原因になり
、極めて好ましくない。

また、接触側は全体として・１１大が比較的大きく、か
つ、それはと高密度に配列することは技術的に困難であ
るため、多数のコンタクトパッドに多数の接触側を同時
に突き当てることは実際り不１１ｆ能てあり、多数のコ
ンタクトビンを１個ずつ、または比較的少ない個数ずつ
に分けてプロービングを１ｊわざるを得す、プロービン
グの能率が悪いという問題があった。

［発明の目的］ したがって、この発明の目的は、そのような従来の問題
点を解決し、液晶表示パネルのコンタクトハンドのよう
に、微小間隔で配列された多数の微小なコンタクトパッ
ドに対するプロービングに好適な、新しいプロービング
方式を提供することにある。

［問題点を解決するための手段コ この［−１的を達成するために、この発明にあっては、
可撓性のベースに導体パターンを形成したフレキ／プル
配線板を、コンタクトパッドに対して押圧部材によって
押し付けることにより、コンタクトバンドと導体パター
ンとを押圧接触させ、コンタクトパッドに対するプロー
ビングを行う。

［作用コ フレキ／プル配線板の導体パターンとコンタクトパッド
とを押月を妾触させるから、接触側を突き当てる方式に
おけるような、コンタクトパッドの材料が剥離して周囲
に付着するという問題をほぼ完璧に防１１・、できる。

さらに、このようなフレキ／プル配線板は、微小な導体
パターンを高密度に配列したものか比較的容易に実現で
きる。例えば、５０μｍ以ドの幅の導体パターンを１０
木／ｍｍ以１−の高密度で配列したフレキシブル配線板
を容易に実現できる。

したがって、＋Ｔｉｆ記液晶表示パネルのコンタクトパ
ッドのように、高密度配列された微小コンタクトパッド
に対しても、そのコンタクトパッドの・１゛法および配
列ピッチに合わせて導体パターンを配列形成したフレキ
シブル配線板を困難なく用意し、同時に多数のコンタク
トバンドのプロービングを行うことができる。

［実施例コ 以ド、図面を参ｊｊ（ｌ　Ｌ、この発明の一実施例につ
いて説明する。

第１図は、この発明によるプロービング方式の・実施例
を簡略化して示す一部断面の概略１１：、面図である。

この図において、１０は液晶表示パネル、１２はフレキ
／プル配線板である。１４は適度の硬さを持つゴムなど
の弾性材料からなる押圧部材、１６は枠部材、１８およ
び２０は押さえ部材である。

第２図は、フレキシブル配線板１２の導体パターン形成
面から見た概略・Ｖ面図である。このフレキシブル配線
板１２は、ポリイミド樹脂フィルムなどの可（り性ベー
ス３０の一面に、多数の導体パターン３２が高密度に配
列形成されている。

第３図は、液晶表示パネルｌＯの概略十面図である。こ
の液晶表示パネルｌＯのベースであるガラス基板４０の
表面には、その周辺部に微小なコンタクトパッド４２が
高密度に−・列に、１ｒ；、べて形成されている。なお
、コンタクトパッド４２は前述のようにＸ、Ｙ両方向に
配列されているが、図中にはその・方たけが小されてい
る。

＋Ｉび第２図を参！！（１する。フレキンプル配線板１
２の・方の端部分１２ａにおいては、導体パターン３２
はコンタクトパッド４２の配列ピ、ンチに対応した微小
な配列ピッチで配列されている。さらに、その端部分１
２ａにおいて、導体パターン３２にはコンタクトパッド
４２との接触性を向Ｉ−させるために、金などのメッキ
が施されている。以ド、このメッキが施された部分を端
／−ｆｆｉ＜３２ａと称する。また、端１部３２ａのパ
ターン幅もコンタクトパッド４２に対応して決められて
いる。

フレキシブル配線板１２の他の端部分１２ｂは、シｓ）
検査などのための回路が搭載された回路基板またはコネ
クタなどに半Ｌｌｌ付けなどによって接続される。その
接続を容易にするために、その端部分１２ｂでは導体パ
ターン３２の配列ピッチが広げられ、また、そのための
接続パッド部３２ｂが設けられている。

１１＃び第１図において、フレキ／プル配線板１２は、
その端部分１２ａが図ノ１（のように枠部材１６の窓部
１８ａからド方に膨出するごとく湾曲せしめられた状態
に、押さえ部材１８．２０によって枠部材１６の、ｌ−
而に固定される。そして、膨出した端部分１２ａは、押
圧部材１４によって液晶表示パネル１０のコンタクトパ
ッド４２の配列面に押し付けられる。その結果、導体パ
ターン３２の端１部３２ａは、押圧部材１４の先端部と
当接する部分が対応するコンタクトパッド４２に押圧接
触せしめられる。

かくして、コンタクトパッド４２はフレキシブル配線板
１２を介して外部のショート検査回路などと電気的に接
続される。

このように、フレキシブル配線板１２の導体パターン３
２とコンタクトパッド４２とを押圧接触させることによ
ってプロービングを行うから、コンタクトパッド４２に
傷がつきに＜＜、その材料がａｌｌ　ｆｉして周辺に付
着するというような問題は起こらない。

また、フレキンプル配線板の製造技術によれば、導体パ
ターン３２の端１部３２ａのパターン幅および配列ピッ
チを充分に小さくすることができる。

したがって、コンタクトパッド４２のパターン幅および
配列ピッチが極めて小さくなっても、多数のコンタクト
バンド４２と端子部３２ａとを同時に接触させることに
より、能率的なプロービングが可能である。

さらに、この実施例におけるように、押１１部材１４に
弾性をｔ、￥だせると、フレキシブル配線板１２の１−
１１　ｊＡ性とあいまって、コンタクトバンド配列面の
凹凸や反りによる影響を受けにくくなり、端１部３２ａ
とコンタクトパッド４２との接触安定性の而で効果があ
る。

以−Ｌ１一実施例に関して、この発明を説明したが、こ
の発明はそれだけに限定されるものではなく、その要旨
を逸脱しない範囲内で種々の変形が許されるものである
。

例えば、押圧部材のフレキンプル配線板に当接する部分
だけをゴムなどの弾性材料で作り、その部分だけに弾性
を持たせるようにし°〔もよい。このようにしても、押
圧部材全体に弾性をｔ、ｊたせた場合と同様の効果を得
られる。

また、隣接した２側辺りの導体パターンの端ｒ部が同じ
コンタクトパッドに接触するように、端ｒ北の配列を決
定してもよい。このようにすれば、隣接した端ｒ一部の
相−１Ｉ：の導通をチェックすることによって、’／Ｗ
　Ｊ”；’；Ｉ＜とコンタクトパッドとの接触状態を確
認できるため、フレキンプル配線板とコンタクトパッド
との相対的位置合わせなどが容易になる。

さらには、コンタクトパッドの長り方向に位置をすらし
て端ｒ■りを２列配列し、対向する端子部を同一・のコ
ンタクトパッドに接触させるようにしてもよい。このよ
うにしても、対向した端ｒ部間の導通チェックによって
、’Ｊ：（ＩｉＪ”Ｍ＜とコンタクトパッドとの接触を
確認できる。

また、コンタクトバンドよりも充分多い導体パターンの
端１部を、コンタクトパッドの配列ピッチより充分に小
さい配列ピッチで設け、フレキ７プル配線板とコンタク
トパッドとの位置合わせを１１・わなくとも、コンタク
トパッドが常に　・つ以１−の端Ｙ部に接触すようにし
てもよい。

［発明の効果コ この発明は、Ｉ′ＩＩ挟性のベースに導体パターンを形
成したフレキンプル配線板を、フンタクトパ。

ドに対して押１Ｆ部材によって押し付けることにより、
コンタクトパッドと導体パターンとを押Ｉｌｌ触させ、
コンタクトパッドに対するプロービングを行う。

したがって、コンタクトパッドの材料が７１１離して周
囲に付着するという問題をほぼ完璧に防１１・でき、ま
た、液晶表示パネルのコンタクトパッドのように、高密
度配列された微小コンタクトバンドに対しても能率的な
プロービングがｉｉ（能になる。

４、図面のｆＴｉ’ｔ１−な説明 第１図は、この発明によるプロービング力式の一実施例
を簡略化して示す一部断面の概略１１．面図、第２図は
フレキ／プル配線板の導体バター／形成面から見た一部
省略概略・１ぺ面図、第３図は液晶表示パネルのコンタ
クトパッドの部分を説明するための・部省略概略甲、面
図である。

１０・・・液晶表示パネル、１２・・・フレキ／プル配
線板、　　１４・・・押圧部材、　　１６・・・枠部材
、１８゜２０・・・押さえ部材、３０・・・ベース、３
２・・・導体パターン、３２ａ・・・導体パターンの端
７’−１１＜、４２・・・コンタクトパッド。

特＋：’ｌ’：Ｉｆ願人 １１＼γ電子エンジニアリング株式会社代理人　弁理士
、梶　山　イーｆ　是 弁理−１山　木　富十男 第１図 第２図 ＩＺｔ）　　　　　　　Ｊ（Ｊ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）コンタクトパッドに対するプロービング方式であ
   って、可撓性のベースに導体パターンを形成したフレキ
   シブル配線板を、前記コンタクトパッドに対して押圧部
   材によって押し付けることにより、前記コンタクトパッ
   ドと前記導体パターンとを押圧接触させることを特徴と
   するプロービング方式。
2. （２）押圧部材は、その少なくともフレキシブル配線板
   と当接する部分は弾性を有することを特徴とする特許請
   求の範囲第１項に記載のプロービング方式。
3. （３）フレキシブル配線板は、そのコンタクトパッドに
   押し付けられる部分が膨出するごとく湾曲せしめられ、
   その膨出した部分において導体パターンと前記コンタク
   トパッドとが押圧接触せしめられることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項または第２項に記載のプロービング
   方式。