JPS62284389A - プロ−ビング方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 ［産Ｘ’ｌ二の利用分野］ この発明は、配列されたコンタクトパッドに対するプロ
ービングの方式に関し、さらに詳しくは、微小間隔で配
列された微小なコンタクトパッドに対するプロービング
に好適なプロービング方式に関する。

［従来の技術］ 液晶テレビに用いられる液晶表示パネルは、ガラス基板
上にアルミニウムなどの配線パターンが蒸着法などによ
ってマトリックス伏に配列されている。そのＸ方向とＹ
方向の配線パターンの端部は、ガラス基板の周辺部に配
列されたコンタクトパッドに接続されている。このコン
タクトパッドは極めて小さく、また微小間隔で配列され
ている。

ある液晶表示パネルの場合、Ｙ方向の配線パターンに対
しては、幅が約１００μｍで長さが約４社のコンタクト
パッドが１２８０４’Ｊ、約２００μｍの配列ピッチ（
隣接したコンタクトパッドの中心間隔）で−列に配列さ
れている。また、Ｘ方向の配線パターンに対しては、幅
が約１６０μｍで長さが約４ｍｎ＋のコンタクトパッド
が６００個、約３２０μｍの配列ピッチ（隣接したコン
タクトパッドの中心間隔）にて−列に配列されている。

そして、Ｘ方向の配線パターンはそれぞれガラス基板に
形成された薄膜ＦＥＴのゲートに接続され、Ｙ方向の配
線パターンはそれぞれ薄膜ＦＥＴのドレインまたはソー
スに接続されている。

このような液晶表示パネルは、液晶を塗布する前の段階
で、配線パターン相互間、薄膜ＦＥＴのゲート・ソース
間およびゲート・ドレイン間のショート検査などがなわ
れている。このようなンヨート検査などを行うためには
、コンタクドパ、ドと外部の検査回路との−・時的な接
続（プロービング）が必要である。

従来、このようなプロービングは、コンタクトパッドの
幅と配列ピッチが極めて小さいため、ＬＳＩウェハに対
するプロービングに適用されている探触子と同様な微小
な接触側をコンタクトパッドに突き当てる方式によって
行われている。

また、比較的大きな接触子を複数のコンタクトパッドに
同時に接触させ、その複数のコンタクトパッドに関して
７．１−トが検出された場合に、その複数のコンタクト
パッドのうちのショートに関連したコンタクトパッドを
見つけるために、それらコンタクトパッドの個々に接触
針を順に突き当てる、といった２段構えのプロービング
方式も試みられている。

［解決しようとする問題点］ しかし、いずれのプロービング方式であっても、接触針
の尖鋭な先端がコンタクトバンドに突き当てられるので
、コンタクトパッドに傷がつき、コンタクトパッドの材
料が一部剥離して周囲に付着するという問題がある。こ
のようにコンタクトバンドの材料が周囲に付着すると、
その後の液晶塗布上程においてトラブルの原因になり、
極めて好ましくない。

また、接触針は全体として一ζ１法が比較的大きく、か
つ、それほど高密度に配列することは技術的に困難であ
るため、多数のコンタクトバンドに対応させて多数の接
触針を一体的に配列しておき、両者を一度に位置決めす
ることはできない。したがって、１個または比較的少な
い個数の接触針を対応したコンタクトパッドに位置決め
してプロービングを１１うという操作を繰り返す必要が
あり、プロービングの能率が悪いという問題があった。

［発明のＩｔ的コ したがって、この発明の目的は、そのような従来の問題
点を解決し、液晶表示パネルのコンタクトパッドのよう
に、微小間隔で配列された多数の微小なコンタクトパッ
ドに対するプロービングに好適な、新しいプロービング
方式を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ この［１的を達成するために、この発明にあっては、可
（り性のベースに導体パターンを配列形成したフレキン
プル配線板をコンタクトパッドの配列面に玉ねておき、
コンタクトパッドの配列方向に移動する部材によってフ
レキンプル配線板を部分的にコンタクトパッド配列面に
順次押し付けることにより、コンタクトパッドと導体パ
ターンとを順次押圧接触させ、コンタクドパ１ドに対す
るプロービングを行う。

［作用コ フレキシブル配線板の導体パターンとコンタクトバンド
とを押圧接触させるから、接触針を突き当てる方式にお
けるような、コンタクトパッドの材料が剥離して周囲に
付着するという問題をほぼ完璧に防止できる。

また、コンタクトパッドの配列方向に移動する部材によ
って、フレキンプル配線板を部分的に順次押し付けるか
ら、フレキシブル配線板またはコンタクトパッド配列面
の反り、フレキシブル配線板またはコンタクトパッドの
厚さの部分的ばらつきなどがあっても、一部の導体パタ
ーンとコンタクトパッドとの押圧力が不足するというよ
うな不都合が起こりに＜＜、両者を安定に接触させるこ
とができる。

さらに、このようなフレキシブル配線板は、微小な導体
パターンを高密度に配列したものが比較的容易に実現で
きる。例えば、５０μｍ以下の幅の導体パターンを１０
木／ｎｕ＋＋以１−の高密度で配列したフレキシブル配
線板を容易に実現できる。

したがって、前記液晶表示パネルのコンタクトパッドの
ように、高密度配列された微小コンタクトパッドに対し
ても、そのコンタクトパッドの寸法および配列ピッチに
合わせて導体パターンを配列形成したフレキシブル配線
板を困難なく用意し、多数のコンタクドパ、ドと導体パ
ターンとの位置合わせを−・度に行うことができるので
、能率的なプロービングがｎＪ能である。

なお、コンタクトパッドは全部が同時に導体パターンと
接触させられるのではな（、移動ｎく材によって押圧さ
れる？ａ９分にある一部のコンタクトパッドだけが導体
パターンと接触させられる。しかし、液晶表示パネルの
ンヨート検査などはコンタクトパッドを順次走査しなか
ら１■゛われるのが河通であるから、その走査に追従さ
せて移動部材を移動させれば、ショート検査などを支障
なく行うことができる。

［実施例］ 以下、図面を参！Ｋｌ　シ、この発明の一実施例につい
て説明する。

第１図は、この発明によるプロービング方式の一実施例
を簡略化して示す概略斜視図である。この図において、
１０は液晶表示パネル、１２はフレキシブル配線板であ
る。

第２図は、液晶表示パネル１０のコンタクトパッド配列
を説明するための概略平面図である。この液晶表示パネ
ル１０のベースであるガラスＪＪ板２０の表面には、そ
の周辺部に微小なコンタクトパッド２２が高密度に−・
列に並べて形成されている。なお、コンタクトパッド２
２は前述のようにＸ、Ｙ両方向に配列されているか、図
中にはその一方だけが示されている。

第３図は、フレキシブル配線板１２の導体パターン形成
面から見た概略平面図である。このフレキシブル配線板
１２は、ポリイミド樹脂フィルムなどの＋ｉｆ　７４性
ベース３０の−・而に、多数の導体パターン３２が高密
度に配列形成されている。

このフレキシブル配線板１２は、その一方の端部分１２
ａが液晶表ノｊクパネルｌＯのコンタクトパッド２２の
配列面に市ねられるが、この端部分においては、導体パ
ターン３２はコンタクトパッド２２の配列ピッチに対応
した微小な配列ピ、ソチで配列される。さらに、その端
部分１２ａにおいて、導体パターン３２にはコンタクト
パッド２２との接触性を向ヒさせるために、金などのメ
ッキが施されている。以下、このメッキが施された部分
を端子ｆｆｉ＜３２ａと称する。また、端子部３２ａの
パターン幅もコンタクトパッド４２に対応して決められ
ている。

フレキシブル配線板１２の他の端部分１２ｂは、ショー
ト検査などのための回路が搭載された回路基板またはコ
ネクタなどにゝト［１１付けなどによって接続される。

その接続を容易にするために、その端部分１２ｂでは導
体パターン３２の配列ピッチが広げられ、また、そのた
めの接続パッド部３２ｂが設けられている。

Ｉｌｌび第１図において、フレキシブル配線板１２の端
部分１２ａは枠部材４０に固定されている。

また、その端部分１２ａの−１−側にｄ１滑性のよい可
撓性のフィルム４２が取ねられており、これも枠部材４
０に固定されている。

フレキシブル配線板１２の端部分１２ａは図示のように
液晶表示パネルｌＯのコンタクトパッド２２の配列面に
重ねて置かれ、各導体パターン３２の端子部３２ａが対
応するコンタクトパッド２２の上に来るように、液晶表
示パネル１０と端部分１２ａとの位置合わせがなされる
。この位置合わせは、液晶表示パネル１０またはフレキ
シブル配線板１２の一方または両方を微動させることに
よって行われるが、そのための手段は図示されていない
。

４４は少なくとも表面部分がゴムなどの弾性祠によって
作られたローラであり、取り付は金具４６に軸４８によ
って回転自在に取り付けられている。このローラ４４は
、フィルム４２１ｔをフンタクトパッド２２の配列方向
に転動しながら、フィルム４２を介して、フレキノプル
配線板１２の端部分３２を■く公的に液晶表示パネル１
０に押し付けるものである。

５０はローラ４４を転動させるためのスクリューシャフ
トであり、その各端部は枠部材４０に［Ｊ１１定された
軸受５２．５４に支承されている。５６はスクリューシ
ャフト５０の回転駆動のためのモータである。

５８はスクリューシャフト５２に螺合するナツト部材で
ある。取り付は金具４６は、このナンド部材５８に固定
されている。６０はガイドバーであり、スクリューシャ
フト５０と車行させて軸受部材５２．５４に固定されて
いる。ナツト部材５８はこのがイドバー６０に案内され
ながら、傾くことなくコンタクトパッド配列方向に移動
する。

このような構成において、モータ５６によってスクリュ
ーシャフト５０をある向きに回転させると、ナツト部材
５８はガイドバー６０に案内されながらコンタクトパッ
ド２２の配列方向に移動する。この移動にイ↑い、ロー
ラ４４はフィルム４２１・、を転勤し、フィルム４２を
介して、端部分１２ａを部分的に液晶表示パネル１０に
押し付ける。

その押し付けられた部分の端ｒ一部３２ａだけが対応す
るコンタクトパッド２２に押圧接触せしめられ、そのコ
ンタクトパッド２２は外部の検査回路などに電気的に接
続される。

このようにして、ローラ４４の転勤に従い、コンタクト
パッド２２に対するプロービングが順次行われる。そし
て、フレキシブル配線板１２の導体パターン３２の端子
ｆｆｉ＜３２ａとコンタクトパッド２２とを押圧接触さ
せることによってプロービングを行うから、コンタクト
バンド２２に傷がつきにクク、その材料が剥離して周辺
に付着するというような問題は起こらない。

また、ローラ４４によって、フレキ７ブル配線板１２の
端部分１２ａを部分的に押し付けるから、端部分１２ａ
またはコンタクドパ、ド配列而の反り、端部分１２ａま
たはコンタクトパッド２２の厚さの部分的ばらつきなど
があっても、一部の端Ｉ’！＜３２ａとコンタクドパ、
ド２２との押圧力が不足するというような不都合か起こ
りに＜＜、両者を安定に接触させることができる。

なお、コンタクトバンド２２は全部が同時に導体パター
ン３２の端Ｊ’ｆｆｉり３２　ａと接触させられるので
はなく、ローラ４４によって押１にされる部分にある−
・部のコンタクドパアト２またけが端子部３２ａと接触
させられる。しかし、Ｉｌ’ｌ述のように、液晶表示パ
ネルのショート検査なとは、コンタクトパッド２２を順
次走査しながら行われるのが河通であるから、走査中の
コンタクトパッド２２の位置にローラ４４が来るように
、ローラ４４の転勤を制御すれば、支障なくシーｒｈ検
査などを実行できる。

また、フレキシブル配線板の製造技術によれば、導体パ
ターン３２の端子部３２ａのパターン幅および配列ピン
チを充分に小さくすることができる。

したがって、コンタクトバンド２２のパターン幅および
配列ピッチが極めて小さくなっても、それに対応したフ
レキシブル配線板１２を用意し、多数のコンタクトパッ
ド２２と端１部３２ａとを一度に位置決めし、能率的に
プロービングを行うことができる。

以−１−１一実施例に関して、この発明を説明したが、
この発明はそれたけに限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲内で種々の変形か許されるものであ
る。

例えば、前記実施例にあっては、フレキシブル配線板１
２の端部分１２ａに、ローラ移動方向の無理な力が加わ
らないようにするために、ローラ４４と端ｎく分１２ａ
との間に潤滑性のよいフィルム４２を介在させている。

しかし、ローラ４４と端ｎく分１２ａとの摩擦を充分小
さい場合は、そのフィルム４２を省くこともＩｉＪ能で
ある。

また前記実施例では、ローラ４４の弾性を利用して、端
子部１２ａとコンタクトバンド２２とにほぼ一定の押圧
力を加えるようにしている。しかし、ローラ４４を１・
、ドにある程度移動できるように取り付は金具４８に取
り付け、さらにローラ４４をスプリングなどによってド
側に・定の力で付勢することにより、ローラ４４として
弾性のないローラを用いることもできる。

ローラ４４の代わりに、球体などの他の転動部材を用い
ることもできる。さらに、転動部材の代わりに、回転す
ることな（移動するｉｌ＜材によってフレキシブル配線
板を押圧させてもよい。ただし、その場合は、前記実施
例におけるフィルム４２などを介在させるなど、その部
材の移動によりフレキシブル配線板に無理な力が加わら
ないようにするなどの１夫が望まれる。

さらに、ローラ４４などの移動部材を複数個、その移動
方向に位置をずらして設けてもよい。このようにすれば
、同時にプロービングが可能なコンタクトパッドの個数
を増加させることができる。

フレキシブル配線板１２に関しては、隣接した２個以上
の導体パターンの端子部が同じコンタクトパッドに接触
するように、端ｒ席の個数と配列ピッチを決定してもよ
い。このようにすれば、隣接した端１部の相互の導通を
チェックすることによって、端１部とコンタクトバンド
との接触状態を確認できるため、フレキシブル配線板と
液晶表示パネルとの位置合わせなどが容易になる。

あるいは、コンタクトパッドの長手方向に位置をずらし
て端ｒ部を２列配列し、対向する端子部を同一のコンタ
クトパッドに接触させるようにしてもよい。このように
しても、対向した端子部間の導通チェックによって、端
子部とコンタクトパッドとの接触を確認できる。

また、コンタクトパッドよりも充分多い導体パターンの
端子部を、コンタクトパッドの配列ピッチより充分に小
さい配列ピッチで配列し、フレキシブル配線板とコンタ
クトパッドとの位置合わせを行わなくとも、コンタクト
パッドが常に−・つ以］二の端子部と接触するようにし
てもよい。

［発明の効果コ この発明にあっては、ＩＩＩ挟性のベースに導体パター
ンを配列形成したフレキシブル配線板をコンタクトパッ
ドの配列面に重ねておき、コンタクトパッドの配列方向
に移動する部材によってフレキシブル配線板を部分的に
コンタクトパッド配列面に順次押し付けることにより、
コンタクトパッドと導体パターンとを順次押圧接触させ
、コンタクトパッドに対するプロービングを行う。

このようなプロービング方式であるから、以１−１詳細
に説明したように、コンタクトパッドの材料が剥離して
周囲に付着するという問題をほぼ完璧に防止でき、また
、フレキンプル配線板またはコンタクトパッド配列面の
反り、フレキシブル配線板またはコンタクトバンドの厚
さの部分的ばらつきなどがあっても、−・部の導体パタ
ーンとコンタクトパッドとの押用力が不足するというよ
うな不都合が起こりに＜＜、両者を安定に接触させるこ
とができ、さらに、液晶表示パネルのコンタクトパッド
のように、高密度配列された微小コンタクトパッドに対
しても能率的なプロービング力（ｒｉｊ能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明によるプロービング方式の−・実施
例を簡略化して示す概略斜視図、第２図は液晶表示パネ
ルのコンタクトパッド配列を１説明するだめの概略・１
部面図、第３図はフレキシブル配線板の導体パターン形
成前から見た概略牢面図である。 １０・・・７１１１　品＆小パネル、１２・・・フレキ
シブル配線板、１２ａ・・・端部分、２２・・・コンタ
クトバンド、３２・・・導体パターン、３２ａ・・・端
子部、４０・・・枠ｆｆｉ＜材、４２・・・フィルム、
４４・・・ローラ、５０・・・スクリューンヤフト、５
６・・・モータ、５８・・・ナツト部材、６０・・・ガ
イドバー。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）配列されたコンタクトパッドに対するプロービン
   グ方式であって、可撓性のベースに導体パターンを配列
   形成したフレキシブル配線板を前記コンタクトパッドの
   配列面に重ねておき、前記コンタクトパッドの配列方向
   に移動する部材によって前記フレキシブル配線板を部分
   的に前記コンタクトパッド配列面に順次押し付けること
   により、前記コンタクトパッドと前記導体パターンとを
   順次押圧接触させることを特徴とするプロービング方式
   。
2. （２）コンタクトパッドの配列方向に移動する部材は、
   回転しながら移動することを特徴とする特許請求の範囲
   第１項に記載のプロービング方式。
3. （３）コンタクトパッドの配列方向に移動する部材は潤
   滑性の良いフィルム部材を介してフレキシブル配線板を
   押し付けることを特徴とする特許請求の範囲第１項また
   は第２項に記載のプロービング方式。