JP2674088B2 - 磁気センサ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は主にモータの回転速度、回転角の検知等に利
用される磁気センサに関するものである。

従来の技術 従来、この種の磁気センサは、第２図，第３図あるい
は第４図に示すような構造であった。すなわち第２図の
場合、絶縁基板１上の一部に、まず厚膜電極２を印刷・
焼成等により形成する。次にこの厚膜電極２の一部と絶
縁基板１上の一部あるいは全面にガラスグレーズ３を印
刷・焼成等により形成する。次に厚膜電極２およびガラ
スグレーズ３上にNi合金薄膜４を真空蒸着法またはスパ
ッタリング法により形成する。次にフォトエッチングに
より所望のパターンに形成後、厚膜電極のうち取り出し
電極となる電極取出部2aを除く基板上に保護膜５を形成
する。次にリードフレーム６を電極取出部2aにハンダ付
けし、電極取出部2aおよびハンダ接合部を熱硬化性樹脂
７により被覆して磁気センサとするものである。

また第３図の場合、絶縁基板８上の一部あるいは全面
にまず表面平滑性に優れたガラスグレーズ９を印刷・焼
成等により形成する。次に絶縁基板８上で少くともガラ
スクレーズ９の一部と重なる構造の厚膜電極10を印刷・
焼成等により形成し、これらの上に第２図の例と同様
に、Ni合金薄膜11のパターン、保護膜12を形成した後、
リードフレーム13をハンダ付けし、熱硬化性樹脂14で被
覆して磁気センサとするものである。

また、第４図の場合、絶縁基板15上に厚膜電極16とガ
ラスグレーズ17を重ならないようにそれぞれ印刷・焼成
等により形成し、これらの上に第２図の例と同様に、Ni
合金薄膜のパターン18,保護膜19を形成した後、リード
フレーム20をハンダ付けし、熱硬化性樹脂21で被覆して
磁気センサとするものである。

発明が解決しようとする課題 従来の第２図に示すような構造では、厚膜電極を先に
焼成するため、ガラスグレーズはその焼成温度が厚膜電
極を劣化させないために厚膜電極の焼成温度以下に限定
されてしまい、表面平滑性に優れた高温焼成を要するガ
ラスグレーズを用いることが不可能であった。

また、第３図に示すような構造では、ガラスグレーズ
焼成後に厚膜電極を印刷・焼成するが、厚膜電極を焼成
する際に、厚膜電極ペーストの収縮等により、厚膜電極
の接合する付近のガラスグレーズにクラックが生じ、そ
の上に形成するNi合金薄膜パターンの信頼性が十分でな
かった。

また、第４図に示すような構造では、薄膜パターンの
一部が絶縁基板の非グレーズ部上に形成され、この部分
の薄膜は、絶縁基板表面が平滑でないために厚膜が不均
一となり、十分な信頼性が得られなかった。

本発明は、このような問題点を解決するもので、磁気
センサとして十分な特性ならびに信頼性を得ることを目
的とするものである。

課題を解決するための手段 これらの問題点を解決するために、本発明は、絶縁基
板上に形成された厚膜電極と、前記絶縁基板上に前記の
厚膜電極と接合しないように形成された表面平滑性に優
れたグレーズと、このグレーズ上に形成された磁電変換
薄膜と、前記厚膜電極と前記磁電変換薄膜とを導通させ
る機能を有する電極膜とを備えたものである。

作用 この構造により、グレーズ材料の選択の範囲が広くな
り、表面平滑性に優れたグレーズを形成することが可能
であり、磁気センサとして十分な特性を得ることができ
る。また、電極膜は磁電変換薄膜と同時に形成しないた
め、その膜厚は任意に設定できるので十分な信頼性を得
ることができる。

実施例 第１図は本発明の一実施例による磁気センサの断面図
である。まずアルミナ等の絶縁基板22上にAg−Pd等によ
る厚膜電極23および厚膜電極23とは接合しないグレーズ
24を印刷・焼成等により形成する。このグレーズ24およ
び厚膜電極23のそれぞれ少くとも一部を覆うようなCu等
の電極膜25をマスク蒸着等により形成し、さらにグレー
ズ24およびグレーズ24上の電極膜25上にNi合金薄膜26を
真空蒸着法またはスパッタリング法により形成する。次
にフォトエッチング法により、Ni合金薄膜26を所望のパ
ターンに形成後、厚膜電極23のうちリードフレームをハ
ンダ付けする部分23aを除いた部分および電極膜25とNi
合金薄膜26上に保護膜27を形成する。さらにリードフレ
ーム28を厚膜電極23aにハンダ付けし、ハンダ接合部を
熱硬化性樹脂29により被覆する。

なお本実施例において、絶縁基板はアルミナ等、厚膜
電極はAg−Pd等、電極膜はマスク蒸着によるCu等、磁電
変換薄膜はNi合金薄膜、また塗料は熱硬化性樹脂とした
が、同様な目的を達成できるものであれば何でもよい。

また、厚膜電極、電極膜およびNi合金薄膜を形成する
際の順序は問わない。

発明の効果 以上のように本発明によれば、グレーズと厚膜電極が
接合しないため、それぞれを最適の条件で焼成等を行い
形成することができ、また、グレーズ上に形成された電
磁変換薄膜とリードフレーム接合用の厚膜電極とを、任
意な厚みの電極膜で接合し導通させるため、磁気センサ
として十分な特性を有し、さらに信頼性を大幅に向上さ
せることができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による磁気センサを示す断面
図、第２図，第３図および第４図はそれぞれ従来の磁気
センサを示す断面図である。 22……絶縁基板、23……厚膜電極、24……グレーズ、25
……電極膜、26……Ni合金薄膜、27……保護膜、28……
リードフレーム、29……熱硬化性樹脂。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 元川 勝 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平１−262488（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】絶縁基板上に形成された厚膜電極と、前記
   絶縁基板上に前記厚膜電極と接合しないように形成され
   た表面平滑性に優れたグレーズと、このグレーズ上に形
   成された磁電変換薄膜と、前記厚膜電極と前記磁電変換
   薄膜とを導通させる機能を有する電極膜とを備えたこと
   を特徴とする磁気センサ。