JP2655455B2 - 遠心脱水機 - Google Patents
遠心脱水機Info
- Publication number
- JP2655455B2 JP2655455B2 JP12061391A JP12061391A JP2655455B2 JP 2655455 B2 JP2655455 B2 JP 2655455B2 JP 12061391 A JP12061391 A JP 12061391A JP 12061391 A JP12061391 A JP 12061391A JP 2655455 B2 JP2655455 B2 JP 2655455B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary table
- centrifugal dehydrator
- pure water
- cradle
- spray nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の半導体基板を収
納するカセットを回転機構部に取付け、回転する遠心力
により半導体基板の水分を脱水する遠心脱水機に関す
る。
納するカセットを回転機構部に取付け、回転する遠心力
により半導体基板の水分を脱水する遠心脱水機に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の一例を示す遠心脱水機の模
式断面図である。従来、この種の遠心脱水機は、例え
ば、図２に示すように、複数の半導体基板１１を収納す
るカセット１０を取付けるクレードル１と、複数個のク
レードル１を回転自在ピン３を介して取付ける回転テー
ブル２と、回転テーブル２の回転軸４を支え保持する軸
受部（図示せず）と、この回転軸４を回転させるモータ
５と、クレード１を含めた回転テーブル２を覆うチャン
バ９及び蓋６とを有していた。
式断面図である。従来、この種の遠心脱水機は、例え
ば、図２に示すように、複数の半導体基板１１を収納す
るカセット１０を取付けるクレードル１と、複数個のク
レードル１を回転自在ピン３を介して取付ける回転テー
ブル２と、回転テーブル２の回転軸４を支え保持する軸
受部（図示せず）と、この回転軸４を回転させるモータ
５と、クレード１を含めた回転テーブル２を覆うチャン
バ９及び蓋６とを有していた。
【０００３】この遠心脱水機を使用して半導体基板を乾
燥する場合は、まず、クレードル１の中に純水水洗後の
濡れた半導体基板１１の多数が収納されたカセット１０
を取付ける。次に、蓋６を閉め、クレードル１が取付け
られた回転テーブル２をモータ５によって一定時間高速
回転する。このことにより半導体基板１１についている
水分はこの高速回転による遠心力で振り切られ、脱水す
ることで乾燥することになる。次に、モータ５の回転を
止め、乾燥した半導体基板１１はカセット１０に収納さ
れたままクレードル１より取出される。
燥する場合は、まず、クレードル１の中に純水水洗後の
濡れた半導体基板１１の多数が収納されたカセット１０
を取付ける。次に、蓋６を閉め、クレードル１が取付け
られた回転テーブル２をモータ５によって一定時間高速
回転する。このことにより半導体基板１１についている
水分はこの高速回転による遠心力で振り切られ、脱水す
ることで乾燥することになる。次に、モータ５の回転を
止め、乾燥した半導体基板１１はカセット１０に収納さ
れたままクレードル１より取出される。
【０００４】このように多数の半導体基板をきわめて短
時間に乾燥できることで、この装置は有効なものであっ
た。
時間に乾燥できることで、この装置は有効なものであっ
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来の遠心乾燥機
では長時間運転を続けることによって、クレードルの回
転自在ピンによる揺動機構部あるいは回転テーブルの軸
受部から発生した塵埃及び外部からもち込まれた塵埃が
チャンバ内に付着、堆積、浮遊し、半導体基板への塵埃
の付着をまねくという問題があった。
では長時間運転を続けることによって、クレードルの回
転自在ピンによる揺動機構部あるいは回転テーブルの軸
受部から発生した塵埃及び外部からもち込まれた塵埃が
チャンバ内に付着、堆積、浮遊し、半導体基板への塵埃
の付着をまねくという問題があった。
【０００６】本発明の目的は、かかる問題を解消すべ
く、半導体基板に塵埃が付着しない遠心脱水機を提供す
ることである。
く、半導体基板に塵埃が付着しない遠心脱水機を提供す
ることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の遠心脱水機は、
複数枚の半導体基板を収納するカセットを取付けるクレ
ードルと、複数のクレードルを回転自在ピンを介して取
付ける回転テーブルと、回転テーブルの回転軸を支え保
持する軸受部と、前記クレードル及び前記回転テーブル
を囲み覆うチャンバ及び蓋と、前記軸受部に純水を散水
する第１のスプレーノズル、前記回転自在ピンに純水を
散水する第２のスプレーノズルトと備え、所定時間前記
半導体基板の水分を脱水する動作させる毎に、前記第１
及び第２のスプレーノズルで純水を散水し、前記回転テ
ーブルを回転して脱水する洗浄動作を行うことを特徴と
している。
複数枚の半導体基板を収納するカセットを取付けるクレ
ードルと、複数のクレードルを回転自在ピンを介して取
付ける回転テーブルと、回転テーブルの回転軸を支え保
持する軸受部と、前記クレードル及び前記回転テーブル
を囲み覆うチャンバ及び蓋と、前記軸受部に純水を散水
する第１のスプレーノズル、前記回転自在ピンに純水を
散水する第２のスプレーノズルトと備え、所定時間前記
半導体基板の水分を脱水する動作させる毎に、前記第１
及び第２のスプレーノズルで純水を散水し、前記回転テ
ーブルを回転して脱水する洗浄動作を行うことを特徴と
している。
【０００８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００９】図１は本発明の一実施例を示す遠水脱水機
の模式断面図である。この遠心脱水機は、図１に示すよ
うに、蓋６に取付けられているとともにクレードル１の
回転自在ピン３に純水をかける上部スプレーノズル７
を、チャンバ９の側壁に取付けられているとともに回転
テーブル２の軸受部に純水をかける下部スプレーノズル
８とを設けたことである。それ以外は、従来例と同じで
ある。
の模式断面図である。この遠心脱水機は、図１に示すよ
うに、蓋６に取付けられているとともにクレードル１の
回転自在ピン３に純水をかける上部スプレーノズル７
を、チャンバ９の側壁に取付けられているとともに回転
テーブル２の軸受部に純水をかける下部スプレーノズル
８とを設けたことである。それ以外は、従来例と同じで
ある。
【００１０】次に、この遠心脱水機の動作を説明する。
従来例と同じように、一定時間乾燥運転された後、この
遠心乾燥機は自動的に装置のクリーニング運転にはい
る。まず、クレードル１は空の状態にし、回転テーブル
２が、例えば３００ｒｐｍで回転すると同時に上部スプ
レーノズル７と下部スプレーノズル８から純水が散水さ
れる。この状態で３分間チャンバ９内のクリーニングが
行なわれている。そして、所定時間経過後純水の散水が
停止される。次に、回転テーブル２は次に９００ｒｐｍ
で、例えば３分間回転し、空のクレードル１及び回転テ
ーブル２に付着する純水を脱水し、乾燥をし、クリーニ
ング運転は完了する。このクリーニング運転は一定時間
の乾燥運転毎に繰り返えされるので、チャンバ１及び回
転機構部の塵埃の堆積を抑えることができるこの遠心脱
水機の使用結果を従来の遠心脱水機の使用結果と比較す
ると、数週間使用したところ、従来の遠心脱水機では付
着している塵埃数が５０個程度に対して５個程度に減少
し、敬異的な効果を得ることが出来た。
従来例と同じように、一定時間乾燥運転された後、この
遠心乾燥機は自動的に装置のクリーニング運転にはい
る。まず、クレードル１は空の状態にし、回転テーブル
２が、例えば３００ｒｐｍで回転すると同時に上部スプ
レーノズル７と下部スプレーノズル８から純水が散水さ
れる。この状態で３分間チャンバ９内のクリーニングが
行なわれている。そして、所定時間経過後純水の散水が
停止される。次に、回転テーブル２は次に９００ｒｐｍ
で、例えば３分間回転し、空のクレードル１及び回転テ
ーブル２に付着する純水を脱水し、乾燥をし、クリーニ
ング運転は完了する。このクリーニング運転は一定時間
の乾燥運転毎に繰り返えされるので、チャンバ１及び回
転機構部の塵埃の堆積を抑えることができるこの遠心脱
水機の使用結果を従来の遠心脱水機の使用結果と比較す
ると、数週間使用したところ、従来の遠心脱水機では付
着している塵埃数が５０個程度に対して５個程度に減少
し、敬異的な効果を得ることが出来た。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、クレード
ルの揺動機構部、回転テーブルの軸受部に対し純水を散
水し、回転による脱水するクリーニング運転を一定時間
の乾燥作業毎にくり返えすことにより、塵埃の堆積を抑
えることができ、半導体基板に付着する塵埃を低減する
遠心脱水機が得られるという効果がある。
ルの揺動機構部、回転テーブルの軸受部に対し純水を散
水し、回転による脱水するクリーニング運転を一定時間
の乾燥作業毎にくり返えすことにより、塵埃の堆積を抑
えることができ、半導体基板に付着する塵埃を低減する
遠心脱水機が得られるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す遠心脱水機の模式断面
図である。
図である。
【図２】従来の一例の示す遠心脱水機の模式断面図であ
る。
る。
１ クレードル ２ 回転テーブル ３ 回転自在ピン ４ 回転軸 ５ モータ ６ 蓋 ７ 上部スプレーノズル ８ 下部スプレーノズル ９ チャンバ １０ カセット １１ 半導体基板
Claims (1)
- 【請求項１】 複数枚の半導体基板を収納するカセット
を取付けるクレードルと、複数のクレードルを回転自在
ピンを介して取付ける回転テーブルと、回転テーブルの
回転軸を支え保持する軸受部と、前記クレードル及び前
記回転テーブルを囲み覆うチャンバ及び蓋と、前記軸受
部に純水を散水する第１のスプレーノズルと、前記回転
自在ピンに純水を散水する第２のスプレーノズルと備
え、所定時間前記半導体基板の水分を脱水する動作させ
る毎に、前記第１及び第２のスプレーノズルで純水を散
水し、前記回転テーブルを回転して脱水する洗浄動作を
行うことを特徴とする遠心脱水機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12061391A JP2655455B2 (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 遠心脱水機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12061391A JP2655455B2 (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 遠心脱水機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04348522A JPH04348522A (ja) | 1992-12-03 |
| JP2655455B2 true JP2655455B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=14790583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12061391A Expired - Fee Related JP2655455B2 (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 遠心脱水機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2655455B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100284559B1 (ko) * | 1994-04-04 | 2001-04-02 | 다카시마 히로시 | 처리방법 및 처리장치 |
| CN108981294A (zh) * | 2018-07-03 | 2018-12-11 | 金寨崟鑫电子科技有限公司 | 一种二极管清洗后脱水装置 |
-
1991
- 1991-05-27 JP JP12061391A patent/JP2655455B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04348522A (ja) | 1992-12-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970422 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |