JPS6218034Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6218034Y2
JPS6218034Y2 JP1981009182U JP918281U JPS6218034Y2 JP S6218034 Y2 JPS6218034 Y2 JP S6218034Y2 JP 1981009182 U JP1981009182 U JP 1981009182U JP 918281 U JP918281 U JP 918281U JP S6218034 Y2 JPS6218034 Y2 JP S6218034Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
carrier
lid
presser
storage case
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP1981009182U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS57124145U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1981009182U priority Critical patent/JPS6218034Y2/ja
Publication of JPS57124145U publication Critical patent/JPS57124145U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6218034Y2 publication Critical patent/JPS6218034Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、とくにトランジスタまたはICなど
の素材となるウエフアの処理工程において、水洗
のあとで、ウエフアに付着した水分を乾燥する際
に用いる遠心乾燥機に関するものである。
各種の遠心乾燥機は、ウエフアを水洗したあと
に残る水分を乾燥するために用いられているが、
処理物の取入と取出が不便であつたり、自動化す
るための配慮が不充分であるなど、改良すべき点
がある。
本考案は以上に鑑み、処理物の取入及び取出が
容易であり、更にロボツトによる自動取入と取出
が容易にできるようにしたものであり、次に実施
例に就て説明する。
第１図は正面断面図、第２図は側面断面図であ
り、両図において共通のものに就ては同一符号で
示すと、１はキヤリア、２はウエフア、３はキヤ
リアの収納ケース、４は収納ケース３の両側面に
設けた開閉自在のキヤリア押え、５はキヤリア押
えと同体に固定したウエフア押えであり、一方の
キヤリア押え（第１図では右側）に設けてあり、
その先端部はウエフアの周端面を押えるため棒体
５′となつている。
６は外箱、７と８はパイプ、７′と８′はそれぞ
れパイプ７と８に配設した複数のノズル孔であ
り、パイプ７には純水（又はN2ガス）を、そし
てパイプ８にはN2ガス（又は純水）を供給す
る。
こゝでパイプ７と８のいづれか一方、例えばパ
イプ７に純水を供給する場合は、パイプ８には
N2ガスを供給するが、純水はウエフアを洗浄す
るシヤワーを噴出するため、そしてN2ガスは乾
燥を促進するために使用する。
９は開閉自在の蓋、１０は排出口、１１はヒン
ジ、１２は前記収納ケース３を外箱６に固定する
ための台座、１３はモータ、１４はベルト、１５
はプーリー、１６はシヤフト、１７は水の流通を
円滑にするため前記収納ケース３の側面に設けた
窓穴である。
操作は次の通り行う。すなわち蓋９を開き、次
にキヤリア押え４とウエフア押え５を開いて、ウ
エフア２を収納したキヤリア１を、収納ケース３
の中に入れ、そのあと４と５を閉じ、更に蓋９を
閉じて準備を完了する。
準備が完了したらモータ１３を駆動すると、収
納ケース３は矢印Ａの方向に回転し、キヤリア１
とウエフア２に附着した水を遠心力によつて飛散
する。この場合、収納ケース３は矢印方向に回転
するから、内部のウエフアの面に向つて風圧が
かゝらず、したがつて破損することがなく効果的
に乾燥を行うことができる。
本考案の遠心乾燥機は上記の通りであり、被処
理物の取入と取出とが上方なので、操作が自然で
容易であると共に、ロボツトによつて自動化する
ことも簡単な附加装置で行い易い。
【図面の簡単な説明】
第１図は実施例の正面断面図。第２図は実施例
の側面断面図。 １……キヤリア、２……ウエフア、３……収納
ケース、４……キヤリア押え、５……ウエフア押
え、６……外箱、７と８……パイプ、９……蓋、
１０……排出口、１１……ヒンジ、１２……台
座、１３……モータ、１４……ベルト、１５……
プーリー、１６……シヤフト、１７……窓穴。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 外箱６の上面中央部に開閉自在の蓋９と、該蓋
    ９をはさんだ両側の内面に沿つて、外部から貫通
    し、外面に複数のノズルを有するパイプ７と８が
    設けられ、前記外箱６の内面適宜の個所に設けら
    れた台座１２には、ウエフア２を装填するキヤリ
    ア１の収納用ケース３が装着され、該ケース３の
    開放側両端部に開閉自在の前記キヤリア１の押え
    ４を有し、かついずれか一方の押え４には前記ウ
    エフア２を押えるウエフア押え５が固着され、前
    記ケース３はモータ１３の駆動によつて鉛直方向
    に回転され、かつ前記ケース３の底面に排出口１
    ０を開けた構造のウエフア乾燥用の遠心乾燥機。
JP1981009182U 1981-01-27 1981-01-27 Expired JPS6218034Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1981009182U JPS6218034Y2 (ja) 1981-01-27 1981-01-27

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1981009182U JPS6218034Y2 (ja) 1981-01-27 1981-01-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS57124145U JPS57124145U (ja) 1982-08-03
JPS6218034Y2 true JPS6218034Y2 (ja) 1987-05-09

Family

ID=29807317

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1981009182U Expired JPS6218034Y2 (ja) 1981-01-27 1981-01-27

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6218034Y2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0745957Y2 (ja) * 1987-05-06 1995-10-18 株式会社ダン科学 キャリア洗浄乾燥装置
JP2663492B2 (ja) * 1988-04-04 1997-10-15 大日本スクリーン製造 株式会社 基板の回転式表面処理装置
JP2955910B2 (ja) * 1992-09-25 1999-10-04 大日本スクリーン製造株式会社 横軸回転式基板乾燥装置
JP2688331B2 (ja) * 1994-10-06 1997-12-10 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5249504U (ja) * 1975-10-07 1977-04-08
JPS5295165A (en) * 1976-02-06 1977-08-10 Hitachi Ltd Wafer cleansing tool
JPS55115332A (en) * 1979-02-26 1980-09-05 Mitsubishi Electric Corp Washing and drying apparatus for photomask

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5249504U (ja) * 1975-10-07 1977-04-08
JPS5295165A (en) * 1976-02-06 1977-08-10 Hitachi Ltd Wafer cleansing tool
JPS55115332A (en) * 1979-02-26 1980-09-05 Mitsubishi Electric Corp Washing and drying apparatus for photomask

Also Published As

Publication number Publication date
JPS57124145U (ja) 1982-08-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6671978B1 (en) Combination washer/dryer
JPS6218034Y2 (ja)
US3688906A (en) Centrifugal dryers
JPH04166196A (ja) 洗濯機器
JPH11165140A (ja) 遠心脱水式洗浄装置
KR920010991B1 (ko) 세탁건조기
JP2734482B2 (ja) 洗濯物排出方法
US5060399A (en) Dryer having loading on both sides
JPH08309075A (ja) 洗濯物処理装置
JP2655455B2 (ja) 遠心脱水機
JPH0549587A (ja) 靴用乾燥器
JP2592458B2 (ja) 衣類乾燥機
JPS58221990A (ja) 乾燥機
JPH069496Y2 (ja) 遠心乾燥機
JPS6036798B2 (ja) 寝具の丸洗い機
JPS5916080Y2 (ja) 全自動乾燥洗濯機
JPS58215771A (ja) デイスク洗浄乾燥装置
JP2695650B2 (ja) 洗濯物排出方法
KR920007733B1 (ko) 드럼식 세탁물 처리장치
KR0134734B1 (ko) 세탁기의 진공탈수조
JPH0527170Y2 (ja)
JPH07227491A (ja) 完全自動式電気洗濯乾燥機
JP3191222B2 (ja) 回転乾燥装置
JPH02195986A (ja) ドラム式洗濯物処理装置
RU2178130C2 (ru) Сушильная установка