JP3191222B2 - 回転乾燥装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、洗浄処理後のウエハを
乾燥する回転乾燥装置に関し、乾燥中に発生する塵埃を
除去する手段を設けた回転乾燥装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造におけるウエハの洗浄，乾燥
工程は、自動化の向上により、各種洗浄処理から乾燥ま
で、搬送ロボットを用いた自動洗浄装置によって行われ
ている。自動洗浄装置に組み込まれた回転乾燥装置でウ
エハを乾燥するには、搬送ロボットにより洗浄したウエ
ハを収納したキャリアを搬送して回転乾燥装置のクレイ
ドルにセットし、このクレイドルとともにキャリアに収
納したウエハを高速回転する。そしてウエハに付着して
いる水滴を遠心力により飛ばして、ウエハより水滴を除
去して乾燥させる。

【０００３】従来の回転乾燥装置を図４の概略断面図お
よび図４中のＢ−Ｂ線断面図により説明する。図に示す
如く、回転乾燥装置３０の周辺に液滴が飛散するのを防
ぐための容器３１の下部にモータ３２を設ける。モータ
３２には容器３１の底壁３１ａを回動自在な状態で貫通
させたモータ軸３３を設ける。容器３１の内部でモータ
軸３３の先端にはターンテーブル３４を設ける。ターン
テーブル３４の上面にはクレイドル軸支持部３５，３６
を間隔をおいてかつ平行に設ける。各クレイドル軸支持
部３５，３６にはターンテーブル３４の上面より同等の
高さで対向した位置に軸受３７，３８および軸受３９，
４０を形成する。

【０００４】各クレイドル軸支持部３５，３６間にはク
レイドル４１，４２を取り付ける。各クレイドル４１，
４２の重心よりも上方でかつ同重心よりもモータ軸３３
側でクレイドル４１およびクレイドル４２のそれぞれの
両側には、クレイドル軸４３，４４およびクレイドル軸
４５，４６を形成する。各クレイドル軸４３ないし４６
はそれぞれに対応する上記軸受３７ないし４０に回動自
在な状態で支持される。上記各クレイドル４１，４２に
はキャリア７１，７２を出し入れするための開口４７，
４８を設ける。またクレイドル軸支持部３５，３６間に
は、ターンテーブル３４が停止しているときに、各クレ
イドル４１，４２が矢印方向に回動するのを防いで、各
開口４７，４８が上方に向く状態に当該クレイドル４
１，４２を支えるクレイドル支持部４９，５０を設け
る。

【０００５】次に上記構成の従来の回転乾燥装置３０の
動作を図６により説明する。図６に示す如く、ターンテ
ーブル３４が停止している状態では、各クレイドル４
１，４２はクレイドル支持部４９，５０によって２点鎖
線で示す位置に支持される。この状態でウエハ（図示せ
ず）を収納したキャリア７１，７２を該当するクレイド
ル４１，４２にセットする。

【０００６】その後モータ３２を駆動して、ターンテー
ブル３４を高速回転させる。ターンテーブル３４の回転
速度が高まるにつれて、各クレイドル４１，４２は矢印
で示す方向にそれぞれが回動し、実線で示す位置に移動
する。そしてウエハに付着した水滴に遠心力が作用し、
水滴がウエハ面より振り切られてウエハより水滴が除去
される。このようにしてウエハは乾燥する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記回転
乾燥装置では、ターンテーブルが高速回転するにしたが
い、クレイドルの重心が回転の外側方向に引っ張られ
る。この結果、クレイドルはクレイドル軸の軸心回りに
回動する。このときクレイドル軸と軸受とが擦れあっ
て、クレイドル軸または軸受のいずれか一方または両方
が摩耗して塵埃を発生する。この塵埃が浮遊して乾燥処
理中のウエハに付着し、ウエハは汚染される。

【０００８】本発明は、塵埃によるウエハの汚染を無く
して清浄性に優れた回転乾燥装置を提供することを目的
とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされた回転乾燥装置である。すなわち、
モータのモータ軸に設けられたターンテーブルと、前記
ターンテーブルの上面でかつ対向した状態に設けられた
一対のクレイドル軸支持部と、前記各クレイドル軸支持
部に形成され、対向するように配置された一対の軸受
と、前記各軸受に回動自在に支持された一対のクレイド
ル軸を備え、前記一対のクレイドル軸支持部間に配置さ
れ、ウエハが収納されるクレイドルとを有し、前記クレ
イドルは前記ターンテーブルの回転速度が高まるにつれ
て回動し、遠心力により水滴が前記ウエハ面より振り切
られて除去される回転乾燥装置において、前記各軸受の
前記クレイドル側とは反対側を覆う状態で前記クレイド
ル軸支持部に設けられた吸引カバーと、前記吸引カバー
の内部と前記モータ軸の内部に形成した流路とを連通す
る状態に接続された配管と、前記流路に接続された吸引
機とを有するものである。

【００１０】

【作用】上記構成の回転乾燥装置では、各軸受における
クレイドル側とは反対側を覆う状態に吸引カバーを設
け、さらに吸引カバーに配管とモータ軸に形成した流路
とを介して吸引機を接続した。このため、クレイドルが
回動するときに、クレイドル軸と軸受とが擦れあって発
生する塵埃は、吸引カバーより配管と流路とを通って吸
引機に吸引される。この結果、塵埃がクレイドル側に拡
散しないので、乾燥処理中のウエハは清浄に保たれる。

【００１１】

【実施例】本発明の実施例を図１の部分破砕概略断面図
および図２に示す図１中のＡ−Ａ線断面図により説明す
る。図１および図２に示した各構成部品のうち、前記従
来の技術中の図４，図５で説明したと同様の構成部品に
は同一の番号を付す。図に示すように、回転乾燥装置１
は、前記図４で説明した従来の回転乾燥装置（３０）に
塵埃除去手段として吸引カバー１１ないし１４と配管１
５ないし１８と吸引機１９とを設けかつモータ軸３３に
流路２０を形成したものである。また図１，図２に示す
モータ３２、ターンテーブル３４、クレイドル軸支持部
３５，３６、軸受３７ないし４０、クレイドル４１，４
２、クレイドル軸４３ないし４６、クレイドル支持部４
９，５０の各構成部品は前記図４，図５で説明したもの
と同様なので、詳細な説明は省略する。

【００１２】すなわち、各軸受３７ないし４０における
クレイドル４１，４２側とは反対側を覆う状態でクレイ
ドル軸支持部３５，３６の各側面３５ａ，３６ａに吸引
カバー１１ないし１４を設ける。各吸引カバー１１ない
し１４にはそれぞれに対応する配管１５ないし１８の一
端を接続する。各配管１５ないし１８の他端をモータ軸
３３の内部に形成した流路２０に接続する。各配管１５
ないし１８は、回転中のばたつきを無くすために、それ
ぞれの長さをできるだけ短くしてクレイドル軸支持部３
５，３６を貫通させる。容器３１の外部で上記モータ軸
３３には、このモータ軸３３を回転させた状態で流路２
０をモータ軸３３の外部に分岐するいわゆるロータリー
ジョイント２１を設ける。ロータリージョイント２１で
分岐した流路に配管２２の一端側を接続する。そして同
配管２２の他端側を吸引機１９に接続する。

【００１３】次に上記回転乾燥装置１の動作を図３によ
り説明する。図に示すように、ターンテーブル３４が停
止している状態では、クレイドル４１，４２は２点鎖線
で示す位置にクレイドル支持部４９，５０によって支持
される。この状態でウエハを収納したキャリア７１，７
２をクレイドル４１，４２にセットする。

【００１４】その後モータ３２を駆動してターンテーブ
ル３４を高速回転させる。ターンテーブル３４の回転速
度が高まるにつれて、各クレイドル４１，４２のそれぞ
れは矢印で示す方向に回動して実線で示す位置に移動す
る。このとき、クレイドル軸４３ないし４６（図２参
照）とこれらに対応する軸受３７ないし４０（図２参
照）とが擦れあって塵埃（主に摩耗粉）を発生する。発
生した塵埃は、吸引カバー１１，１３と吸引カバー１
２，１４（図２参照）とより配管１５，１７と配管１
６，１８（図２参照）、流路２０、ロータリジョイント
２１、配管２２とを順に通って吸引機１９に吸引され
る。このため、クレイドル４１，４２側に塵埃が飛散す
ることが無くなる。またウエハに付着した水滴に高速回
転による遠心力が作用して、水滴がウエハ面より振り切
られる。そしてウエハより水滴が除去されて、ウエハは
乾燥する。したがって、ウエハは清浄な状態で乾燥され
る。

【００１５】また各吸引カバー１１ないし１４側より各
クレイドル３５，３６側に向かって各クレイドル軸４３
ないし４６に穴（図示せず）を形成し、さらに形成した
穴より該当する軸受３７ないし４０の各面に向かって貫
通する複数の孔（図示せず）を当該クレイドル軸４３な
いし４６に形成する。この場合には、各軸受３７ないし
４０とこれらに対応する各クレイドル軸４３ないし４６
との間で発生する塵埃は、クレイドル軸４３ないし４６
とこれらに対応する軸受３７ないし４０との間を通って
吸引されるとともに、上記各クレイドル軸に形成した複
数の孔と穴とを通っても吸引される。このため、塵埃は
さらに効率良く除去される。

【００１６】上記実施例で説明した回転乾燥装置１は、
ウエハに限らず、例えばコンパクトディスクやレーザデ
ィスク等の洗浄後の乾燥にも用いることができる。

【００１７】

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
クレイドル軸と軸受とが擦れあって発生する塵埃の除去
手段として、回転乾燥装置に吸引カバーと配管と吸引機
と流路とを設けた。このため、発生した塵埃は吸引機に
よって吸引されるので、クレイドル側の清浄度が高ま
る。この結果、ウエハを清浄な状態で乾燥することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の部分破砕概略断面図である。

【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。

【図３】実施例の動作説明図である。

【図４】従来例の概略断面図である。

【図５】図４中のＢ−Ｂ線断面図である。

【図６】従来例の動作説明図である。

【符号の説明】

１ 回転乾燥装置 １１〜１４ 吸
引カバー １５〜１８ 配管 １９ 流路 ２２ 吸引機 ３２ 駆動モー
タ ３３ モータ軸 ３４ ターンテ
ーブル ３５，３６ クレイドル軸支持部 ３７〜４０ 軸
受 ４１，４２ クレイドル ４３〜４６ ク
レイドル軸

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 モータのモータ軸に設けられたターンテ
   ーブルと、 前記ターンテーブルの上面でかつ対向した状態に設けら
   れた一対のクレイドル軸支持部と、前記各クレイドル軸支持部に形成され、対向するように
   配置された一対の軸受と、 前記各軸受に回動自在に支持された一対のクレイドル軸
   を備え、前記一対のクレイドル軸支持部間に配置され、
   ウエハが収納される クレイドルとを有し、 前記クレイドルは前記ターンテーブルの回転速度が高ま
   るにつれて回動し、遠心力により水滴が前記ウエハ面よ
   り振り切られて除去される 回転乾燥装置において、 前記各軸受の前記クレイドル側とは反対側を覆う状態で
   前記クレイドル軸支持部に設けられた吸引カバーと、 前記吸引カバーの内部と前記モータ軸の内部に形成した
   流路とを連通する状態に接続された配管と、 前記流路に接続された吸引機とを有することを特徴とす
   る回転乾燥装置。