JPH069496Y2 - 遠心乾燥機 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、例えば半導体ウェハースを洗浄した後に乾燥
させる場合に使用される遠心乾燥機に関する。

従来の技術 半導体ウェハースの洗浄後に乾燥させる遠心乾燥機とし
ては、第４図及び第５図に示すように、エアシリンダ11
によって開閉され、且つ、中央部分に開口部12を有する
蓋13が取付けられたケース14内に、図外の駆動手段によ
って高速回転する回転軸15に取付けられた回転板16が設
けられている。前記回転板16上には、カセットホルダ17
に装填するキャリア18に被乾燥物である半導体ウェハー
ス19が入れられるようになっており、前記回転軸15によ
って回転板16も高速回転するため、前記半導体ウェハー
ス19に付着していた水分が、その遠心力で振り飛ばされ
る。ケース14の内壁にはフィン状のはね返り防止板20が
装着されるとともに、ケース14の下部には排風兼排水部
21が取付けられ、前記水分が集められて排出される。

このような遠心乾燥機において、従来の回転板16は、単
なる円板状に形成されており、この回転板16が回転軸15
の端部に取付けられて支持されているのみである。

考案が解決しようとする問題点 ところで、上記の回転板16上に配置する半導体ウェハー
ス19は、同一寸法のものを同一枚数ずつ円周等間隔で配
置して重量が平行するようにしているが、前工程の各種
処理時にウェハース19が破損して、枚数が異なったもの
を乾燥させることがある。したがって、前記ウェハース
19を、常にバランスが良い状態に回転板16上に設置する
ことができず、回転板16のバランスが大きく崩れた時
は、該回転板16は回転軸15以外に何ら支持されていない
ので、揺れながら回転する。この揺れ振動のため、乾燥
中の半導体ウェハース19のうち強度の弱いものが先ず破
損し、その破片から連鎖反応が起こって他の半導体ウェ
ハース19も破損したり、破損した半導体をウェハース19
の破片によって汚損してしまうという問題点があった。

本考案は、上記の問題点に鑑み、合理的な改良で回転板
の揺れを防止し、被乾燥物が破損することをなくするこ
とができる遠心乾燥機を提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段 上記の目的を達成するため、本考案は、回転板上に被乾
燥物を配置し、該回転板の回転によって発生する遠心力
で付着した水分を振切って乾燥させる遠心乾燥機におい
て、回転板の外周側に設けたフランジと該フランジを挟
持状態とするガイドローラとによる揺れ止め構造が備え
られていることを要旨とする。

作用 このような構成によれば、高速で回転する回転板は、そ
の外周側が揺れの大きい方向、例えば径方向の揺れを防
止する揺れ止め構造によって、回転板の異常な揺れ振動
が防止され、被乾燥物の破損を無くすることができる。

さらに、フランジをガイドローラで挟持するので回転板
の外周の複数の点に比較し、少い支持点で良いのでケー
スを小さくできる。

実施例 以下図面に示した実施例に基づいて本考案を説明する。

遠心乾燥機の基本的な構造としては、従来例で示したも
のと同様であるので、第４図及び第５図の遠心乾燥機を
参照し、第１図に示した本発明に係る遠心乾燥機に装備
された回転板１について詳説する。この回転板１の最大
の特徴は、回転板１の周縁部下面２に軸線方向に延設し
たフランジ基部３と、該フランジ基部３の先端から径方
向内方へ曲折したフランジ頭部４とからなる断面Ｌ字状
のフランジ５を設けるとともに、該フランジ５を形成す
るフランジ基部３とフランジ頭部４をそれぞれ挟持状態
とする一対のガイドローラ6,7を設けた点にある。

この回転板１を有する遠心乾燥機の動作は以下のとおり
である。先ず、エアシリンダ11を作動させて蓋13を開け
る。次に、カセットホルダ17を水平状態（第１図の二点
鎖線）にして、予め複数の半導体ウェハース19をセット
しておいたキャリア18（第３図参照）を装填し、その後
カセットホルダ17を下方へ回動させて乾燥に供する所定
の位置に納める。この実施例では、カセットホルダ17が
回転板１上に均等に４箇所取付けられた例を示した。

そして、回転軸15を介した駆動手段によって回転板１を
高速で回転させる。すると半導体ウェハース19に付着し
ていた水分等は、回転の遠心力で外方へ飛散する。飛散
した水分は、ケース14内面及びはね返り防止板20によっ
て集められ排出部21を経て取り出される。また、回転板
１が高速回転することで、蓋13の開口部12から風が吸い
込まれて前記排出部へ移動する風の流れができ、乾燥を
助長する。

しかして、内部に収容した半導体ウェハース19の重量が
異なっている場合には回転板１のバランスが崩れ、回転
板１が高速で回転したとき、特に径方向への揺れ振動が
発生するが、回転板１にはその外周端部にフランジ５を
設け、該フランジ５には、フランジ基部３とフランジ頭
部４を挟持状態とする一対のガイドローラ6,7を設けて
いるので、前述の揺れ振動が発生することはない。この
例のように、回転板１の径方向に限らず軸線方向に対し
てもガイドローラを取付けているので、回転板１はより
円滑に回転する。

第２図は回転板１の他の実施例の断面図で、この回転板
１は、前述の実施例で示したものとほぼ同じ構成をして
おり、対応する部分に同じ符号を付して説明を省略する
が、特に、フランジをフランジ基部３のみの構成とし、
これを挟持する一対のガイドローラも１個所のみに設け
たものである。

この構成によれば、フランジ基部３及びガイドローラ６
の構造がごく簡単であるうえ、特に揺れ振動が発生し易
い径方向に対して、揺れることなく乾燥作業を行なうこ
とができる。

考案の効果 以上のように、本考案に係る遠心乾燥機は、回転板の周
縁側に揺れ止め構造が備えられているので、回転板上に
バランスの悪い半導体ウェハース等の被乾燥物を収容し
て高速で回転させても、回転板が揺れ振動を起こすこと
が無いので、半導体ウェハース等が破損することなく乾
燥させることができ、前工程での半導体ウェハースの破
損にも対応できるため、生産性の向上に多大な効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例としての遠心乾燥機の要部の
断面図、第２図は本考案の他の実施例としての要部の断
面図、第３図はキャリアに半導体ウェハースを収容した
状態の斜視図、第４図は本考案並びに従来例を説明する
ための概略構成図、第５図は第４図において蓋を除いた
状態の平面図である。 １……回転板、２……周縁部下面、 ３……フランジ基部、４……フランジ頭部、 ５……フランジ、6,7……ガイドローラ、 19……半導体ウェハース。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】回転板上に被乾燥物を配置し、該回転板の
   回転によって発生する遠心力で付着した水分を振切って
   乾燥させる遠心乾燥機において、回転板の外周側に設け
   たフランジと該フランジを挟持状態とするガイドローラ
   とによる揺れ止め構造を具備することを特徴とする遠心
   乾燥機。
2. 【請求項２】前記揺れ止め構造が、回転板の外周部下端
   に断面Ｌ字状のフランジを設け、該フランジを挟持状態
   とする一対のガイドローラを、フランジが屈折して分割
   された各面にそれぞれ取付けて回転支持されてなること
   を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の遠心
   乾燥機。