JP3006077U - ウエハ回転乾燥装置におけるウエハ保持具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハ２の回転乾燥装置において、ウエハ２
と保持部材３，４の保持溝１０との間の水分の早期除去
を簡単な手段によって実現する。 【構成】 ウエハ２の外周縁を保持部材３，４により保
持して回転乾燥する回転槽１を備え、この回転槽１の回
転により上記ウエハ２の回転乾燥処理を行う装置におい
て、上記保持部材３，４におけるウエハ２の外周縁を挿
入するための保持溝１０の内底に、上記回転槽１の回転
に伴う遠心力で該溝内底の水分を排出する穴１１を設け
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ウエハの洗浄後における回転乾燥のための回転乾燥装置において、 ウエハを直立状態に保持するためのウエハ保持具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

ウエハに必要な処理を施したり、洗浄を行った後、回転乾燥装置において表面 の乾燥処理を行う場合には、水平軸の周りに回転する回転槽内において、ウエハ の外周縁を複数の保持部材により保持し、それによってウエハを直立状態に保っ て回転乾燥処理が行われる。上記保持部材は、多数のウエハを並列保持するため に、ウエハ外周縁を挿入するための多数の保持溝を並設したものである。

【０００３】 このような回転乾燥装置によるウエハの回転乾燥処理においては、遠心力によ ってウエハ表面の水分を除去する関係上、ウエハ上を周囲に移行する水分が、ウ エハと、その周囲を保持する上記保持部材の保持溝内底との間に一時的に滞留し 易く、そのため、上記ウエハと保持溝内底との間の水分を早期に除去することが 、ウエハ表面の均一な回転乾燥を実現すると同時に回転乾燥処理時間を短縮する ために有効である。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

本考案の技術的課題は、上記回転乾燥処理において、ウエハと保持部材の保持 溝との間の水分の早期除去を簡単な手段によって実現することにある。 また、本考案の他の技術的課題は、上記保持部材におけるウエハとの接触面を 局所化することなく、水分の除去を早期に実現できる範囲内において実質的に広 い面積で保持できるようにした保持手段を得ることにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するための本考案のウエハ保持具は、ウエハの外周縁を保持す る保持部材により該ウエハを回転軸線に対して直交する状態に保持して回転乾燥 する回転槽を備え、この回転槽の回転により上記ウエハの回転乾燥処理を行うウ エハ回転乾燥装置において、上記保持部材におけるウエハの外周縁を挿入するた めの保持溝内底に、上記回転槽の回転に伴う遠心力で該溝内底の水分を排出する 穴を設けたことを特徴とするものである。

【０００６】

【作用】

上記構成を有するウエハ回転乾燥装置においては、保持部材にウエハを保持さ せて回転槽の回転によりウエハの回転乾燥処理を行うに際し、ウエハ表面の水分 を遠心力によって除去するため、ウエハ上の水分が周辺に向って移行し、その水 分が、ウエハとその周囲を保持する上記保持部材の保持溝内底との間にも流入す ることになるが、上記保持溝の内底に水分排出用の穴を設けているので、ウエハ と保持溝内底との間に流入した水分もその穴を通して早期に除去することができ 、ウエハ表面の均一な回転乾燥を実現すると同時に回転乾燥処理時間を短縮する ことが可能になる。

【０００７】 また、保持溝の内底に水分排出用の穴を設けた上記構成は、単純に保持部材に おけるウエハとの接触面を微小化して水分の滞留を無くすような場合に比して、 ウエハとの接触面が局所化することなく、水分の除去を早期に実現できる範囲内 において実質的に広い面積でウエハを保持でき、ウエハを保護することも可能に なる。

【０００８】

【実施例】

図１は、本考案に係るウエハ保持具を備えたウエハ回転乾燥装置における回転 槽の概要を示し、図２及び図３は上記回転槽に設けた保持部材の詳細を示してい る。 図１に示す回転槽１は、図示しないケーシング内において水平配置の回転軸に より回転駆動可能に軸支され、その内部に多数のウエハの外周縁を保持する複数 の保持部材３，４を備え、さらに具体的には、ウエハ２の外周縁を保持する一対 の固定的な保持部材３及び一対の可動的な保持部材４を設けて、ウエハ２を回転 軸線に対して直交する状態に保持できるようにしている。上記可動的な保持部材 ４は、図示を省略しているが、回転槽１に対するウエハ２の装脱のために、ウエ ハ２に対して進退可能に構成したものである。また、上記回転槽１には、該回転 槽１にウエハ２を装着するときにその下部を支持させるための支持部材５を固定 的に配設している。

【０００９】 図２及び図３に示すように、上記回転槽１に設けた保持部材３，４は、多数の ウエハ２を並列保持するために、ウエハ外周縁を挿入するための多数の保持溝１ ０を並設したもので、その保持溝１０の内底には、上記回転槽１の回転に伴う遠 心力で該溝１０内底の水分を排出する穴１１を設けている。

【００１０】 上記保持溝１０における上記穴１１は、図２及び３に示すように、保持溝１０ の内底中心部にウエハ２の厚さに満たない程度の径を有する単一のものとして形 成することもできるが、保持溝１０内の全域、あるいは保持溝１０の中心部また は両側等に偏寄して、複数または多数の穴として設けることもできる。さらに、 それらの穴を、図２及び図３のように、ほぼ回転槽１の回転中心に向かうような ものとすることもできるが、図４に示す穴１２のように、穴自体における水はけ を考慮し、あるいは穴から流出した後の水の飛散方向等を考慮し、適切な斜め方 向に向いたものとして構成することもできる。

【００１１】 また、上記該保持溝１０は、図３及び図４に示すように、溝の両端角部１０ａ や、穴１１，１２の口部周縁は、回転槽１を高速回転したときの溝底における水 はけを考慮して、面取りまたはアールを付したものとするのが望ましい。

【００１２】 上記構成を有するウエハ回転乾燥装置は、保持部材３，４によりウエハ２を保 持させ、回転槽１を図示しない回転駆動手段により高速回転させ、遠心力を利用 してウエハ表面の洗浄液等を飛散させ、ウエハ２の回転乾燥処理を行うものであ る。

【００１３】 このような回転乾燥処理においては、ウエハ２の表面の水分を遠心力によって 除去するため、ウエハ２上の水分が周辺に向って移行し、その水分が、ウエハ２ とその周囲を保持する上記保持部材３，４の保持溝１０内底との間にも流入する ことになるが、該保持溝１０の内底に水分排出用の穴１１，１２を設けているの で、ウエハ２と保持溝１０の内底との間に流入した水分もそれらの穴１１，１２ を通して早期に除去することができ、ウエハ表面の均一な回転乾燥を実現すると 同時に回転乾燥処理時間を短縮することが可能になる。

【００１４】 また、保持溝１０の内底に水分排出用の穴１１，１２を設けた上記構成は、単 純に保持部材におけるウエハとの接触面を微小化して水分の滞留を無くすような 場合に比して、ウエハ１との接触面が局所的に微小化することなく、水分の除去 を早期に実現できる範囲内において、実質的に広い面積でウエハ２を保持でき、 ウエハを保護することも可能になる。

【００１５】 なお、本考案は、図１における保持部材３，４のうちの任意のものに適用する ことができ、その場合に、他の保持部材に任意の別途水分除去手段を適用できる のは勿論である。

【００１６】

【考案の効果】

以上に詳述したように、本考案によれば、ウエハの回転乾燥装置において、ウ エハと保持部材の保持溝との間の水分の早期除去を、その溝底に穴を設けるとい う簡単な手段によって実現することができ、また、上記穴を設けるという手段に より、保持部材におけるウエハとの接触面を局所化することなく、水分の除去を 早期に実現できる範囲内において実質的に広い面積で保持できるようにした保持 手段を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案におけるウエハ回転乾燥装置の回転槽の
概要を示す断面図である。

【図２】保持部材の詳細を示す要部拡大正面図である。

【図３】図２の保持部材の保持溝における断面図であ
る。

【図４】他の保持部材の保持溝における断面図である。

【符号の説明】

１ 回転槽 ２ ウエハ ３，４ 保持部材 １０ 保持溝 １１，１２ 穴

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ウエハの外周縁を保持する保持部材により
   該ウエハを回転軸線に対して直交する状態に保持して回
   転乾燥する回転槽を備え、この回転槽の回転により上記
   ウエハの回転乾燥処理を行うウエハ回転乾燥装置におい
   て、 上記保持部材におけるウエハの外周縁を挿入するための
   保持溝内底に、上記回転槽の回転に伴う遠心力で該溝内
   底の水分を排出する穴を設けた、 ことを特徴とするウエハ回転乾燥装置におけるウエハ保
   持具。