JPS62154634A - 基板遠心回転乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 本発明は半導体ウェハー、ガラス基板、回路基板（以下
単に基板という）洗浄後の急速乾燥を行う遠心回転振り
切り型の乾燥装置（以下スピンドライヤーという）に関
する。

Ｂ、従来の技術 従来から回転する円板（以下ロータという）の上面に記
載された上部に開口を有する容器（以下クレドールとい
う）に、基板を複数枚圧いに平行な状態で立かけ保持す
る冶具（以下キャリアという）を上方からセットしてロ
ータを回転し、基板表面の水分を遠心振り切りし乾燥さ
せるスピンドライヤーが知られていた。その際遠心振り
切り時には、クレドールを手動又はエアシリンダーで遠
心方向に対して９０°回転させクレドールの底部及びキ
ャリアの底部が遠心方向に対して垂直になるようにして
いた。すなわちキャリア着脱時にはクレドールの開口部
が上方になるようにクレドールを手動又はエアシリンダ
ーで持ち上げ、遠心振り切り時には手動又はエアシリン
ダーでクレドールを内側に倒し開口を有するキャリア及
びクレドールの底部が遠心方向に向くようにし、振り切
られた水分が飛散するようにしていた。

Ｃ１発明が解決しようとする問題点 しかしながら従来のスピンドライヤーには以下の問題点
があった。

すなわちクレドールを手動で持ち上げる方法においては
片手でクレドールを持ち上げ他方の手でキャリアを保持
しクレドール内に収納するということになりしかも大口
径用キャリアのクレドール内収納は１名の作業者では困
難でさえ有る。従って自動化がこのスピンドライヤーで
は実現できないという問題点があった。

又エアシリンダー等によるクレドール上昇下降機構を用
いた場合には、機械部品点数が増えコストの上界、保守
項目の増加及び基板汚染の増大という問題点があった。

Ｄ０問題点を解決するための手段及び作用本発明は前記
した従来の問題点を解決することを特徴とする特に構造
が前車で自動化の容易なスピンドライヤーを提供するこ
とを目的とする。

そのために以下の構成手段を得た。

すなわちロータ上でクレドールを遠心方向に対して回転
自在に保持する構成とした。そのためロータ静止時には
クレドール自身の重力作用で、キャリアを受け入れるク
レドールの上部開口は上部を向いている。このためキャ
リアはそのままクレドールを動かさずにクレドール内に
セットできる。

次にロータを回転させるとクレドールに働く遠心力の作
用で、クレドールは自動的に遠心方向に９０゜回転し、
クレドールが横になりキャリア及びウェハーから振り切
られた水分がクレドールの底部開口より飛散していき乾
燥が行われる。

Ｅ、実施例 以下図面に基づいて本発明の好適な実施例を図面に基づ
いて説明する。

第１図はスピンドライヤーの断面図である。１はロータ
であって回転軸２を介して回転する。回転速度は水分振
り切りのため８００〜１）０００ＲＰが好ましい。３は
モータであってベルト４を介して回転軸２に駆動力を与
える。５はクレドールであって内部にキャリアを着脱自
在に保持するためのものである。クレドール５の上部に
はキャリアを受け入れるだめの開口が設けられている。

又クレドール５の底部にはキャリアやウェハーから振り
切られた水が飛散する他の開口を設けることが好ましい
。６はクレドール５を遠心方向に回転自在に保持する回
転軸受である。回転軸受６は支柱７によってロータ上に
支えられている。８は複数の支柱７を連結する梁であっ
て補強を目的とする。

今ロータ１が静止の状態においては、クレドール５は自
らの重力により開口部を上方に向けて静止している。従
ってキャリアをそのままセントすることができる。次に
キャリアをセットした状態でロータ１を回転させるとク
レドール５は遠心力を受けて遠心方向に５′のように９
０°回転し、この状態でキャリア及びウェハーの脱水振
り切りを行う。振り切られた水分はクレドール５の底部
の開口より遠心方向に飛散する。従って従来例のように
何らクレドールを手動又は機械で操作することなく自動
的にその位置制御ができる。

さて９はロータ１及びクレドール５を内蔵するチャンバ
ーであって内部を乾燥清浄に保つものである。チャンバ
ー９の上面部にはキャリア取入れ取出しのためのフタ１
０が設けられている。１）はチャンバ−９内部に乾燥清
浄温風を導入するだめの導入口である。１２はチャンバ
ー９に設けられた排出口である。さて乾燥清浄温風は、
ファン１３、ハニカムヒータ１４及びＨＥＰＡフィルタ
ーの結合によって作られ、導入管１６を通してチャンハ
ー９内に導入される。導入空気はクラス１００程度の清
浄度に保たれかつ６０℃〜８０゛Ｃの温度に保たれる。

チャンバー９内を清浄かつ高温に保ち、キャリアやウェ
ハーのｌη染を防止し迅速な乾燥を行う。１７は軸シー
ルであってチャンバ−９内部を回転軸２囲りから隔離す
るためのものであり汚染防止を目的とする。

さて第２図はスピンドライヤーの平面図である。

本実施例においてはロータ１に対して４つのクレドール
５がロータ１の円周上に配置されている。

個数はこれに限られない。又１つのクレドール５はその
側板上部において２個の軸受６により遠心方向に対して
回転自在に保持されている。又軸受６を支える支柱７は
互いに梁８で連結され、遠心力に対する補強の目的を果
たしている。１８はスピンドライヤー全体を格納するボ
ディである。

第３図はウェハー等の基板を平行状態で立てかけセット
するためのキャリア１９を示しテフロン等の一体成型に
より作られる。２０はキャリア１９の側面部に設けられ
た溝であり、ここにウェハー２１が挿入文てか１．Ｊら
れる。キャリア１つの底部には開口２２が設けられてお
り水切り用である。

さてウェハーはこのキャリアに七ノドされた状態で、ウ
ェットエツチングや洗浄等のパッチ処理を施される。そ
し７て洗浄工程の後、前述したスピンドライヤーにて２
．速乾燥されるのである。ウェハー１９は斜視図の状態
で、このままクレドール５に上部開口から格納される。

そし７てロータ１の回転による遠心力によりギヤリア１
９ば横倒しの状態となりキャリア１９の底部の開口２２
番よ遠心方向を向き、振り切られた水分が飛散していく
のである。

Ｆ１発明の効果 以上述べたように本発明のスピンドライヤーはロータ上
でクレドールを遠心方向に対して回転自在に取り付ける
構成としたので１．キャリアの着脱が極めて容易であり
、かつロータ回転時には、クレドールが横倒しの状態と
なり水分の振り切りが完全に行える。そしてクレドール
の位置制御が結局クレドールに働く重力及び遠心力によ
り自動的に行われるので、自動化が可能でありかつ低コ
ストであるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はスピンドライヤーの断面図、第２図はスピンド
ライヤーの平面図及び第３図はキャリアの斜視図である
。 １−　ロータ ２−回転軸 ３−モータ ５−　クレドール ６−回転軸受 ７−支柱 ９−チャンバー １９−＝キャリア ２１−・−ウエハ−

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数枚の基板を互いに略平行な状態で立てかけて
   セットするキャリアを上方より受け入れるための開口部
   を有しかつキャリア全体を保持するクレドールと、中心
   軸にて回転する円板状のロータと、ロータ上に設けられ
   かつクレドールを遠心方向に振子状に回転可能な状態で
   支持する支持体と、ロータ及びクレドールを収納しかつ
   キャリヤ出し入れのための開口部を有するチャンバーよ
   りなる基板遠心回転乾燥装置。
2. （２）該支持体はクレドールの上部２点を回転自在に支
   える２個の回転軸受を含む特許請求の範囲第１項記載の
   基板遠心回転乾燥装置。
3. （３）該回転軸受はロータ上に直立する支持棒によって
   保持されている特許請求の範囲第２項記載の基板遠心回
   転乾燥装置。
4. （４）該支持棒は互いに梁によって連結され補強されて
   いる特許請求の範囲第３項記載の基板遠心回転乾燥装置
   。
5. （５）該チャンバーは乾燥清浄空気の導入口及び排出口
   を有する特許請求の範囲第１項記載の基板遠心回転乾燥
   装置。
6. （６）乾燥清浄空気は、ファン、ハニカムヒータ及びフ
   ィルターの結合により作られたチャンバー内に導入され
   る特許請求の範囲第５項記載の基板遠心回転乾燥装置。