JP2002323289A

JP2002323289A - 遠心式乾燥装置

Info

Publication number: JP2002323289A
Application number: JP2001126860A
Authority: JP
Inventors: Takuzo Yokoyama; 卓造横山; Yoshinori Naito; 義範内藤; Shoji Koto; 章志小戸; Naoki Tanaka; 直樹田中; Kazuhiro Mikawa; 和弘三川; Yuji Shimada; 雄司島田; Takayoshi Kojima; 孝由小島; Yasuhiro Abe; 泰博阿部; Kohei Toyama; 公平外山; Takashi Matsuo; 孝松尾
Original assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd; Ono Sokki Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd; Ono Sokki Co Ltd
Priority date: 2001-04-25
Filing date: 2001-04-25
Publication date: 2002-11-08

Abstract

(57)【要約】【課題】短時間に効率よく対象物を乾燥する。【解決手段】二つのサブテーブル１５上に各々対象物を
固定すると共にサブテーブル１５をメインテーブル１５
に固定し、モータ１２を駆動してメインテーブル１５を
所定期間回転し、対象物の遠心力による乾燥を行う。そ
して、メインテーブル１５を停止させ、サブテーブル駆
動部６１によって、サブテーブル６２をメインテーブル
１５に対して１８０度回転して固定し、再度、メインテ
ーブル１５を所定期間回転し、対象物の遠心力による乾
燥を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【0001】

【発明の属する技術分野】

【0002】本発明は、対象物を乾燥する技術に関し、特
に、シリコンウエーハのような半導体ウエーハの搬送や
保管に用いられる収容容器であるシッピングボックスの
ような比較的複雑な凹凸のある対象物の乾燥の用にも好
適な乾燥装置に関するものである。

【0003】

【従来の技術】

【0004】例えば、シリコンウエーハの搬送や保管に用い
られる収容容器であるシッピングボックスは高清浄性を
備えていることが必要とされる。このため、シッピング
ボックスの再使用の際には、再使用に先立ちシッピング
ボックスを洗浄液による洗浄、水による濯ぎを行った
後、充分に乾燥させることが必要である。

【0005】従来、このようなシッピングボックスの乾燥
は、ヒーターにより雰囲気を加熱した乾燥室内にシッピ
ングボックスを収容したり、あるいはエアブロー等によ
りシッピングボックスに付着した水滴、水分を蒸発させ
ることにより行われてきた。

【0006】前述したヒーターによる乾燥の技術によれば、
一般的に化学樹脂などにより形成されるシッピングボッ
クスに変形などの損傷を与えないために、雰囲気をあま
り高温にすることができない。そして、このために、シ
ッピングボックスの乾燥の完了までには長時間を要する
ことになり、また、ヒーターによって消費される電力量
も大きなものとなる。また、エアブローの場合にも乾燥
に長時間を要するという問題がある。更に、どちらの乾
燥方法においても蒸発乾燥時にパーティクルが付着し易
いという問題もある。

【0007】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】そこで、本発明は、乾燥時のパーティクルの付
着を低減し、高清浄度を保ちながら、短時間に効率よ
く、対象物を乾燥させることのできる乾燥装置を提供す
ることを課題とする。

【0009】

【課題を解決するための手段】

【0010】前記課題達成のために、本発明は、例えば、乾
燥室と、前記乾燥室内に設けられたメインテーブルと、
前記メインテーブルを回転させる回転機構部と、前記メ
インテーブルに回転可能に組み付けられた複数のサブテ
ーブルと、前記メインテーブルの回転中に前記サブテー
ブルの前記メインテーブルに対する回転を抑止する回転
抑止手段と、前記対象物を前記サブテーブルと共に運動
するように前記サブテーブルに対して当該対象物を拘束
する拘束手段とを有することを特徴とする遠心式乾燥装
置を提供する。

【0011】このような遠心式乾燥装置によれば、前記サブ
テーブルの前記メインテーブルに対する回転によってメ
インテーブルに対する対象物の向きを変えることによ
り、異なる対象物の向きのそれぞれにつき、メインテー
ブルを回転して、その遠心力による乾燥を行うことがで
きる。したがって、比較的複雑な凹凸がある対象物につ
いては、複数の異なる方向に遠心力を働かせて乾燥を行
うことができるので、良好な乾燥を行うことができる。
また、この際に、回転抑止手段によって前記メインテー
ブルの回転中は前記サブテーブルの前記メインテーブル
に対する回転は抑止されるので、メインテーブルを高速
に安定して回転させることができる。

【0012】また、前記メインテーブルの回転停止中に、前
記サブテーブルを前記メインテーブルに対して回転する
サブテーブル回転機構部を備えるようにすれば、対象物
の異なる向きについての一連の乾燥をスムーズに行うこ
とができるようになる。

【0013】また、特に、前記サブテーブル回転機構部が、
前記メインテーブルの回転停止中に、前記サブテーブル
を前記メインテーブルに対して１８０度回転するように
すれば、その前後のいずれかで、およその凹凸について
は遠心方向に向けることができるので、最小回数のサブ
テーブルの回転すなわちメインテーブルの回転動作で効
率良く良好な乾燥が行えることが期待できる。

【0014】また、前記サブテーブル回転機構部を、前記サ
ブテーブルに分離可能に連結して回転力を与える、前記
メインテーブルと分離して設けられた駆動部と、前記メ
インテーブルの回転停止中に、前記駆動部を移動して前
記サブテーブルに連結し、前記メインテーブルの回転中
に、前記駆動部を移動して、前記サブテーブルから分離
する移動機構部とより構成するようにすれば、サブテー
ブルを回転するための機構の主要部を、回転中にメイン
テーブルに荷重がかからないように設けることができ、
これによって。たとえばメインテーブル上の荷重の不均
一が生じるなどの不具合が発生することを避けることが
できる。したがって、メインテーブルの安定した高速回
転が可能となる。

【0015】また、前記サブテーブルにバランスウエイトを
装着するようにすれば、前記メインテーブルに対する少
なくとも一つの所定回転角の回転前後において、前記対
象物が拘束されたサブテーブルがメインテーブルに加え
る荷重バランスが変化しないようにすることができる。
したがって、メインテーブルを安定して高速回転し、強
い遠心力による効果的な乾燥を行うことができるように
なる。

【0016】ここで、以上のような各遠心式乾燥装置は、前
述のようなシリコンウエーハ（silicon wafer）などの
半導体ウエーハやフォトマスク用石英ガラス基板、液晶
表示装置用ガラス基板、ハードディスク用基板やCD-RO
M、CD-RAM、DVD、MDなどの清浄性を要する対象物を収容
するシッピングボックスやコンテナを対象物とすること
ができ、また、これらの乾燥に好適である。また、もち
ろん、この他の物を対象物とするようにしてもかまわな
い。

【0017】

【発明の実施の形態】

【0018】以下、本発明の実施形態について説明する。

【0019】まず、本乾燥装置の構造について説明する。

【0020】図１に、本実施形態に係る乾燥装置の構造を示
す。

【0021】図中aに示すように、本乾燥装置は、大きく分
けて、本体部１と、ドア部２とよりなる。

【0022】まず、本体部について説明する。

【0023】本体部１は、その主要部として、フレーム１
１、モータ１２、シャフト１３、ローター１４、メイン
テーブル１５、乾燥室壁１６、シャフト軸受１７、ロー
ター軸受１８、伸縮シリンダ３１、開閉アーム３２、ガ
スケット３５、二つのサブテーブル駆動部６１、二つの
サブテーブル６２、回転角エンコーダー６３、制御部６
４を有している。

【0024】モータ１２とシャフト軸受１７とローター軸受
１８は直接または間接的にフレーム１１に対して固定さ
れ、シャフト１３は垂直軸を回転軸として回動可能なよ
うにシャフト軸受け１７によって支持され、ローター１
４は垂直軸を回転軸として回動可能なようにローター軸
受１８によって支持され、メインテーブル１５はロータ
ー１４に固定されている。そして、このような構成にお
いて、モーター１２のモータ軸１２aに回転は、シャフ
ト１３を介して、ローター１４に伝わり、ローター１４
をメインテーブル１５共々回転させる。

【0025】また、二つのサブテーブル６２は、メインテー
ブル１５に垂直軸を回転軸として回動可能なように支持
されている。二つのサブテーブル６２は、メインテーブ
ル１５回転時にはメインテーブル１５に対して固定さ
れ、メインテーブル１５停止時にはサブテーブル駆動部
６１によってメインテーブル１５に対して回転すること
ができる。このサブテーブル６２の、メインテーブル１
５に対する回転と固定の機構については後述する。

【0026】次に、乾燥室壁１６は、下底が塞がれ上底が開
放された、ほぼ円筒形の乾燥室を形成している。乾燥室
の側壁の一部には、排気路壁１７が形成する排気路に連
結する排気口が設けられている。そして、図中ｂの本体
部１上面図にも示されるように、乾燥室内部と装置外部
とは、排気エアフィルタ１９を間に介在させた形態で排
気路によって連結されている。

【0027】次に、伸縮シリンダ３１は油圧シリンダなどの
アームを伸縮する機構部であり、本体がフレーム１１
に、アーム３１aが開閉アーム３２に枢着されている。
また、開閉アーム３２の伸縮シリンダ３１と逆側の端は
ドア部２に固定されている。また、ドア部２は、ヒンジ
３３を介してフレーム１１に取り付けられている。そし
て、図示した状態から伸縮シリンダ３１のアーム３１a
を引き込むと、図中破線で示すように伸縮シリンダ３
１、開閉アーム３２は回転、移動しながら、ドア部２を
ヒンジ３３を中心に回転させて本体部１に対して開く。
また、この開いた状態から、伸縮シリンダ３１のアーム
３１aを繰り出すと、伸縮シリンダ３１、開閉アーム３
２は回転、移動しながら、ドア部２をヒンジ３３を中心
に回転し元のように本体部１に対してガスケット３５を
間に挟んで閉ることになる。

【0028】次に、ドア部２について説明する。

【0029】ここで、図中ｃはドア部２の上面図、図中dは
ドア部２の下面図である。

【0030】図示するように、ドア部２は、ドアフレーム２
１、エアフィルタ２２を有する。ドアフレーム２１は垂
直方向から見て中央に開口を有した口の字状の形状を有
しており、このドア部の開口を覆うようにエアフィルタ
２２がドアフレーム２１に固着されている。そして、エ
アフィルタ２５は、乾燥室の外部よりの吸気口を構成
している。

【0031】さて、このような乾燥装置の構成において、メ
インテーブル１５と、サブテーブル６２は、図中eに示
すように円形の多数の貫通口を設けた円盤状の部材であ
る。メインテーブル１５の大きさは例えば直径７００m
m、サブテーブル６２の大きさは例えば直径が３４０mm
である。また、本乾燥装置において、図中bに示すよう
に、水平方向に関し、メインテーブル１５の中心は、乾
燥室の円筒形状における円の中心に対して偏心させて配
置している。そして、乾燥室の排気口は、メインテーブ
ル１５の回転方向に沿って見た場合に、水平方向につい
てメインテーブル１５と乾燥室壁１６との間隔が最大か
ら狭まっていく箇所に設けてある。乾燥室の円筒形状に
おける円の大きさは例えば直径が８００mmであり、テー
ブル１５の中心の偏心の大きさは、例えば２５ｍｍであ
る。

【0032】ここで、本乾燥装置は、クリーンルーム内に設
置され使用される。そして、排気路は、クリーンルーム
外への排気口へと連結される。

【0033】次に、本乾燥装置が乾燥させる対象物であるシ
ッピングボックスについて説明する。

【0034】図２に、シッピングボックスの構造を示す。

【0035】図中aの構成図に示すように、シッピングボッ
クスは、主として、本体４１、底部保持具４２、上部保
持具４３、ガスケット４４、蓋部４５よりなる。

【0036】ここで、図中ｂの斜視図に示すように、本体４
１はバケツ状の容器であり、内壁側の対向する２側面に
は複数の凹部形状が形成されている。また、底部保持具
４２は、概略、棒状の部材であり、上部には傾斜を持た
せた複数の凹部形状が形成されている。また、上部保持
具４３は、両側に設けられた下方外側に向かう傾斜面を
有し、各傾斜面には複数の凹部形状が形成されている。

【0037】そして、このようなシッピングボックスにおい
て、シリコンウエーハ４６の収容は、図中ｃに示すよう
に行う。すなわち、本体４１内底部に配置した２つの底
部保持具４２の凹部と、本体部４１の側面の凹部と、上
部保持具４３の凹部とで、シリコンウエーハ４６の円周
近傍を、シリコンウエーハ同士が接触しないように支持
することにより、シッピングボックス内に保持する。

【0038】このように、本乾燥装置が乾燥の対象とするシ
ッピングボックスは、上記凹部形状の他、本体４１上縁
の折り返し部４１aなど比較的複雑な凹凸が多い形状を
有している。

【0039】以下、このようなシッピングボックスの乾燥の
具体例について説明する。

【0040】シッピングボックスの乾燥は、シッピングボッ
クスの上記各構成品をサブテーブル６２上に固定するな
どして拘束し、サブテーブル６２を固定したメインテー
ブル１５を高速（例えば８００r/min〜１０００r/min）
に回転し、各構成品に付着した水滴や水分を遠心力や気
流で振り飛ばすことにより主として行う。もちろん、こ
の他、気化などの要素も各構成品の乾燥に貢献する。

【0041】まず、本体４１のサブテーブル６２への固定に
ついて説明する。

【0042】本体４１のサブテーブル６２への固定は、拘束
手段として取付具５０１を用いて行う。

【0043】取付具５０１の構造を図３aに示す。a-1は取付
具５０１の上面図、a-2は正面図、a-3は底面図、a-４は
右側面図、a-5は裏面図である。図に示すように、取付
具５０１は中央に、正面と底面が開口した略直方体形状
を有しており、上面と左右側面は、複数の円形状の貫通
穴を設けた板材により塞がれ、裏面は円形状の貫通穴を
設けた田の字状の板材によって形成されている。また、
左右側面下端と、裏面側下端には、外側に折り返された
耳部が設けられている。なお、取付具５０１の左側面は
右側面と対象に表れる。

【0044】さて、この取付具５０１を用いた本体４１のサ
ブテーブル６２への固定は、図３ｃに示すように行う。
c-1は本体４１をサブテーブル６２へ固定した状態を上
方から見たようすを表し、c-2はサブテーブル６２へ固
定した状態を正面から見たようすを表している。

【0045】図示するように、本体４１の開口を横向きにし
てサブテーブル６２上に配置し、本体４１に上から取付
具５０１を、取付具５０１正面が開口側となるように被
せ、取付具５０１の耳部をサブテーブル６２にネジ止め
などにより固定することにより、本体４１をサブテーブ
ル６２に固定する。

【0046】ここで、本実施形態では、このような本体４１
のサブテーブル６２への固定に際して、図３ｂに示すバ
ランスウエイト５０２をサブテーブル６２に固定し、サ
ブテーブル６２の回転によって、本体４１を固定したサ
ブテーブル６２がメインテーブル１５に加える荷重バラ
ンスが変わらないようにする。

【0047】図３ｂにおいて、b-1はバランスウエイト５０
２の上面図、ｂ-2は正面図、ｂ-3は右側面図、ｂ-4は裏
面図であり、左側面は右側面と、底面は上面と対象に表
れる。

【0048】次に、ガスケット４４のサブテーブル６２上へ
の拘束について説明する。

【0049】ガスケット４４のサブテーブル６２上への拘束
は、拘束手段として図４aに示す取付具５０３を用いて
行う。

【0050】取付具５０３の構造を図４aに示す。a-1の上面
図、a-2の正面図、a-3の右側面図、a-４の底面図に示す
ように、取付具５０３は、下端に外方向に折り返したフ
ランジを有する、円形状の貫通穴を多数設けた上下底が
開放された円筒状の部材である。なお、取付具５０３の
左側面、裏面は正面と同様に表れる。

【0051】さて、この取付具５０３を用いたガスケット４
４のサブテーブル６２上への拘束は、図４ｂに示すよう
に行う。b-1はガスケット４４をサブテーブル６２上に
拘束した状態を上方から見たようすを表し、b-2はサブ
テーブル６２上に拘束した状態を正面から見たようすを
表している。

【0052】図示するように、取付具５０３のフランジをサ
ブテーブル６２にネジ止めなどにより固定し、取付具５
０３の円筒内に、ガスケット４４を広げて配置すること
により、ガスケット４４をサブテーブル６２上に拘束す
る。

【0053】次に、蓋部４５のサブテーブル６２への固定に
ついて説明する。

【0054】蓋部４５のサブテーブル６２への固定は、拘束
手段として取付具５０４を用いて行う。

【0055】取付具５０４の構造を図５aに示す。a-1の上面
図、a-2の正面図、a-3の底面図に示すように、取付具５
０４は中央に四辺形の貫通口（切り欠き）を有する四辺
形の、下部が上部より内側に絞られた段を有する枠５０
４aの上面に、四辺形の貫通口を横断する十字の帯５０
４ｂをネジ止めなどにより固定したものである。また、
枠５０４aの段より上方の側面と、十字の帯には、円形
の多数の貫通穴を設けたものである。なお、取付具５０
４の左右側面、裏面は正面と同様に表れる。

【0056】この取付具を５０４を用いた蓋部４５のサブテ
ーブル６２への固定は、図５bに示すように行う。b-1は
蓋部４５をサブテーブル６２へ固定した状態を上方から
見たようすを表し、ｂ-2はサブテーブル６２へ固定した
状態を正面から見たようすを表している。

【0057】図示するように、その四辺が枠５０４aの段上
に支持されるように、蓋部４５を枠５０４aの四辺形の
貫通口に挿入して配置し、蓋部４５を枠と十字の帯５０
４ｂで挟み込むようにに十字の帯５０４ｂをネジ止めな
どにより枠５０４aに固定し、取付具５０４の枠５０４a
をサブテーブル６２にネジ止めなどにより固定すること
により、蓋部４５をサブテーブル６２に固定する。

【0058】次に、上部保持具４３のサブテーブル６２への
固定について説明する。

【0059】上部保持具４３のサブテーブル６２への固定
は、拘束手段として取付具５０５を用いて行う。

【0060】取付具５０５の構造を図６aに示す。a-1の上面
図、a-2の正面図、a-3の底面図に示すように、取付具５
０５は中央に四辺形の貫通口（切り欠き）を有する四辺
形の枠５０５aの下面に８本の脚部５０５ｂを設けたも
のである。また、枠５０５aの上面に、６個の押さえ板
５０５cをネジ止めなどにより取り付けたものである。
また、枠には、円形の多数の貫通穴を設けたものであ
る。なお、取付具５０５の左右側面、裏面は正面と同様
に表れる。

【0061】この取付具を５０５を用いた上部保持具４３の
サブテーブル６２への固定は、図６bに示すように行
う。b-1は上部保持具４３をサブテーブル６２へ固定し
た状態を上方から見たようすを表し、ｂ-2はサブテーブ
ル６２へ固定した状態を正面から見たようすを表してい
る。

【0062】図示するように、上部保持具４３を取付具５０
５の枠５０５aの四辺形の貫通口に、上部保持具４３の
縁が枠の上面に掛かるように挿入し、上部保持具４３の
２辺の縁を上から押さえ板５０５cをネジ込むことによ
り上部保持具４３を枠に固定し、取付具５０５の脚部５
０５ｂをサブテーブル６２にネジ止めなどにより固定す
ることにより、上部保持具４３をサブテーブル６２に固
定する。

【0063】次に、底部保持具４２のサブテーブル６２への
固定について説明する。

【0064】底部保持具４２のサブテーブル６２への固定
は、拘束手段として取付具５０６を用いて行う。

【0065】取付具５０６の構造を図７aに示す。a-1の上面
図、a-2の正面図、a-3の底面図、a-４の右側面図、a-5
の裏面図に示すように、取付具５０６は９０度アングル
部材５０６aに、挟持部材５０６bを設けたものである。
挟持部材５０６bは、ネジ機構などにより備えた間の距
離が可変な２枚の板を備えた部材である。

【0066】この取付具を５０６を用いた底部保持具４２の
サブテーブル６２への固定は、図６bに示すように行
う。b-1は底部保持具４２のをサブテーブル６２へ固定
した状態を上方から見たようすを表し、ｂ-2はサブテー
ブル６２へ固定した状態を正面から見たようすを表して
いる。

【0067】図示するように、底部保持具４２の両端をそれ
ぞれ２つの取付具５０６の挟持部材５０６bに挟持さ
せ、この２つの取付具５０６をサブテーブル６２にネジ
止めなどにより固定することにより、底部保持具４２を
サブテーブル６２に固定する。ここで、この固定の際に
は、底部保持具４２がサブテーブル６２の外周側を向く
ように取り付ける。

【0068】以下、このようにしてサブテーブル６２に固
定、拘束したシッピングボックスの各構成品を乾燥する
本乾燥装置の作用について説明する。

【0069】図１aにおいて、サブテーブル１５上に上記の
ようにして、シッピングボックスの構成品を固定、拘束
し、ドア部２を閉じ、モータ１２を駆動し、サブテーブ
ル１５を固定したメインテーブル１５を高速（例えば８
００r/min〜１０００r/min）に回転する。

【0070】すると、シッピングボックスの構成品に付着し
ていた水滴や水分は、回転によって加わる遠心力によっ
て、シッピングボックスの構成品から分離し外周側に飛
ばされる。

【0071】また、この際に、メインテーブル１５や、サブ
テーブル６２や、サブテーブル６２上のシッピングボッ
クス構成品や取付具などの構造物によって、ちょうど、
シロッコファンのように、ドア部２のエアフィルター２
４から下方、メインテーブル１５中心に空気を吸い込
み、メインテーブル１５外周方向に空気を吐き出す作用
と、メインテーブル１５が乾燥室の円筒形状と偏心して
いることより生じる、外周方向に吐き出された空気を効
率よく排気口より排出する作用が生じる。

【0072】そして、図中に矢印で示した以上の作用の結果
生じる気流の作用によって、メインテーブル１５中心付
近も含め、シッピングボックス構成品の乾燥が促進され
ると共に、シッピングボックス構成品から分離した水
滴、水分が排出されることになる。また、この際に、メ
インテーブル１５や各取付具に設けた円形の貫通穴によ
って、遠心力によるシッピングボックス構成品に付着し
た水滴、水分の移動路を充分に確保すると共に、気流が
シッピングボックス構成品にまんべんなく行き渡らせる
ことができるため、乾燥むらが生じることもない。

【0073】しかし、シッピングボックス構成品が複雑な形
状、例えば、相互に反対方向を向いている凹形状を有し
ている場合などは、どうしても、外周（遠心）方向が凹
形状の底となる箇所が生じ、この箇所の乾燥が妨げられ
ることがある。また、メインテーブル１５の中心側は働
く遠心力が弱いので、シッピングボックス構成品の中心
側に設置された部分が充分に乾燥できない場合も考えら
れる。

【0074】そこで、本乾燥装置では、サブテーブル６２を
メインテーブル１５に固定してメインテーブル１５を回
転して乾燥を行ったならば、メインテーブル１５を停止
させ、サブテーブル６２をメインテーブル１５に対して
１８０度回転し、サブテーブル６２をメインテーブル１
５に固定した後、再度、メインテーブル１５を回転して
乾燥を行うことにより、複雑な形状を有しているシッピ
ングボックス構成品についても良好に乾燥を行えるよう
にしている。また、このようにメインテーブル１５回転
中はサブテーブル６２をメインテーブル１５に対して固
定することにより、メインテーブル１５の安定した高速
回転を可能としている。

【0075】以下、このサブテーブル６２のメインテーブル
１５に対する回転と回転抑止手段による固定の機構につ
いて説明する。

【0076】図８aはサブテーブル６２のメインテーブル１
５に対する回転と回転抑止手段による固定の機構に関す
る部位の構造を示したものである。

【0077】a-1に示すように、回転抑止手段として、メイ
ンテーブル１５には複数のキー穴８１が、サブテーブル
６２内部には先端がキー穴８１に係止するキー８２が設
けられている。キー８２はサブテーブル８３に上下方向
のみ所定距離移動可能なように取り付けられており、キ
ー８２がキー穴８１に係止した状態においてサブテーブ
ル６２は回転方向についてメインテーブル１５に固定さ
れることになる。また、キー８２にはサブテーブル６２
の軸穴中に挿入された押し棒８３が連結されており、押
し棒８３を上方に押し上げることにより、キー８２は上
方に移動しキー穴８１との係止が解除され、サブテーブ
ル６２はメインテーブル１５に対して回転可能となる。

【0078】一方、サブテーブル駆動部６１は、回転軸６１
aを備えたモーターであり、回転軸６１aを上下に押し出
し／引き込む機構を備えている。このようなサブテーブ
ル駆動部６１は、単純にはモーターとモーターを上下に
移動するエレベーター機構を組み合わせることにより実
現できる。

【0079】さて、キー８２がキー穴８１に係止した状態、
すなわち、サブテーブル６２がメインテーブル１５に固
定された状態において、制御部６４はモータ１２を制御
しメインテーブル１５を所定期間回転し１回目の乾燥が
完了したならば、制御部６４は、回転角エンコーダー６
３のエンコード角に基づいて、モータ１２を制御し、サ
ブテーブル６２の軸穴とサブテーブル駆動部６１の回転
軸６１aの軸線を一致させる。

【0080】そして、次に、a-２に示すようにサブテーブル
駆動部６１に回転軸６１aを上方に押し出させ、サブテ
ーブル６２の軸穴に回転軸６１aを挿入し、キー８２と
キー穴８１の係止を解除する。そして、サブテーブル駆
動部６１に回転軸６１aを１８０度回転させ、回転が完
了したならば、回転軸６１aを下方に引き戻させる。こ
れにより、キー８２は下方に移動し、先程とは１８０度
ずれた位置にあるキー穴８１に係止し、サブテーブル６
２をメインテーブル１５に固定する。

【0081】このようにしてサブテーブル６２がメインテー
ブル１５に対して１８０度回転し固定されたならば、制
御部６４はモータ１２を制御し、再度メインテーブル１
５を所定期間回転し２回目の乾燥を行う。

【0082】さて、ここで本実施形態では、本体４１につい
ては、前述したようにバランスウエイト５０２をサブテ
ーブル６２に装着することにより、以上のようなサブテ
ーブル６２の回転によって、固定したサブテーブル６２
がメインテーブル１５に加える荷重バランスが変わらな
いようにしている。したがって、上述のようなサブテー
ブル６２の回転の前後で、メインテーブル１５の荷重バ
ランスは変わらず、安定した回転動作を行うことができ
る。

【0083】なお、本体４１の乾燥を行う場合には、図８ｂ
のb-1、ｂ-２に示すように、本体の開口がメインテーブ
ル１５の外周側を向いた状態と、メインテーブル１５の
中心を向いた状態の、相互に１８０度サブテーブルの回
転角が異なる２つの状態で、メインテーブル１５を回転
し乾燥を行うようにするのがよい。

【0084】以上、本発明の実施形態について説明した。

【0085】ところで、以上の実施形態で示した取付具やこ
れを用いたシッピングボックス構成品のメインテーブル
１５への構成または拘束は例示であり、これら以外の取
付具や、他の手法によってシッピングボックス構成品を
メインテーブル１５に固定、拘束するようにしてかまわ
ない。

【0086】また、本乾燥装置は、以上の実施形態にさまざ
まな修正を施して実施することができる。

【0087】例えば、図９aに示すように、サブテーブル６
２をメインテーブル１５に固定する機構を、サブテーブ
ル６２に固定した取付具を上方から下方に押しつけるこ
とにより行う機構としてもよい。

【0088】図中、a-1はサブテーブル６２をメインテーブ
ル１５に固定したようすを、a-2はサブテーブル６２の
メインテーブル１５への固定を解除したようすを示して
いる。図中、９１はバネなどにより下方に付勢された伸
縮ポールであり下端はメインテーブルに固定されてい
る。また、伸縮ポール９１の上部には水平に延びた押さ
え部材９１aが設けられている。次に、９２はアーム９
２aを左右に移動して押さえ板９２の左右端に挿抜する
挿抜機構部であり、９３は挿抜機構部９２を上下に移動
する垂直移動機構部である。

【0089】このように、２つのサブテーブル６２に固定し
た２つの取付具を上方において連結することにより、回
転系全体を強固な高速回転に適した構造とすることがで
きる。

【0090】また、例えば、本乾燥装置のサブテーブル６２
を移動する機構を、図９bに示すようにサブテーブル６
２の外周を操作し回転する機構とするようにしてもよ
い。図b-１中において、９４aは支持材は、９4ｂはサブ
テーブル６２の外周に当接し自己の回転によってサブテ
ーブル６２を回転させるスプロケット、９４ｃは支持材
の回転移動とスプロケット９４ｂの回転を行う回転移動
機構である。ここで、b-2に示すように、回転移動機構
９４ｃによって、メインテーブル１５回転中、支持材９
４aはメインテーブル１５の回転の障害とならない位置
に回転移動される。

【0091】また、例えば、本乾燥装置のサブテーブル６２
を移動する機構は、メインテーブル１５上に、サブテー
ブル６２を回転するモータを設置して行うようにしても
よい。

【0092】また、例えば、本乾燥装置のメインテーブル１
５は、例えば、図１０aに示すように、２つの円形の貫
通穴を有する２つのかごを、連結部材で連結したものと
してもよい。図１０aは回転軸上方斜めから見たメイン
テーブル１５を表している。この場合、シッピングボッ
クス構成品をかごの中に収容し、メインテーブル１５を
回転することにより乾燥を行う。

【0093】また、例えば、図１０bに示すように、外部の
エアコンプレッサー９５などから、加圧した清浄な空気
を乾燥室内に導入し、エアーノズル９６からシッピング
ボックス構成品の任意の部位に吹き付けるようにしても
良い。また、この際には、エアーノズル９６の、向き、
位置を任意に変えることのできる機構を設けるようにし
ても良い。また、メインテーブル１５の回転中心上方な
どに、メインテーブル１５の中心から円周方向に延びる
形状の面を有する固定翼９７を設け、メインテーブル１
５の中心から外周方向に向かう気流をさらに喚起するよ
うにしてもよい。

【0094】また、以上の実施形態では、１８０度異なるサ
ブテーブル６２の２つの回転角のそれぞれについて、メ
インテーブル１５の回転を行ったが、このサブテーブル
６２の回転角は相互に１８０度異なるものでなく任意回
転角異なるものとしてもよい。また、サブテーブル６２
の２つの回転角についてのみメインテーブル１５の回転
を行うのではなく、サブテーブル６２の３種類以上の回
転角について、それぞれメインテーブル１５の回転を行
うようにしてもよい。また、以上の実施形態におけるバ
ランスウエイト５０２およびその配置は、実際にメイン
テーブル１５の回転を行うサブテーブル６２の回転角の
それぞれについて、サブテーブル６２がメインテーブル
１５に加える荷重バランスが変わらなければ足りる。

【0095】また、以上では、具体的なシリコンウエーハ用
のシッピングボックスを乾燥の対象として本発明に係る
乾燥装置の実施形態を示したが、これは単なる一例であ
り、本発明および本発明の乾燥の対象物はこれに限定さ
れるものではない。すなわち、本実施形態の乾燥装置
は、これ以外の形状やサイズのシリコンウエーハ用のシ
ッピングボックスや、その他の任意の対象、たとえば、
シリコン以外の半導体ウエーハ、フォトマスク用石英ガ
ラス基板、液晶表示用ガラス基板、ハードディスク、CD
-ROM、CD-RAM、DVD、MDなどを収容するシッピングボッ
クスやコンテナの乾燥についても同様に適用することが
できる。

【0096】また、FOUP（Front Opening Unified Pod）な
どのシリコンウエーハ収容容器のFIMS（Front-opening
Interface Mechanical Standard）構造を持つドアの乾
燥についても同様に適用することができる。

【0097】

【発明の効果】

【0098】以上のように、本発明によれば、短時間に効率
よく、対象物を乾燥させることのできる乾燥装置を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係る乾燥装置の構造を示す
図である。

【図２】本発明の実施形態に係る乾燥装置が乾燥の対象
とするシッピングボックスの構造を示す図である。

【図３】本発明の実施形態に係る乾燥装置の取付具を示
す図である。

【図４】本発明の実施形態に係る乾燥装置の取付具を示
す図である。

【図５】本発明の実施形態に係る乾燥装置の取付具を示
す図である。

【図６】本発明の実施形態に係る乾燥装置の取付具を示
す図である。

【図７】本発明の実施形態に係る乾燥装置の取付具を示
す図である。

【図８】本発明の実施形態に係る乾燥装置のサブテーブ
ルの回転と固定の機構を示す図である。

【図９】本発明の実施形態に係る乾燥装置の他の構成例
を示す図である。

【図１０】本発明の実施形態に係る乾燥装置の他の構成
例を示す図である。

【符号の説明】

１；本体部、２；ドア部２、１１；フレーム、１２；モ
ータ、１３；シャフト、１４；ローター、１５；テーブ
ル、１６；乾燥室壁、１７；シャフト軸受、１８；ロー
ター軸受、２１；ドアフレーム、２２；連結部材、２
３；固定翼支持部材、２４；固定翼、２５；エアフィル
タ、３１；伸縮シリンダ、３２；開閉アーム、３５；
ガスケット、３３；ヒンジ、６１；サブテーブル駆動
部、６２；サブテーブル、６３；回転角エンコーダー、
６４；制御部、８１；キー穴、８２；キー、８３；押し
棒、９１；エアコンプレッサー、９２；エアーノズル、
９３；サブテーブル、５０１、５０３〜５０６；取付
具、５０２；バランスウエイト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者内藤義範横浜市緑区白山１丁目16番１号株式会社小野測器内 (72)発明者小戸章志横浜市緑区白山１丁目16番１号株式会社小野測器内 (72)発明者田中直樹横浜市緑区白山１丁目16番１号株式会社小野測器内 (72)発明者三川和弘横浜市緑区白山１丁目16番１号株式会社小野測器内 (72)発明者島田雄司横浜市緑区白山１丁目16番１号株式会社小野測器内 (72)発明者小島孝由横浜市緑区白山１丁目16番１号株式会社小野測器内 (72)発明者阿部泰博横浜市緑区白山１丁目16番１号株式会社小野測器内 (72)発明者外山公平福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150 信越半導体株式会社半導体白河研究所内 (72)発明者松尾孝福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150 信越半導体株式会社半導体白河研究所内Ｆターム(参考） 3L113 AA04 AB08 AC63 AC67 AC75 AC83 BA34 CB34 DA02 DA10 DA24 4D057 AA19 AB01 AC05 AD01 AE11 AF01 BA21 BA29 5F031 CA02 DA08 FA01 FA03 PA24

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】遠心力を利用して対象物を乾燥する遠心式
乾燥装置であって、乾燥室と、前記乾燥室内に設けられたメインテーブル
と、前記メインテーブルを回転させる回転機構部と、前
記メインテーブルに回転可能に組み付けられた複数のサ
ブテーブルと、前記メインテーブルの回転中に前記サブ
テーブルの前記メインテーブルに対する回転を抑止する
回転抑止手段と、前記対象物を前記サブテーブルと共に
運動するように前記サブテーブルに対して当該対象物を
拘束する拘束手段とを有することを特徴とする遠心式乾
燥装置。
【請求項２】請求項１記載の遠心式乾燥装置であって、前記メインテーブルの回転停止中に、前記サブテーブル
を前記メインテーブルに対して回転するサブテーブル回
転機構部を有することを特徴とする遠心式乾燥装置。
【請求項３】請求項２記載の遠心式乾燥装置であって、前記サブテーブル回転機構部は、前記メインテーブルの
回転停止中に、前記サブテーブルを前記メインテーブル
に対して１８０度回転することを特徴とする遠心式乾燥
装置。
【請求項４】請求項２または３記載の遠心式乾燥装置で
あって、前記サブテーブル回転機構部は、前記サブテーブルに分離可能に連結して回転力を与え
る、前記メインテーブルと分離して設けられた駆動部
と、前記メインテーブルの回転停止中に、前記駆動部を移動
して前記サブテーブルに連結し、前記メインテーブルの
回転中に、前記駆動部を移動して、前記サブテーブルか
ら分離する移動機構部とを有することを特徴とする遠心
式乾燥装置。
【請求項５】請求項１、２、３または４記載の遠心式乾
燥装置であって、前記サブテーブルにバランスウエイトが装着ていること
を特徴とする遠心式乾燥装置。
【請求項６】請求項１、２、３、４または５記載の遠心
式乾燥装置であって、前記対象物は、シリコンウエーハを収容するシッピング
ボックスの構成品、または、FIMS（Front-opening Inte
rface Mechanical Standard）構造を持つシリコンウエ
ーハ収容容器のドアであることを特徴とする遠心式乾燥
装置。