JP2559653B2 - 薄葉片等の分離乾燥装置 - Google Patents
薄葉片等の分離乾燥装置Info
- Publication number
- JP2559653B2 JP2559653B2 JP4118568A JP11856892A JP2559653B2 JP 2559653 B2 JP2559653 B2 JP 2559653B2 JP 4118568 A JP4118568 A JP 4118568A JP 11856892 A JP11856892 A JP 11856892A JP 2559653 B2 JP2559653 B2 JP 2559653B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin leaf
- container
- leaf pieces
- central shaft
- axial direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば洗浄液にて洗浄
された半導体素子等の薄葉片が互いに洗浄液により密着
して離れ難くなっている場合、これら密着した薄葉片を
迅速に分離して１枚毎の薄葉片となして乾燥させる薄葉
片等の分離乾燥装置に関する。
された半導体素子等の薄葉片が互いに洗浄液により密着
して離れ難くなっている場合、これら密着した薄葉片を
迅速に分離して１枚毎の薄葉片となして乾燥させる薄葉
片等の分離乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄葉片等の平面部を重ね合わされたもの
は、分離するのに手間がかかり、また、分離された薄葉
片の面には塵埃や洗浄液が付着しており、これを取り除
いた上でなければ電子機器等に実装できない場合があ
る。重なり合い、密着している薄葉片を分離する手段と
して、前記密着薄葉片にバイブレーションを与えること
も、技術分野の異なる業種で採用されている手段として
は考えられるが、密着した薄葉片の密着を解いても各薄
葉片の平面部に付着している水、油、塵埃等を確実に除
去して乾燥することは不可能であった。
は、分離するのに手間がかかり、また、分離された薄葉
片の面には塵埃や洗浄液が付着しており、これを取り除
いた上でなければ電子機器等に実装できない場合があ
る。重なり合い、密着している薄葉片を分離する手段と
して、前記密着薄葉片にバイブレーションを与えること
も、技術分野の異なる業種で採用されている手段として
は考えられるが、密着した薄葉片の密着を解いても各薄
葉片の平面部に付着している水、油、塵埃等を確実に除
去して乾燥することは不可能であった。
【０００３】実開昭６１ー１９９０４１号公報には、タ
ーンテーブル上に回転可能に取付けられたクレードルを
クレードル起こしによりクレードルを起頭及び伏頭させ
る手段が記載されている。ターンテーブルの外からクレ
ードル起こしを取付けることは設備が大型となり、作業
性が悪い欠点がある。又、特開昭６２ー２９３６１７号
公報には、容器の回転とクレードルの揺動運動とが別個
独立しているためにクレードルは整合せずウエハの均一
な乾燥を行えない欠点がある。又、特開昭６３ー２１８
３５号公報及び特開平１ー１４６３２９号公報に記載さ
れた回転テーブルに収容された半導体基盤収納治具は回
転テーブルと共に回転する平面回転であるために、乾燥
に時間がかかり均一な乾燥を行うことができない。
ーンテーブル上に回転可能に取付けられたクレードルを
クレードル起こしによりクレードルを起頭及び伏頭させ
る手段が記載されている。ターンテーブルの外からクレ
ードル起こしを取付けることは設備が大型となり、作業
性が悪い欠点がある。又、特開昭６２ー２９３６１７号
公報には、容器の回転とクレードルの揺動運動とが別個
独立しているためにクレードルは整合せずウエハの均一
な乾燥を行えない欠点がある。又、特開昭６３ー２１８
３５号公報及び特開平１ー１４６３２９号公報に記載さ
れた回転テーブルに収容された半導体基盤収納治具は回
転テーブルと共に回転する平面回転であるために、乾燥
に時間がかかり均一な乾燥を行うことができない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、集合密着し
た薄葉片を分離し、薄葉片の表裏面に付着した水、油、
塵埃等を除去し、これを解離乾燥する装置を提供するこ
とを目的とするものである。
た薄葉片を分離し、薄葉片の表裏面に付着した水、油、
塵埃等を除去し、これを解離乾燥する装置を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、揺動容器１
と、前記揺動容器に収容され、中心軸３と共に回転され
る回転部材２と、前記回転部材２に軸方向を中心軸３の
軸線方向に向けて配設した係合部５に係合させた半導体
素子等の薄葉片６の収容篭体８と、前記中心軸３の軸方
向と軸方向を直角に向けて支持部材に支持軸４にて軸架
される揺動容器１と一体の回動歯車９と、前記回動歯車
９を往復回転する駆動歯車１０と、前記中心軸３を揺動
容器１の揺動と共に遅く回転させる低速用モータ１１
と、揺動容器１を垂直に位置して回転部材２を高速回転
させる高速用モータ１２とよりなることを特徴とする薄
葉片等の分離乾燥装置である。
と、前記揺動容器に収容され、中心軸３と共に回転され
る回転部材２と、前記回転部材２に軸方向を中心軸３の
軸線方向に向けて配設した係合部５に係合させた半導体
素子等の薄葉片６の収容篭体８と、前記中心軸３の軸方
向と軸方向を直角に向けて支持部材に支持軸４にて軸架
される揺動容器１と一体の回動歯車９と、前記回動歯車
９を往復回転する駆動歯車１０と、前記中心軸３を揺動
容器１の揺動と共に遅く回転させる低速用モータ１１
と、揺動容器１を垂直に位置して回転部材２を高速回転
させる高速用モータ１２とよりなることを特徴とする薄
葉片等の分離乾燥装置である。
【０００６】
【作用】揺動容器１は支持軸４を中心として回動歯車９
と駆動歯車１０にて左右方向にゆっくり往復回転する。
薄葉片収容篭体８は回転部材２と共に低速用モータ１１
にてゆっくり回転される。又、揺動容器１を垂直状態に
保持して回転部材２を高速モータ１２にて高速回転させ
る。薄葉片収容篭体８は前記のごとく低速用モータ１１
によりゆっくり回転して薄葉片を個々に分離した後、高
速用モータ１２により高速度に回転して分離された薄葉
片に付着した液体、ゴミ等を分離し乾燥する。
と駆動歯車１０にて左右方向にゆっくり往復回転する。
薄葉片収容篭体８は回転部材２と共に低速用モータ１１
にてゆっくり回転される。又、揺動容器１を垂直状態に
保持して回転部材２を高速モータ１２にて高速回転させ
る。薄葉片収容篭体８は前記のごとく低速用モータ１１
によりゆっくり回転して薄葉片を個々に分離した後、高
速用モータ１２により高速度に回転して分離された薄葉
片に付着した液体、ゴミ等を分離し乾燥する。
【０００７】
【実施例】図について本発明の実施例を説明する。図１
は本発明の一部を切欠した正面図、図２は揺動容器の縮
小平面図、図３は一部を切欠して示す回転部材と薄葉片
収容篭体の拡大側面図、図４は薄葉片収容篭体の一部を
切欠した拡大斜視図である。図において１は揺動容器、
２は前記揺動容器１に収容された回転部材、３は前記回
転部材２の中心軸、４は前記回転部材２の天板２ａの外
周にあけた半導体素子の薄葉片収容篭体８を係合する係
合部、４ａは前記回転部材２の底板２ｂにあけた薄葉片
収容篭体８の下部突部８ａを嵌合する孔、８ｂは薄葉片
収容篭体８の上部に設けたキャップ、１１及び１２は低
速用及び高速用モータであって、モータ１１の回転数は
減速装置にて減速されて中心軸３を回転する。モータ１
２は中心軸３に直結され、前記モータ１２の回転速度は
大きいから中心軸３の回転速度は大きくなる。中心軸３
はモータ１１で回転するか又は、モータ１２で回転する
かによって回転速度が転換される。そしてモータ１１に
て中心軸３をゆっくり回転すると共に揺動容器１を正逆
扇形形状に回転して薄葉片６を分離する。又、モータ１
２にて揺動容器１を垂直に立てた状態で回転部材２を高
速回転して薄葉片６に付着した液体や塵埃を遠心力によ
り掃い落とす。
は本発明の一部を切欠した正面図、図２は揺動容器の縮
小平面図、図３は一部を切欠して示す回転部材と薄葉片
収容篭体の拡大側面図、図４は薄葉片収容篭体の一部を
切欠した拡大斜視図である。図において１は揺動容器、
２は前記揺動容器１に収容された回転部材、３は前記回
転部材２の中心軸、４は前記回転部材２の天板２ａの外
周にあけた半導体素子の薄葉片収容篭体８を係合する係
合部、４ａは前記回転部材２の底板２ｂにあけた薄葉片
収容篭体８の下部突部８ａを嵌合する孔、８ｂは薄葉片
収容篭体８の上部に設けたキャップ、１１及び１２は低
速用及び高速用モータであって、モータ１１の回転数は
減速装置にて減速されて中心軸３を回転する。モータ１
２は中心軸３に直結され、前記モータ１２の回転速度は
大きいから中心軸３の回転速度は大きくなる。中心軸３
はモータ１１で回転するか又は、モータ１２で回転する
かによって回転速度が転換される。そしてモータ１１に
て中心軸３をゆっくり回転すると共に揺動容器１を正逆
扇形形状に回転して薄葉片６を分離する。又、モータ１
２にて揺動容器１を垂直に立てた状態で回転部材２を高
速回転して薄葉片６に付着した液体や塵埃を遠心力によ
り掃い落とす。
【０００８】従って、前記回動歯車９が駆動歯車１０に
てゆっくり正逆回転されると、揺動容器１は支持軸４の
まわりを略１３５°正逆回転することとなり揺動容器１
は１３５°内をゆっくりと正逆回転すると共に前記の如
くモータ１１にて回転部材２がゆっくり回転しその相乗
作用により薄葉片を一側方から他側方に倒し又その反対
方向に倒して薄葉片同士の密着を解き薄葉片６の間の
油、塵埃等を確実に除去する。
てゆっくり正逆回転されると、揺動容器１は支持軸４の
まわりを略１３５°正逆回転することとなり揺動容器１
は１３５°内をゆっくりと正逆回転すると共に前記の如
くモータ１１にて回転部材２がゆっくり回転しその相乗
作用により薄葉片を一側方から他側方に倒し又その反対
方向に倒して薄葉片同士の密着を解き薄葉片６の間の
油、塵埃等を確実に除去する。
【０００９】すなわち前記の如く回転部材２は、中心軸
３によりゆっくり又は速く回転されるから、回転部材２
は、低速モータ１１の回転運動と、駆動歯車１０による
往復扇形運動との複合運動と高速モータ１２による高速
回転運動とを交互に受けて薄葉片収容篭体内の密着した
薄葉片同士を離し乾燥させることとなる。又、揺動容器
１に微振動装置（図示せず）にて微振動を与えることに
より、前記薄葉片収容篭体８を微振動して薄葉片同士の
密着を分離することができる。
３によりゆっくり又は速く回転されるから、回転部材２
は、低速モータ１１の回転運動と、駆動歯車１０による
往復扇形運動との複合運動と高速モータ１２による高速
回転運動とを交互に受けて薄葉片収容篭体内の密着した
薄葉片同士を離し乾燥させることとなる。又、揺動容器
１に微振動装置（図示せず）にて微振動を与えることに
より、前記薄葉片収容篭体８を微振動して薄葉片同士の
密着を分離することができる。
【００１０】
【発明の効果】本発明は、前記の如く構成したことによ
り、洗浄液にて洗浄された薄葉片を互いに洗浄液にて密
着した儘、薄葉片収容篭体に収容し、モータにより揺動
容器及び薄葉片収容篭体をゆっくり扇形回転運動を行わ
せて収容篭体の天地を変えると共に薄葉片収容篭体の回
転部材を低速回転させて揺動反転運動と低速回転運動を
行わせて薄葉片同士の密着を解き、次に回転部材の軸方
向を垂直状態となして高速回転を与えてその遠心力によ
り薄葉片を分離し薄葉片間に溜っている洗浄液や塵埃を
薄葉片収容篭体の外方に排出することができ、薄葉片の
次の処理工程に順序よく送り出すことができ、機構堅
牢、動作確実で操作簡単である。
り、洗浄液にて洗浄された薄葉片を互いに洗浄液にて密
着した儘、薄葉片収容篭体に収容し、モータにより揺動
容器及び薄葉片収容篭体をゆっくり扇形回転運動を行わ
せて収容篭体の天地を変えると共に薄葉片収容篭体の回
転部材を低速回転させて揺動反転運動と低速回転運動を
行わせて薄葉片同士の密着を解き、次に回転部材の軸方
向を垂直状態となして高速回転を与えてその遠心力によ
り薄葉片を分離し薄葉片間に溜っている洗浄液や塵埃を
薄葉片収容篭体の外方に排出することができ、薄葉片の
次の処理工程に順序よく送り出すことができ、機構堅
牢、動作確実で操作簡単である。
【図１】図１は本発明の一部を切欠した正面図である。
【図２】図２は本発明の平面図である。
【図３】図３は本発明の一部を切欠した拡大側面図であ
る。
る。
【図４】図４は薄葉片収容篭体の一部を切欠した拡大斜
視図である。
視図である。
１ 揺動容器 ２ 回転部材 ３ 中心軸 ４ 支持軸 ５ 係合部 ６ 薄葉片 ８ 収容篭体 ９ 回動歯車 １０ 駆動歯車 １１，低速用モータ １２ 高速用モータ
Claims (1)
- 【請求項１】 揺動容器１と、前記揺動容器に収容さ
れ、中心軸３と共に回転される回転部材２と、前記回転
部材２に軸方向を中心軸３の軸線方向に向けて配設した
係合部５に係合させた半導体素子等の薄葉片６の収容篭
体８と、前記中心軸３の軸方向と軸方向を直角に向けて
支持部材に支持軸４にて軸架される揺動容器１と一体の
回動歯車９と、前記回動歯車９を往復回転する駆動歯車
１０と、前記中心軸３を揺動容器１の揺動と共に遅く回
転させる低速用モータ１１と、揺動容器１を垂直に位置
して回転部材２を高速回転させる高速用モータ１２とよ
りなることを特徴とする薄葉片等の分離乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4118568A JP2559653B2 (ja) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | 薄葉片等の分離乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4118568A JP2559653B2 (ja) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | 薄葉片等の分離乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06291106A JPH06291106A (ja) | 1994-10-18 |
| JP2559653B2 true JP2559653B2 (ja) | 1996-12-04 |
Family
ID=14739821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4118568A Expired - Lifetime JP2559653B2 (ja) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | 薄葉片等の分離乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2559653B2 (ja) |
-
1992
- 1992-04-13 JP JP4118568A patent/JP2559653B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06291106A (ja) | 1994-10-18 |
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