JPH06291106A - 薄葉片等の分離乾燥装置 - Google Patents
薄葉片等の分離乾燥装置Info
- Publication number
- JPH06291106A JPH06291106A JP11856892A JP11856892A JPH06291106A JP H06291106 A JPH06291106 A JP H06291106A JP 11856892 A JP11856892 A JP 11856892A JP 11856892 A JP11856892 A JP 11856892A JP H06291106 A JPH06291106 A JP H06291106A
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- Japan
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- thin leaf
- rotary member
- leaf pieces
- rotary
- rocking
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 洗浄した薄葉片を扇形揺動と回転運動する薄
葉片収容篭体に収容して、各薄葉片を揺動して分離し乾
燥する。 【構成】 回転部材2を揺動容器1に回転自在に収容す
る。回転部材2の支持軸3に扇形揺動運動を与える。低
速用モータ11にて回転部材2に低速用モータ11にて
回転軸にゆっくり回転運動を与える。高速用モータにて
回転部材2に高速回転を与える。薄葉片収容篭体8を回
転部材2の係合部5に係合し、回転部材2の扇形揺動運
動と回転運動とを薄葉片収容篭体5に収容した薄葉片6
に与えて薄葉片6を分離し高速用モータ12にて回転部
材2を高速回転して薄葉片を遠心力により乾燥する。
葉片収容篭体に収容して、各薄葉片を揺動して分離し乾
燥する。 【構成】 回転部材2を揺動容器1に回転自在に収容す
る。回転部材2の支持軸3に扇形揺動運動を与える。低
速用モータ11にて回転部材2に低速用モータ11にて
回転軸にゆっくり回転運動を与える。高速用モータにて
回転部材2に高速回転を与える。薄葉片収容篭体8を回
転部材2の係合部5に係合し、回転部材2の扇形揺動運
動と回転運動とを薄葉片収容篭体5に収容した薄葉片6
に与えて薄葉片6を分離し高速用モータ12にて回転部
材2を高速回転して薄葉片を遠心力により乾燥する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば洗浄液にて洗浄
された半導体素子等の薄葉片が互いに洗浄液により密着
して離れ難くなっている場合、これら密着した薄葉片を
迅速に分離して1枚毎の薄葉片となして乾燥させる薄葉
片等の分離乾燥装置に関する。
された半導体素子等の薄葉片が互いに洗浄液により密着
して離れ難くなっている場合、これら密着した薄葉片を
迅速に分離して1枚毎の薄葉片となして乾燥させる薄葉
片等の分離乾燥装置に関する。
【0002】
【従来の技術】薄葉片等の平面部を重ね合わされたもの
は、分離するのに手間がかかり、また、分離された薄葉
片の面には塵埃や洗浄液が付着しており、これを取り除
いた上でなければ電子機器等に実装できない場合があ
る。重なり合い、密着している薄葉片を分離する手段と
して、前記密着薄葉片にバイブレーションを与えること
も、技術分野の異なる業種で採用されている手段として
は考えられるが、密着した薄葉片の密着を解いても各薄
葉片の平面部に付着している水、油、塵埃等を確実に除
去して乾燥することは不可能であった。
は、分離するのに手間がかかり、また、分離された薄葉
片の面には塵埃や洗浄液が付着しており、これを取り除
いた上でなければ電子機器等に実装できない場合があ
る。重なり合い、密着している薄葉片を分離する手段と
して、前記密着薄葉片にバイブレーションを与えること
も、技術分野の異なる業種で採用されている手段として
は考えられるが、密着した薄葉片の密着を解いても各薄
葉片の平面部に付着している水、油、塵埃等を確実に除
去して乾燥することは不可能であった。
【0003】実開昭61ー199041号公報には、タ
ーンテーブル上に回転可能に取付けられたクレードルを
クレードル起こしによりクレードルを起頭及び伏頭させ
る手段が記載されている。ターンテーブルの外からクレ
ードル起こしを取付けることは設備が大型となり、作業
性が悪い欠点がある。又、特開昭62ー293617号
公報には、容器の回転とクレードルの揺動運動とが別個
独立しているためにクレードルは整合せずウエハの均一
な乾燥を行えない欠点がある。又、特開昭63ー218
35号公報及び特開平1ー146329号公報に記載さ
れた回転テーブルに収容された半導体基盤収納治具は回
転テーブルと共に回転する平面回転であるために、乾燥
に時間がかかり均一な乾燥を行うことができない。
ーンテーブル上に回転可能に取付けられたクレードルを
クレードル起こしによりクレードルを起頭及び伏頭させ
る手段が記載されている。ターンテーブルの外からクレ
ードル起こしを取付けることは設備が大型となり、作業
性が悪い欠点がある。又、特開昭62ー293617号
公報には、容器の回転とクレードルの揺動運動とが別個
独立しているためにクレードルは整合せずウエハの均一
な乾燥を行えない欠点がある。又、特開昭63ー218
35号公報及び特開平1ー146329号公報に記載さ
れた回転テーブルに収容された半導体基盤収納治具は回
転テーブルと共に回転する平面回転であるために、乾燥
に時間がかかり均一な乾燥を行うことができない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、集合密着し
た薄葉片を分離し、薄葉片の表裏面に付着した水、油、
塵埃等を除去し、これを解離乾燥する装置を提供するこ
とを目的とするものである。
た薄葉片を分離し、薄葉片の表裏面に付着した水、油、
塵埃等を除去し、これを解離乾燥する装置を提供するこ
とを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、揺動容器1
と、前記揺動容器に収容され、中心軸3と共に回転され
る回転部材2と、前記回転部材2に軸方向を中心軸3の
軸線方向に向けて配設した係合部5に係合させた半導体
素子等の薄葉片6の収容篭体8と、前記中心軸3の軸方
向と軸方向を直角に向けて支持部材に支持軸4にて軸架
される揺動容器1と一体の回動歯車9と、前記回動歯車
9を往復回転する駆動歯車10と、前記中心軸3を揺動
容器1の揺動と共に遅く回転させる低速用モータ11
と、揺動容器1を垂直に位置して回転部材2を高速回転
させる高速用モータ12とよりなることを特徴とする薄
葉片等の分離乾燥装置である。
と、前記揺動容器に収容され、中心軸3と共に回転され
る回転部材2と、前記回転部材2に軸方向を中心軸3の
軸線方向に向けて配設した係合部5に係合させた半導体
素子等の薄葉片6の収容篭体8と、前記中心軸3の軸方
向と軸方向を直角に向けて支持部材に支持軸4にて軸架
される揺動容器1と一体の回動歯車9と、前記回動歯車
9を往復回転する駆動歯車10と、前記中心軸3を揺動
容器1の揺動と共に遅く回転させる低速用モータ11
と、揺動容器1を垂直に位置して回転部材2を高速回転
させる高速用モータ12とよりなることを特徴とする薄
葉片等の分離乾燥装置である。
【0006】
【作用】揺動容器1は支持軸4を中心として回動歯車9
と駆動歯車10にて左右方向にゆっくり往復回転する。
薄葉片収容篭体8は回転部材2と共に低速用モータ11
にてゆっくり回転される。又、揺動容器1を垂直状態に
保持して回転部材2を高速モータ12にて高速回転させ
る。薄葉片収容篭体8は前記のごとく低速用モータ11
によりゆっくり回転して薄葉片を個々に分離した後、高
速用モータ12により高速度に回転して分離された薄葉
片に付着した液体、ゴミ等を分離し乾燥する。
と駆動歯車10にて左右方向にゆっくり往復回転する。
薄葉片収容篭体8は回転部材2と共に低速用モータ11
にてゆっくり回転される。又、揺動容器1を垂直状態に
保持して回転部材2を高速モータ12にて高速回転させ
る。薄葉片収容篭体8は前記のごとく低速用モータ11
によりゆっくり回転して薄葉片を個々に分離した後、高
速用モータ12により高速度に回転して分離された薄葉
片に付着した液体、ゴミ等を分離し乾燥する。
【0007】
【実施例】図について本発明の実施例を説明する。図1
は本発明の一部を切欠した正面図、図2は揺動容器の縮
小平面図、図3は一部を切欠して示す回転部材と薄葉片
収容篭体の拡大側面図、図4は薄葉片収容篭体の一部を
切欠した拡大斜視図である。図において1は揺動容器、
2は前記揺動容器1に収容された回転部材、3は前記回
転部材2の中心軸、4は前記回転部材2の天板2aの外
周にあけた半導体素子の薄葉片収容篭体8を係合する係
合部、4aは前記回転部材2の底板2bにあけた薄葉片
収容篭体8の下部突部8aを嵌合する孔、8bは薄葉片
収容篭体8の上部に設けたキャップ、11及び12は低
速用及び高速用モータであって、モータ11の回転数は
減速装置にて減速されて中心軸3を回転する。モータ1
2は中心軸3に直結され、前記モータ12の回転速度は
大きいから中心軸3の回転速度は大きくなる。中心軸3
はモータ11で回転するか又は、モータ12で回転する
かによって回転速度が転換される。そしてモータ11に
て中心軸3をゆっくり回転すると共に揺動容器1を正逆
扇形形状に回転して薄葉片6を分離する。又、モータ1
2にて揺動容器1を垂直に立てた状態で回転部材2を高
速回転して薄葉片6に付着した液体や塵埃を遠心力によ
り掃い落とす。
は本発明の一部を切欠した正面図、図2は揺動容器の縮
小平面図、図3は一部を切欠して示す回転部材と薄葉片
収容篭体の拡大側面図、図4は薄葉片収容篭体の一部を
切欠した拡大斜視図である。図において1は揺動容器、
2は前記揺動容器1に収容された回転部材、3は前記回
転部材2の中心軸、4は前記回転部材2の天板2aの外
周にあけた半導体素子の薄葉片収容篭体8を係合する係
合部、4aは前記回転部材2の底板2bにあけた薄葉片
収容篭体8の下部突部8aを嵌合する孔、8bは薄葉片
収容篭体8の上部に設けたキャップ、11及び12は低
速用及び高速用モータであって、モータ11の回転数は
減速装置にて減速されて中心軸3を回転する。モータ1
2は中心軸3に直結され、前記モータ12の回転速度は
大きいから中心軸3の回転速度は大きくなる。中心軸3
はモータ11で回転するか又は、モータ12で回転する
かによって回転速度が転換される。そしてモータ11に
て中心軸3をゆっくり回転すると共に揺動容器1を正逆
扇形形状に回転して薄葉片6を分離する。又、モータ1
2にて揺動容器1を垂直に立てた状態で回転部材2を高
速回転して薄葉片6に付着した液体や塵埃を遠心力によ
り掃い落とす。
【0008】従って、前記回動歯車9が駆動歯車10に
てゆっくり正逆回転されると、揺動容器1は支持軸4の
まわりを略135°正逆回転することとなり揺動容器1
は135°内をゆっくりと正逆回転すると共に前記の如
くモータ11にて回転部材2がゆっくり回転しその相乗
作用により薄葉片を一側方から他側方に倒し又その反対
方向に倒して薄葉片同士の密着を解き薄葉片6の間の
油、塵埃等を確実に除去する。
てゆっくり正逆回転されると、揺動容器1は支持軸4の
まわりを略135°正逆回転することとなり揺動容器1
は135°内をゆっくりと正逆回転すると共に前記の如
くモータ11にて回転部材2がゆっくり回転しその相乗
作用により薄葉片を一側方から他側方に倒し又その反対
方向に倒して薄葉片同士の密着を解き薄葉片6の間の
油、塵埃等を確実に除去する。
【0009】すなわち前記の如く回転部材2は、中心軸
3によりゆっくり又は速く回転されるから、回転部材2
は、低速モータ11の回転運動と、駆動歯車10による
往復扇形運動との複合運動と高速モータ12による高速
回転運動とを交互に受けて薄葉片収容篭体内の密着した
薄葉片同士を離し乾燥させることとなる。又、揺動容器
1に微振動装置(図示せず)にて微振動を与えることに
より、前記薄葉片収容篭体8を微振動して薄葉片同士の
密着を分離することができる。
3によりゆっくり又は速く回転されるから、回転部材2
は、低速モータ11の回転運動と、駆動歯車10による
往復扇形運動との複合運動と高速モータ12による高速
回転運動とを交互に受けて薄葉片収容篭体内の密着した
薄葉片同士を離し乾燥させることとなる。又、揺動容器
1に微振動装置(図示せず)にて微振動を与えることに
より、前記薄葉片収容篭体8を微振動して薄葉片同士の
密着を分離することができる。
【0010】
【発明の効果】本発明は、前記の如く構成したことによ
り、洗浄液にて洗浄された薄葉片を互いに洗浄液にて密
着した儘、薄葉片収容篭体に収容し、モータにより揺動
容器及び薄葉片収容篭体をゆっくり扇形回転運動を行わ
せて収容篭体の天地を変えると共に薄葉片収容篭体の回
転部材を低速回転させて揺動反転運動と低速回転運動を
行わせて薄葉片同士の密着を解き、次に回転部材の軸方
向を垂直状態となして高速回転を与えてその遠心力によ
り薄葉片を分離し薄葉片間に溜っている洗浄液や塵埃を
薄葉片収容篭体の外方に排出することができ、薄葉片の
次の処理工程に順序よく送り出すことができ、機構堅
牢、動作確実で操作簡単である。
り、洗浄液にて洗浄された薄葉片を互いに洗浄液にて密
着した儘、薄葉片収容篭体に収容し、モータにより揺動
容器及び薄葉片収容篭体をゆっくり扇形回転運動を行わ
せて収容篭体の天地を変えると共に薄葉片収容篭体の回
転部材を低速回転させて揺動反転運動と低速回転運動を
行わせて薄葉片同士の密着を解き、次に回転部材の軸方
向を垂直状態となして高速回転を与えてその遠心力によ
り薄葉片を分離し薄葉片間に溜っている洗浄液や塵埃を
薄葉片収容篭体の外方に排出することができ、薄葉片の
次の処理工程に順序よく送り出すことができ、機構堅
牢、動作確実で操作簡単である。
【図1】図1は本発明の一部を切欠した正面図である。
【図2】図2は本発明の平面図である。
【図3】図3は本発明の一部を切欠した拡大側面図であ
る。
る。
【図4】図4は薄葉片収容篭体の一部を切欠した拡大斜
視図である。
視図である。
1 揺動容器 2 回転部材 3 中心軸 4 支持軸 5 係合部 6 薄葉片 8 収容篭体 9 回動歯車 10 駆動歯車 11,低速用モータ 12 高速用モータ
Claims (1)
- 【請求項1】 揺動容器1と、前記揺動容器に収容さ
れ、中心軸3と共に回転される回転部材2と、前記回転
部材2に軸方向を中心軸3の軸線方向に向けて配設した
係合部5に係合させた半導体素子等の薄葉片6の収容篭
体8と、前記中心軸3の軸方向と軸方向を直角に向けて
支持部材に支持軸4にて軸架される揺動容器1と一体の
回動歯車9と、前記回動歯車9を往復回転する駆動歯車
10と、前記中心軸3を揺動容器1の揺動と共に遅く回
転させる低速用モータ11と、揺動容器1を垂直に位置
して回転部材2を高速回転させる高速用モータ12とよ
りなることを特徴とする薄葉片等の分離乾燥装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4118568A JP2559653B2 (ja) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | 薄葉片等の分離乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4118568A JP2559653B2 (ja) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | 薄葉片等の分離乾燥装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06291106A true JPH06291106A (ja) | 1994-10-18 |
JP2559653B2 JP2559653B2 (ja) | 1996-12-04 |
Family
ID=14739821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4118568A Expired - Lifetime JP2559653B2 (ja) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | 薄葉片等の分離乾燥装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2559653B2 (ja) |
-
1992
- 1992-04-13 JP JP4118568A patent/JP2559653B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2559653B2 (ja) | 1996-12-04 |
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