JP2580933B2 - ジッター量測定手段を有した光走査装置 - Google Patents

ジッター量測定手段を有した光走査装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はジッター量測定手段を有
した光走査装置に関し、特に走査光学系の一要素を構成
する光偏向器の製造誤差や該光偏向器を駆動させるモー
タの駆動誤差等によって被走査面を光走査する際の走査
ムラを高精度に測定することのできるジッター量測定手
段を用いることにより、その走査ムラを補正し、高精度
な光走査を可能とした例えばレーザービームプリンタや
画像読取装置等の走査光学系に好適なものである。
【0002】
【従来の技術】従来より例えばLBP等で用いている走
査光学系においては画像信号に応じてレーザ光源から射
出される光ビーム(光束ともいう)を光変調している。
そして該光変調した光ビームをコリメーターレンズやシ
リンドリカルレンズ等を介して回転多面鏡より成る光偏
向器により偏向させ、f−θレンズによって感光性の記
録媒体面上にスポット状に集束させて光走査している。
これにより画像記録を行なっている。
【0003】一般に走査光学系においては、例えばその
一要素を構成する光偏向器の製造誤差や該光偏向器を駆
動させるモータの駆動誤差等により被走査面を光走査す
る際の各走査ライン毎の走査時間が異なる走査ムラや走
査位置ずれ(以下これらを「ジッター」と称する)が生
じてきて、これが画像の品質を劣化させる原因となって
いた。
【0004】従来はこのときのジッター量(走査ムラの
量)をジッター量測定手段を測定することにより被走査
面を高精度に光走査するようにした走査光学系が種々と
提案されている。
【0005】例えば「G.Toyen;”Genera
tioin of Precision Pixel
Clock in Laser Printers a
ndScanners”.SPIE,vol 84(1
976)」では2つの光ビームを用い、一方の光ビーム
を被走査面上を光走査する為の走査用光ビームとして用
い、他方の光ビームをジッター量検出用の光ビーム(検
出用光ビーム)として用いている。
【0006】このときの検出用光ビームは被走査面と光
学的に等価な面に配置した複数の格子を所定の周期で配
列した格子板に入射させている。そして該格子板を光走
査し、該格子板を介したパルス状の光信号を集光手段を
介して光検出器に導き同期信号を生成している。そして
該同期信号に基づいて画像記録用の光源手段から射出す
る光ビームの発光タイミングを制御して光走査を行なっ
ている。
【0007】又、特開平2−277018号公報では検
出用の光ビームを被走査面と光学的に等価な位置に配置
した基準格子板に沿って走査しパルス状の光信号を得、
この光信号を光ファイバ束及び光導波部材を介して光検
出器に導光して同期信号を生成し、該同期信号に基づい
て被走査面を走査し画像等の読取りや記録を行なってい
る。
【0008】この他、特開平2−106715号公報で
は光ビームを被走査面と光学的に等価な面に配置したグ
レーティングに沿って走査しパルス状の光信号を得、こ
の光信号をレンズアレイと複数の受光素子より成る光検
出手段に導いて同期信号を生成し、該同期信号に基づい
て被走査面を走査して画像記録を行なっている。
【0009】特に同公報においてはPLL(フェーズ・
ロックド・ループ)回路に入力される基準パルス信号を
生成する同期検出用の半導体レーザからの光ビームの発
光パワーを検出して、該半導体レーザからの光ビームの
発光パワーを制御手段により制御して良好なる同期信号
を得ている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のこ
れらの光走査装置において、同期信号を生成する光検出
手段は走査幅全域にわたって格子板を透過した光ビーム
をもれなく拾うように多数のレンズや受光素子を必要と
していた。この為、部品点数が多く装置全体が複雑にな
り、低コスト化を図るのが難しくなってくるという問題
点があった。
【0011】又、これらの光学部材の配置調整は大変難
しく、又装置全体が大型化及び複雑化してくるという問
題点もあった。
【0012】本発明はジッター量測定手段を構成する同
期検出用の光源手段、光偏向器、光学部材そして光検出
手段等を適切に構成することにより、従来の走査光学系
を大幅に改良することなく装置全体を複雑にすることな
くジッター量を高精度に測定し、被走査面上を高精度に
光走査することができるジッター量測定手段を有した光
走査装置の提供を目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明のジッター量測定
手段を有した光走査装置は、画像信号に基づいて光変調
された第1光ビームを第1導光手段を用いて光偏向器の
偏向面に導光し該偏向面で偏向させた後、結像手段を経
て被走査面に入射させて光走査する際、第2光ビームを
第2導光手段を用いて該光偏向器の偏向面に導光し該偏
向面で偏向させた後、該結像手段を経て被走査面近傍、
もしくは該被走査面と光学的に略等価な位置に設けた主
走査方向に複数のコーナーキューブを配列したコーナー
キューブアレイを介して再び該結像手段を経て該光偏向
器の偏向面に入射させ、該偏向面で反射偏向させた後、
該第2導光手段の一部を構成するハーフミラーを介して
光検出手段に入射させ、該光検出手段で得られる信号に
基づいてジッター量を検出するようにしたことを特徴と
している。
【0014】
【0015】
【0016】
【実施例】図1は本発明の実施例1の光学系の要部概略
図である。同図において1は画像記録用の光源手段であ
り、半導体レーザより成っており、画像記録用の走査用
光ビーム(第1光ビーム)を射出している。
【0017】2はコリメーターレンズであり、半導体レ
ーザ1から射出された走査用光ビームを略平行光ビーム
としている。3はシリンドリカルレンズであり、副走査
断面のみ所定の屈折力を有している。尚、コリメーター
レンズ2とシリンドリカルレンズ3とで半導体レーザ1
から射出した走査用光ビームを光偏向器4へ導く為の画
像記録用の導光手段31を構成している。
【0018】4は光偏向器であり、回転多面鏡より成っ
ており、モータ等の駆動手段(不図示)により矢印A方
向に一定の速度で回転している。5は結像手段であり、
直交する2方向で屈折力が異なるf−θレンズより成っ
ており、走査用光ビームを感光体ドラム6面上に結像さ
せ、又後述する同期検出用の検出用光ビーム(第2光ビ
ーム)を反射型格子10面上に結像させている。又後述
するように反射型格子10の反射部10aで反射された
検出用光ビーム(パルス状の光信号)の一部を現在光走
査に使われている偏向面4aの隣りの偏向面4bに入射
させている。
【0019】6は記録媒体としての感光体ドラムであ
る、7は同期検出用の光源手段であり、半導体レーザ1
より成っており、検出用光ビーム(第2光ビーム)を射
出しており、走査用光ビームの感光体ドラム6面上での
走査位置を検出している。8はコリメーターレンズであ
り、半導体レーザ7から射出された検出用光ビームを略
平行光ビームとしている。9はシリンドリカルレンズで
あり、副走査断面のみ所定の屈折力を有している。尚、
コリメーターレンズ8とシリンドリカルレンズ9とで半
導体レーザ7から射出した検出用光ビームを光偏向器4
へ導く為の同期検出用の導光手段32を構成している。
【0020】本実施例においての同期検出用の半導体レ
ーザ(光源手段)7は画像記録用の半導体レーザ(光源
手段)1に対して僅かに副走査方向に傾けて配置してい
る。これにより同期検出用の半導体レーザ7から射出し
た検出用光ビームが感光体ドラム6面の近傍に設けた後
述する反射型格子10面上を走査するようにしている。
【0021】10は光学部材であり、反射型格子より成
っており、被走査面近傍もしくは感光体ドラム6面と光
学的に略等価な位置に設けている。本実施例においての
反射型格子10は図2に示すように主走査方向に拡散反
射面より成る反射部10aと非反射部(格子)10bと
が所定の周期で繰り返されて配列されており、f−θレ
ンズ5を通過した検出用光ビームを該反射部10aで拡
散反射させている。そして該拡散反射した光束の一部を
f−θレンズ5により現在光走査に使われている偏向面
4aの隣りの偏向面4bに入射させている。
【0022】11はアパーチャであり、通過光束(光
量)を必要に応じて制限している。12は光検出器であ
り、反射型格子10によって拡散反射しf−θレンズ
5、偏向面4b、アパーチャ11を介した光信号(光パ
ルス列)を検出している。尚、アパーチャ11とf−θ
レンズ5、そして光検出器12とで光検出手段30を構
成している。f−θレンズ5は画像記録用及び同期検出
用の手段も兼ねている。
【0023】本実施例では検出用光ビームで反射型格子
10の反射部10a上を走査するときには、該検出用光
ビームの入射角によらず、あらゆる角度に略等強度に拡
散反射させ、非反射部10b上を走査するときには透過
又は吸収するようにしている。そして反射型格子10で
反射された検出用光ビームが光偏向器4の現在光走査に
使われている偏向面4aの隣りの偏向面4bに入射した
結果生じる光偏向器4による偏向によって動かない静止
ゴースト光の強度(パルス状の光信号)を光検出器12
により検出し、その検出された信号の時間的変化からジ
ッター量を求めている。
【0024】次に本実施例の動作について説明する。半
導体レーザ1から射出された走査用光ビームはコリメー
ターレンズ2により略平行光ビームとされ、シリンドリ
カルレンズ3を経て光偏向器4の偏向面4aに入射す
る。そして該偏向面4aで偏向された走査用光ビームは
f−θレンズ5を経て感光体ドラム6面上に導光され
る。本実施例においては半導体レーザ1から射出される
走査用光ビームは画像信号により光変調されており、主
走査方向は光ビーム4の回転(図中矢印A方向)によ
り、副走査方向は感光体ドラム6が回転(図中矢印B方
向)することにより光走査され、これによって感光体ド
ラム6面上に画像記録を行なっている。
【0025】一方、同期検出用の半導体レーザ7から射
出された検出用光ビームはコリメーターレンズ8により
略平行光ビームとされ、シリンドリカルレンズ9を経て
光偏向器4の偏向面4aに入射する。このとき検出用光
ビームは走査用光ビームに対して副走査方向にある間隔
離れた位置に入射している。そして該偏向面4aで偏向
された検出用光ビームはf−θレンズ5を経て反射型格
子10上を主走査方向に走査する。このとき反射型格子
10の反射部10aで拡散反射された光ビームの一部を
再度f−θレンズ5に入射させ、現在光走査に使われて
いる偏向面4aの隣りの偏向面4bに主走査平面内で略
平行光ビームとなるようにして入射させている。そして
該偏向面4bで偏向された検出用光ビームはアパーチャ
11で通過光束が制限され再度f−θレンズ5を経て光
検出器12に入射し、その面上に静止ゴーストスポット
(静止ゴースト像)を形成している。
【0026】この静止ゴーストスポットは光偏向器4の
偏向角によらず常に一定の位置に形成している為、反射
型格子10を走査することによって生成された光信号
(光パルス列)は全て静止ゴーストスポット位置におか
れた光検出器12によって検出され光電変換され電気信
号が得られる。
【0027】この電気信号(光パルス列)は光走査装置
のジッターの情報を含んでおり、この電気信号の時間的
変化、即ちパルス幅やパルス間隔や一定時間内のパルス
数等の時間的変化がジッターに対応している。そしてこ
れらのジッターに相当する量を光検出器12により検出
し同期信号を生成し、該同期信号に基づいて画像記録用
の半導体レーザ1から射出する走査用光ビームの発光タ
イミングを制御し、ジッターを補正した光走査装置を得
ている。
【0028】このように本実施例においては同期信号を
生成する為の光検出手段30は従来の光検出手段に比べ
て小型化及び低コスト化を図ることができ、例えばフォ
トダイオード1個で光検出器12を構成してもジッター
(走査時間のムラ)の情報を持つ光信号(光パルス列)
を高精度に検出することができる。
【0029】又、本実施例においては静止ゴーストスポ
ットを形成する為にf−θレンズ5を用いたが、図3に
示す如くf−θレンズ5とは別に結像レンズ13を新た
に設けて光検出手段33を構成し、該静止ゴーストスポ
ットを形成するようにしても良い。これによればf−θ
レンズ5を大型化させることなく光学系を構成すること
ができる。
【0030】又、本実施例においては光検出器12から
の信号を利用して感光体ドラム6面上の走査開始位置の
タイミングも同時に制御している。
【0031】即ち、走査用光ビームで感光体ドラム6面
上を光走査する前に検出用光ビームで反射型格子10を
走査し、該反射型格子10で得られる光信号(光パルス
列)を光偏向器4の現在光走査に使われている偏向面4
aの隣りの偏向面4bを介して光検出器12に導光しタ
イミング量を求めている。
【0032】例えば光検出器12で得られたその光パル
ス列のパルスの数をカウンター回路でカウントし、該カ
ウンター回路からの情報に基づいて検出用光ビームが走
査開始位置と等価な位置まで走査されたときには、その
パルス数の値が格子の端部から走査開始位置までの長さ
に相当する特定の値となる。
【0033】よって、そのパルス数をカウンター回路で
特定の値までカウントしたときに感光体ドラム6面上を
走査すれば走査開始位置はズレることなく画像記録を行
なうことができる。
【0034】又、本実施例においての同期検出用の半導
体レーザ7は検出用光ビームが感光体ドラム6面に入射
しないように画像記録用の半導体レーザ1に対して副走
査方向に僅かに傾けて配置している。
【0035】この為、画像記録用の半導体レーザ1から
射出される走査用光ビームは主走査面に対して平行に進
み感光体ドラム6面上を走査するが、同期検出用の半導
体レーザ7から射出される検出用光ビームは反射型格子
10面上において走査線曲がりが発生する。
【0036】よって反射型格子10は走査線曲がりによ
って生ずる副走査方向の走査位置ズレよりも副走査方向
に長くなくてはならない。
【0037】この走査線曲がりによって本実施例におい
ては反射型格子10上で副走査方向に走査位置ズレを生
じるが、静止ゴーストスポット(ゴースト像)の位置は
変化しない為、ジッターを検出する際には何ら支障を起
こすことはない。
【0038】尚、本実施例において各々の光源手段(半
導体レーザ)1,7から射出した光ビームを光偏向器4
の偏向面4aへ導光する為の導光手段として画像記録用
と同期検出用と別々に設けて構成したが、各々の光源手
段1,7から射出される光ビームを同一の導光手段(1
つのシリンドリカルレンズと1つのコリメーターレンズ
より成る)を通過させるように構成しても良い。
【0039】図4は本発明の実施例2の光学系の要部概
略図である。同図において図1に示した要素と同一要素
には同符番を付している。
【0040】本実施例において前述の実施例1と異なる
点はf−θレンズ5や光偏向器4等の光学部品の振動等
によって発生する副走査方向の走査開始位置ズレ量もジ
ッター量と同時に検出できるように光検出手段34を構
成したことである。
【0041】例えばf−θレンズ5や光偏向器4等が振
動する等の原因から副走査方向に走査開始位置(描画位
置)が所望の位置より微小にズレ、所謂ピッチムラが生
じた場合、それに伴なって静止ゴーストスポットの形成
位置も副走査方向に微小にズレてくる。
【0042】そこで本実施例においてはそのピッチムラ
の量とジッター量とを共に検出できるように光検出器1
4を図5に示すように光ファイバ列14aとフォトディ
テクタ列14bとから構成している。
【0043】同図においての光検出器14は副走査方向
に並べた複数の光ファイバa,b‥‥とその各々の光フ
ァイバに入射する光量を検出する複数のフォトディテク
タh,i‥‥とを組み合わせ、該フォトディテクタから
の出力信号を利用してジッター量及びピッチムラの量を
検出している。
【0044】ここで例えば副走査方向にピッチムラが無
い場合には図5に示す如く予め静止ゴースト光L1が光
ファイバcに集束(入射)すうように調整しておく。こ
のとき対応するフォトディテクタjから出力される信号
値を基準値とする。
【0045】例えばこのときピッチムラが生じ、その結
果静止ゴースト光L1がゴースト光L2へと変化した場
合、該静止ゴースト光L2は光ファイバ列a,bにまた
がって集束し、これにより光ファイバ列a,bに接続さ
れた各フォトディテクタh,iに光が入射する。そして
フォトディテクタjからの出力値は基準値より低下す
る。このとき本実施例においてはフォトディテクタh,
iからの出力値と基準値とを比較回路で比較することに
より、ピッチムラの量を検出し、該検出結果に基づいて
補正手段により副走査方向のピッチムラを補正してい
る。
【0046】又、ジッター量を測定する際には各々のフ
ォトディテクタから検出された反射型格子に基づく電気
信号(光パルス列)を利用して検出するようにすれば良
い。
【0047】このように本実施例においてはf−θレン
ズや光偏向器等の光学部品の振動等により発生するピッ
チムラを上記の如く光ファイバ列14aとフォトディテ
クタ列14b等より成る光検出器14を用いることによ
り高精度に検出することができる。
【0048】尚、本実施例において光ファイバ列14a
を用いずに直接フォトディテクタ列14bを静止ゴース
トスポット位置に配置しても前述の実施例2と同様な効
果を得ることができる。これにより光検出器の簡素化及
び低コスト化を図ることができる。
【0049】図6は本発明の実施例3の光学系の要部概
略図である。同図において図1に示した要素と同一要素
には同符番を付している。
【0050】本実施例において前述の実施例1と異なる
点はパルス状の光信号を生成する為の光学部材として後
述する図7に示すように複数の微小コーナーキューブ
(反射部)20a,20b,‥‥を主走査方向に所定の
ピッチで配列しているコーナーキューブアレイ20を用
い、該コーナーキューブアレイ20で反射された検出用
光ビーム(光信号)を現在光走査に使われている偏向面
4aと同一の偏向面4aを介して同期検出用の導光手段
32に戻し、該導光手段32の一部を構成するハーフミ
ラー21を介して集光レンズ22と光検出器12とから
成る光検出手段40に導き同期信号を生成していること
である。その他の構成は前記実施例1と略同様である。
【0051】図7は本実施例のコーナーキューブアレイ
20の構成を示した一部分の拡大説明図である。
【0052】同図において20はコーナーキューブアレ
イであり、主走査方向に微小コーナーキューブ(反射
部)20a,20b,20c,‥‥が配列されており、
該コーナーキューブ20a,20b,20c,‥‥の前
方に開口部24aと遮光部(非反射部)24bとが繰り
返して成るアパーチャーアレイ24を配置している。こ
の微小コーナーキューブ20a,20b,20c等は光
学ガラスやプラスチック等を用いて直交する3つの面を
有するプリズムとして製作している。
【0053】本実施例においては同期検出用の半導体レ
ーザ7から射出した検出用光ビームをコリメーターレン
ズ8、ハーフミラー21そしてシリンドリカルレンズ9
を経て光偏向器4の偏向面4aで偏向させ、f−θレン
ズ5を通過させてコーナーキューブアレイ20面上を主
走査方向に走査している。
【0054】同図においてf−θレンズ(不図示)を通
過した検出用光ビームLはアパーチャーアレイ24の開
口部24aを通過し、例えば微小コーナーキューブ24
bに入射したとすると同図に示す如く、該微小コーナー
キューブ20bの反射面で3回反射し、入射してきた元
の方向へと3枚鏡の原理に基づいてプリズムの偏角の2
倍の角度で反射される。
【0055】そして該コーナーキューブアレイ20の反
射部20a,20b,20c,‥‥で反射された検出用
光ビーム(パルス状の光信号)を再びf−θレンズ5に
入射させ、現在光走査に使われている偏向面4aを介し
て同期検出用の半導体レーザ7方向へ反射させている。
そして検出用光ビームはシリンドリカルレンズ9を経て
略平行光ビームとなり、ハーフミラー21により光路を
折り曲げられ集光レンズ22によって光検出器12面上
にスポット状に集束している。
【0056】検出用光ビームLがアパーチャーアレイ2
4の遮光部の24bを走査しているときには反射光は生
じない。これによりコーナーキューブアレイ20を検出
用光ビームで走査することでパルス状の光信号を得てい
る。そして該コーナーキューブアレイ20を走査するこ
とで得られたパルス状の光信号(検出用光ビーム)は光
検出器12に導光され光電変換され、このとき光検出器
12からは図8に示す電気信号(光パルス列)が得られ
る。
【0057】ここでジッターが無いときには同図(A)
に示すようにパルス幅やパルス間隔にズレのない出力信
号(出力波形)が得られる。又ジッターがあると同図
(B)の実線で示すようにパルス幅やパルス間隔が変化
した出力信号となる。尚、同図(B)においてジッター
のない場合の出力信号を破線で示している。
【0058】本実施例においてはこのときの同図(B)
に示す出力信号のパルス幅やパルス間隔あるいはそれら
がいくつか加え合わせられた時間等の情報を検出するこ
とによりジッター量を検出し、そのジッター量の情報に
基づいて同期信号を生成している。そして該同期信号に
基づいて画像記録用の半導体レーザ1から射出する走査
用光ビームの発光タイミングを制御することによりジッ
ターのない光走査装置を得ている。
【0059】本実施例において光検出器12面上に集束
される検出用光ビームの集束スポットは光偏向器4の偏
向角に依らず常に一定の位置に形成する為、コーナーキ
ューブアレイ20を走査することによって生成された光
信号(光パルス列)は全て集束スポットの位置におかれ
た光検出器12によって検出され光電変換され、この変
換された電気信号から同期信号を生成することができ
る。
【0060】これにより光検出手段40は従来の光検出
手段と比べて小型にすることができ、例えば光検出器1
2をフォトダイオード1個で構成してもジッター(走査
時間のムラ)の情報を持つ光信号(光パルス列)の光検
出が可能となる。
【0061】尚、本実施例においてはプリズムを用いて
光学部材20を構成しているが、該プリズムの代わりに
例えば直交する3つの反射面より成るミラーより構成し
ても良い。このような場合でも本実施例においては、こ
の光学部材20をコーナーキューブと称している。
【0062】又、光学部材20をミラーより構成する場
合には基板上に直交する3つの反射面で構成されるくぼ
みの列を形成し、その列にアルミニウムや銅等の金属を
蒸着すれば良い。
【0063】本実施例においても前述の実施例1と同様
に感光体ドラム6面上の走査開始位置のタイミングも制
御することができる。
【0064】即ち、走査用光ビームで感光体ドラム6面
上を光走査する前に検出用光ビームでコーナーキューブ
アレイ20を走査し、該コーナーキューブアレイ20で
得られる光信号(光パルス列)を光検出器12に導光
し、ジッター量を検出し、そのジッター量を補正する分
だけ感光体ドラム6面上の走査開始位置のタイミングを
調整している。これにより感光体ドラム6面上における
走査開始位置がズレることなく画像記録を行なうことが
できる。
【0065】又、本実施例においては光検出器12から
の出力信号を利用して上述したジッター量を検出すると
共に合焦状態も同時に検出し、ピントの合った出力画像
を得ている。
【0066】例えばピントがズレていると感光体ドラム
6面上における走査スポット径は大きくなり、即ち光検
出器12からの出力信号の立上り、立下り時間に、より
多くの時間を費やすことになる。例えばこのときの光検
出器12からの出力信号を見てみると図8(C)に示す
ように立上りと立下りの信号はなまった波形となって出
力される。
【0067】そこで本実施例においてはこのときの光検
出器12からの出力信号を用いて、該出力信号の立上り
及び立下りの波形が常に鋭く保つように、即ち立上り、
立下り時間が短くなるように該光検出器12で得られた
情報を基にして焦点調節機構(不図示)にフィードバッ
クさせることによりオートフォーカスを可能としてい
る。これにより常にピントの合った出力画像を得てい
る。
【0068】尚、本実施例においては各々の光源手段
(半導体レーザ)1,7から射出した光ビームを光偏向
器4へ導く為の光学部材としてコリメーターレンズとシ
リンドリカルレンズを画像記録用と同期検出用とに別々
に設けて構成したが、各々の光ビームを前述の実施例1
と同様に同一のコリメーターレンズ及びシリンドリカル
レンズを通過させるように構成しても良い。これによれ
ば部品点数の減少化が図れる。
【0069】又、このように導光手段を構成した場合に
は感光体ドラム6面で反射した走査用光ビームも光検出
器12にノイズ光として入射する可能性が高くなるが、
該走査用光ビームの光量はコーナーキューブアレイ20
によって反射される検出用光ビームの光量に比べてかな
り低いのでジッターを測定する際には大きな問題とはな
らない。
【0070】
【発明の効果】本発明によれば前述の如く被走査面近
傍、もしくは被走査面と光学的に略等価な位置に反射部
と非反射部とを有する光学部材を設け、該光学部材を検
出用光ビームで走査することで得られるパルス状の光信
号を光偏向器の偏向面を介して光検出手段へ導光するこ
とにより、該光検出手段の小型化が図ることができ、か
つジッター量を高精度に検出しジッターのない光走査装
置を得ると共に被走査面の走査開始位置のタイミングも
調整することができ、更には合焦状態の検出も可能なジ
ッター量測定手段を有した光走査装置を達成することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例1の光学系の要部概略図
【図2】 本発明の実施例1の反射型格子の光学的作用
を示す説明図
【図3】 本発明の実施例1のゴーストスポットを得る
為に結像レンズを付加したときの光学系の要部概略図
【図4】 本発明の実施例2の光学系の要部概略図
【図5】 本発明の実施例2の光検出器の説明図
【図6】 本発明の実施例3の光学系の要部概略図
【図7】 本発明の実施例3のコーナーキューブアレイ
の構成を示す説明図
【図8】 本発明の実施例3の光検出器からの出力信号
を示す説明図
【符号の説明】
1,7 光源手段 2,8 コリメーターレンズ 3,9 シリンドリカルレンズ 4 光偏向器 4a,4b 偏向面 5 結像手段 6 感光体ドラム 10 反射型格子 11 アパーチャ 12,14 光検出器 14a 光ファイバ列 14b フォトディテクタ列 20 コーナーキューブアレイ 10a,10b,10c 微小コーナーキューブ 24 アパーチャーアレイ 13 結像レンズ 30,40 光検出手段 31,32,41,42 導光手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−106715(JP,A) 特開 昭61−147220(JP,A) 特開 平3−80213(JP,A) 特開 平2−51119(JP,A)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 画像信号に基づいて光変調された第1光
    ビームを第1導光手段を用いて光偏向器の偏向面に導光
    し該偏向面で偏向させた後、結像手段を経て被走査面に
    入射させて光走査する際、第2光ビームを第2導光手段
    を用いて該光偏向器の偏向面に導光し該偏向面で偏向さ
    せた後、該結像手段を経て被走査面近傍、もしくは該被
    走査面と光学的に略等価な位置に設けた主走査方向に複
    数のコーナーキューブを配列したコーナーキューブアレ
    イを介して再び該結像手段を経て該光偏向器の偏向面に
    入射させ、該偏向面で反射偏向させた後、該第2導光手
    段の一部を構成するハーフミラーを介して光検出手段に
    入射させ、該光検出手段で得られる信号に基づいてジッ
    ター量を検出するようにしたことを特徴とするジッター
    量測定手段を有した光走査装置。
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