JP2537672B2 - ボンデイング面高さ検出装置 - Google Patents

ボンデイング面高さ検出装置

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JP2537672B2 JP63260448A JP26044888A JP2537672B2 JP 2537672 B2 JP2537672 B2 JP 2537672B2 JP 63260448 A JP63260448 A JP 63260448A JP 26044888 A JP26044888 A JP 26044888A JP 2537672 B2 JP2537672 B2 JP 2537672B2
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Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はボンデイング面高さ検出装置に関する。
［従来の技術］ 従来、ボンデイング面高さ検出装置として、例えば特
公昭57-58054号公報に示すものが知られている。
この構造は、ワイヤの挿通されたツールと、このツー
ルを保持するボンデイングアームと、このボンデイング
アームが回動可能に取付けられ上下動する上下動ブロッ
クと、前記ボンデイングアーム又はボンデイングアーム
に取付けられたレバーに固定された接触子と、この接触
子に対応して前記上下動ブロックに固定された接触子と
よりなり、前記両方の接触子に電圧をかけ、接触子のオ
ン、オフによりツールがボンデイング面に接触した位置
を検出している。
即ち、ツールＺ（高さ）方向に下降し、ツールがボン
デイング面に接触した時に両接触子が開く。この接触子
の開閉によりツールがボンデイング面に接触したことを
確認し、プログラムされた沈み込み量の基準を決定して
いる。
［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術は、両接触子の開閉によってボンデイン
グ面を検出するので、次のような問題点があった。
接触子の開閉時には、接触子に微少のチャタリングが
発生するため、接触子が開いたか否かの確認が遅れ、ま
た誤動作を発生させることがあり、不安定な沈み込みが
生じる。
また接触子の材料は、接触子に微少電流を流して接触
子の開閉の検出をするのに適した電気的特性の良い銀と
チタンの合金やベリウムと銅の合金に金メッキを施した
材料等を使わざるを得ないので、耐摩耗性に劣る。この
ため、接触子の開閉の使用頻度が増すと、安定な検出が
得られなくなるばかりでなく、機械的な位置ずれが生じ
る。
本発明の目的は、安定したボンデイング面検出がで
き、これによって安定したボンデイングが行えるボンデ
イング面高さ検出装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的は、ワイヤが挿通されたツールと、このツー
ルを保持し回動可能に設けられたボンデイングアーム
と、このボンデイングアームのアーム支持軸を中心とし
て回動可能に取付けられた上下動ブロックとを備えたワ
イヤボンデイング装置において、前記ボンデイングアー
ムの下降を防止するように前記上下動ブロック又は該上
下動ブロックに一体的に固定された部材に固定されたス
トッパと、このストッパが前記ボンデイングアーム又は
該ボンデイングアームに一体的に固定された部材に圧接
するように付勢する付勢手段と、前記上下動ブロック又
は該上下動ブロックに一体的に固定された部材に近接し
て、前記ボンデイングアーム又は該ボンデイングアーム
に一体的に固定された部材に取付けられた近接センサー
とを備えたことにより達成される。
また、ワイヤが挿通されたツールと、このツールを保
持し回動可能に設けられたボンデイングアームと、この
ボンデイングアームの回動中心軸と同一中心軸を中心と
して回動可能に取付けられた上下動ブロックとを備えた
ワイヤボンデイング装置において、前記ボンデイングア
ームの下降を防止するように前記上下動ブロック又は該
上下動ブロックに一体的に固定された部材に固定された
ストッパと、このストッパが前記ボンデイングアーム又
は該ボンデイングアームに一体的に固定された部材に圧
接するように付勢する付勢手段と、前記ボンデイングア
ーム又は該ボンデイングアームに一体的に固定された部
材に近接して、前記上下動ブロック又は該上下動ブロッ
クに一体的に固定された部材に取付けられた近接センサ
ーとを備えたことにより達成される。
［作用］ 上下動ブロックが回動してツールがボンデイング面に
接触し、この状態より更に上下動ブロックが回動する
と、ボンデイングアームはツールの先端がボンデイング
面に接触しているため、これ以上は下降せず上下動ブロ
ックのみ回動する。これにより、近接センサーとこれに
対向した検出面との隙間が開く。この隙間が一定の大き
さになると、近接センサーより信号が出力する。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。図
示しない駆動手段でXY方向に移動させられるボンデイン
グヘッド１には、アーム支持軸２が回転自在に支承され
ており、このアーム支持軸２には上下動ブロック３が回
動可能に保持されている。上下動ブロック３は図示しな
い駆動手段で後端部の動作力点3aが回動させられる。ま
たアーム支持軸２にはボンデイングアーム４が固定され
ており、ボンデイングアーム４は一端にツール５を保持
している。ツール５には図示しないスプールより繰り出
されたワイヤ６が挿通されている。以上は周知の構造で
あるので、これ以上の説明は省略する。
前記アーム支持軸２にはレバー10が固定されており、
このレバー10にはストッパ11が固定され、またセンサー
検出面10aが形成されている。前記上下動ブロック３に
は前記ストッパ11に対応した位置に軸状のストッパ12が
固定されており、このストッパ12にセンサー取付ブロッ
ク13が固定されている。センサー取付ブロック13には前
記センサー検出面10aに対応して近接センサー14が固定
されている。そして、第１図（ａ）の状態においては、
両ストッパ11、12が圧接するように、上下動ブロック３
とレバー10又は上下動ブロック３とボンデイングアーム
４にはばね（図示せず）が掛けられている。ここで、両
ストッパ11、12が接触している状態においては、近接セ
ンサー14はセンサー検出面10aより約0.1〜0.5mmの隙間
を保つように保持されている。なお、20は図示しない試
料載置台に案内移送されるリードフレーム、21はリード
フレーム20に貼付けられたベレットを示す。
次に作用を第２図を参照しながら説明する。ボンデイ
ングヘッド１のXY方向の移動、即ちツール５のXY方向の
移動及び上下動ブロック３のＺ方向に移動、即ちツール
５のＺ方向の移動は周知の方法で行われるので、その説
明は省略する。第１図（ａ）の状態より動作力点3aを上
昇させると、アーム支持軸２を中心として上下動ブロッ
ク３が回動する。そして、ツール５がペレット21又はリ
ードフレーム20のボンデイング面に接触する。この状態
までは、第２図（ａ）に示すように、ストッパ11と12は
接触した状態にある。この状態より更に動作力点3aが矢
印方向に上昇すると、ボンデイングアーム４だけアーム
支持軸２とツール５間で水平状態を維持し、上下動ブロ
ック３だけがアーム支持軸２を中心として第１図（ｂ）
に示すように反時計方向に回動する。これにより、スト
ッパ11と12の接触は離れると共に、センサー検出面10a
と近接センサー14の隙間も大きくなる。ストッパ11と12
の隙間が初期設定よりも大きくなると、第２図（ｂ）に
示すように近接センサー14より信号が出力する。そこ
で、この出力信号を基準として上下動ブロック３を更に
アーム支持軸２を中心に回動させツール５を下降させ、
即ちツール５の沈み込みを設定することにより、ツール
５がワイヤ６をボンデイング面に押付けるボンデイング
荷重を最適値に設定できる。
このように、ツール５がボンデイング面に接触したか
否かを、ストッパ11、12が数μｍ開いて安定した位置で
検出するので、安定したボンデイング面検出が得られ、
確実で安定したボンデイングが行える。またストッパ1
1、12は、ボンデイング検出用の接触子としての働きを
有しないので、耐摩耗性に優れた超鋼等を使用すること
ができ、機械的精度が向上すると共に、メインテナンス
フリー化が達成できる。
なお、上記実施例においては、上下動ブロック３にス
トッパ12を介して固定されたセンサー取付ブロック13に
近接センサー14を取付けたが、逆にレバー10に近接セン
サー14を取付けてもよい。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ツ
ールがボンデイング面に接触したか否かを近接センサー
により非接触で検出するので、安定したボンデイング面
検出ができ、また機械的精度が向上すると共に、メイン
テナンスフリー化が達成できる。
またツールがボンデイング面に接触するまでは、近接
センサーと上下動ブロック又は上下動ブロックと一体の
部材（請求項１）、若しくは近接センサーとボンデイン
グアーム又はボンデイングアームと一体の部材（請求項
２）との隙間は一定で変化しないが、ツールがボンデイ
ング面に接触すると前記隙間が直ちに変化する。この隙
間の変化をとらえるので、ボンデイング面を正確に検出
できる。
またボンデイング面検出のためには、近接センサー
を、ボンデイング装置が本来有するボンデイングアーム
又はボンデイングアームと一体の部材（請求項１）、若
しくは上下動ブロック又は上下動ブロックと一体の部材
（請求項２）に固定するのみでよく、安価なものとな
る。
またキャピラリがボンデイング面に接触するまでは、
一緒に移動するボンデイングアームと上下動ブロックの
いずれかに近接センサーが取付けられているので、キャ
ピラリがボンデイング面に接触するまでは、近接センサ
ーとセンサー検出面（ボンデイングアーム又は上下動ブ
ロック）との隙間は変化しない。キャピラリがボンデイ
ング面に接触した後に初めて前記隙間が変化する。従っ
て、近接センサーの検出範囲は非常に狭くてよいので、
狭い範囲にリニアな精度を有する小型で安価な近接セン
サーを使用することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示し、（ａ）はツールがボ
ンデイング面に非接触状態の要部正面図、（ｂ）はツー
ルがボンデイング面に接触状態の要部正面図、第２図は
２個のストッパの間隔と近接センサーの出力信号の関係
を示し、（ａ）は時間に対するストッパの位置関係図、
（ｂ）は時間に対する近接センサーの出力信号図であ
る。 2:アーム支持軸、3:上下動ブロック、4:ボンデイングア
ーム、5:ツール、6:ワイヤ、10:レバー、10a:センサー
検出面、11、12:ストッパ、13:センサー取付ブロック、
14:近接センサー、20:リードフレーム、21:ペレット。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 丑木 博 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の １ 株式会社新川内 (56)参考文献 特開 昭63−211640（ＪＰ，Ａ)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ワイヤが挿通されたツールと、このツール
    を保持し回動可能に設けられたボンデイングアームと、
    このボンデイングアームのアーム支持軸を中心として回
    動可能に取付けられた上下動ブロックとを備えたワイヤ
    ボンデイング装置において、前記ボンデイングアームの
    下降を防止するように前記上下動ブロック又は該上下動
    ブロックに一体的に固定された部材に固定されたストッ
    パと、このストッパが前記ボンデイングアーム又は該ボ
    ンデイングアームに一体的に固定された部材に圧接する
    ように付勢する付勢手段と、前記上下動ブロック又は該
    上下動ブロックに一体的に固定された部材に近接して、
    前記ボンデイングアーム又は該ボンデイングアームに一
    体的に固定された部材に取付けられた近接センサーとを
    備えたことを特徴とするボンデイング面高さ検出装置。
  2. 【請求項２】ワイヤが挿通されたツールと、このツール
    を保持し回動可能に設けられたボンデイングアームと、
    このボンデイングアームのアーム支持軸を中心として回
    動可能に取付けられた上下動ブロックとを備えたワイヤ
    ボンデイング装置において、前記ボンデイングアームの
    下降を防止するように前記上下動ブロック又は該上下動
    ブロックに一体的に固定された部材に固定されたストッ
    パと、このストッパが前記ボンデイングアーム又は該ボ
    ンデイングアームに一体的に固定された部材に圧接する
    ように付勢する付勢手段と、前記ボンデイングアーム又
    は該ボンデイングアームに一体的に固定された部材に近
    接して、前記上下動ブロック又は該上下動ブロックに一
    体的に固定された部材に取付けられた近接センサーとを
    備えたことを特徴とするボンデイング面高さ検出装置。
JP63260448A 1988-10-18 1988-10-18 ボンデイング面高さ検出装置 Expired - Lifetime JP2537672B2 (ja)

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