JPS5855663B2 - ボンディング装置 - Google Patents
ボンディング装置Info
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- JPS5855663B2 JPS5855663B2 JP54083049A JP8304979A JPS5855663B2 JP S5855663 B2 JPS5855663 B2 JP S5855663B2 JP 54083049 A JP54083049 A JP 54083049A JP 8304979 A JP8304979 A JP 8304979A JP S5855663 B2 JPS5855663 B2 JP S5855663B2
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- H01L2924/01074—Tungsten [W]
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はボンディング面高さ検出装置に関するものであ
る。
る。
周知の如く、半導体集積回路等の組立においては、ボン
ディング装置によってワイヤが接続される。
ディング装置によってワイヤが接続される。
即ち、ワイヤの挿通されたキャピラリを第１ボンディン
グ点であるペレットのパッドに押付けてボンディングし
た後、キャピラリを上下方向及びＸＹ方向に移動させて
ワイヤを繰出し、適当なワイヤループを形成させて第２
ボンディング点であるリードフレームのリード部にボン
ディングし、キャピラリを上昇させてワイヤを切断する
動作を繰返すことによりワイヤが接続される。
グ点であるペレットのパッドに押付けてボンディングし
た後、キャピラリを上下方向及びＸＹ方向に移動させて
ワイヤを繰出し、適当なワイヤループを形成させて第２
ボンディング点であるリードフレームのリード部にボン
ディングし、キャピラリを上昇させてワイヤを切断する
動作を繰返すことによりワイヤが接続される。
ところで、前記ワイヤループの形状は主としてキャピラ
リの上下動による。
リの上下動による。
しかしながらキャピラリの上下動はカムによるため、カ
ムストロークプロフィルによりキャピラリの上下量は決
り一定であり、ワイヤループコントロールが困難であっ
た。
ムストロークプロフィルによりキャピラリの上下量は決
り一定であり、ワイヤループコントロールが困難であっ
た。
このワイヤループが適切でないとタブショートが発生す
る。
る。
またボンディング高さの違う種類の半導体集積回路を組
立るには、カムを交換する必要があり作業性に劣る欠点
があった。
立るには、カムを交換する必要があり作業性に劣る欠点
があった。
また、前記した動作において、キャピラリがボンディン
グ面を押圧するボンディング荷重はボンディングの良否
を決定する上で重要である。
グ面を押圧するボンディング荷重はボンディングの良否
を決定する上で重要である。
特に熱圧着方式のボンディング装置においては、ボンデ
ィング後にワイヤを切断してキャピラリの先端に突出す
るワイヤの長さ、いわゆるテール長は溶解させてボール
を作るために重要で、このボール径が適切でないと、や
はり良好なボンディングが行えない。
ィング後にワイヤを切断してキャピラリの先端に突出す
るワイヤの長さ、いわゆるテール長は溶解させてボール
を作るために重要で、このボール径が適切でないと、や
はり良好なボンディングが行えない。
しかしながら、従来のボンディング装置においては、ボ
ンディング点にキャピラリによりワイヤを押付けるボン
ディング荷重の設定はキャピラリを保持するボンディン
グアームに掛けられたばねカムによるため、ボンディン
グ点の材質、大きさ等の状況によって可変することがで
きなく良好なボンディングが得られない欠点があった。
ンディング点にキャピラリによりワイヤを押付けるボン
ディング荷重の設定はキャピラリを保持するボンディン
グアームに掛けられたばねカムによるため、ボンディン
グ点の材質、大きさ等の状況によって可変することがで
きなく良好なボンディングが得られない欠点があった。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので、適
切なワイヤループ形状、ボンディング荷重及びテール量
を自由に設定できるボンディング装置を提供することを
目的とする。
切なワイヤループ形状、ボンディング荷重及びテール量
を自由に設定できるボンディング装置を提供することを
目的とする。
以下本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明になるボンディング装置の一実施例を示
す一部断面正面図、第２図は第１図の２−２線断面図で
ある。
す一部断面正面図、第２図は第１図の２−２線断面図で
ある。
ボンディングアーム１０は一端にキャピラリ１１を保持
し、他端はアームホルダー１２に固定されている。
し、他端はアームホルダー１２に固定されている。
アームホルダー１２は上下動ブロック１３に軸受１４を
介して回動自在に軸支されたホルダー軸１５に固定され
ており、アームホルダー１２に固定されたレバー１６に
接触子１７が固定されている。
介して回動自在に軸支されたホルダー軸１５に固定され
ており、アームホルダー１２に固定されたレバー１６に
接触子１７が固定されている。
またこの接触子１７に対応して上下動ブロック１３には
絶縁ブツシュ１８を介して接触子１９が固定されている
。
絶縁ブツシュ１８を介して接触子１９が固定されている
。
これら接触子１７．１９には図示しない手段により電圧
がかけられるよう−になっており、接触子１７はレバー
１６と上下動ブロック１３に掛けられたばね２０により
反時計方向に付勢されている。
がかけられるよう−になっており、接触子１７はレバー
１６と上下動ブロック１３に掛けられたばね２０により
反時計方向に付勢されている。
前記接触子１７．１９は共に銀−タングステン焼結合金
よりなる。
よりなる。
前記上下動ブロック１３は軸受２１を介して上下方向に
摺動可能にＸＹ移動ブロック２２に取付けられ、このＸ
Ｙ移動ブロック２２には前記上下動ブロック１３を上下
動させるモータ２３が固定されており、モータ２３にロ
ータリーエンコーダ２４が取付けられている。
摺動可能にＸＹ移動ブロック２２に取付けられ、このＸ
Ｙ移動ブロック２２には前記上下動ブロック１３を上下
動させるモータ２３が固定されており、モータ２３にロ
ータリーエンコーダ２４が取付けられている。
即ち、モータ２３の出力軸には上下に伸びたねじ部材２
５が連結され、このねじ部材２５にめねじブロック２６
が螺合している。
５が連結され、このねじ部材２５にめねじブロック２６
が螺合している。
めねじブロック２６は上下方向に移動できるが、回転し
ないように、めねじブロック２６に固定されたピン２７
に取付けられたローラ２８がＸＹ移動ブロック２２に設
けた縦溝２２ａに摺動自在に嵌合している。
ないように、めねじブロック２６に固定されたピン２７
に取付けられたローラ２８がＸＹ移動ブロック２２に設
けた縦溝２２ａに摺動自在に嵌合している。
まためねじブロック２６には上下動ブロック１３側の面
に一定間隔をおいて２本のピン２９．３０が固定されて
おり、このピン２９，３０に取付けられたローラ３Ｌ３
２は上下動ブロック１３に値設されたピン３３を挾持し
ている。
に一定間隔をおいて２本のピン２９．３０が固定されて
おり、このピン２９，３０に取付けられたローラ３Ｌ３
２は上下動ブロック１３に値設されたピン３３を挾持し
ている。
また前記したＸＹ移動ブロック２２にはスプールレバー
４０が固定されており、このスプールレバー４０の端部
にはワイヤ４１が巻回されたスプール４２が取付けられ
ている。
４０が固定されており、このスプールレバー４０の端部
にはワイヤ４１が巻回されたスプール４２が取付けられ
ている。
スプール４２に巻回されたワイヤ４１はガイドバイブ４
３を通してキャピラリ１１に挿通されている。
３を通してキャピラリ１１に挿通されている。
また上下動ブロック１３にはワイヤクランプレバ−４４
が固定されており、ツイヤクランブレバー４４の先端に
はワイヤ４１を必要に応じてソレノイド４５の作用によ
り開閉してクランプするクランパー４６が取付けられて
いる。
が固定されており、ツイヤクランブレバー４４の先端に
はワイヤ４１を必要に応じてソレノイド４５の作用によ
り開閉してクランプするクランパー４６が取付けられて
いる。
なお、５０は試料載置台、５１は試料載置台５０に案内
移送されるリードフレーム、５２はリードフレーム５１
に貼付けられたペレットである。
移送されるリードフレーム、５２はリードフレーム５１
に貼付けられたペレットである。
次にかかる構成よりなる本装置の作用について説明する
。
。
キャピラリ１１のＸＹ方向の移動はＸＹ移動ブロック２
２が公知の手段でＸＹ方向に移動することにより行れる
。
２が公知の手段でＸＹ方向に移動することにより行れる
。
即ちＸＹ移動ブロック２２がＸＹ方向に移動すると、上
下動ブロック１３は軸受２１を介して共に移動する。
下動ブロック１３は軸受２１を介して共に移動する。
上下動ブロック１３にはキャピラリ１１を一端に保持し
たボンディングアーム１０が回動自在に取付けられてい
るので、上下動ブロック１３、即ちＸＹ移動ブロック２
２と共にキャピラリ１１もＸＹ方向に移動する。
たボンディングアーム１０が回動自在に取付けられてい
るので、上下動ブロック１３、即ちＸＹ移動ブロック２
２と共にキャピラリ１１もＸＹ方向に移動する。
またキャピラリ１１の上下、即ちＺ方向の移動はモータ
２３の正逆回転によって行われる。
２３の正逆回転によって行われる。
即ち、モータ２３の回転によりめねじブロック２６は上
下動する。
下動する。
めねじブロック２６は上下動ブロック１３に値設された
ピン３３をローラ３１，３２を介して挾持しているので
、めねじブロック２６が上下動すると、上下動ブロック
１３も軸受２１にガイドされて上下動する。
ピン３３をローラ３１，３２を介して挾持しているので
、めねじブロック２６が上下動すると、上下動ブロック
１３も軸受２１にガイドされて上下動する。
そしてキャピラリ１１はばね２０で付勢された状態で上
下動ブロック１３と共に上下動する。
下動ブロック１３と共に上下動する。
このようにキャピラリ１１をＸＹ方向及び上下方向に移
動させ、ペレット５２のパッドとリードフレーム５１の
リード部にワイヤ４１を接続する。
動させ、ペレット５２のパッドとリードフレーム５１の
リード部にワイヤ４１を接続する。
さて、前記動作において、上下動ブロック１３が下降す
るとキャピラリ１１がペレット５２又はリード５１のボ
ンディング面に接触する。
るとキャピラリ１１がペレット５２又はリード５１のボ
ンディング面に接触する。
更に上下動ブロック１３が下降すると、アームホルダー
。
。
１２はホルダー軸１５を中心として時計方向に回動し、
接触子１７は接触子１９より離れる。
接触子１７は接触子１９より離れる。
これにより両液触子１７．１９は導通しなくなるので、
これによりキャピラリ１１がボンディング面に接触した
位置を検出できる。
これによりキャピラリ１１がボンディング面に接触した
位置を検出できる。
この検出信号を基準としてロータリーエンコーダ２４の
カウント数を設定することにより、キャピラリ１１がワ
イヤ４１をボンディング面に押付けるボンディング荷重
を最適値に設定できる。
カウント数を設定することにより、キャピラリ１１がワ
イヤ４１をボンディング面に押付けるボンディング荷重
を最適値に設定できる。
また第２ボンディング点であるリードフレーム５１より
キャピラリ１１が上昇し、ボールを形成するに必要なテ
ール長は、前記したボンディング面検出信号を基準とし
てキャピラリ１１の上昇量を決定できるので、適切なテ
ール長が得られる。
キャピラリ１１が上昇し、ボールを形成するに必要なテ
ール長は、前記したボンディング面検出信号を基準とし
てキャピラリ１１の上昇量を決定できるので、適切なテ
ール長が得られる。
また前記したようにキャピラリ１１の上下動はモータ２
３によってねじ部材２５を回転させて行い、ねじ部材２
５の回転量をロータリーエンコーダ２４で検出して、キ
ャピラリ１１の上下量を設定及びカウントできるように
なっている。
３によってねじ部材２５を回転させて行い、ねじ部材２
５の回転量をロータリーエンコーダ２４で検出して、キ
ャピラリ１１の上下量を設定及びカウントできるように
なっている。
従って適切なワイヤループ形状を形成させるに必要なワ
イヤ長に対するキャピラリ１１の上下動を自由に設定で
きる。
イヤ長に対するキャピラリ１１の上下動を自由に設定で
きる。
またボンディング高さの違う種類の半導体集積回路を組
立る場合もモータ２３の回転量をロータリーエンコーダ
２４によって自由に設定できるので、作業性に優れてい
る。
立る場合もモータ２３の回転量をロータリーエンコーダ
２４によって自由に設定できるので、作業性に優れてい
る。
なお、上記実施例においては、回転量を設定、カウント
するロータリーエンコーダ２４を用いたが、ボンディン
グアーム１０又はめねじ部材２６等の上下量をリニアー
エンコーダで検出してもよい。
するロータリーエンコーダ２４を用いたが、ボンディン
グアーム１０又はめねじ部材２６等の上下量をリニアー
エンコーダで検出してもよい。
以上の説明から明らかな如く、本発明になるボンディン
グ装置によれば、適切なワイヤループ形状及びボンディ
ング荷重が自由に設定できると共に、キャピラリからの
テール量のバラツキが少なく、良好なボンディングが得
られる。
グ装置によれば、適切なワイヤループ形状及びボンディ
ング荷重が自由に設定できると共に、キャピラリからの
テール量のバラツキが少なく、良好なボンディングが得
られる。
第１図は本発明になるボンディング装置の一実施例を示
す一部断面正面図、第２図は第１図の２−２線断面図で
ある。 １０・・・・・・ボンディングアーム、１１・・・・・
・キャピラリ、１２・・・・・・アームホルダー、１３
・・・・・・上下動ブロック、１６・・・・・・レバー
、１７．１９・・・・・・接触子、４１・・・・・・ワ
イヤ、５１・・・・・・リードフレーム、５２・・・・
・・ベレット。
す一部断面正面図、第２図は第１図の２−２線断面図で
ある。 １０・・・・・・ボンディングアーム、１１・・・・・
・キャピラリ、１２・・・・・・アームホルダー、１３
・・・・・・上下動ブロック、１６・・・・・・レバー
、１７．１９・・・・・・接触子、４１・・・・・・ワ
イヤ、５１・・・・・・リードフレーム、５２・・・・
・・ベレット。
Claims (1)
- １ ワイヤの挿通されたキャピラリと、このキャピラリ
を保持するボンディングアームと、このボンディングア
ームが回動可能に取付けられ上下動する上下動ブロック
と、この上下動ブロックに固定されためねじ部材と、こ
のめねじ部材に螺合し回転するねじ部材と、このねじ部
材を回転駆動するモータと、前記キャピラリの上下量を
設定し前記モータの回転量を制御するエンコーダと、前
記ボンディングアーム又はボンディングアームに取付け
られたレバーに固定された接触子と、この接触子に対応
して前記上下動ブロックに固定された接触子とよりなり
、前記両方の接触子に電圧をかけ、接触子のオン、オフ
によりキャピラリがボンディング面に接触した位置を検
出することを特徴とするボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54083049A JPS5855663B2 (ja) | 1979-06-30 | 1979-06-30 | ボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54083049A JPS5855663B2 (ja) | 1979-06-30 | 1979-06-30 | ボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS568832A JPS568832A (en) | 1981-01-29 |
| JPS5855663B2 true JPS5855663B2 (ja) | 1983-12-10 |
Family
ID=13791332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54083049A Expired JPS5855663B2 (ja) | 1979-06-30 | 1979-06-30 | ボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5855663B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US9961135B2 (en) | 2010-09-30 | 2018-05-01 | A10 Networks, Inc. | System and method to balance servers based on server load status |
| US9979801B2 (en) | 2011-12-23 | 2018-05-22 | A10 Networks, Inc. | Methods to manage services over a service gateway |
| US9986061B2 (en) | 2014-06-03 | 2018-05-29 | A10 Networks, Inc. | Programming a data network device using user defined scripts |
| US9992229B2 (en) | 2014-06-03 | 2018-06-05 | A10 Networks, Inc. | Programming a data network device using user defined scripts with licenses |
| US9992107B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-06-05 | A10 Networks, Inc. | Processing data packets using a policy based network path |
| US10002141B2 (en) | 2012-09-25 | 2018-06-19 | A10 Networks, Inc. | Distributed database in software driven networks |
| US10021174B2 (en) | 2012-09-25 | 2018-07-10 | A10 Networks, Inc. | Distributing service sessions |
| US10038693B2 (en) | 2013-05-03 | 2018-07-31 | A10 Networks, Inc. | Facilitating secure network traffic by an application delivery controller |
| US10686683B2 (en) | 2014-05-16 | 2020-06-16 | A10 Networks, Inc. | Distributed system to determine a server's health |
| US11005762B2 (en) | 2013-03-08 | 2021-05-11 | A10 Networks, Inc. | Application delivery controller and global server load balancer |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5980939A (ja) * | 1982-10-29 | 1984-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 全自動ワイヤリング装置 |
| JPH01144642A (ja) * | 1988-07-08 | 1989-06-06 | Nec Corp | ワイヤボンデイング方法 |
-
1979
- 1979-06-30 JP JP54083049A patent/JPS5855663B2/ja not_active Expired
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9960967B2 (en) | 2009-10-21 | 2018-05-01 | A10 Networks, Inc. | Determining an application delivery server based on geo-location information |
| US10735267B2 (en) | 2009-10-21 | 2020-08-04 | A10 Networks, Inc. | Determining an application delivery server based on geo-location information |
| US9961135B2 (en) | 2010-09-30 | 2018-05-01 | A10 Networks, Inc. | System and method to balance servers based on server load status |
| US9979801B2 (en) | 2011-12-23 | 2018-05-22 | A10 Networks, Inc. | Methods to manage services over a service gateway |
| US10862955B2 (en) | 2012-09-25 | 2020-12-08 | A10 Networks, Inc. | Distributing service sessions |
| US10002141B2 (en) | 2012-09-25 | 2018-06-19 | A10 Networks, Inc. | Distributed database in software driven networks |
| US10021174B2 (en) | 2012-09-25 | 2018-07-10 | A10 Networks, Inc. | Distributing service sessions |
| US11005762B2 (en) | 2013-03-08 | 2021-05-11 | A10 Networks, Inc. | Application delivery controller and global server load balancer |
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| US10659354B2 (en) | 2013-03-15 | 2020-05-19 | A10 Networks, Inc. | Processing data packets using a policy based network path |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS568832A (en) | 1981-01-29 |
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