JP2527219Y2 - 直動転がり案内ユニット - Google Patents

直動転がり案内ユニット

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JP2527219Y2
JP2527219Y2 JP1990110448U JP11044890U JP2527219Y2 JP 2527219 Y2 JP2527219 Y2 JP 2527219Y2 JP 1990110448 U JP1990110448 U JP 1990110448U JP 11044890 U JP11044890 U JP 11044890U JP 2527219 Y2 JP2527219 Y2 JP 2527219Y2
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Nippon Thompson Co Ltd
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    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
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    • F16C29/06Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
    • F16C29/0633Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides
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    • F16C29/0638Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls
    • F16C29/064Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls with two rows of balls, one on each side of the rail
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
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    • F16C2322/00Apparatus used in shaping articles
    • F16C2322/39General build up of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、半導体製造装置,事務用電子機器およびそ
の読み取り装置等に使用される直線往復運動用の直動転
がり案内ユニットの改良に関する。
従来の技術 前述のごとき用途に使用される直動転がり案内ユニッ
トは、負荷容量が大きく、複合荷重を受支でき、円滑か
つ高精度で高速の往復運動を要求されるため、従来は、
第4図に示されるごとく、トラックレールAとケーシン
グBとが、トラックレールAの両側の軌道溝C,Dと、こ
れに対向するケーシングB側の軌道溝Eとの間に介装さ
れた転動体Fを介して摺動自在に組み付けられている構
造体を単位として、第5図に示されるごとく、トラック
レールG,Hを平行にベッドIに固定し、このトラックレ
ールG,Hに少なくとも各1個以上、図示例では4個のケ
ーシングJ,K,Lを組み付け、これ等のケーシングに固定
された摺動テーブルに、前述の半導体製造装置,事務用
電子機器等を搭載する構造が採用されている。
この従来の直動転がり案内ユニットでは、トラックレ
ールAあるいはG,Hに跨架されているケーシングBある
いはJ,K,L等は双矢印M方向の変位の自由度が全く無い
ため、トラックレールG,Hの平行度に著しい高精度を要
求され、その平行設置作業の困難性が高いのみでなく、
熱の影響その他でトラックレールG,Hの平行度の誤差が
大きくなると、ケーシングJ,K,L等の摺動抵抗の変化、
摺動の不円滑化等を生ずる等の問題を有している。
考案が解決しようとする課題 前述の従来の平行する2本のトラックレールを用いる
直動転がり案内ユニットの内包する問題点に鑑み、本考
案は、2本のトラックレールの平行度を数十ミクロン程
度の誤差が存しても、あるいは使用時に、その程度の平
行度の誤差が発生しても、一方のトラックレールに跨架
されているケーシングが、トラックレールと直交する方
向に変位し該誤差を吸収,消去し、常に円滑な摺動を確
保し、少なくとも垂直下方へ向う荷重は十分に受支でき
る構造が簡単で、比較的廉価に供給できる直動転がり案
内ユニットを提供することを課題としている。
課題を解決するための手段 前記課題を解決するため、本考案は、摺動テーブルを
担持して平行に配設されている2組の直動転がり案内ユ
ニットであって、一方が、両側壁に軌道溝が形成された
トラックレールと、前記軌道溝に対向する軌道溝を形成
し該トラックレールに跨架して自在に摺動するケーシン
グと、前記軌道溝の間に介装された転動体とからなり、
他方が、頂壁と両側壁とが交差する稜縁部に形成された
斜上外向きのサーキュラアーク形状の軌道溝が形成され
たトラックレールと、前記軌道溝に対向するサーキュラ
アーク形状の軌道溝を形成し該トラックレールに跨架し
て自在に摺動するケーシングと、前記軌道溝の間に介装
された転動体のボールとからなっているという構成を採
用している。
作用 本考案では、2組の直動転がり案内ユニットのうちの
一方が、頂壁と両側壁とが交差する稜縁部に形成された
斜上外向きのサーキュラアーク形状の軌道溝が形成され
たトラックレールと、前記軌道溝に対向するサーキュラ
アーク形状の軌道溝を形成し該トラックレールに跨架し
て自在に摺動するケーシングと、前記軌道溝の間に介装
された転動体のボールからなっているので、前記2本の
トラックレールの平行度に数十ミクロン程度の誤差が存
しても、前記ボールがサーキュラアーク形状の軌道溝内
で、該軌道溝と直交する方向へ転移することにより、前
記誤差を吸収,消去することができ、摺動抵抗の変動と
か、摺動の不円滑を生ずることがない。
実施例 第1図は摺動テーブル33を担持して平行に配設されて
なる2組の直動転がり案内ユニットの実施の一例を示し
ており、2本のトラックレール1,2はベース3上に平行
に固定されており、一方のトラックレール1に跨架され
ているケーシング4は、トラックレール1の両側壁5,6
に形成されているゴシックアーチ形状の軌道溝7,8と、
ケーシング4の内側壁9,10に、前記軌道溝7,8と対向し
て形成されているゴシックアーチ形状の軌道溝11,12と
の間に介装されたボールたる転動体13,14例を介して摺
動自在に組み付けられている。
第2図はトラックレール1側のゴシックアーチ形状の
軌道溝8と、ケーシング4側のゴシックアーチ形状の軌
道溝12と、ボールたる転動体14との接触状態を示す拡大
断面図であって、各軌道溝8,12と転動体14とは、点N,O,
P,Qの4点で予圧状態で接触させられており、双矢印R,
S,T,U方向の荷重と双矢印U方向の回転モーメントによ
る荷重とを担持している。
従って、ケーシング4は、トラックレール1に対し、
その長さ方向と直交する方向の変位は零とされている。
他方のトラックレール2に跨架されているケーシング
15は、トラックレール2の頂壁16と両側壁17,18とが交
差する稜縁部に形成された斜上外向きのサーキュラアー
ク形状の軌道溝19,20と、この軌道溝19,20に対向して、
ケーシング15の内側隅角部に形成されたサーキュラアー
ク形状の軌道溝21,22との間に介装された転動体のボー
ル23,24列を介して摺動自在に組み付けられている。
第3図は、トラックレール2のサーキュラアーク形状
の軌道溝20と、ケーシング15のサーキュラアーク形状の
軌道溝22とボール24との接触状態を示す拡大断面図であ
って、各軌道溝20,22とボール24とは点W,Xの2点で接触
し、矢印Y,Zで示す主として下向きの荷重を担持してい
る。
従って、ケーシング15は、トラックレール2に対し、
長さ方向と直交する横方向へ、サーキュラアーク形状の
軌道溝20,22に沿ってボール24が僅かに転動を許容され
る範囲で変位できる。
第1図において、符号25,26,27,28は転動体13,14の列
および転動体のボール23,24の列のリターン路、符号29,
30,31,32は転動体13,14列および転動体のボール23,24列
の方向転換路、符号33は摺動テーブル、符号34は摺動テ
ーブル33の固定用ボルト穴である。
それぞれ、前記両軌道溝7,11,8,12,19,21,20,22との
間に介装された前記転動体13,14,23,24は、前記方向転
換路29,30,31,32および前記リターン路25,26,27,28を無
限循環して、前記ケーシング4,15に担持された摺動テー
ブル33が、前記トラックレール1,2に沿って自在に摺動
する。
図示実施の場合、トラックレール1に対するトラック
レール2の平行度に数十ミクロン程度の誤差あるいは作
業中の変位が生じたとすると、ケーシング4は、既述の
ごとく、トラックレール1の長さ方向と直交する双矢印
M方向の変位は零であるものの、トラックレール2とケ
ーシング15とは、前記サーキュラアーク形状の軌道溝1
9,20,21,22とボール23,24列とによる相対的な若干な変
位が可能なので、トラックレール2とケーシング15とは
相対的に双矢印M方向に変位し、前記数十ミクロン程度
のトラックレール1,2間の平行度の誤差を吸収,消去す
るので、摺動テーブル33の摺動抵抗の変動とか、摺動の
不円滑化等の発生が防止され、更には2本のトラックレ
ール1,2の平行設置作業が容易となる。
効果 本考案は、以上説明した構成,作用のものであって、
2本のトラックレールの平行度に数十ミクロン程度の誤
差が存しても、トラックレールとケーシングとの間のサ
ーキュラアーク形状の軌道溝とこの軌道溝を転動するボ
ールとによる該トラックレールとケーシングとの両者の
相対的変位によって、精度を維持しつつその誤差を吸
収,消去できるので、摺動テーブルの摺動抵抗の変動、
摺動の不円滑等の発生を防止でき、常に円滑な摺動を実
現できる効果がある。
この結果、2本のトラックレールの平行設置の作業の
困難性を緩和させうる効果も有している。
構造的にも、一方のトラックレールとこれに跨架され
るケーシングとに、サーキュラアーク形状の軌道溝を設
ければよく、構造が比較的簡単となり、コストを低くし
うる効果もある。
【図面の簡単な説明】
第1図は実施の一例の拡大縦断面図、第2図はゴシック
アーチ形状の軌道溝部分の拡大断面図、第3図はサーキ
ュラアーク形状の軌道溝部分の拡大断面図、第4図は従
来の直動転がり案内ユニットの一例を一部断面として示
した斜視図、第5図は直動転がり案内ユニットの使用の
一例の斜視図である。 1,2:トラックレール、4:ケーシング、5,6:側壁、7,8,1
1,12:軌道溝、13,14:転動体、15:ケーシング、16:頂
壁、17,18:側壁、19,20,21,22:軌道溝、23,24:ボール。

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】摺動テーブルを担持して平行に配設されて
    なる2組の直動転がり案内ユニットであって、 一方が、両側壁に軌道溝が形成されたトラックレール
    と、前記軌道溝に対向する軌道溝を形成し該トラックレ
    ールに跨架して自在に摺動するケーシングと、前記軌道
    溝の間に介装された転動体とからなり、 他方が、頂壁と両側壁とが交差する稜縁部に形成された
    斜上向きのサーキュラアーク形状の軌道溝が形成された
    トラックレールと、前記軌道溝に対向するサーキュラア
    ーク形状の軌道溝を形成し該トラックレールに跨架して
    自在に摺動するケーシングと、前記軌道溝の間に介装さ
    れた転動体のボールとからなっている 直動転がり案内ユニット。
JP1990110448U 1990-10-22 1990-10-22 直動転がり案内ユニット Expired - Lifetime JP2527219Y2 (ja)

Priority Applications (3)

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JP1990110448U JP2527219Y2 (ja) 1990-10-22 1990-10-22 直動転がり案内ユニット
US07/781,533 US5158372A (en) 1990-10-22 1991-10-22 Self-adjustable double linear motion guide unit assembly
DE4134864A DE4134864A1 (de) 1990-10-22 1991-10-22 Selbstjustierende doppel-geradefuehrungseinrichtung

Applications Claiming Priority (1)

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JP1990110448U JP2527219Y2 (ja) 1990-10-22 1990-10-22 直動転がり案内ユニット

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Publication Number Publication Date
JPH0466423U JPH0466423U (ja) 1992-06-11
JP2527219Y2 true JP2527219Y2 (ja) 1997-02-26

Family

ID=14535977

Family Applications (1)

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JP1990110448U Expired - Lifetime JP2527219Y2 (ja) 1990-10-22 1990-10-22 直動転がり案内ユニット

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DE (1) DE4134864A1 (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
DE4134864A1 (de) 1992-04-23
JPH0466423U (ja) 1992-06-11
US5158372A (en) 1992-10-27

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