DE4134864A1

DE4134864A1 - Selbstjustierende doppel-geradefuehrungseinrichtung

Info

Publication number: DE4134864A1
Application number: DE4134864A
Authority: DE
Inventors: Hiroshi Ueki
Original assignee: Nippon Thompson Co Ltd
Current assignee: Nippon Thompson Co Ltd
Priority date: 1990-10-22
Filing date: 1991-10-22
Publication date: 1992-04-23
Also published as: JPH0466423U; JP2527219Y2; US5158372A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Geradeführungs einrichtung mit den im Oberbegriff des Anspruchs 1 auf geführten Merkmalen, insbesondere eine Doppel-Gerade führungseinrichtung, die sich für die verschiedensten Zwecke, wie Halbleiterherstellungsapparate, elektronische Büromaschinen und andere Einrichtungen, wie Lesegeräte, eignet.

Fig. 4 ist eine perspektivische Ansicht einer typischen bekannten Geradeführungseinheit, welche im wesentlichen eine Schiene A mit zwei inneren Führungsnuten auf entgegen gesetzten Seitenflächen, einen auf der Schiene A verschieb baren und diese klammerartig umgreifenden Schlitten B, der zwei äußere Führungsnuten E aufweist, die jeweils einer entsprechenden inneren Führungsnut C gegenüberliegen, und eine Mehrzahl von Wälzlagerelementen F, bei dem dar gestellten Beispiel Kugeln, die zwischen der Schiene A und dem Schlitten B angeordnet sind und zum Teil von den inneren und äußeren Führungsnuten C bzw. E aufgenommen werden, enthält. Bei der in Fig. 4 dargestellten Konstruktion ist der Schlitten B mit einem Paar endloser Umlaufwege versehen, die jeweils einen Laststreckenabschnitt, einen Rückweg abschnitt und zwei gebogene Verbindungsabschnitte, welche entsprechende Enden des Laststrecken- und des Rückweg abschnittes verbinden, enthalten, wobei der Laststrecken abschnitt durch eine entsprechende äußere Führungsnut E begrenzt wird.

Bei der oben beschriebenen Konstruktion kann sich der Schlitten B längs der Schiene A bewegen, soweit die Schiene A reicht, da die Kugeln E in den zugehörigen endlosen Umlaufwegen endlos umlaufen können. Die Kugeln E, die sich im Laststreckenabschnitt befinden, werden jeweils teilweise sowohl von der inneren als auch von der äußeren Führungsnut C bzw. E aufgenommen, so daß sich ein rollender Kontakt, also ein Wälzlager, zwischen der Schiene A und dem Schlitten B ergibt. Um eine hohe Genauigkeit zu gewährleisten, ist die in Fig. 4 dargestellte Geradeführungseinheit typischerweise so konstruiert, daß für den Schlitten B kein Spielraum für eine Bewegung in Querrichtung, die durch einen Doppelpfeil M senkrecht zur Längsachse der Schiene A bezeichnet ist, zur Verfügung steht.

Mit der in Fig. 4 dargestellten Geradeführungseinheit kann eine Doppel-Geradeführungseinrichtung aufgebaut werden, wie es in Fig. 5 dargestellt ist. Diese Doppel-Geradeführungs einrichtung enthält zwei Schienen G und H, die mit Abstand voneinander und parallel zueinander an einer Unterlage I befestigt sind. Die Schienen G und H entsprechen jeweils in ihrer Konstruktion der Schiene A in Fig. 4. Die Einrichtung enthält ferner ein erstes Paar von Schlitten, einen ersten vorderen und einen ersten hinteren Schlitten J bzw. K, die verschiebbar auf der Schiene G montiert sind und jeweils dem Schlitten B in Fig. 4 entsprechen. Die Einrichtung enthält ferner ein zweites Paar von Schlitten, einen vorderen Schlitten L sowie einen nicht zu sehenden hinteren Schlitten, die verschiebbar auf der Schiene H gelagert sind und jeweils ebenfalls dem Schieber B in Fig. 4 entsprechen. Weiterhin enthält die Einrichtung einen Schlittentisch, der an allen vier Schlitten J, K, L ... befestigt ist. Der Schlittentisch bildet also einen beweglichen Tisch, auf dem irgendwelche gewünschten Geräteteile angeordnet werden können, z. B. von Halbleiterherstellungsgeräten, elektro nischen Büromaschinen und dergleichen, in denen die Ein richtung enthalten ist.

Da kein Raum für eine Relativbewegung zwischen der Schiene A und dem Schlitten B in der in Fig. 4 durch den Doppelpfeil M angedeuteten Querrichtung zur Verfügung steht, existiert auch kein Raum für eine Relativbewegung zwischen dem Schlittentisch und den Schienen G, H in Querrichtung entsprechend dem Doppelpfeil M in Fig. 5. Die strikte Beschränkung hinsichtlich Querbewegungen ist zwar kein Problem, wenn die in Fig. 4 dargestellte Geradeführungs einheit allein verwendet wird, es können jedoch erhebliche Schwierigkeiten auftreten, wenn zwei oder mehr Gerade führungseinheiten gemäß Fig. 4 nebeneinander montiert werden, wie es bei der Doppel-Geradeführungseinrichtung gemäß Fig. 5 der Fall ist. Da keine Toleranzen in Quer richtung zugelassen sind, müssen also die beiden Schienen G und H sehr genau parallel zueinander montiert werden, gewöhnlich mit Toleranzen von höchstens einigen 10 µm. Es ist daher schwierig, eine Einrichtung der in Fig. 5 dar gestellten Art zu fertigen und die Kosten sind daher hoch. Da außerdem Abweichungen von der parallelen Anordnung der beiden Schienen auch durch Temperaturänderungen eintreten können, ist der Anwendungsbereich solcher Einrichtungen relativ begrenzt, wenn man nicht spezielle Maßnahmen zur Kompensation von Temperatureinflüssen trifft.

Der vorliegenden Erfindung liegt dementsprechend die Aufgabe zugrunde, eine Doppel-Geradeführungseinrichtung anzugeben, welche Abweichungen von der Parallelität zwischen den beiden Schienen selbständig ausgleicht.

Diese Aufgabe wird durch eine gattungsgemäße Geradeführungs einheit mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Weiterbildungen und vorteilhafte Ausgestaltungen der vorliegenden Geradeführungseinheit sind Gegenstand von Unteransprüchen.

Eine Geradeführungseinheit gemäß der Erfindung enthält ein Paar Schienen, eine erste und eine zweite Schiene, die parallel zueinander verlaufen, mindestens einen ersten Schlitten, der verschiebbar auf der ersten Schiene ange ordnet ist, eine Mehrzahl von ersten rollfähigen oder Wälzlagerelementen, die zwischen der ersten Schiene und dem ersten Schlitten angeordnet sind, mindestens einen zweiten Schlitten, der verschiebbar auf der zweiten Schiene ange ordnet ist, eine Mehrzahl von zweiten rollfähigen oder Wälzlagerelementen, die zwischen der zweiten Schiene und dem zweiten Schlitten angeordnet sind, und einen Schlittentisch, der mit den beiden Schlitten fest verbunden ist. Die erste Schiene hat eine Oberseite, eine Unterseite und zwei einander entgegengesetzte Seitenflächen, welch letztere zwischen der oberen und der unteren Seite jeweils eine innere Führungsnut aufweisen, die parallel zur Längsachse der ersten Schiene verläuft. Der erste Schlitten weist zwei äußere Führungsnuten auf, die jeweils einer entsprechenden inneren Führungsnut der ersten Schiene gegenüberliegen und dadurch einen Führungskanal bilden, in dem die ersten Wälz lagerelemente rollen können.

Die zweite Schiene hat eine Oberseite, eine Unterseite und zwei einander entgegengesetzte Seitenflächen und weist eben falls ein Paar innerer Führungsnuten auf, die sich an einer Schulter zwischen der Oberseite und jeweils einer Seiten fläche der Schiene befinden und parallel zur Längsachse der zweiten Schiene verlaufen. Der zweite Schlitten weist zwar äußere Führungsnuten auf, die jeweils einer entsprechenden inneren Führungsnut der zweiten Schiene gegenüberliegen und dadurch einen Führungskanal bilden, in dem die zweiten Wälz lagerelemente rollen können.

Die inneren und die äußeren Führungsnuten der ersten Schiene bzw. des Schlittens haben vorzugsweise einen spitzbogen förmigen Querschnitt. Die inneren und äußeren Führungsnuten der zweiten Schiene bzw. des zweiten Schlittens haben jeweils vorzugsweise einen kreisbogenförmigen Querschnitt. Der erste und der zweite Schlitten sind vorzugsweise außerdem mit zwei endlosen Umlaufwegen versehen, die jeweils einen Laststreckenabschnitt, einen Rückwegabschnitt und zwei gebogene Verbindungsabschnitte, die entsprechende Enden des Laststrecken- und des Rückwegabschnittes verbinden, enthalten, wobei der Laststreckenabschnitt die äußere Führungsnut bildet. Die ersten und die zweiten Wälzlager elemente sind vorzugsweise Kugeln.

Die vorliegende Geradeführungseinrichtung ist nicht nur verhältnismäßig unempfindlich gegen Abweichungen der Schienen von der Parallelität sondern zeichnet sich auch durch ein genaues und weiches Arbeiten sowie eine einfache Konstruktion aus, so daß sie mit relativ geringen Kosten hergestellt werden kann.

Da die vorliegende Geradeführungseinheit gewisse Toleranzen hinsichtlich der Parallelität der beiden Schienen zuläßt, wird die Montage erheblich erleichtert.

Die vorliegende Geradeführungseinrichtung wird auch kaum durch Temperaturänderungen beeinträchtigt.

Im folgenden wird ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Geradeführungseinrichtung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert, dabei werden noch weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung zur Sprache kommen. Es zeigen:

Fig. 1 eine etwas vereinfachte Querschnittsansicht einer Doppel-Geradeführungseinrichtung gemäß einer Aus führungsform der Erfindung;

Fig. 2 eine etwas vergrößerte Schnittansicht des Wälzlagers zwischen den spitzbogenförmigen Führungsnuten und Kugeln der Einrichtung gemäß Fig. 1;

Fig. 3 eine etwas vergrößerte Darstellung des Wälzlagers zwischen den im Querschnitt kreisbogenförmigen Führungsnuten und den Kugeln der Einrichtung gemäß Fig. 1;

Fig. 4, auf die bereits Bezug genommen worden ist, eine perspektivische, teilweise geschnittene Ansicht einer typischen bekannten wälzgelagerten Gerade führungseinheit und

Fig. 5, auf die ebenfalls bereits Bezug genommen worden ist, eine perspektivische Darstellung einer typischen bekannten Doppel-Geradeführungs einrichtung, welche Geradeführungseinheiten gemäß Fig. 4 enthält.

Die in Fig. 1 als Ausführungsbeispiel der Erfindung dar gestellte Doppel-Geradeführungseinrichtung enthält ein Paar langgestreckter Schienen, eine erste Schiene 1 und eine zweite Schiene 2, die parallel zueinander und im Abstand voneinander auf einer Unterlage 3 montiert sind. Die erste Schiene 1 hat eine Oberseite, eine Unterseite, die an der Unterlage 3 anliegt, und zwei einander entgegengesetzte Seitenflächen 5 und 6. Bei der dargestellten Konstruktion sind die Seitenflächen 5 und 6 im wesentlichen senkrecht und eben und sie weisen jeweils eine innere Führungsnut 7 bzw. 8 auf, die parallel zur Längsachse der Schiene 1 verlaufen. Wie noch näher erläutert werden wird, haben die inneren Führungsnuten 7 und 8 jeweils einen im wesentlichen spitz bogenförmigen Querschnitt. Wichtig ist, daß die beiden inneren Führungsnuten 7 und 8 jeweils zwischen der oberen und der unteren Seite der Schiene angeordnet sind. Bei der dargestellten Konstruktion liegen die beiden inneren Führungsflächen oder -nuten 7 und 8 auf der gleichen Höhe.

Die zweite Schiene 2 ist mit einem vorgegebenen Abstand von der ersten Schiene 1 so angeordnet, daß die beiden Schienen 1 und 2 im wesentlichen parallel zueinander verlaufen. Die zweite Schiene 2 hat ebenfalls eine Oberseite, eine Unter seite, die sich in Berührung mit der Unterlage 3 befindet, und zwei einander entgegengesetzte Seitenflächen 17 und 18, die bei der dargestellten Konstruktion im wesentlichen eben sind und vertikal verlaufen. Wichtig ist, daß die zweite Schiene 2 ein Paar innerer Führungsnuten 19 und 20 aufweist, die jeweils an einer Schulter oder der Verbindung zwischen der Oberseite und der einen bzw. anderen Seitenfläche liegen. Wie noch genauer erläutert werden wird, haben die inneren Führungsnuten 19 und 20 an den Schultern der zweiten Schiene 2 einen im wesentlichen kreisbogenförmigen Querschnitt.

Die vorliegende Einrichtung enthält ferner einen ersten Schlitten 4, der verschiebbar auf der ersten Schiene 1 gelagert ist und im wesentlichen einen Querschnitt in Form eines kopfstehenden U hat, so daß er also einen horizontalen Abschnitt sowie zwei vertikale Abschnitte, die von ent gegengesetzten Seiten des horizontalen Abschnitts nach unten reichen, aufweist. Die horizontalen Abschnitte des zweiten Schlittens 4 weisen an ihrer Innenseite jeweils eine äußere Führungsnut 11 und 12 auf, die einer entsprechenden inneren Führungsnut 7 bzw. 8 der ersten Schiene 1 gegenüberliegen und parallel zu diesen verlaufen. Die äußeren Führungsnuten 11 und 12 des ersten Schlittens 4 haben vorzugsweise ebenfalls einen im wesentlichen spitzbogenförmigen Quer schnitt. Durch das Paar aus der inneren und der äußeren Führungsnut 7 bzw. 11 wird also ein Führungskanal gebildet und ein weiterer Führungskanal wird durch das Paar aus der inneren und der äußeren Führungsnut 8 bzw. 12 gebildet. In diesen Führungskanälen ist jeweils eine Mehrzahl von Kugeln 13 bzw. 14 angeordnet, wobei die Kugeln 13 und 14 jeweils teilweise in die einander gegenüberliegenden inneren und äußeren Führungsnuten 7 und 11 bzw. 8 und 12 eingreifen. Zwischen der ersten Schiene und dem ersten Schlitten 4 wird also ein Wälzlager gebildet, so daß der erste Schlitten 4 längs der Schiene 1 verschoben werden kann.

Fig. 2 zeigt in einem etwas vergrößerten Maßstab die Verhältnisse bezüglich des Wälzlagers zwischen dem durch die gepaarten inneren und äußeren Führungsnuten 8 und 12 begrenzten Führungskanal und den Kugeln 14. Da, wie ersicht lich, die innere und die äußere Führungsnut 8 bzw. 12 einen im wesentlichen spitzbogenförmigen Querschnitt haben, macht die Kugel an vier Punkten N, O, P und Q Kontakt mit der inneren und der äußeren Führungsnut 8 bzw. 12. Bei der dargestellten Konstruktion geht eine gedachte Gerade durch die beiden Berührungspunkte O und Q im wesentlichen auch durch das Zentrum der Kugel und eine weitere gedachte Gerade durch die beiden Berührungspunkte N und P verläuft ebenfalls im wesentlichen durch das Zentrum der Kugel 14. Die Kugel 14 steht vorzugsweise unter Druck, der sich durch eine Vor belastung an den vier Berührungspunkten ergibt. Die in Fig. 2 dargestellte Wälzlageranordnung kann daher Lasten in beliebigen Richtungen aufnehmen, wie durch Doppelpfeile R, S, T und U angedeutet ist, und außerdem auch ein Drehmoment um das Zentrum der Kugel 14, wie durch einen Doppelpfeil V angedeutet ist. Eine solche Kugellagerkonstruktion gewähr leistet eine Linearbewegung mit hoher Genauigkeit. Anders ausgedrückt besteht wegen dieser engen Wälzlagerkonstruktion keine Möglichkeit einer seitlichen Bewegung zwischen der ersten Schiene 1 und dem ersten Schlitten 4. Es sei darauf hingewiesen, daß die gleichen Verhältnisse auch bei der anderen Wälzlagerkonstruktion bestehen, die durch die innere und die mit ihr gepaarte äußere Führungsnut 7 bzw. 11 und die Kugeln 13 gebildet wird.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist der erste Schlitten 4 mit zwei endlosen Umlaufwegen versehen, die jeweils einen Laststreckenabschnitt, welcher der äußeren Führungsnut 11 oder 12 entspricht, einen Rückwegabschnitt 25 oder 26 und ein Paar gebogener Verbindungsabschnitte 29 oder 30, welche entsprechende Enden des Laststrecken- und des Rückwegabschnittes verbinden, enthalten. Im linken endlosen Umlaufweg ist eine Vielzahl von Kugeln 13 vorgesehen und im rechten endlosen Umlaufweg ist in entsprechender Weise eine Vielzahl von Kugeln 14 vorgesehen. Durch diese Konstruktion kann der erste Schlitten 4 längs der ersten Schiene 1 ohne Beschränkungen so weit verschoben werden, wie die erste Schiene 1 reicht. Vorzugsweise weist der erste Schlitten, wie bekannt, eine dreiteilige Konstruktion auf, er enthält also einen mittleren Block und ein Paar von Endblöcken, einen vorderen und einen hinteren Endblock, wie es in Fig. 4 dargestellt ist. In diesem Falle werden sowohl der Last strecken- als auch der Rückwegabschnitt vorzugsweise im mittleren Block gebildet und die gebogenen Rückwegabschnitte in den vorderen und hinteren Endblöcken, um die Herstellung zu vereinfachen.

Die vorliegende Einrichtung enthält ferner einen zweiten Schlitten 15, der reiterartig auf der zweiten Schiene 2 sitzt und längs dieser verschiebbar ist. Der zweite Schieber 15 hat ebenfalls im wesentlichen einen Querschnitt in Form eines kopfstehenden U und enthält dementsprechend einen horizontalen Abschnitt und zwei vertikale Abschnitte, die von entgegengesetzten Seiten des horizontalen Abschnitts nach unten reichen. Der zweite Schlitten 15 weist ferner ein Paar äußerer Führungsnuten 21 und 22 auf, die den inneren Führungsnuten bzw. 20 an den Schultern der zweiten Schiene 2 gegenüberliegen, so daß zwei Führungskanäle gebildet werden, in denen jeweils eine Vielzahl von Kugeln 23 bzw. 24 laufen. Bei der dargestellten Konstruktion sind die äußeren Führungsnuten 21 und 22 jeweils an einer inneren Ecke an der Verbindung zwischen dem horizontalen Abschnitt und einem entsprechenden vertikalen Abschnitt gebildet.

Die äußeren Führungsnuten 21 und 22 haben vorzugsweise einen im wesentlichen kreisbogenförmigen Querschnitt. Fig. 3 zeigt die Verhältnisse bei dem Wälzlager mit dem durch die gepaarten inneren und äußeren Führungsnuten 20 und 22 gebildeten Führungskanal. Die Kugel 24 berührt die innere und die äußere Führungsnut 20 bzw. 22 jeweils nur an einem Punkt X bzw. W, wie aus Fig. 3 ersichtlich ist, so daß die Kugel 24 in erster Linie Belastungen aufnimmt, die im wesentlichen nach unten gerichtet sind, wie durch Pfeile X und Z angedeutet ist. Bei dieser Wälzlagerstruktur ist eine seitliche Bewegung zwischen der zweiten Schiene 2 und dem zweiten Schlitten 5 in Richtung quer zur Längsachse der zweiten Schiene 2 in begrenztem Maße möglich. Da die Wälz lagerstruktur, die durch die innere und die mit ihr gepaarte äußere Führungsnut 19 bzw. 21 sowie die Kugel 23 gebildet wird, im wesentlichen mit der übereinstimmt, die in Fig. 3 dargestellt und oben beschrieben ist, ist eine seitliche Relativbewegung zwischen der zweiten Schiene 2 und dem zweiten Schlitten 15 in einem bestimmten Bereich möglich, so daß etwaige Fehler hinsichtlich der Parallelität der beiden Schienen 1 und 2 toleriert werden können.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist der zweite Schlitten 15 ebenfalls mit zwei endlosen Umlaufwegen versehen, die jeweils einen Laststreckenabschnitt, der der äußeren Führungsnut 21 oder 22 entspricht, einen Rückweg abschnitt 27 oder 28 und ein Paar gebogener Verbindungs abschnitte 31 oder 32, die entsprechende Enden des Last strecken- und des Rückwegabschnittes verbinden, enthält. In diesem Falle ist eine Mehrzahl von Kugeln 23 im linken endlosen Umlaufweg vorgesehen und eine Vielzahl von Kugeln 24 ist in entsprechender Weise im rechten endlosen Umlaufweg vorgesehen, so daß der zweite Schlitten 15 längs der zweiten Schiene 2 verschoben werden kann, soweit die zweite Schiene 2 reicht. Der zweite Schlitten 15 kann ebenfalls eine drei teilige Konstruktion sein, wie es anhand des ersten Schlittens 4 beschrieben wurde.

Die vorliegende Einrichtung enthält ferner einen Schlitten tisch 33, der gemeinsam auf dem ersten und dem zweiten Schlitten 4 bzw. 15 befestigt ist, z. B. durch Schrauben bolzen, die in Gewindelöcher 34 im ersten und zweiten Schlitten 4 bzw. 15 eingeschraubt sind.

Obwohl bei der oben beschriebenen Konstruktion keine seit liche Bewegung zwischen der ersten Schiene 1 und dem ersten Schlitten 4 stattfinden kann, kann der Schlittentisch 33 als Ganzes Ausrichtfehler zwischen der ersten und der zweiten Schiene 1 bzw. 2 bis zu einem gewissen Grade tolerieren, da eine begrenzte Lateralbewegung zwischen dem zweiten Schlitten 15 und der zweiten Schiene 2 möglich ist. In der Praxis sind Ausrichtfehler bis zu mehreren 10 µm zwischen der ersten und der zweiten Schiene 1 bzw. 2 der vorliegenden Einrichtung zulässig.

Bei der vorliegenden Konstruktion treten also keine Schwan kungen des Verschiebewiderstandes infolge von Ausricht fehlern zwischen den beiden Schienen 1 und 2 auf, so daß immer ein gleichmäßiges Arbeiten gewährleistet ist. Da außerdem Ausrichtfehler in einem bestimmten Bereich zulässig sind, vereinfacht sich die Montage der Schienen 1 und 2 erheblich. Die vorliegende Einrichtung kann auch in einer Umgebung mit schwankenden Temperaturen verwendet werden, die zu sich ändernden Abweichungen von der Parallelität der beiden Schienen 1 und 2 führen können.

Claims

1. Geradeführungseinheit mit
einer langgestreckten ersten Schiene (1), welche zwei ent gegengesetzte Seitenflächen (5, 6) hat, die jeweils eine innere Führungsnut (7, 8) vorgegebener erster Querschnitts form aufweisen;
einem ersten Schlitten (4), der reiterartig auf der ersten Schiene (1) angeordnet ist und ein Paar äußerer Führungs nuten (11, 12) aufweist, die jeweils einer entsprechenden inneren Führungsnut (7, 8) der ersten Schiene gegenüber liegen und die vorgegebene erste Querschnittsform aufweisen;
einer Mehrzahl von ersten Wälzlagerelementen (13, 14) zwischen jedem Paar innerer und äußeren Führungsnuten (7, 11; 8, 12) der vorgegebenen ersten Querschnittsform;
einer zweiten langgestreckten Schiene (2), welche zwei innere Führungsnuten (19, 20) einer vorgegebenen zweiten Querschnittsform, die von der ersten Querschnittsform abweicht, an zwei Schultern aufweist,
einem zweiten Schlitten (15), der reiterartig auf der zweiten Schiene (2) angeordnet ist und ein Paar äußerer Führungsnuten (21, 22) aufweist, die jeweils einer der beiden inneren Führungsnuten (19, 20) der zweiten Schiene (2) gegenüberliegen und die genannte zweite Querschnittsform aufweisen;
einer Mehrzahl von zweiten Wälzlagerelementen (23, 24) zwischen jedem Paar innerer und äußerer Führungsnuten (19, 21; 20, 22) der vorgegebenen zweiten Querschnittsform, und einem Schlittentisch (33), der sowohl mit dem ersten Schlitten (4) als auch mit dem zweiten Schlitten (15) fest verbunden ist.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Querschnittsform im wesentlichen die eines Spitz bogens ist.

3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn zeichnet, daß die zweite Querschnittsform im wesentlichen die eines Kreisbogens ist.

4. Einrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekenn zeichnet, daß der erste und der zweite Schlitten (4, 15) jeweils ein Paar endloser Umlaufwege aufweisen, die jeweils einen Laststreckenabschnitt, einen Rückwegabschnitt und zwei gebogene Verbindungsabschnitte, die entsprechende Enden des Laststrecken- und des Rückwegabschnitts verbinden, enthalten und daß die Laststreckenabschnitte jeweils eine äußere Führungsnut (11, 12) bilden.

5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Wälzlagerelemente (13, 14, 23, 24) Kugeln sind.

6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Schiene (1, 2) einen im wesentlichen rechteckigen Querschnitt mit einer Oberseite, einer Unterseite und zwei Seitenflächen (5, 6; 17, 18) haben und daß die inneren Führungsnuten (19, 20) sich jeweils an einer Schulter der zweiten Schiene befinden, wo die Ober seite (16) der zweiten Schiene in die eine bzw. andere Seitenfläche (17, 18) übergeht.

7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die in den Seitenflächen der ersten Schiene (1) vorgesehenen inneren Führungsnuten (7, 8) einen erheblichen Abstand von der oberen und der unteren Seite der Schiene haben.