JP2022159909A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022159909A5 JP2022159909A5 JP2021064377A JP2021064377A JP2022159909A5 JP 2022159909 A5 JP2022159909 A5 JP 2022159909A5 JP 2021064377 A JP2021064377 A JP 2021064377A JP 2021064377 A JP2021064377 A JP 2021064377A JP 2022159909 A5 JP2022159909 A5 JP 2022159909A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposed
- sealing
- plane
- exposed portion
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 15
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000009461 vacuum packaging Methods 0.000 description 1
Description
本実施の形態の第2回路部材50は、露出部502と、封止部504とを備えている。露出部502及び封止部504の夫々は、第2回路部材50の上面の一部である。露出部502及び封止部504は、Z方向において第1フィルム22を向いている。本実施の形態の露出部502は、第2基体52の上面の一部と2つの第2端子56とを含む矩形の領域である。本実施の形態の封止部504は、露出部502のXY平面における周囲に位置する矩形フレーム形状の領域である。封止部504は、第2基体52の上面の一部と、第2導体パターン54の一部とを含んでいる。封止部504は、XY平面において露出部502を全周に亘って囲んでいる。
本実施の形態における2つの枠状フィルム26の回路封止部264は、露出部402及び露出部502を全周に亘って夫々囲むようにして、封止部404及び封止部504に夫々固着されている。この結果、開口244を経由した空気の通路が遮断されている。回路封止部264が空気の通路を遮断するようにして封止部404及び封止部504に夫々固着できる限り、露出部402、露出部502、封止部404及び封止部504の夫々の形状は、特に限定されない。
組み立てられたデバイス10において、露出部402及び露出部502は、枠状フィルム26の中心孔266から上方に露出している。換言すれば、第1回路部材40において中心孔266から露出した部位が露出部402であり、XY平面において露出部402を囲む部位が封止部404である。同様に、第2回路部材50において中心孔266から露出した部位が露出部502であり、XY平面において露出部502を囲む部位が封止部504である。
例えば、器具80の構造は、真空引きできる限り、特に限定されない。また、図示した器具80を使用する代わりに、デバイス10にノズルを差し込み、ノズルによって真空引きしてもよい。この場合、空気弁28を設ける必要がない。また、市販されている卓上真空包装機(図示せず)を使用してシーリング及び真空引きを行ってもよい。更に、図9を参照すると、デバイス10の部材を真空チャンバー(図示せず)内に配置し、熱シーリングしつつ真空引きしてもよい。この場合、付加的フィルム38を設けなくてもよい。また、他の部材に凹凸部382を設ける必要はない。但し、デバイス10を容易に製造するという観点から、器具80(図10参照)のような市販の簡易な器具を使用することが好ましい。
図12及び図13を参照すると、上述した変形例によれば、互いに対応する枠状フィルム26及び開口244において、開口244のXY平面におけるサイズは、枠状フィルム26の中心孔266のXY平面におけるサイズよりも小さくてもよい。即ち、枠状フィルム26の夫々は、対応する開口244がXY平面において中心孔266の内側に位置するようにして、第1フィルム22の内側面234に配置してもよい。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021064377A JP2022159909A (ja) | 2021-04-05 | 2021-04-05 | デバイス |
US17/700,748 US11800654B2 (en) | 2021-04-05 | 2022-03-22 | Device having circuit members between overlapping sealing members |
EP22165011.2A EP4081002A1 (en) | 2021-04-05 | 2022-03-29 | Device comprising a circuit member sealed by a film |
CN202210326331.9A CN115206892A (zh) | 2021-04-05 | 2022-03-30 | 薄型电子设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021064377A JP2022159909A (ja) | 2021-04-05 | 2021-04-05 | デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022159909A JP2022159909A (ja) | 2022-10-18 |
JP2022159909A5 true JP2022159909A5 (ja) | 2024-02-21 |
Family
ID=80979140
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021064377A Pending JP2022159909A (ja) | 2021-04-05 | 2021-04-05 | デバイス |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11800654B2 (ja) |
EP (1) | EP4081002A1 (ja) |
JP (1) | JP2022159909A (ja) |
CN (1) | CN115206892A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022092661A (ja) * | 2020-12-11 | 2022-06-23 | 日本航空電子工業株式会社 | デバイス及びデバイスの製造方法 |
US11800643B2 (en) * | 2021-04-05 | 2023-10-24 | Japan Aviation Electronics Industry, Limited | Device having closed space between overlapping sealing members |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5000256A (en) | 1990-07-20 | 1991-03-19 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Heat transfer bag with thermal via |
US5285619A (en) * | 1992-10-06 | 1994-02-15 | Williams International Corporation | Self tooling, molded electronics packaging |
US5406945A (en) | 1993-05-24 | 1995-04-18 | Ndm Acquisition Corp. | Biomedical electrode having a secured one-piece conductive terminal |
US5403973A (en) * | 1994-01-18 | 1995-04-04 | Santilli; Michael A. | Custom conformal heat sinking device for electronic circuit cards and methods of making the same |
JP2984205B2 (ja) | 1996-01-10 | 1999-11-29 | 日東電工株式会社 | 異方導電フィルム |
US5689878A (en) * | 1996-04-17 | 1997-11-25 | Lucent Technologies Inc. | Method for protecting electronic circuit components |
JPH11126037A (ja) | 1997-10-23 | 1999-05-11 | Futaba Corp | 半導体表示装置及びその製造方法 |
JP3375908B2 (ja) | 1998-04-24 | 2003-02-10 | 日本写真印刷株式会社 | タッチパネル装置 |
JP3537400B2 (ja) | 2000-03-17 | 2004-06-14 | 松下電器産業株式会社 | 半導体内蔵モジュール及びその製造方法 |
JP3654279B2 (ja) | 2002-09-25 | 2005-06-02 | 松下電器産業株式会社 | 回路基板および回路基板への印刷方法 |
JP2004342967A (ja) | 2003-05-19 | 2004-12-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光半導体装置およびその製造方法 |
JP2006024054A (ja) | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Shido Technics Kk | Rfid部材、およびrfid部材の製造方法 |
FR2892594B1 (fr) | 2005-10-21 | 2007-12-07 | Saint Gobain | Structure lumineuse comportant au moins une diode electroluminescente, sa fabrication et ses applications |
JP4320330B2 (ja) | 2006-03-03 | 2009-08-26 | ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 | 機能素子実装モジュール及びその製造方法と樹脂封止用基板構造体 |
US20090076345A1 (en) | 2007-09-14 | 2009-03-19 | Corventis, Inc. | Adherent Device with Multiple Physiological Sensors |
JP6204731B2 (ja) | 2013-07-12 | 2017-09-27 | スタンレー電気株式会社 | 発光パネルとその製造方法 |
JP2018106796A (ja) | 2015-05-07 | 2018-07-05 | 三洋電機株式会社 | 電池パック及び電池パックの製造方法 |
US11088066B2 (en) | 2018-03-19 | 2021-08-10 | Tactotek Oy | Multilayer structure and related method of manufacture for electronics |
US11837513B2 (en) | 2019-07-17 | 2023-12-05 | Texas Instruments Incorporated | O-ring seals for fluid sensing |
JP2022092661A (ja) | 2020-12-11 | 2022-06-23 | 日本航空電子工業株式会社 | デバイス及びデバイスの製造方法 |
US11800643B2 (en) | 2021-04-05 | 2023-10-24 | Japan Aviation Electronics Industry, Limited | Device having closed space between overlapping sealing members |
-
2021
- 2021-04-05 JP JP2021064377A patent/JP2022159909A/ja active Pending
-
2022
- 2022-03-22 US US17/700,748 patent/US11800654B2/en active Active
- 2022-03-29 EP EP22165011.2A patent/EP4081002A1/en active Pending
- 2022-03-30 CN CN202210326331.9A patent/CN115206892A/zh active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2022159909A5 (ja) | ||
KR20150006255A (ko) | 증착용 마스크 | |
JPH08195428A (ja) | 真空吸着装置 | |
JP4286576B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2005026377A (ja) | 真空テープ貼付装置及び方法 | |
JP2000077552A (ja) | 電子部品の製造方法 | |
JP2507259B2 (ja) | 高真空基板エンクロ―ジャ | |
JPH06326174A (ja) | ウェハ真空吸着装置 | |
JPH10311676A (ja) | 真空乾燥処理装置 | |
JP6746756B1 (ja) | 吸着プレート、切断装置および切断方法 | |
WO2018233039A1 (zh) | 进气机构及预清洗腔室 | |
TWI409877B (zh) | Vacuum containers, pressure vessels and such sealing methods | |
US8573264B2 (en) | Reticle pod having function of gas exchange | |
JPH0567551A (ja) | ウエハチヤツク | |
CN108358158B (zh) | 一种晶圆级封装结构、制备方法及其吸气剂的激活方法 | |
WO2019119608A1 (zh) | 刻蚀设备 | |
CN114360999B (zh) | 等离子处理设备 | |
TW202224034A (zh) | 晶片封裝方法以及晶片封裝單元 | |
JPWO2019065355A1 (ja) | 吸着ステージ | |
TWI817052B (zh) | 均溫板裝置及其製作方法 | |
TWI336901B (en) | Low-pressure process apparatus | |
JP2021526312A (ja) | 半導体処理装置 | |
JP4041256B2 (ja) | 基板チャック装置 | |
JP3514438B2 (ja) | 基板用可撓保持体を用いた基板治具構造 | |
JPH05218183A (ja) | 半導体ウエハ用真空チャックステージ |