JP2022159909A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2022159909A5
JP2022159909A5 JP2021064377A JP2021064377A JP2022159909A5 JP 2022159909 A5 JP2022159909 A5 JP 2022159909A5 JP 2021064377 A JP2021064377 A JP 2021064377A JP 2021064377 A JP2021064377 A JP 2021064377A JP 2022159909 A5 JP2022159909 A5 JP 2022159909A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exposed
sealing
plane
exposed portion
frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2021064377A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2022159909A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2021064377A priority Critical patent/JP2022159909A/ja
Priority claimed from JP2021064377A external-priority patent/JP2022159909A/ja
Priority to US17/700,748 priority patent/US11800654B2/en
Priority to EP22165011.2A priority patent/EP4081002A1/en
Priority to CN202210326331.9A priority patent/CN115206892A/zh
Publication of JP2022159909A publication Critical patent/JP2022159909A/ja
Publication of JP2022159909A5 publication Critical patent/JP2022159909A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Description

本実施の形態の第2回路部材50は、露出部502と、封止部504とを備えている。露出部502及び封止部504の夫々は、第2回路部材50の上面の一部である。露出部502及び封止部504は、Z方向において第1フィルム22を向いている。本実施の形態の露出部502は、第2基体52の上面の一部と2つの第2端子56とを含む矩形の領域である。本実施の形態の封止部504は、露出部502のXY平面における周囲に位置する矩形フレーム形状の領域である。封止部504は、第2基体52の上面の一部と、第2導体パターン54の一部とを含んでいる。封止部504は、XY平面において露出部502を全周に亘って囲んでいる。
本実施の形態における2つの枠状フィルム26の回路封止部264は、露出部402及び露出部502を全周に亘って夫々囲むようにして、封止部404及び封止部504に夫々固着されている。この結果、開口244を経由した空気の通路が遮断されている。回路封止部264が空気の通路を遮断するようにして封止部404及び封止部504に夫々固着できる限り、露出部402、露出部502封止部404及び封止部504の夫々の形状は、特に限定されない。
組み立てられたデバイス10において、露出部402及び露出部502は、枠状フィルム26の中心孔266から上方に露出している。換言すれば、第1回路部材40において中心孔266から露出した部位が露出部402であり、XY平面において露出部402を囲む部位が封止部404である。同様に、第2回路部材50において中心孔266から露出した部位が露出部502であり、XY平面において露出部502を囲む部位が封止部504である。
例えば、器具80の構造は、真空引きできる限り、特に限定されない。また、図示した器具80を使用する代わりに、デバイス10にノズルを差し込み、ノズルによって真空引きしてもよい。この場合、空気弁28を設ける必要がない。また、市販されている卓上真空包装機(図示せず)を使用してシーリング及び真空引きを行ってもよい。更に、図9を参照すると、デバイス10の部材を真空チャンバー(図示せず)内に配置し、熱シーリングしつつ真空引きしてもよい。この場合、付加的フィルム38を設けなくてもよい。また、他の部材に凹凸部382を設ける必要はない。但し、デバイス10を容易に製造するという観点から、器具80(図10参照)のような市販の簡易な器具を使用することが好ましい。
図12及び図13を参照すると、上述した変形例によれば、互いに対応する枠状フィルム26及び開口244において、開口244のXY平面におけるサイズは、枠状フィルム26の中心孔266のXY平面におけるサイズよりも小さくてもよい。即ち、枠状フィルム26の夫々は、対応する開口244がXY平面において中心孔266の内側に位置するようにして、第1フィルム22の内側面234に配置してもよい。
JP2021064377A 2021-04-05 2021-04-05 デバイス Pending JP2022159909A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021064377A JP2022159909A (ja) 2021-04-05 2021-04-05 デバイス
US17/700,748 US11800654B2 (en) 2021-04-05 2022-03-22 Device having circuit members between overlapping sealing members
EP22165011.2A EP4081002A1 (en) 2021-04-05 2022-03-29 Device comprising a circuit member sealed by a film
CN202210326331.9A CN115206892A (zh) 2021-04-05 2022-03-30 薄型电子设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021064377A JP2022159909A (ja) 2021-04-05 2021-04-05 デバイス

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022159909A JP2022159909A (ja) 2022-10-18
JP2022159909A5 true JP2022159909A5 (ja) 2024-02-21

Family

ID=80979140

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021064377A Pending JP2022159909A (ja) 2021-04-05 2021-04-05 デバイス

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11800654B2 (ja)
EP (1) EP4081002A1 (ja)
JP (1) JP2022159909A (ja)
CN (1) CN115206892A (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022092661A (ja) * 2020-12-11 2022-06-23 日本航空電子工業株式会社 デバイス及びデバイスの製造方法
US11800643B2 (en) * 2021-04-05 2023-10-24 Japan Aviation Electronics Industry, Limited Device having closed space between overlapping sealing members

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5000256A (en) 1990-07-20 1991-03-19 Minnesota Mining And Manufacturing Company Heat transfer bag with thermal via
US5285619A (en) * 1992-10-06 1994-02-15 Williams International Corporation Self tooling, molded electronics packaging
US5406945A (en) 1993-05-24 1995-04-18 Ndm Acquisition Corp. Biomedical electrode having a secured one-piece conductive terminal
US5403973A (en) * 1994-01-18 1995-04-04 Santilli; Michael A. Custom conformal heat sinking device for electronic circuit cards and methods of making the same
JP2984205B2 (ja) 1996-01-10 1999-11-29 日東電工株式会社 異方導電フィルム
US5689878A (en) * 1996-04-17 1997-11-25 Lucent Technologies Inc. Method for protecting electronic circuit components
JPH11126037A (ja) 1997-10-23 1999-05-11 Futaba Corp 半導体表示装置及びその製造方法
JP3375908B2 (ja) 1998-04-24 2003-02-10 日本写真印刷株式会社 タッチパネル装置
JP3537400B2 (ja) 2000-03-17 2004-06-14 松下電器産業株式会社 半導体内蔵モジュール及びその製造方法
JP3654279B2 (ja) 2002-09-25 2005-06-02 松下電器産業株式会社 回路基板および回路基板への印刷方法
JP2004342967A (ja) 2003-05-19 2004-12-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光半導体装置およびその製造方法
JP2006024054A (ja) 2004-07-09 2006-01-26 Shido Technics Kk Rfid部材、およびrfid部材の製造方法
FR2892594B1 (fr) 2005-10-21 2007-12-07 Saint Gobain Structure lumineuse comportant au moins une diode electroluminescente, sa fabrication et ses applications
JP4320330B2 (ja) 2006-03-03 2009-08-26 ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 機能素子実装モジュール及びその製造方法と樹脂封止用基板構造体
US20090076345A1 (en) 2007-09-14 2009-03-19 Corventis, Inc. Adherent Device with Multiple Physiological Sensors
JP6204731B2 (ja) 2013-07-12 2017-09-27 スタンレー電気株式会社 発光パネルとその製造方法
JP2018106796A (ja) 2015-05-07 2018-07-05 三洋電機株式会社 電池パック及び電池パックの製造方法
US11088066B2 (en) 2018-03-19 2021-08-10 Tactotek Oy Multilayer structure and related method of manufacture for electronics
US11837513B2 (en) 2019-07-17 2023-12-05 Texas Instruments Incorporated O-ring seals for fluid sensing
JP2022092661A (ja) 2020-12-11 2022-06-23 日本航空電子工業株式会社 デバイス及びデバイスの製造方法
US11800643B2 (en) 2021-04-05 2023-10-24 Japan Aviation Electronics Industry, Limited Device having closed space between overlapping sealing members

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2022159909A5 (ja)
KR20150006255A (ko) 증착용 마스크
JPH08195428A (ja) 真空吸着装置
JP4286576B2 (ja) プラズマ処理装置
JP2005026377A (ja) 真空テープ貼付装置及び方法
JP2000077552A (ja) 電子部品の製造方法
JP2507259B2 (ja) 高真空基板エンクロ―ジャ
JPH06326174A (ja) ウェハ真空吸着装置
JPH10311676A (ja) 真空乾燥処理装置
JP6746756B1 (ja) 吸着プレート、切断装置および切断方法
WO2018233039A1 (zh) 进气机构及预清洗腔室
TWI409877B (zh) Vacuum containers, pressure vessels and such sealing methods
US8573264B2 (en) Reticle pod having function of gas exchange
JPH0567551A (ja) ウエハチヤツク
CN108358158B (zh) 一种晶圆级封装结构、制备方法及其吸气剂的激活方法
WO2019119608A1 (zh) 刻蚀设备
CN114360999B (zh) 等离子处理设备
TW202224034A (zh) 晶片封裝方法以及晶片封裝單元
JPWO2019065355A1 (ja) 吸着ステージ
TWI817052B (zh) 均溫板裝置及其製作方法
TWI336901B (en) Low-pressure process apparatus
JP2021526312A (ja) 半導体処理装置
JP4041256B2 (ja) 基板チャック装置
JP3514438B2 (ja) 基板用可撓保持体を用いた基板治具構造
JPH05218183A (ja) 半導体ウエハ用真空チャックステージ