JP2022119370A5 - - Google Patents
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Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021016442A JP7665347B2 (ja) | 2021-02-04 | 2021-02-04 | 情報処理装置、及び情報処理方法 |
| TW111100503A TW202232256A (zh) | 2021-02-04 | 2022-01-06 | 資訊處理設備、資訊處理方法、物品製造系統、以及物品製造方法 |
| KR1020220007582A KR20220112673A (ko) | 2021-02-04 | 2022-01-19 | 정보처리장치, 정보처리방법, 물품 제조 시스템, 및 물품 제조방법 |
| CN202210099504.8A CN114935878A (zh) | 2021-02-04 | 2022-01-27 | 信息处理装置、信息处理方法、物品制造系统和方法 |
| US17/589,485 US12298737B2 (en) | 2021-02-04 | 2022-01-31 | Information processing apparatus, information processing method, article manufacturing system, and article manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021016442A JP7665347B2 (ja) | 2021-02-04 | 2021-02-04 | 情報処理装置、及び情報処理方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2022119370A JP2022119370A (ja) | 2022-08-17 |
| JP2022119370A5 true JP2022119370A5 (https=) | 2023-11-21 |
| JP7665347B2 JP7665347B2 (ja) | 2025-04-21 |
Family
ID=82611400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021016442A Active JP7665347B2 (ja) | 2021-02-04 | 2021-02-04 | 情報処理装置、及び情報処理方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US12298737B2 (https=) |
| JP (1) | JP7665347B2 (https=) |
| KR (1) | KR20220112673A (https=) |
| CN (1) | CN114935878A (https=) |
| TW (1) | TW202232256A (https=) |
Family Cites Families (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2796482B1 (fr) * | 1999-07-16 | 2002-09-06 | Touchtunes Music Corp | Systeme de gestion a distance d'au moins un dispositif de reproduction d'informations audiovisuelles |
| JP3982428B2 (ja) * | 2002-09-04 | 2007-09-26 | 株式会社日立製作所 | 欠陥情報解析方法およびその装置 |
| JP2005093922A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理システム |
| TWI401580B (zh) * | 2004-11-30 | 2013-07-11 | 尼康股份有限公司 | A component processing system, an information display method, and a recorded recording medium, an exposure apparatus, a measurement and inspection apparatus |
| JP4697877B2 (ja) | 2006-04-28 | 2011-06-08 | 東京エレクトロン株式会社 | プロセス情報管理装置、およびプログラム |
| JP5461778B2 (ja) | 2007-04-02 | 2014-04-02 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理システム、群管理システム、構成管理プログラム、接続管理プログラム、端末プログラム及び各ハードウェアの接続管理方法 |
| JP2009170612A (ja) | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Canon Inc | 情報処理装置、情報処理方法、処理システムおよびコンピュータプログラム |
| JP2011129580A (ja) * | 2009-12-15 | 2011-06-30 | Toshiba Corp | 異常装置検出システムおよび異常装置検出プログラム |
| JP5144816B2 (ja) | 2011-03-02 | 2013-02-13 | 三菱電機株式会社 | プログラマブル表示器、及び作画データの作成方法 |
| EP2755096A4 (en) | 2011-09-05 | 2014-12-31 | Kobayashi Manufacture Co Ltd | WORK MANAGEMENT SYSTEM, WORK MANAGEMENT TERMINAL, WORK MANAGEMENT PROGRAM AND METHOD |
| US9519393B2 (en) * | 2011-09-30 | 2016-12-13 | Siemens Schweiz Ag | Management system user interface for comparative trend view |
| JP5673577B2 (ja) * | 2012-02-07 | 2015-02-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
| JP6222810B2 (ja) * | 2012-07-17 | 2017-11-01 | 株式会社日立国際電気 | 管理装置、基板処理装置、基板処理システム、基板処理装置のファイル管理方法及びファイル転送方法 |
| US10290088B2 (en) * | 2014-02-14 | 2019-05-14 | Kla-Tencor Corporation | Wafer and lot based hierarchical method combining customized metrics with a global classification methodology to monitor process tool condition at extremely high throughput |
| JP6645993B2 (ja) | 2016-03-29 | 2020-02-14 | 株式会社Kokusai Electric | 処理装置、装置管理コントローラ、及びプログラム並びに半導体装置の製造方法 |
| EP3291008A1 (en) | 2016-09-06 | 2018-03-07 | ASML Netherlands B.V. | Method and apparatus to monitor a process apparatus |
| WO2018138925A1 (ja) * | 2017-01-30 | 2018-08-02 | 三菱電機株式会社 | データ処理装置およびデータ処理方法 |
| JP6894318B2 (ja) | 2017-08-04 | 2021-06-30 | 株式会社荏原製作所 | 画面制御プログラムおよび半導体製造装置 |
| CN111684076A (zh) * | 2018-01-25 | 2020-09-18 | 帝斯曼知识产权资产管理有限公司 | 纤维蛋白原测试 |
| JP6808684B2 (ja) * | 2018-06-14 | 2021-01-06 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、判定方法、プログラム、リソグラフィシステム、および物品の製造方法 |
| JP7326856B2 (ja) | 2019-05-10 | 2023-08-16 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 情報処理装置 |
| US11004710B2 (en) * | 2019-06-04 | 2021-05-11 | Applied Materials, Inc. | Wafer placement error detection based on measuring a current through an electrostatic chuck and solution for intervention |
| JP7570822B2 (ja) * | 2020-04-28 | 2024-10-22 | キヤノン株式会社 | 情報処理装置、及び情報処理方法 |
| JP7451287B2 (ja) * | 2020-04-30 | 2024-03-18 | 東レエンジニアリング先端半導体Miテクノロジー株式会社 | パターン欠陥検出方法 |
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2021
- 2021-02-04 JP JP2021016442A patent/JP7665347B2/ja active Active
-
2022
- 2022-01-06 TW TW111100503A patent/TW202232256A/zh unknown
- 2022-01-19 KR KR1020220007582A patent/KR20220112673A/ko not_active Abandoned
- 2022-01-27 CN CN202210099504.8A patent/CN114935878A/zh not_active Withdrawn
- 2022-01-31 US US17/589,485 patent/US12298737B2/en active Active
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