JP2022119370A5 - - Google Patents

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Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2796482B1 (fr) * 1999-07-16 2002-09-06 Touchtunes Music Corp Systeme de gestion a distance d'au moins un dispositif de reproduction d'informations audiovisuelles
JP3982428B2 (ja) * 2002-09-04 2007-09-26 株式会社日立製作所 欠陥情報解析方法およびその装置
JP2005093922A (ja) * 2003-09-19 2005-04-07 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理システム
TWI401580B (zh) * 2004-11-30 2013-07-11 尼康股份有限公司 A component processing system, an information display method, and a recorded recording medium, an exposure apparatus, a measurement and inspection apparatus
JP4697877B2 (ja) 2006-04-28 2011-06-08 東京エレクトロン株式会社 プロセス情報管理装置、およびプログラム
JP5461778B2 (ja) 2007-04-02 2014-04-02 株式会社日立国際電気 基板処理システム、群管理システム、構成管理プログラム、接続管理プログラム、端末プログラム及び各ハードウェアの接続管理方法
JP2009170612A (ja) 2008-01-15 2009-07-30 Canon Inc 情報処理装置、情報処理方法、処理システムおよびコンピュータプログラム
JP2011129580A (ja) * 2009-12-15 2011-06-30 Toshiba Corp 異常装置検出システムおよび異常装置検出プログラム
JP5144816B2 (ja) 2011-03-02 2013-02-13 三菱電機株式会社 プログラマブル表示器、及び作画データの作成方法
EP2755096A4 (en) 2011-09-05 2014-12-31 Kobayashi Manufacture Co Ltd WORK MANAGEMENT SYSTEM, WORK MANAGEMENT TERMINAL, WORK MANAGEMENT PROGRAM AND METHOD
US9519393B2 (en) * 2011-09-30 2016-12-13 Siemens Schweiz Ag Management system user interface for comparative trend view
JP5673577B2 (ja) * 2012-02-07 2015-02-18 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体
JP6222810B2 (ja) * 2012-07-17 2017-11-01 株式会社日立国際電気 管理装置、基板処理装置、基板処理システム、基板処理装置のファイル管理方法及びファイル転送方法
US10290088B2 (en) * 2014-02-14 2019-05-14 Kla-Tencor Corporation Wafer and lot based hierarchical method combining customized metrics with a global classification methodology to monitor process tool condition at extremely high throughput
JP6645993B2 (ja) 2016-03-29 2020-02-14 株式会社Kokusai Electric 処理装置、装置管理コントローラ、及びプログラム並びに半導体装置の製造方法
EP3291008A1 (en) 2016-09-06 2018-03-07 ASML Netherlands B.V. Method and apparatus to monitor a process apparatus
WO2018138925A1 (ja) * 2017-01-30 2018-08-02 三菱電機株式会社 データ処理装置およびデータ処理方法
JP6894318B2 (ja) 2017-08-04 2021-06-30 株式会社荏原製作所 画面制御プログラムおよび半導体製造装置
CN111684076A (zh) * 2018-01-25 2020-09-18 帝斯曼知识产权资产管理有限公司 纤维蛋白原测试
JP6808684B2 (ja) * 2018-06-14 2021-01-06 キヤノン株式会社 情報処理装置、判定方法、プログラム、リソグラフィシステム、および物品の製造方法
JP7326856B2 (ja) 2019-05-10 2023-08-16 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 情報処理装置
US11004710B2 (en) * 2019-06-04 2021-05-11 Applied Materials, Inc. Wafer placement error detection based on measuring a current through an electrostatic chuck and solution for intervention
JP7570822B2 (ja) * 2020-04-28 2024-10-22 キヤノン株式会社 情報処理装置、及び情報処理方法
JP7451287B2 (ja) * 2020-04-30 2024-03-18 東レエンジニアリング先端半導体Miテクノロジー株式会社 パターン欠陥検出方法

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