JP2021530868A - 改善されたドレイン相互接続部及び/又はゲート相互接続部、並びにフィンガ構造 - Google Patents
改善されたドレイン相互接続部及び/又はゲート相互接続部、並びにフィンガ構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021530868A JP2021530868A JP2021500669A JP2021500669A JP2021530868A JP 2021530868 A JP2021530868 A JP 2021530868A JP 2021500669 A JP2021500669 A JP 2021500669A JP 2021500669 A JP2021500669 A JP 2021500669A JP 2021530868 A JP2021530868 A JP 2021530868A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate
- drain
- finger
- interconnect
- semiconductor structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 197
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 54
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 14
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 5
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- -1 for example Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 2
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 208000029278 non-syndromic brachydactyly of fingers Diseases 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 230000005533 two-dimensional electron gas Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42372—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the conducting layer, e.g. the length, the sectional shape or the lay-out
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/482—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of lead-in layers inseparably applied to the semiconductor body
- H01L23/4824—Pads with extended contours, e.g. grid structure, branch structure, finger structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/5226—Via connections in a multilevel interconnection structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/528—Geometry or layout of the interconnection structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/528—Geometry or layout of the interconnection structure
- H01L23/5283—Cross-sectional geometry
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0684—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by the shape, relative sizes or dispositions of the semiconductor regions or junctions between the regions
- H01L29/0692—Surface layout
- H01L29/0696—Surface layout of cellular field-effect devices, e.g. multicellular DMOS transistors or IGBTs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/08—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions with semiconductor regions connected to an electrode carrying current to be rectified, amplified or switched and such electrode being part of a semiconductor device which comprises three or more electrodes
- H01L29/0843—Source or drain regions of field-effect devices
- H01L29/0847—Source or drain regions of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/417—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/41725—Source or drain electrodes for field effect devices
- H01L29/4175—Source or drain electrodes for field effect devices for lateral devices where the connection to the source or drain region is done through at least one part of the semiconductor substrate thickness, e.g. with connecting sink or with via-hole
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
- H01L29/7786—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/2003—Nitride compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/417—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/41725—Source or drain electrodes for field effect devices
- H01L29/41758—Source or drain electrodes for field effect devices for lateral devices with structured layout for source or drain region, i.e. the source or drain region having cellular, interdigitated or ring structure or being curved or angular
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7801—DMOS transistors, i.e. MISFETs with a channel accommodating body or base region adjoining a drain drift region
- H01L29/7816—Lateral DMOS transistors, i.e. LDMOS transistors
Landscapes
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Geometry (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
Description
によって与えられ、上式で、Rorig及びWorigは、それぞれ元のゲート・フィンガ構成(例えば図2Aのゲート・フィンガ210)のゲート抵抗及びゲート・フィンガ幅であり、Wnewは新しい構成のゲート・フィンガ(例えば図5Aのゲート・フィンガ510)の幅である。式1から分かるように、ゲート・フィンガ幅をWから2Wへと大きくすると、ゲート抵抗は2倍になる。ゲート抵抗を大きくする結果、増幅器の重要な仕様であるトランジスタ利得が、より低くなる可能性がある。例えば、ゲート・フィンガ長さWを有するトランジスタが出力電力Pを生成する場合、ゲート・フィンガ510の幅を2倍の2Wにすることで、生成される出力電力は2Pよりも小さくなる。この非線形であるスケーリングはまた、電力増幅器の設計者が所与の出力電力要件に合わせて適正なトランジスタ・ダイのサイズを選択するのを困難にする。抵抗が増加すると増幅器の効率も低下する。
Claims (44)
- 半導体構造と、
前記半導体構造上で第1の方向に延在するゲート・フィンガと、
前記第1の方向に延在し且つゲート相互接続部の内側位置においてゲート信号に結合されるように構成されている、前記ゲート相互接続部と、を備え、前記ゲート相互接続部は、前記ゲート相互接続部の前記内側位置からずらした位置において前記ゲート・フィンガに接続されている、
トランジスタ・デバイス。 - 前記ゲート・フィンガは、前記ゲート・フィンガの両縁部に縁部部分を備え、前記縁部部分同士の間には中央部分があり、
前記ゲート相互接続部は複数の導電ビアを介して前記ゲート・フィンガの前記縁部部分に接続されている、請求項1に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記ゲート・フィンガは、前記ゲート・フィンガの中央部分に接続される導電ビアを有さない、
請求項1又は2に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記縁部部分は、前記ゲート・フィンガの両縁部のそれぞれから、前記ゲート・フィンガの前記第1の方向の幅の3分の1以内にある、請求項1から3までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記ゲート相互接続部は、前記ゲート・フィンガの第1の縁部と隣り合う前記ゲート・フィンガ上の第1の場所において、及び、前記ゲート・フィンガの第2の縁部と隣り合う前記ゲート・フィンガ上の第2の場所において、前記ゲート・フィンガに接続されている、請求項1から4までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記半導体構造上で前記第1の方向に延在するゲート・ランナを更に備え、
前記ゲート相互接続部は第1の端部と第2の端部とを有し、
前記ゲート相互接続部は、前記ゲート相互接続部の前記第1の端部及び前記第2の端部から離れている前記ゲート相互接続部の前記内側位置において前記ゲート・ランナに接続されている、
請求項1から5までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記ゲート・フィンガは前記半導体構造よりも上方の第1のレベルで前記半導体構造上に延在し、前記ゲート相互接続部は、前記半導体構造よりも上方の前記第1のレベルよりも高い第2のレベルで前記半導体構造上に延在し、前記ゲート・ランナは、前記半導体構造よりも上方の前記第2のレベルと同じかそれよりも高い第3のレベルで前記半導体構造上に延在する、
請求項6に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記ゲート・フィンガは第1のセグメントと第2のセグメントとを備え、前記第1のセグメントと前記第2のセグメントの間には間隙がある、請求項1から7までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記半導体構造上で前記第1の方向に延在するドレイン・フィンガと、
前記第1の方向に延在し且つドレイン相互接続部の内側位置においてドレイン信号に結合されるように構成されている、前記ドレイン相互接続部と、を更に備え、前記ドレイン相互接続部は複数の導電ビアによって前記ドレイン・フィンガに接続されている、
請求項1から8までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記ゲート相互接続部の前記内側位置からずらされている前記位置は、前記ゲート相互接続部の前記内側位置から第1のずれの量だけずらされており、且つ、前記ゲート・フィンガの縁部から第2のずれの量だけずらされており、
前記第1のずれの量は前記第2のずれの量よりも大きい、請求項1から9までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。 - 半導体構造と、
前記半導体構造上で第1の方向に延在するドレイン・フィンガと、
前記第1の方向に延在し且つドレイン相互接続部の内側位置においてドレイン信号に結合されるように構成されている、前記ドレイン相互接続部と、を備え、前記ドレイン相互接続部は、前記ドレイン相互接続部の前記内側位置からずらした位置において前記ドレイン・フィンガに接続されている、
トランジスタ・デバイス。 - 前記ドレイン・フィンガは、前記ドレイン・フィンガの両縁部に縁部部分を備え、前記縁部部分同士の間には中央部分があり、
前記ドレイン相互接続部は複数の導電ビアを介して前記ドレイン・フィンガの前記縁部部分に接続されている、請求項11に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記ドレイン・フィンガは、前記ドレイン・フィンガの中央部分に接続されている導電ビアを有さない、請求項11又は12に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記縁部部分は、前記ドレイン・フィンガの両縁部のそれぞれから、前記ドレイン・フィンガの前記第1の方向の幅の3分の1以内にある、請求項11から13までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記ドレイン相互接続部は、前記ドレイン・フィンガの第1の縁部と隣り合う前記ドレイン・フィンガ上の第1の場所において、及び、前記ドレイン・フィンガの第2の縁部と隣り合う前記ドレイン・フィンガ上の第2の場所において、前記ドレイン・フィンガに接続されている、請求項11から14までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記半導体構造上で前記第1の方向に延在するドレイン・ランナを更に備え、
前記ドレイン相互接続部は第1の端部と第2の端部とを有し、
前記ドレイン相互接続部は、前記ドレイン相互接続部の前記第1の端部及び前記第2の端部から離れている前記ドレイン相互接続部の前記内側位置において前記ドレイン・ランナに接続されている、
請求項11から15までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記ドレイン・フィンガは前記半導体構造よりも上方の第1のレベルで前記半導体構造上に延在し、前記ドレイン相互接続部は、前記半導体構造よりも上方の前記第1のレベルよりも高い第2のレベルで前記半導体構造上に延在し、前記ドレイン・ランナは、前記半導体構造よりも上方の前記第2のレベルと同じかそれよりも高い第3のレベルで前記半導体構造上に延在する、
請求項16に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記半導体構造上で前記第1の方向に延在するゲート・フィンガと、
前記第1の方向に延在し且つゲート相互接続部の内側位置においてゲート信号に結合されるように構成されている、前記ゲート相互接続部と、を更に備え、前記ゲート相互接続部は複数の導電ビアによって前記ゲート・フィンガに接続されている、
請求項11から17までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記ドレイン相互接続部の前記内側位置からずらされている前記位置は、前記ドレイン相互接続部の前記内側位置から第1のずれの量だけずらされており、且つ、前記ドレイン・フィンガの縁部から第2のずれの量だけずらされており、
前記第1のずれの量は前記第2のずれの量よりも大きい、
請求項11から19までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。 - 半導体構造と、
前記半導体構造上に交互に配置されており各々が第1の方向に延在する、複数のゲート・フィンガ及び複数のドレイン・フィンガと、を備え、
前記複数のゲート・フィンガのうちのあるゲート・フィンガ及び前記複数のドレイン・フィンガのうちのあるドレイン・フィンガは、その両縁部にそれぞれの縁部部分を備え、前記それぞれの縁部部分同士の間には中央部分があり、
前記ゲート・フィンガ又は前記ドレイン・フィンガの一方は、前記それぞれの縁部部分に接続されている複数の導電ビアを有し、且つ、前記中央部分に接続されている導電ビアを有さず、
前記ゲート・フィンガ又は前記ドレイン・フィンガの他方は、前記中央部分に接続されている少なくとも1つの導電ビアを有する、
トランジスタ・デバイス。 - 前記それぞれの縁部部分は、前記ゲート・フィンガ又は前記ドレイン・フィンガの前記両縁部から、前記ゲート・フィンガ又は前記ドレイン・フィンガの前記第1の方向の幅の3分の1以内にある、請求項20に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記半導体構造上にある複数のゲート相互接続部であって、そのそれぞれ1つが前記複数のゲート・フィンガのそれぞれ1つに結合されている、前記複数のゲート相互接続部と、
前記半導体構造上に延在する複数のゲート・ランナと、を更に備え、
前記複数のゲート相互接続部の各々は第1の端部と第2の端部とを有し、
前記ゲート相互接続部のうちの少なくとも1つは、前記ゲート相互接続部のうちの前記少なくとも1つの前記第1の端部及び前記第2の端部から離れている、前記ゲート相互接続部のうちの前記少なくとも1つの内側位置において、前記ゲート・ランナのうちの1つに接続されている、
請求項20又は21に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記半導体構造上に交互に配置されている複数のソース領域及び複数のドレイン領域を更に備え、
前記複数のゲート・フィンガのそれぞれ1つは、前記ソース領域及び前記ドレイン領域のうちの隣り合うものの間に延在し、
前記ゲート・ランナのうちの前記少なくとも1つは前記ソース領域のうちの1つの上に延在する、
請求項20から22までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記ゲート・ランナのうちの前記少なくとも1つは前記第1の方向に延在し、
前記第1の方向と交差する第2の方向における前記ゲート・ランナのうちの前記少なくとも1つの第1の寸法は、前記第2の方向における前記ゲート相互接続部のうちの前記少なくとも1つの第2の寸法よりも大きい、請求項23に記載のトランジスタ・デバイス。 - 半導体構造と、
前記半導体構造上で第1の方向に延在する複数のゲート・フィンガと、
前記半導体構造上で前記第1の方向に延在する第1の端部及び第2の端部を各々有する複数のゲート相互接続部であって、各々が複数の第1の導電ビアによってそれぞれのゲート・フィンガに接続されている、前記複数のゲート相互接続部と、
前記半導体構造上で前記第1の方向に延在する複数のゲート・ランナと、を備え、
前記ゲート相互接続部のうちの少なくとも1つは、前記少なくとも1つのゲート相互接続部の前記第1の端部及び前記第2の端部から離れている、前記少なくとも1つのゲート相互接続部の内側位置にある第2の導電ビアによって、前記ゲート・ランナのうちの1つに接続されている、
トランジスタ・デバイス。 - 前記ゲート・フィンガのそれぞれ1つは、前記トランジスタ・デバイス用のゲート電極として機能するように構成されている、請求項25に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記ゲート・フィンガは前記半導体構造よりも上方の第1のレベルで前記半導体構造上に延在し、前記ゲート相互接続部は、前記半導体構造よりも上方の前記第1のレベルよりも高い第2のレベルで前記半導体構造上に延在し、前記ゲート・ランナは、前記半導体構造よりも上方の前記第2のレベルよりも高い第3のレベルで前記半導体構造上に延在する、請求項25又は26に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記少なくとも1つのゲート相互接続部の前記内側位置は、前記少なくとも1つのゲート相互接続部の前記第1の端部と前記第2の端部との間の距離の3分の1から3分の2の間にある、請求項25から27までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記少なくとも1つのゲート相互接続部の前記内側位置は、前記少なくとも1つのゲート相互接続部の前記第1の端部と前記第2の端部との間の半分の地点にある、請求項25から28までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記ゲート・フィンガのうちの第1のものは第1のセグメントと第2のセグメントとを備え、前記第1のセグメントと前記第2のセグメントの間には間隙がある、請求項25から29までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記ゲート相互接続部のうちの前記少なくとも1つの前記内側位置は、前記間隙と垂直方向に重なり合っている、請求項30に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記ゲート・ランナに接続されている前記半導体構造上にあるゲート・マニホールドを更に備え、前記ゲート・マニホールドは前記半導体構造上で前記第1の方向と交差する第2の方向に延在する、請求項25から31までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記ゲート・ランナは第1のゲート・ランナであり、各第1のゲート・ランナは第3の端部と第4の端部とを有し、
前記内側位置は第1の内側位置であり、
前記トランジスタ・デバイスは、前記半導体構造上で前記第1の方向に延在する複数の第2のゲート・ランナを更に備え、
少なくとも1つの第2のゲート・ランナが第3の導電ビアによって第1のゲート・ランナに接続されており、前記第3の導電ビアは、前記第1のゲート・ランナの前記第3の端部及び前記第4の端部から離れている、前記第1のゲート・ランナの第2の内側位置において、前記第1のゲート・ランナに接続されており、
前記ゲート・マニホールドは、前記第2のゲート・ランナのそれぞれ1つを介して、前記第1のゲート・ランナに接続されている、
請求項32に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記内側位置は第1の内側位置であり、
前記トランジスタ・デバイスは、
前記半導体構造上で前記第1の方向に延在する複数のドレイン・フィンガと、
前記半導体構造上で前記第1の方向に延在する第3の端部及び第4の端部を各々有する複数のドレイン相互接続部であって、各々が複数の第3の導電ビアによってそれぞれのドレイン・フィンガに接続されている、前記複数のドレイン相互接続部と、
前記半導体構造上で前記第1の方向に延在する複数のドレイン・ランナと、を更に備え、
少なくとも1つのドレイン相互接続部の前記第3の端部及び前記第4の端部から離れている、前記少なくとも1つのドレイン相互接続部の第2の内側位置は、第4の導電ビアによってドレイン・ランナに接続されており、
前記トランジスタ・デバイスはまた、前記半導体構造上にあり且つ前記複数のドレイン・ランナに接続されているドレイン・マニホールドを更に備える、
請求項25から33までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。 - 半導体構造と、
前記半導体構造上に交互に配置されている複数のソース領域及び複数のドレイン領域と、
前記半導体構造よりも上方の第1のレベルで前記ソース領域及び前記ドレイン領域の隣り合うものの間にそれぞれ延在する、複数のゲート・フィンガと、
前記半導体構造よりも上方の前記第1のレベルよりも高い第2のレベルにある、前記半導体構造上にある複数のゲート相互接続部であって、各々が複数の第1の導電ビアによってそれぞれのゲート・フィンガに接続されている、前記複数のゲート相互接続部と、
前記半導体構造よりも上方の前記第2のレベルよりも高い第3のレベルにある、前記半導体構造上にある複数のゲート・ランナと、を備え、前記ゲート・ランナのうちの少なくとも1つは、第2の導電ビアによって前記ゲート相互接続部のうちの少なくとも1つに接続されており、前記第2の導電ビアは、隣り合うソース領域と重なり合う、前記ゲート相互接続部のうちの前記少なくとも1つにおける第1の内側位置において、前記ゲート相互接続部のうちの前記少なくとも1つに接続している、
トランジスタ・デバイス。 - 前記第1の内側位置は、前記ゲート相互接続部のうちの前記少なくとも1つの第1の端部と第2の端部との間の距離の3分の1と3分の2との間にある、請求項35に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記半導体構造上にあり且つ前記ゲート・ランナに接続されているゲート・マニホールドを更に備え、
前記複数のゲート・ランナは第1のゲート・ランナであり、各第1のゲート・ランナは第3の端部と第4の端部とを有し、
前記トランジスタ・デバイスは、前記半導体構造上に延在する複数の第2のゲート・ランナを更に備え、
第2のゲート・ランナは、第3の導電ビアによって前記第1のゲート・ランナのうちの前記少なくとも1つに接続されており、前記第3の導電ビアは、前記第1のゲート・ランナのうちの前記少なくとも1つの前記第3の端部及び前記第4の端部から離れている、前記第1のゲート・ランナのうちの前記少なくとも1つの第2の内側位置において、前記第1のゲート・ランナのうちの前記少なくとも1つに接続されており、
前記ゲート・マニホールドは、前記複数の第2のゲート・ランナのそれぞれ1つを介して、前記複数の第1のゲート・ランナに接続されている、請求項35又は36に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記ゲート・ランナのうちの前記少なくとも1つの幅は、前記ゲート相互接続部のうちの前記少なくとも1つの幅よりも大きい、請求項35から37までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記トランジスタ・デバイスは、
前記複数のドレイン領域のそれぞれの上にある複数のドレイン・フィンガと、
前記半導体構造上にある複数のドレイン相互接続部であって、各々が複数の第3の導電ビアによってそれぞれのドレイン・フィンガに接続されている、前記複数のドレイン相互接続部と、
前記半導体構造上にある複数のドレイン・ランナであって、前記ドレイン・ランナのうちの少なくとも1つは、隣り合うソース領域と重なり合う前記ドレイン相互接続部のうちの少なくとも1つにおける第2の内側位置において、前記ドレイン相互接続部のうちの前記少なくとも1つに接続している第4の導電ビアによって、前記ドレイン相互接続部のうちの前記少なくとも1つに接続されている、前記複数のドレイン・ランナと、
前記半導体構造上にあり且つ前記ドレイン・ランナに接続されているドレイン・マニホールドと、を更に備える、請求項35から38までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記ゲート・ランナは、前記半導体構造よりも上方の前記ドレイン・ランナのうちの前記少なくとも1つとは異なるレベルにある、請求項39に記載のトランジスタ・デバイス。
- 半導体構造と、
前記半導体構造上に延在する複数のゲート・フィンガと、
前記半導体構造上にある複数のゲート相互接続部であって、前記ゲート相互接続部の各々は前記ゲート・フィンガのそれぞれ1つに電気的に結合されており、各ゲート相互接続部は第1の端部及び第2の端部を有する、前記複数のゲート相互接続部と、
前記半導体構造上にある複数のゲート・ランナと、を備え、前記ゲート・ランナのうちの少なくとも1つは、導電ビアによって前記ゲート相互接続部のうちの少なくとも1つに接続されており、前記導電ビアを介して前記ゲート相互接続部のうちの前記少なくとも1つの前記第1の端部において受け取られた電流は、前記導電ビアを介して前記ゲート相互接続部のうちの前記少なくとも1つの前記第2の端部において受け取られた電流との位相差が1度未満である、
トランジスタ・デバイス。 - 前記ゲート・ランナ及び前記ゲート相互接続部は第1の方向に延在し、
前記第1の方向と交差する第2の方向における前記ゲート・ランナのうちの前記少なくとも1つの第1の寸法は、前記第2の方向における前記ゲート相互接続部のうちの前記少なくとも1つの第2の寸法よりも大きい、請求項41に記載のトランジスタ・デバイス。 - 前記導電ビアは、前記ゲート相互接続部のうちの前記少なくとも1つの前記第1の端部と前記第2の端部との間の距離の3分の1と3分の2との間にある、前記ゲート相互接続部のうちの前記少なくとも1つの内側位置に接続されている、請求項41又は42に記載のトランジスタ・デバイス。
- 前記ゲート・フィンガのうちの第1のものは第1のセグメントと第2のセグメントとを備え、前記第1のセグメントと前記第2のセグメントの間には間隙がある、請求項41から43までのいずれか一項に記載のトランジスタ・デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022133786A JP7443437B2 (ja) | 2018-07-11 | 2022-08-25 | 改善されたドレイン相互接続部及び/又はゲート相互接続部、並びにフィンガ構造 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/032,571 | 2018-07-11 | ||
US16/032,571 US10483352B1 (en) | 2018-07-11 | 2018-07-11 | High power transistor with interior-fed gate fingers |
US16/375,398 | 2019-04-04 | ||
US16/375,398 US10763334B2 (en) | 2018-07-11 | 2019-04-04 | Drain and/or gate interconnect and finger structure |
PCT/US2019/040960 WO2020014199A1 (en) | 2018-07-11 | 2019-07-09 | Improved drain and/or gate interconnect and finger structure |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022133786A Division JP7443437B2 (ja) | 2018-07-11 | 2022-08-25 | 改善されたドレイン相互接続部及び/又はゲート相互接続部、並びにフィンガ構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021530868A true JP2021530868A (ja) | 2021-11-11 |
JP7132419B2 JP7132419B2 (ja) | 2022-09-06 |
Family
ID=67470700
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021500669A Active JP7132419B2 (ja) | 2018-07-11 | 2019-07-09 | 改善されたドレイン相互接続部及び/又はゲート相互接続部、並びにフィンガ構造 |
JP2022133786A Active JP7443437B2 (ja) | 2018-07-11 | 2022-08-25 | 改善されたドレイン相互接続部及び/又はゲート相互接続部、並びにフィンガ構造 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022133786A Active JP7443437B2 (ja) | 2018-07-11 | 2022-08-25 | 改善されたドレイン相互接続部及び/又はゲート相互接続部、並びにフィンガ構造 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US10763334B2 (ja) |
EP (1) | EP3821462A1 (ja) |
JP (2) | JP7132419B2 (ja) |
KR (2) | KR102531010B1 (ja) |
CN (1) | CN112424930A (ja) |
WO (1) | WO2020014199A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4318909A3 (en) * | 2011-05-05 | 2024-03-06 | PSEMI Corporation | Dc-dc converter with modular stages |
US10763334B2 (en) | 2018-07-11 | 2020-09-01 | Cree, Inc. | Drain and/or gate interconnect and finger structure |
US10600746B2 (en) | 2018-07-19 | 2020-03-24 | Cree, Inc. | Radio frequency transistor amplifiers and other multi-cell transistors having gaps and/or isolation structures between groups of unit cell transistors |
US10770415B2 (en) | 2018-12-04 | 2020-09-08 | Cree, Inc. | Packaged transistor devices with input-output isolation and methods of forming packaged transistor devices with input-output isolation |
US11417746B2 (en) | 2019-04-24 | 2022-08-16 | Wolfspeed, Inc. | High power transistor with interior-fed fingers |
US10720913B1 (en) * | 2019-05-28 | 2020-07-21 | Infineon Technologies Austria Ag | Integrated failsafe pulldown circuit for GaN switch |
CN112447834A (zh) * | 2019-08-30 | 2021-03-05 | 广东致能科技有限公司 | 半导体器件及其制造方法 |
US10958268B1 (en) | 2019-09-04 | 2021-03-23 | Infineon Technologies Austria Ag | Transformer-based driver for power switches |
US10979032B1 (en) | 2020-01-08 | 2021-04-13 | Infineon Technologies Austria Ag | Time-programmable failsafe pulldown circuit for GaN switch |
EP4016611A1 (en) * | 2020-12-21 | 2022-06-22 | Nxp B.V. | Metal oxide semicondutor device and method of construction therefor |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5744843A (en) * | 1996-08-28 | 1998-04-28 | Texas Instruments Incorporated | CMOS power device and method of construction and layout |
JP2002299351A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Fujitsu Quantum Devices Ltd | 電力増幅用半導体装置 |
JP2007173731A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JP2010147254A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置 |
US20110102077A1 (en) * | 2009-10-30 | 2011-05-05 | Freescale Semiconductor, Inc. | Semiconductor device with feedback control |
JP2011524079A (ja) * | 2008-05-07 | 2011-08-25 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | エレクトロマイグレーション対応のfetトランジスタ |
US9653410B1 (en) * | 2016-03-15 | 2017-05-16 | Nxp Usa, Inc. | Transistor with shield structure, packaged device, and method of manufacture |
US20180190814A1 (en) * | 2016-12-29 | 2018-07-05 | Texas Instruments Incorporated | Laterally Diffused Metal Oxide Semiconductor with Gate Poly Contact within Source Window |
Family Cites Families (93)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS555915B2 (ja) | 1975-01-14 | 1980-02-12 | ||
US4498093A (en) | 1981-09-14 | 1985-02-05 | At&T Bell Laboratories | High-power III-V semiconductor device |
US4721986A (en) | 1984-02-21 | 1988-01-26 | International Rectifier Corporation | Bidirectional output semiconductor field effect transistor and method for its maufacture |
US5025296A (en) | 1988-02-29 | 1991-06-18 | Motorola, Inc. | Center tapped FET |
EP0606350B1 (en) | 1991-09-30 | 1998-05-13 | Luminis Pty. Limited | Gallium arsenide mesfet imager |
JPH0643970A (ja) | 1992-07-24 | 1994-02-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 情報記憶媒体とこの情報記憶媒体に使用される情報記憶媒体用機能ブロックとこの情報記憶媒体を使用した情報記憶装置 |
US5430247A (en) | 1993-08-31 | 1995-07-04 | Motorola, Inc. | Twisted-pair planar conductor line off-set structure |
US5592006A (en) | 1994-05-13 | 1997-01-07 | International Rectifier Corporation | Gate resistor for IGBT |
US6023086A (en) | 1997-09-02 | 2000-02-08 | Motorola, Inc. | Semiconductor transistor with stabilizing gate electrode |
US6316793B1 (en) | 1998-06-12 | 2001-11-13 | Cree, Inc. | Nitride based transistors on semi-insulating silicon carbide substrates |
US6169302B1 (en) * | 1999-07-27 | 2001-01-02 | Advanced Micro Devices, Inc. | Determination of parasitic capacitance between the gate and drain/source local interconnect of a field effect transistor |
JP2001094094A (ja) | 1999-09-21 | 2001-04-06 | Hitachi Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
US6274896B1 (en) | 2000-01-14 | 2001-08-14 | Lexmark International, Inc. | Drive transistor with fold gate |
SE520109C2 (sv) | 2000-05-17 | 2003-05-27 | Ericsson Telefon Ab L M | Effekttransistorer för radiofrekvenser |
JP4322414B2 (ja) | 2000-09-19 | 2009-09-02 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置 |
JP3542116B2 (ja) | 2000-09-29 | 2004-07-14 | ユーディナデバイス株式会社 | 高周波回路 |
US6548333B2 (en) | 2000-12-01 | 2003-04-15 | Cree, Inc. | Aluminum gallium nitride/gallium nitride high electron mobility transistors having a gate contact on a gallium nitride based cap segment |
US6849882B2 (en) | 2001-05-11 | 2005-02-01 | Cree Inc. | Group-III nitride based high electron mobility transistor (HEMT) with barrier/spacer layer |
JP2003007727A (ja) | 2001-06-22 | 2003-01-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 化合物半導体装置 |
JP2003115732A (ja) | 2001-10-03 | 2003-04-18 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JP2003168736A (ja) | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Hitachi Ltd | 半導体素子及び高周波電力増幅装置並びに無線通信機 |
US7030428B2 (en) | 2001-12-03 | 2006-04-18 | Cree, Inc. | Strain balanced nitride heterojunction transistors |
US6982204B2 (en) | 2002-07-16 | 2006-01-03 | Cree, Inc. | Nitride-based transistors and methods of fabrication thereof using non-etched contact recesses |
JP2005183770A (ja) | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Mitsubishi Electric Corp | 高周波用半導体装置 |
US7045404B2 (en) | 2004-01-16 | 2006-05-16 | Cree, Inc. | Nitride-based transistors with a protective layer and a low-damage recess and methods of fabrication thereof |
US7135747B2 (en) | 2004-02-25 | 2006-11-14 | Cree, Inc. | Semiconductor devices having thermal spacers |
GB0416174D0 (en) | 2004-07-20 | 2004-08-18 | Koninkl Philips Electronics Nv | Insulated gate field effect transistors |
US7238560B2 (en) | 2004-07-23 | 2007-07-03 | Cree, Inc. | Methods of fabricating nitride-based transistors with a cap layer and a recessed gate |
US7288803B2 (en) | 2004-10-01 | 2007-10-30 | International Rectifier Corporation | III-nitride power semiconductor device with a current sense electrode |
JP2006156902A (ja) | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Mitsubishi Electric Corp | 高周波用半導体装置 |
JP5011549B2 (ja) | 2004-12-28 | 2012-08-29 | 株式会社村田製作所 | 半導体装置 |
US7956421B2 (en) | 2008-03-13 | 2011-06-07 | Tela Innovations, Inc. | Cross-coupled transistor layouts in restricted gate level layout architecture |
US7692223B2 (en) * | 2006-04-28 | 2010-04-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US7492235B2 (en) | 2006-10-25 | 2009-02-17 | Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Transmission line transistor attenuator |
JP5300238B2 (ja) | 2006-12-19 | 2013-09-25 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体装置 |
US20080157222A1 (en) | 2006-12-27 | 2008-07-03 | Mediatek Inc. | Rf integrated circuit device |
US9741673B2 (en) | 2007-06-22 | 2017-08-22 | Cree, Inc. | RF transistor packages with high frequency stabilization features and methods of forming RF transistor packages with high frequency stabilization features |
US8076994B2 (en) | 2007-06-22 | 2011-12-13 | Cree, Inc. | RF power transistor packages with internal harmonic frequency reduction and methods of forming RF power transistor packages with internal harmonic frequency reduction |
JP2009016686A (ja) | 2007-07-06 | 2009-01-22 | Toshiba Corp | 高周波用トランジスタ |
US8026596B2 (en) | 2007-08-15 | 2011-09-27 | International Rectifier Corporation | Thermal designs of packaged gallium nitride material devices and methods of packaging |
JP5106041B2 (ja) | 2007-10-26 | 2012-12-26 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
US20120012908A1 (en) | 2009-03-30 | 2012-01-19 | Koji Matsunaga | Semiconductor device |
JP5238633B2 (ja) | 2009-07-27 | 2013-07-17 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
WO2011114535A1 (ja) | 2010-03-19 | 2011-09-22 | 富士通株式会社 | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
JP5457292B2 (ja) | 2010-07-12 | 2014-04-02 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体装置 |
JP5185341B2 (ja) | 2010-08-19 | 2013-04-17 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2012084743A (ja) | 2010-10-13 | 2012-04-26 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置及び電源装置 |
JP2012182438A (ja) | 2011-02-08 | 2012-09-20 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP5733616B2 (ja) | 2011-04-21 | 2015-06-10 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体装置 |
WO2012176399A1 (ja) | 2011-06-24 | 2012-12-27 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体装置 |
JP2013183061A (ja) | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
US20130313653A1 (en) | 2012-05-25 | 2013-11-28 | Infineon Technologies Austria Ag | MOS Transistor with Multi-finger Gate Electrode |
JP5580365B2 (ja) | 2012-05-29 | 2014-08-27 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 電流制御回路およびこれを用いたpll回路 |
JP5983117B2 (ja) | 2012-07-11 | 2016-08-31 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
JP2014078568A (ja) | 2012-10-09 | 2014-05-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置 |
JP6043970B2 (ja) | 2012-12-21 | 2016-12-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体装置 |
JP5940481B2 (ja) | 2013-03-22 | 2016-06-29 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
US9788466B2 (en) | 2013-04-16 | 2017-10-10 | Skyworks Solutions, Inc. | Apparatus and methods related to ground paths implemented with surface mount devices |
US10833185B2 (en) | 2013-09-10 | 2020-11-10 | Delta Electronics, Inc. | Heterojunction semiconductor device having source and drain pads with improved current crowding |
US10236236B2 (en) | 2013-09-10 | 2019-03-19 | Delta Electronics, Inc. | Heterojunction semiconductor device for reducing parasitic capacitance |
TWI577022B (zh) | 2014-02-27 | 2017-04-01 | 台達電子工業股份有限公司 | 半導體裝置與應用其之半導體裝置封裝體 |
US9741653B2 (en) | 2013-09-18 | 2017-08-22 | Skyworks Solutions, Inc. | Devices and methods related to radio-frequency switches having reduced-resistance metal layout |
JP6211867B2 (ja) | 2013-09-24 | 2017-10-11 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP6199147B2 (ja) | 2013-10-02 | 2017-09-20 | トランスフォーム・ジャパン株式会社 | 電界効果型化合物半導体装置及びその製造方法 |
JP5505915B1 (ja) | 2013-10-30 | 2014-05-28 | 太陽誘電株式会社 | 通信モジュール |
JP6219140B2 (ja) | 2013-11-22 | 2017-10-25 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
US9450547B2 (en) | 2013-12-12 | 2016-09-20 | Freescale Semiconductor, Inc. | Semiconductor package having an isolation wall to reduce electromagnetic coupling |
CN103730346B (zh) * | 2013-12-24 | 2016-08-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示装置 |
US9673164B2 (en) | 2014-04-25 | 2017-06-06 | Nxp Usa, Inc. | Semiconductor package and system with an isolation structure to reduce electromagnetic coupling |
US9641163B2 (en) | 2014-05-28 | 2017-05-02 | Cree, Inc. | Bandwidth limiting methods for GaN power transistors |
JP6600491B2 (ja) | 2014-07-31 | 2019-10-30 | エイブリック株式会社 | Esd素子を有する半導体装置 |
US9564861B2 (en) | 2014-10-31 | 2017-02-07 | Nxp Usa, Inc. | Broadband radio frequency power amplifiers, and methods of manufacture thereof |
JP2016100471A (ja) | 2014-11-21 | 2016-05-30 | 住友電気工業株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
WO2016181954A1 (ja) | 2015-05-11 | 2016-11-17 | 株式会社村田製作所 | 高周波モジュール |
US9986639B2 (en) | 2015-06-29 | 2018-05-29 | Analog Devices Global | Vertical magnetic barrier for integrated electronic module and related methods |
US9607953B1 (en) | 2016-02-24 | 2017-03-28 | Nxp Usa, Inc. | Semiconductor package with isolation wall |
US10128365B2 (en) | 2016-03-17 | 2018-11-13 | Cree, Inc. | Bypassed gate transistors having improved stability |
US9786660B1 (en) * | 2016-03-17 | 2017-10-10 | Cree, Inc. | Transistor with bypassed gate structure field |
JP6724546B2 (ja) | 2016-05-24 | 2020-07-15 | Tdk株式会社 | 電子部品パッケージ |
US10249725B2 (en) | 2016-08-15 | 2019-04-02 | Delta Electronics, Inc. | Transistor with a gate metal layer having varying width |
CN109863592B (zh) | 2016-10-24 | 2022-12-20 | 三菱电机株式会社 | 高频放大器 |
US9979361B1 (en) | 2016-12-27 | 2018-05-22 | Nxp Usa, Inc. | Input circuits for RF amplifier devices, and methods of manufacture thereof |
US10515924B2 (en) | 2017-03-10 | 2019-12-24 | Skyworks Solutions, Inc. | Radio frequency modules |
CN106941121B (zh) * | 2017-05-16 | 2019-11-26 | 厦门天马微电子有限公司 | 一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示装置 |
US9917104B1 (en) | 2017-06-19 | 2018-03-13 | Tower Semiconductor Ltd. | Hybrid MOS-PCM CMOS SOI switch |
US10270402B1 (en) | 2017-11-30 | 2019-04-23 | Nxp Usa, Inc. | Broadband input matching and video bandwidth circuits for power amplifiers |
US10763334B2 (en) * | 2018-07-11 | 2020-09-01 | Cree, Inc. | Drain and/or gate interconnect and finger structure |
US10483352B1 (en) * | 2018-07-11 | 2019-11-19 | Cree, Inc. | High power transistor with interior-fed gate fingers |
US10600746B2 (en) | 2018-07-19 | 2020-03-24 | Cree, Inc. | Radio frequency transistor amplifiers and other multi-cell transistors having gaps and/or isolation structures between groups of unit cell transistors |
US10506704B1 (en) | 2018-08-21 | 2019-12-10 | Nxp Usa, Inc. | Electromagnetically-shielded microelectronic assemblies and methods for the fabrication thereof |
US10593619B1 (en) | 2018-08-28 | 2020-03-17 | Nsp Usa, Inc. | Transistor shield structure, packaged device, and method of manufacture |
US10886399B2 (en) | 2018-09-07 | 2021-01-05 | Nxp Usa, Inc. | High voltage semiconductor device and method of fabrication |
US11417746B2 (en) | 2019-04-24 | 2022-08-16 | Wolfspeed, Inc. | High power transistor with interior-fed fingers |
-
2019
- 2019-04-04 US US16/375,398 patent/US10763334B2/en active Active
- 2019-07-09 CN CN201980046430.8A patent/CN112424930A/zh active Pending
- 2019-07-09 KR KR1020227035996A patent/KR102531010B1/ko active IP Right Grant
- 2019-07-09 KR KR1020217001438A patent/KR102457015B1/ko active IP Right Grant
- 2019-07-09 EP EP19745890.4A patent/EP3821462A1/en active Pending
- 2019-07-09 JP JP2021500669A patent/JP7132419B2/ja active Active
- 2019-07-09 WO PCT/US2019/040960 patent/WO2020014199A1/en unknown
-
2020
- 2020-08-20 US US16/998,287 patent/US11424333B2/en active Active
-
2022
- 2022-06-07 US US17/834,395 patent/US11757013B2/en active Active
- 2022-08-25 JP JP2022133786A patent/JP7443437B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5744843A (en) * | 1996-08-28 | 1998-04-28 | Texas Instruments Incorporated | CMOS power device and method of construction and layout |
JP2002299351A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Fujitsu Quantum Devices Ltd | 電力増幅用半導体装置 |
JP2007173731A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Mitsumi Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JP2011524079A (ja) * | 2008-05-07 | 2011-08-25 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | エレクトロマイグレーション対応のfetトランジスタ |
JP2010147254A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置 |
US20110102077A1 (en) * | 2009-10-30 | 2011-05-05 | Freescale Semiconductor, Inc. | Semiconductor device with feedback control |
US9653410B1 (en) * | 2016-03-15 | 2017-05-16 | Nxp Usa, Inc. | Transistor with shield structure, packaged device, and method of manufacture |
US20180190814A1 (en) * | 2016-12-29 | 2018-07-05 | Texas Instruments Incorporated | Laterally Diffused Metal Oxide Semiconductor with Gate Poly Contact within Source Window |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102457015B1 (ko) | 2022-10-21 |
WO2020014199A1 (en) | 2020-01-16 |
US10763334B2 (en) | 2020-09-01 |
US11424333B2 (en) | 2022-08-23 |
EP3821462A1 (en) | 2021-05-19 |
US20200381527A1 (en) | 2020-12-03 |
KR20210020143A (ko) | 2021-02-23 |
US11757013B2 (en) | 2023-09-12 |
KR102531010B1 (ko) | 2023-05-11 |
JP7443437B2 (ja) | 2024-03-05 |
CN112424930A (zh) | 2021-02-26 |
KR20220147694A (ko) | 2022-11-03 |
US20200020779A1 (en) | 2020-01-16 |
JP7132419B2 (ja) | 2022-09-06 |
US20220302272A1 (en) | 2022-09-22 |
JP2022169706A (ja) | 2022-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102586156B1 (ko) | 내부-급전 핑거들을 갖는 고전력 트랜지스터 | |
JP7443437B2 (ja) | 改善されたドレイン相互接続部及び/又はゲート相互接続部、並びにフィンガ構造 | |
US10483352B1 (en) | High power transistor with interior-fed gate fingers | |
US10600746B2 (en) | Radio frequency transistor amplifiers and other multi-cell transistors having gaps and/or isolation structures between groups of unit cell transistors | |
US7135747B2 (en) | Semiconductor devices having thermal spacers | |
KR102632903B1 (ko) | 트랜지스터 레벨 입력 및 출력 고조파 종단들 | |
US5287072A (en) | Semiconductor device for improving high-frequency characteristics and avoiding chip cracking | |
US8357979B2 (en) | Electronic device comprising a field effect transistor for high-frequency applications |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210304 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210304 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220517 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220722 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220802 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220825 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7132419 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |