JP2016100471A - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電流コラプスの抑制が可能な半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】半導体装置は、第1の窒化物半導体層を含むチャネル層と、チャネル層上に設けられた、Alを含有する第2の窒化物半導体層を含む電子供給層と、電子供給層上に設けられた、ゲート電極、ソース電極およびドレイン電極と、を備える。第2の窒化物半導体に含有される酸素の濃度は、炭素の濃度よりも高い。【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置及び半導体装置の製造方法に関する。
近年、高出力及び高耐圧を有する半導体装置(パワー半導体デバイス)として、窒化ガリウム(GaN)系材料を用いた高電子移動度トランジスタ(HEMT)が知られている。GaN系材料を含むチャネル層を有するHEMTに高いドレイン電圧が印加されると、ドレイン電流が減少する現象(電流コラプス)が起きる。例えば特許文献1には、電流コラプスを抑制するため、ゲート電極とドレイン電極との間におけるGaN系キャップ層の表面に、第1の絶縁膜が設けられている。
上記特許文献1に開示される技術では、GaN系半導体層におけるチャネル層上の電子供給層に起因した電流コラプスの影響について、考慮されていない。このため、電子供給層を考慮することにより電流コラプスを抑制できる可能性がある。
本発明は、電流コラプスの抑制が可能な半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の一形態に係る半導体装置は、第1の窒化物半導体層を含むチャネル層と、チャネル層上に設けられた、Alを含有する第2の窒化物半導体層を含む電子供給層と、電子供給層上に設けられた、ゲート電極、ソース電極およびドレイン電極と、を備え、第2の窒化物半導体に含有される酸素の濃度は、第2の窒化物半導体に含有される炭素の濃度よりも高い。
本発明の別の一形態に係る半導体装置の製造方法は、チャンバ内において、第1の窒化物半導体層を含むチャネル層上に、Alを含む第2の窒化物半導体層を含む電子供給層を形成する工程と、第2の窒化物半導体層上にゲート電極、ソース電極、及びドレイン電極を形成する工程と、を備え、第2の窒化物半導体層内の酸素の濃度は、第2の窒化物半導体層内の炭素の濃度よりも高く、第2の窒化物半導体層を形成する工程では、III族ガスの流量F1に対するV族ガスの流量F2の比率(F2/F1)が5000以上20000以下、および第2の窒化物半導体層の成長速度は、0.2nm/sec以下のいずれかに設定されている。
本発明によれば、電流コラプスの抑制が可能な半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供できる。
[本願発明の実施形態の説明]
最初に本願発明の実施形態の内容を列記して説明する。本願発明の一実施形態は、第1の窒化物半導体層を含むチャネル層と、チャネル層上に設けられた、Alを含有する第2の窒化物半導体層を含む電子供給層と、電子供給層上に設けられた、ゲート電極、ソース電極およびドレイン電極と、を備え、第2の窒化物半導体に含有される酸素の濃度は、第2の窒化物半導体に含有される炭素の濃度よりも高い半導体装置である。
最初に本願発明の実施形態の内容を列記して説明する。本願発明の一実施形態は、第1の窒化物半導体層を含むチャネル層と、チャネル層上に設けられた、Alを含有する第2の窒化物半導体層を含む電子供給層と、電子供給層上に設けられた、ゲート電極、ソース電極およびドレイン電極と、を備え、第2の窒化物半導体に含有される酸素の濃度は、第2の窒化物半導体に含有される炭素の濃度よりも高い半導体装置である。
この半導体装置によれば、第1の窒化物半導体層上に形成された第2の窒化物半導体層の酸素の濃度は、当該第2の窒化物半導体層の炭素の濃度よりも高くなっている。第2の窒化物半導体層において、酸素はドナーとして働くと共に炭素はアクセプタとして働く。これにより、第1の窒化物半導体層表面付近に流れる電子が第2の窒化物半導体層内の炭素によって捕獲されることが抑制される。当該半導体装置における第1の窒化物半導体層はチャネル層に含まれ、上記第2の窒化物半導体層は電子供給層に含まれるので、チャネル層表面付近を流れる電子が電子供給層内にトラップされにくくなる。したがって、半導体装置における電流コラプスを抑制することが可能になる。
また、第2の窒化物半導体層内のAlは、略均一に分散していてもよい。この場合、第2の窒化物半導体層の品質が安定するため、半導体装置における局所的な電流コラプスの発生及び抑制が生じにくくなる。
第2の窒化物半導体層は、成長条件を一定に保持することにより形成された単層構造を有してもよい。この場合、第2の窒化物半導体層は安定した品質を有する単層構造を有するため、半導体装置における局所的な電流コラプスの発生及び抑制が生じにくくなる。
また、第2の窒化物半導体層内における炭素の濃度の平均は、1×1018atoms/cm3以下であり、第2の窒化物半導体層内における酸素の濃度の平均は、1×1018atoms/cm3以下であってもよい。この場合、第2の窒化物半導体層における炭素の影響が小さくなるため、第2の窒化物半導体層内の炭素による電流コラプスの発生が抑制される。
また、第2の窒化物半導体層内の全ての領域において、酸素の濃度は、炭素の濃度よりも高くてもよい。この場合、半導体装置における局所的な電流コラプスの発生及び抑制が生じにくくなる。
また、第1の窒化物半導体層と第2の窒化物半導体層との間に形成されたAlxGa1-xNを含むi型のスペーサ層を有し、スペーサ層のAlの組成xは、下限値が第2の窒化物半導体層のAl組成と同じであり、上限値が1.0の範囲に含まれてもよい。この場合、スペーサ層によってチャネル層と電子供給層とを良好に分離できる。これにより、チャネル層における電子移動度の低下を抑制し、電流量が大きくなるので、半導体装置における局所的な電流コラプスの抑制が生じにくくなる。
第2の窒化物半導体層のシリコンの濃度は、スペーサ層のシリコンの濃度よりも高くてもよい。この場合、半導体装置における局所的な電流コラプスの抑制がより生じにくくなる。
また、本願発明の異なる一実施形態は、チャンバ内において、第1の窒化物半導体層を含むチャネル層上に、Alを含む第2の窒化物半導体層を含む電子供給層を形成する工程と、第2の窒化物半導体層上にゲート電極、ソース電極、及びドレイン電極を形成する工程と、を備え、第2の窒化物半導体層内の酸素の濃度は、第2の窒化物半導体層内の炭素の濃度よりも高く、第2の窒化物半導体層を形成する工程では、III族ガスの流量F1に対するV族ガスの流量F2の比率(F2/F1)が5000以上20000以下、および第2の窒化物半導体層の成長速度は、0.2nm/sec以下のいずれかに設定されている半導体装置の製造方法である。
この半導体装置の製造方法によれば、第1の窒化物半導体層上に形成された第2の窒化物半導体層は、酸素の濃度が炭素の濃度よりも高くなる条件に基づいて形成される。第2の窒化物半導体層において、酸素はドナーとして働くと共に炭素はアクセプタとして働く。これにより、第1の窒化物半導体層表面付近に流れる電子が第2の窒化物半導体層内の炭素によって捕獲されることが抑制される。該半導体装置における第1の窒化物半導体層はチャネル層に含まれ、上記第2の窒化物半導体層は電子供給層に含まれるので、チャネル層表面付近を流れる電子が電子供給層内にトラップされにくくなる。したがって、半導体装置における電流コラプスを抑制することが可能になる。
また、第2の窒化物半導体層内のAlは、略均一に分散していてもよい。この場合、第2の窒化物半導体層の品質が安定するため、半導体装置における局所的な電流コラプスの発生及び抑制が生じにくくなる。
第2の窒化物半導体層は、成長条件を一定に保持することにより形成された単層構造を有してもよい。この場合、第2の窒化物半導体層は安定した品質を有する単層構造を有するため、半導体装置における局所的な電流コラプスの発生及び抑制が生じにくくなる。
また、第2の窒化物半導体層内における炭素の濃度の平均は、1×1018atoms/cm3以下であり、第2の窒化物半導体層内における酸素の濃度の平均は、1×1018atoms/cm3以下であってもよい。この場合、第2の窒化物半導体層における炭素の影響が小さくなるため、第2の窒化物半導体層内の炭素による電流コラプスの発生が抑制される。
また、第2の窒化物半導体層内の全ての領域において、酸素の濃度は、炭素の濃度よりも高くてもよい。この場合、半導体装置における局所的な電流コラプスの発生及び抑制が生じにくくなる。
また、第2の窒化物半導体層を形成する工程の前に、第1の窒化物半導体層上にAlxGa1-xNを含むi型のスペーサ層を形成する工程をさらに備え、スペーサ層のAlの組成xは、下限値が第2の窒化物半導体層のAl組成と同じであり、上限値が1.0の範囲に含まれてもよい。この場合、スペーサ層によってチャネル層と電子供給層とを良好に分離できる。これにより、チャネル層における電子移動度の低下を抑制し、電流量が大きくなるので、半導体装置における局所的な電流コラプスの抑制が生じにくくなる。
第2の窒化物半導体層のシリコンの濃度は、スペーサ層のシリコンの濃度よりも高くてもよい。この場合、半導体装置における局所的な電流コラプスの抑制がより生じにくくなる。
[本願発明の実施形態の詳細]
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
図1は、本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。図1に示されるように、半導体装置であるトランジスタ1は、基板2、バッファ層3、チャネル層4、電子供給層5、キャップ層6、ソース電極7、ドレイン電極8、ゲート電極9、及び保護膜10を備えている。
基板2は、結晶成長用の基板である。基板2として、例えばSi基板、SiC基板、又はサファイア基板が挙げられる。本実施形態では、基板2は半絶縁性のSiC基板である。また、バッファ層3は、基板2の表面2aからエピタキシャル成長した層である。バッファ層3の膜厚は、例えば30nm〜200nmである。バッファ層3は、例えばAlN層である。バッファ層3と接触する基板2の表面2aの格子面は、揃っていてもよいし、揃っていなくてもよい。
チャネル層4は、GaN系の半導体層(第1の窒化物半導体層)であり、バッファ層3の表面3aからエピタキシャル成長した層である。チャネル層4は、例えばGaN層である。チャネル層4の膜厚は、例えば300nm〜1400nmである。チャネル層4と後述する電子供給層5との界面に2次元電子ガス(2DEG)が生じることにより、チャネル層4の表面4a付近には、チャネル領域11が形成される。
電子供給層5は、Alを含んだGaN系の半導体層(第2の窒化物半導体層)であり、チャネル層4の表面4aからエピタキシャル成長した層である。電子供給層5は、例えばAlを含んだGaN層(AlGaN層)であり、その膜厚は、例えば10nm〜30nmである。例えば、電子供給層5は、AlInGaN層でもよい。電子供給層5におけるAlの組成(組成比)は例えば10%〜30%(0.1〜0.3)である。当該Alは電子供給層5内に略均一に分散していることが望ましい。すなわち、電子供給層5におけるAlの含有量は、ばらつきがなく、一定の濃度に設定されていることが望ましい。また、電子供給層5には、酸素及び炭素が含まれている。二次イオン質量分析法(SIMS:Secondary Ion Mass Spectrometry)にて測定した、電子供給層5内における酸素濃度及び炭素濃度の最大値は、例えば1×1018atoms/cm3以下である。電子供給層5内における酸素濃度及び炭素濃度の最小値は、例えばSIMSの測定限界以下であればよい。ここで、本実施形態の電子供給層5内における酸素の濃度及び炭素の濃度は、電子供給層5内における酸素の濃度の平均及び炭素の濃度の平均(平均酸素濃度及び平均炭素濃度)とする。この場合、電子供給層5内における平均酸素濃度及び平均炭素濃度は、1×1018atoms/cm3以下であればよい。また、電子供給層5内における平均酸素濃度は、平均炭素濃度よりも高くなっている。当該電子供給層5内の全ての領域において、酸素濃度は炭素濃度よりも高くなっていることが望ましい。
キャップ層6は、電子供給層5の表面5aからエピタキシャル成長した層である。キャップ層6の膜厚は、例えば1nm〜10nmである。キャップ層6は、例えばGaN層である。このGaN層は、n型化していてもよい。
ソース電極7及びドレイン電極8は、キャップ層6及び電子供給層5の一部が除去されることによって形成されるリセス(溝)R1,R2にそれぞれ設けられている。ソース電極7及びドレイン電極8は、オーミック電極であり、例えばチタン(Ti)層とアルミニウム(Al)層との積層構造を有する。この場合、電子供給層5とチタン層とが接触する。アルミニウム層は、膜厚方向においてチタン層によって挟まれていてもよい。
ゲート電極9は、キャップ層6上であって、ソース電極7とドレイン電極8との間に設けられている。ゲート電極9は、例えばニッケル(Ni)層と金(Au)層との積層構造を有する。ゲート電極9は、電子供給層5の表面5a上に設けられてもよい。
保護膜10は、キャップ層6の表面6aを覆うように設けられており、当該キャップ層6等を保護する。保護膜10は、例えば窒化ケイ素(SiN)膜である。
絶縁膜12は、ソース電極7、ドレイン電極8、リセスR1,R2にて露出している電子供給層5とキャップ層6、及び保護膜10を覆うように設けられている。絶縁膜12は、例えば窒化ケイ素(SiN)膜である。
次に、図2〜図4を用いながら本実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明する。図2の(a)〜(c)、図3の(a)、(b)及び図4の(a)〜(c)は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。
まず、図2の(a)に示されるように、第1ステップとして、半絶縁性のSiC基板である基板2上に、有機金属気相成長法(以下、OMVPE(Organometallic Vapor Phase Epitaxy)法とする)によってバッファ層3を成長する。例えば、原料ガスとしてAl原料ガス及びN原料ガスを供給し、1000℃〜1150℃、及び圧力約13.7kPaの条件下において、膜厚50nmのバッファ層3を基板2上に成長する。本実施形態におけるAl原料ガス(III族ガス)は、トリメチルアルミニウムガス(以下、TMA(Tri-Methyl-Aluminum)ガスとする)であり、N原料ガス(V族ガス)は、アンモニアガスである。N原料ガスの流量は、例えば0.5mol/minとする。
次に、図2の(b)に示されるように、第2ステップとして、所定の温度にてバッファ層3に対して熱処理を行う。ここで、所定温度は、バッファ層3の成長温度よりも高ければよい。所定温度がバッファ層3の成長温度よりも高いことにより、バッファ層3の表面3a上の不純物を昇華することができる。
次に、図2の(c)に示されるように、第3ステップとして、バッファ層3の表面3a上にOMVPE法によってチャネル層4を成長する。例えば、原料ガスとしてGa原料ガス(III族ガス)及びN原料ガスを供給し、1000℃〜1100℃、及び圧力約13.6kPaの条件下において、膜厚1000nmのチャネル層4をバッファ層3上に成長する。本実施形態におけるGa原料ガスは、トリメチルガリウムガス(以下、TMG(Tri-Methyl-Gallium)ガスとする)である。N原料ガスの流量は例えば0.5mol/minとし、Ga原料ガスの流量は例えば120μmol/minとする。
次に、図3の(a)に示されるように、第4ステップとして、チャネル層4の表面4a上にOMVPE法によって、電子供給層5であるAlGaN層を成長する。例えば、原料ガスとしてAl原料ガス、N原料ガス及びGa原料ガスを供給し、1000℃〜1100℃、圧力50Torr以上200Torr以下(約6.7kPa以上26.7kPa以下)、及び成膜レート0.2nm/sec以下の条件下において、膜厚20nmの電子供給層5をチャネル層4上に成長する。電子供給層5の成長温度は、チャネル層4の成長温度以下(例えば1000℃〜1100℃)に設定されている。電子供給層5を成長する条件は一定に保持されており、当該電子供給層5は単層構造を有する。また、原料ガスには不純物として酸素が含まれており、この酸素の一部が電子供給層5に含まれる。上記電子供給層5が形成されることにより、チャネル層4と電子供給層5との界面に2次元電子ガス(2DEG)が生じ、チャネル層4の表面4a付近にはチャネル領域11が形成される。
ここで、上記第4ステップにおいて、Al原料ガス及びGa原料ガス(III族ガス)の合計流量をF1とし、N原料ガス(V族ガス)の流量をF2とする。この場合、III族ガスの流量に対するV族ガスの流量の比率(F2/F1)は、5000以上20000以下に設定される。この比率(F2/F1)を5000以上に設定することにより、電子供給層5に含まれる酸素濃度を炭素濃度よりも高くすることができる。また、上記比率(F2/F1)を20000以下に設定することにより、チャンバ内でAl原料ガスがチャネル層4の表面4aに到達する前に反応することを抑制し、電子供給層5の結晶性を向上することができる。あるいは、成膜レートを0.2nm/sec以下にすることでも、電子供給層5に含まれる酸素濃度を炭素濃度よりも高くすることができる。すなわち、本発明では、少なくとも、III族ガスの流量に対するV族ガスの流量の比率(F2/F1)および成膜レートの何れかの条件を満たすように電子供給層5を成長すればよい。例えば、上記第4ステップにおいて、N原料ガスの流量は例えば0.5mol/minとし、Al原料ガス及びGa原料ガスの合計流量は例えば50μmol/minとする。このように、発明者の鋭意研究の結果得られた電子供給層5の成長条件(原料ガスの流量、成長温度、及び成膜レート)を調整することによって、チャンバ内に流入される炭素を制御でき、さらに当該電子供給層5内の酸素濃度を炭素濃度よりも高くすることが可能になる。なお、上述した成長条件によって電子供給層5の炭素濃度を調整できることが導かれたのは、発明者の次の知見からである。通常、電子供給層5となるAlGaN層をOMVPE法により成膜した場合、原料である有機金属から酸素、炭素及びシリコン等が、不純物として電子供給層5内に取り込まれてしまう。そのため、酸素は、AlGaN層を成長する時のAl原料に起因して一定量入ってしまうが、炭素は成長条件を調整することで制御できる。
また、図3の(b)に示されるように、第5ステップとして、電子供給層5の表面5a上にOMVPE法によって、キャップ層6であるGaN層を成長する。例えば、原料ガスとしてN原料ガス及びGa原料ガスを供給し、1000℃、及び約13.3kPaの条件下において、膜厚5nmのキャップ層6を電子供給層5上に成長する。
次に、図4の(a)に示されるように、第6ステップとして、露出された電子供給層5の表面5a上に保護膜10を形成した後に、レジストマスクを保護膜10上に形成する。そして、ソース電極及びドレイン電極が設けられる領域の保護膜10を除去して開口部を形成する。その後、キャップ層6および電子供給層5の一部をエッチングして、リセスR1,R2を形成する。
次に、図4の(b)に示されるように、第7ステップとして、ソース電極7及びドレイン電極8を形成する。例えば、チタン(Ti)及びアルミニウム(Al)を順番に蒸着することによって、ソース電極7及びドレイン電極8を形成する。そのステップの後、ソース電極7及びドレイン電極8を被覆する絶縁膜12を形成する。
次に、図4の(c)に示されるように、第9ステップとして、ゲート電極9をキャップ層6上に設ける。ゲート電極9を設ける前に、例えば開口を有するレジストマスクを絶縁膜12上に形成し、絶縁膜12の一部及び保護膜10の一部をエッチングによって除去する。そして、キャップ層6が露出された領域にゲート電極9を設ける。例えば、ニッケル(Ni)及び金(Au)を順番に蒸着することによってゲート電極9を形成する。以上により、トランジスタ1を形成する。
以上に説明した、本実施形態の半導体装置によって得られる効果について説明する。本実施形態の半導体装置であるトランジスタ1は、チャネル層4と電子供給層5との間に発生する2次元電子ガスを利用するトランジスタである。この2次元電子ガスの一部は、例えばチャネル層4内及び電子供給層5内の電子トラップにより捕獲される。これにより、トランジスタ1のピンチオフ時に2次元電子ガスの濃度が減少し、電流コラプスが発生する。上記電子トラップとして、例えば結晶欠陥又はアクセプタ等が挙げられる。電子供給層5内に含まれる炭素はアクセプタ型不純物として働くので、当該炭素濃度が高いほど電流コラプスが増加することとなる。
ここで、上述した製造方法によって形成されたトランジスタ1において、チャネル層4上に形成された電子供給層5の酸素の濃度は、当該電子供給層5の炭素の濃度よりも高くなっている。電子供給層5において酸素はドナー型不純物として働くので、当該電子供給層5内におけるアクセプタの影響が低減される。これにより、トランジスタ1のチャネル領域11を流れる電子が電子供給層5内にトラップされにくくなり、トランジスタ1における電流コラプスを抑制することが可能になる。
また、電子供給層5内のAlは、略均一に分散されていてもよい。この場合、電子供給層5の品質が安定するため、トランジスタ1における局所的な電流コラプスの発生及び抑制が生じにくくなる。
また、電子供給層5は、成長条件を一定に保持することにより形成された単層構造を有してもよい。この場合、電子供給層5は安定した品質を有する単層構造を有するため、トランジスタ1における局所的な電流コラプスの発生及び抑制が生じにくくなる。
また、電子供給層5内における炭素の濃度の平均は、1×1018atoms/cm3以下であり、電子供給層5内における酸素の濃度の平均は、1×1018atoms/cm3以下であってもよい。この場合、電子供給層5における炭素の影響(すなわち、炭素による電子トラップ)が小さくなるため、電子供給層5内の炭素による電流コラプスの発生が抑制される。
また、電子供給層5内の全ての領域において、酸素濃度は、炭素濃度よりも高くてもよい。この場合、トランジスタ1における局所的な電流コラプスの発生及び抑制が生じにくくなる。
本発明による半導体装置及び半導体装置の製造方法は、上述した実施形態に限られるものではなく、他に様々な変形が可能である。例えば、上記実施形態において、第2ステップであるバッファ層3に対する熱処理は、必ずしも行わなくてもよい。また、例えば上記実施形態に記載された条件を変更して、基板上にバッファ層等を形成してもよい。また、電子供給層5上にキャップ層6を必ずしも設けなくてもよい。
図5は、本実施形態の変形例に係る半導体装置を示す断面図である。図5に示されるように、トランジスタ1Aのチャネル層4と電子供給層5との間には、スペーサ層13が設けられている。スペーサ層13は、AlxGa1−XNを含む半導体層又は絶縁層であり、厚さは例えば数nm程度である。Xはスペーサ層13におけるAlの組成(組成比)を示している。Xの下限値は、電子供給層5のAl組成と同じく、0.1〜0.3である。Xの上限値は1.0である。すなわち、Xは、0.1〜1.0の範囲の任意の数値である。スペーサ層13が設けられることにより、チャネル層4と電子供給層5とを良好に分離できる。加えて、チャネル層4における電子移動度の低下を抑制し、電流量が大きくなるので、トランジスタ1Aにおける局所的な電流コラプスの抑制が生じにくくなる。
また、図5に示されるトランジスタ1Aの電子供給層5のシリコンの濃度は、スペーサ層13のシリコンの濃度よりも高くてもよい。この場合、トランジスタ1Aにおける局所的な電流コラプスの抑制がより生じにくくなる。
また、基板2の表面2a上にバッファ層3を形成する前に、基板2の熱処理を行ってもよい。基板2の熱処理は、例えばエピタキシャル成長装置のチャンバ内で行われる。当該熱処理では、例えば一定の割合でチャンバ内を昇温させた後、一定の温度で熱処理を行う。
本発明を以下の実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。
(実施例1)
まず、SiC基板上に、TMAガス及びアンモニアガスを用いたOMVPE法により、1100℃、及び圧力103torr(約13.7kPa)の条件下において、50nmの膜厚を有するAlN層を形成した。次に、AlN層上に、TMGガス及びアンモニアガスを用いたOMVPE法により、1100℃、及び圧力102torr(約13.6kPa)の条件下において、1000nmの膜厚を有するGaN層を形成した。そして、GaN層上に、TMAガス、TMGガス、及びアンモニアガスを用いたOMVPE法により、1000℃、圧力101torr(約13.4kPa)、及び成膜レート0.2nm/secの条件下において、20nmの膜厚を有するAlGaN層を形成した。なお、AlGaN層の形成時において、アンモニアガスの流量は0.5mol/minとし、TMAガス及びTMGガスの合計流量は、45μmol/minと設定した。すなわち、TMAガス及びTMGガスの合計流量に対するアンモニアガスの流量の比率は、10000とした。これにより、SiC基板上にAlN層、GaN層、及びAlGaN層が順に積層された測定試料(以下、単に積層体とする)を準備した。
まず、SiC基板上に、TMAガス及びアンモニアガスを用いたOMVPE法により、1100℃、及び圧力103torr(約13.7kPa)の条件下において、50nmの膜厚を有するAlN層を形成した。次に、AlN層上に、TMGガス及びアンモニアガスを用いたOMVPE法により、1100℃、及び圧力102torr(約13.6kPa)の条件下において、1000nmの膜厚を有するGaN層を形成した。そして、GaN層上に、TMAガス、TMGガス、及びアンモニアガスを用いたOMVPE法により、1000℃、圧力101torr(約13.4kPa)、及び成膜レート0.2nm/secの条件下において、20nmの膜厚を有するAlGaN層を形成した。なお、AlGaN層の形成時において、アンモニアガスの流量は0.5mol/minとし、TMAガス及びTMGガスの合計流量は、45μmol/minと設定した。すなわち、TMAガス及びTMGガスの合計流量に対するアンモニアガスの流量の比率は、10000とした。これにより、SiC基板上にAlN層、GaN層、及びAlGaN層が順に積層された測定試料(以下、単に積層体とする)を準備した。
(比較例1)
AlGaN層における成膜レートを0.28nm/secとし、アンモニアガスの流量を0.5mol/minとし、TMAガス及びTMGガスの合計流量を100μmol/minと設定した以外は、実施例1と同様にして比較例1の積層体を準備した。
AlGaN層における成膜レートを0.28nm/secとし、アンモニアガスの流量を0.5mol/minとし、TMAガス及びTMGガスの合計流量を100μmol/minと設定した以外は、実施例1と同様にして比較例1の積層体を準備した。
(AlGaN層のSIMS測定)
実施例1及び比較例1の積層体について、SIMSによる測定(SIMS測定)を行った。本SIMS測定では、測定装置としてPHI ADEPT1010(アルバック・ファイ株式会社製)を用い、一次イオン種をセシウムイオン(Cs+)とし、一次加速電圧を1.0kVに設定した。積層体の検出領域は、一辺が135μmである正方形の領域とし、当該検出領域の深さ方向における積層体の酸素濃度、炭素濃度、及びアルミニウム濃度(Al濃度)を測定した。
実施例1及び比較例1の積層体について、SIMSによる測定(SIMS測定)を行った。本SIMS測定では、測定装置としてPHI ADEPT1010(アルバック・ファイ株式会社製)を用い、一次イオン種をセシウムイオン(Cs+)とし、一次加速電圧を1.0kVに設定した。積層体の検出領域は、一辺が135μmである正方形の領域とし、当該検出領域の深さ方向における積層体の酸素濃度、炭素濃度、及びアルミニウム濃度(Al濃度)を測定した。
図6の(a)は、実施例1の積層体のSIMS測定結果を示す図であり、図6の(b)は、比較例1の積層体のSIMS測定結果を示す図である。図6の(a),(b)において、縦軸は測定した元素の濃度を示し、横軸はAlGaN層の表面を基準とした積層体の深さを示す。横軸の0は、AlGaN層の表面を示している。図6の(a)において、グラフ31は実施例1における積層体の酸素濃度を示し、グラフ32は実施例1における積層体の炭素濃度を示し、グラフ33は実施例1における積層体のAl濃度を示している。また、点線34はAlGaN層とGaN層との境界を示しており、矢印35で示された横軸の範囲はAlGaN層であり、矢印36で示された横軸の範囲はGaN層である。一方、図6の(b)において、グラフ41は比較例1における積層体の酸素濃度を示し、グラフ42は比較例1における積層体の炭素濃度を示し、グラフ43は比較例1における積層体のアルミニウム濃度を示している。また、点線44はAlGaN層とGaN層との境界を示しており、矢印45で示された横軸の範囲はAlGaN層であり、矢印46で示された横軸の範囲はGaN層である。
図6の(a)に示されるように、矢印35で示される範囲において、グラフ31の値はグラフ32の値よりも常に大きい。よって、実施例1のAlGaN層の酸素濃度は、検出領域の深さ方向において、炭素濃度よりも常に高いことが確認された。また、実施例1のAlGaN層の平均酸素濃度は、平均炭素濃度よりも高いことがわかる。一方、図6の(b)に示されるように、矢印45で示される範囲においては、グラフ41の値はグラフ42の値よりも小さい(なお、横軸の0付近の結果は、測定誤差とみなす)。よって、比較例1のAlGaN層の酸素濃度は、炭素濃度よりも低いことが確認された。これらの測定結果の違いは、アンモニアガスの流量に対するTMAガス及びTMGガスの合計流量の比率の差に起因すると考えられる。
(電流コラプスの評価)
実施例1の積層体におけるAlGaN層上の一部に、5nmのGaN層からなるキャップ層を形成した。また、Ti層とAl層との積層構造であるソース電極及びドレイン電極をAlGaN層上に形成し、Ni層とAu層との積層構造であるゲート電極をキャップ層上に形成することにより、トランジスタを形成した。同様に、比較例1の積層体を用いたトランジスタを形成した。実施例1及び比較例1のトランジスタに発生する電流コラプスの評価を以下の通り行った。
実施例1の積層体におけるAlGaN層上の一部に、5nmのGaN層からなるキャップ層を形成した。また、Ti層とAl層との積層構造であるソース電極及びドレイン電極をAlGaN層上に形成し、Ni層とAu層との積層構造であるゲート電極をキャップ層上に形成することにより、トランジスタを形成した。同様に、比較例1の積層体を用いたトランジスタを形成した。実施例1及び比較例1のトランジスタに発生する電流コラプスの評価を以下の通り行った。
電流コラプスの評価では、まず実施例1及び比較例1のトランジスタのドレイン電圧―ドレイン電流測定(第1のVd−Id測定)を行った。第1のVd−Id測定では、実施例1及び比較例1のトランジスタにおいて、ゲート電圧Vgを2Vとし、ドレイン電圧Vdを0Vから10Vに変化した場合のドレイン電流Idの変化を測定した。次に、これらのトランジスタにストレス印加を行った。このストレス印加では、ゲート電圧Vgを−7Vとし、ドレイン電圧Vdを30Vとした。ストレス印加後、これらのトランジスタのドレイン電圧―ドレイン電流測定(第2のVd−Id測定)を行った。第2のVd−Id測定では、ゲート電圧Vgを2Vとし、ドレイン電圧Vdを0Vから10Vに変化した場合のドレイン電流Idの変化を測定した。そして、実施例1及び比較例1における第1のVd−Id測定結果と、第2のVd−Id測定結果との間の変化を評価した。
図7の(a)は、実施例1における電流コラプスの評価結果を示す図であり、図7の(b)は、比較例1における電流コラプスの評価結果を示す図である。図7の(a),(b)において、縦軸はドレイン電流を示し、横軸はドレイン電圧を示す。図7の(a)において、グラフ51は第1のVd−Id測定結果を示し、グラフ52は第2のVd−Id測定結果を示している。一方、図7の(b)において、グラフ61は第1のVd−Id測定結果を示し、グラフ62は第2のVd−Id測定結果を示している。
図7の(a),(b)に示されるように、実施例1におけるグラフ51とグラフ52との変化は、比較例1におけるグラフ61とグラフ62との変化よりも小さいことが確認された。例えば、ドレイン電圧が5Vの場合において、グラフ52のドレイン電流はグラフ51のドレイン電流の約80%であるのに対し、グラフ62のドレイン電流はグラフ61のドレイン電流の約60%であった。よって、実施例1のトランジスタは、比較例1のトランジスタよりも電流コラプスの発生が抑制されていることが確認された。これらの電流コラプスの評価結果の違いは、AlGaN層内の酸素濃度及び炭素濃度の関係に起因すると考えられる。
(実施例2)
TMAガス及びTMGガスの合計流量に対するアンモニアガスの流量の比率を5000とした以外は、実施例1と同様の条件にて測定試料を準備した。
TMAガス及びTMGガスの合計流量に対するアンモニアガスの流量の比率を5000とした以外は、実施例1と同様の条件にて測定試料を準備した。
(実施例3)
TMAガス及びTMGガスの合計流量に対するアンモニアガスの流量の比率を20000とした以外は、実施例1と同様の条件にて測定試料を準備した。
TMAガス及びTMGガスの合計流量に対するアンモニアガスの流量の比率を20000とした以外は、実施例1と同様の条件にて測定試料を準備した。
(実施例4)
20nmの膜厚を有するAlGaN層を成膜レート0.1nm/secの条件にて形成した以外は、実施例と同様の条件にて測定試料を準備した。
20nmの膜厚を有するAlGaN層を成膜レート0.1nm/secの条件にて形成した以外は、実施例と同様の条件にて測定試料を準備した。
(比較例2)
20nmの膜厚を有するAlGaN層を成膜レート0.25nm/secの条件にて形成した以外は、実施例と同様の条件にて測定試料を準備した。
20nmの膜厚を有するAlGaN層を成膜レート0.25nm/secの条件にて形成した以外は、実施例と同様の条件にて測定試料を準備した。
(AlGaN層中の元素濃度)
図8及び図9は、実施例及び比較例におけるAlGaN層の炭素濃度と酸素濃度とを示す図である。図8に示されるグラフにおいて、横軸はTMAガス及びTMGガスの合計流量に対するアンモニアガスの流量比を示しており、縦軸はAlGaN層中の元素濃度の平均を示している。図8では、実施例2及び実施例3の結果が示されている。図9に示されるグラフにおいて、横軸はAlGaN層の成膜レートを示しており、縦軸はAlGaN層中の元素濃度の平均を示している。図9では、実施例1,4及び比較例2の結果が示されている。
図8及び図9は、実施例及び比較例におけるAlGaN層の炭素濃度と酸素濃度とを示す図である。図8に示されるグラフにおいて、横軸はTMAガス及びTMGガスの合計流量に対するアンモニアガスの流量比を示しており、縦軸はAlGaN層中の元素濃度の平均を示している。図8では、実施例2及び実施例3の結果が示されている。図9に示されるグラフにおいて、横軸はAlGaN層の成膜レートを示しており、縦軸はAlGaN層中の元素濃度の平均を示している。図9では、実施例1,4及び比較例2の結果が示されている。
実施例2において、AlGaN層中の炭素濃度は1.5×1017atoms/cm3であり、AlGaN層中の酸素濃度は、2.0×1017atoms/cm3だった。また、実施例3において、AlGaN層中の炭素濃度は1.0×1017atoms/cm3であり、AlGaN層中の酸素濃度は、5.5×1017atoms/cm3だった。加えて、図8では、TMAガス及びTMGガスの合計流量に対するアンモニアガスの流量比が高くなるほど、酸素濃度が大きくなり、炭素濃度が小さくなる傾向が示された。これらの結果より、TMAガス及びTMGガスの合計流量に対するアンモニアガスの流量比が5000以上20000以下である場合、AlGaN層中の酸素濃度は、炭素濃度よりも高くなると考えられる。
実施例1において、AlGaN層中の炭素濃度は2.4×1017atoms/cm3であり、AlGaN層中の酸素濃度は、2.75×1017atoms/cm3だった。また、実施例4において、AlGaN層中の炭素濃度は1.2×1017atoms/cm3であり、AlGaN層中の酸素濃度は、2.0×1017atoms/cm3だった。比較例2において、AlGaN層中の炭素濃度は7.0×1017atoms/cm3であり、AlGaN層中の酸素濃度は、3.5×1017atoms/cm3だった。加えて、図9では、AlGaN層の成膜レートが低くなるほど、酸素濃度が大きくなり、炭素濃度が小さくなる傾向が示された。これらの結果より、AlGaN層の成膜レートが0.2nm/sec以下である場合、AlGaN層中の酸素濃度は、炭素濃度よりも高くなると考えられる。
1,1A…トランジスタ、2…基板、3…バッファ層、4…チャネル層(第1の窒化物半導体層)、5…電子供給層(第2の窒化物半導体層)、6…キャップ層、7…ソース電極、8…ドレイン電極、9…ゲート電極、10…保護膜、11…チャネル領域、12…絶縁膜、13…スペーサ層。
Claims (14)
- 第1の窒化物半導体層を含むチャネル層と、
前記チャネル層上に設けられた、Alを含有する第2の窒化物半導体層を含む電子供給層と、
前記電子供給層上に設けられた、ゲート電極、ソース電極およびドレイン電極と、
を備え、
前記第2の窒化物半導体に含有される酸素の濃度は、前記第2の窒化物半導体に含有される炭素の濃度よりも高い、
半導体装置。 - 前記第2の窒化物半導体層内の前記Alは、略均一に分散している、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2の窒化物半導体層は、成長条件を一定に保持することにより形成された単層構造を有する、請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記第2の窒化物半導体層内における前記炭素の濃度の平均は、1×1018atoms/cm3以下であり、
前記第2の窒化物半導体層内における前記酸素の濃度の平均は、1×1018atoms/cm3以下である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記第2の窒化物半導体層内の全ての領域において、前記酸素の濃度は、前記炭素の濃度よりも高い、請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記第1の窒化物半導体層と前記第2の窒化物半導体層との間に形成されたAlxGa1-xNを含むi型のスペーサ層を有し、
前記スペーサ層のAlの組成xは、下限値が前記第2の窒化物半導体層のAl組成と同じであり、上限値が1.0の範囲に含まれる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記第2の窒化物半導体層のシリコンの濃度は、前記スペーサ層のシリコンの濃度よりも高い、請求項6に記載の半導体装置。
- チャンバ内において、第1の窒化物半導体層を含むチャネル層上に、Alを含む第2の窒化物半導体層を含む電子供給層を形成する工程と、
前記第2の窒化物半導体層上にゲート電極、ソース電極、及びドレイン電極を形成する工程と、
を備え、
前記第2の窒化物半導体層内の酸素の濃度は、前記第2の窒化物半導体層内の炭素の濃度よりも高く、
前記第2の窒化物半導体層を形成する前記工程では、III族ガスの流量F1に対するV族ガスの流量F2の比率(F2/F1)が5000以上20000以下、および前記第2の窒化物半導体層の成長速度は、0.2nm/sec以下のいずれかに設定されている、
半導体装置の製造方法。 - 前記第2の窒化物半導体層内の前記Alは、略均一に分散している、請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の窒化物半導体層は、成長条件を一定に保持することにより形成された単層構造を有する、請求項8又は9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の窒化物半導体層内における前記炭素の濃度の平均は、1×1018atoms/cm3以下であり、
前記第2の窒化物半導体層内における前記酸素の濃度の平均は、1×1018atoms/cm3以下である、請求項8〜10のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2の窒化物半導体層内の全ての領域において、前記酸素の濃度は、前記炭素の濃度よりも高い、請求項8〜11のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の窒化物半導体層を形成する工程の前に、前記第1の窒化物半導体層上にAlxGa1-xNを含むi型のスペーサ層を形成する工程をさらに備え、
前記スペーサ層のAlの組成xは、下限値が前記第2の窒化物半導体層のAl組成と同じであり、上限値が1.0の範囲に含まれる、請求項8〜12のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2の窒化物半導体層のシリコンの濃度は、前記スペーサ層のシリコンの濃度よりも高い、請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
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