JP2007173731A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】多数のMOSトランジスタが密に並んでいる構成のMOSパワートランジスタにおいて、動作効率の改善を図ることを目的とする。
【解決手段】MOSトランジスタ集合部51とゲート用アルミ配線パターン54とを有する。ゲート用アルミ配線パターン54は、MOSトランジスタ集合部51を囲む枠部55と、この枠部55をY1−Y2方向に横切る複数のゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)とを有する。ゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)は、ゲートGの上面を覆う絶縁層73の上面に、ゲートGに沿って延在しており、一端は第1のX方向延在パターン部56とつながっており、他端は第2のX方向延在パターン部57とつながっている。
【選択図】図1
【解決手段】MOSトランジスタ集合部51とゲート用アルミ配線パターン54とを有する。ゲート用アルミ配線パターン54は、MOSトランジスタ集合部51を囲む枠部55と、この枠部55をY1−Y2方向に横切る複数のゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)とを有する。ゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)は、ゲートGの上面を覆う絶縁層73の上面に、ゲートGに沿って延在しており、一端は第1のX方向延在パターン部56とつながっており、他端は第2のX方向延在パターン部57とつながっている。
【選択図】図1
Description
本発明は半導体装置に係り、特にMOSトランジスタが密に多数並んだMOSトランジスタ集合部よりなっているMOSパワートランジスタに関する。
集積回路化されたMOSパワートランジスタは、多数のMOSトランジスタが密に並んでおり、個々のMOSトランジスタのソースが共通に接続してあり、且つ、個々のMOSトランジスタのドレインが共通に接続してあり、個々のMOSトランジスタのゲートが共通に接続してある構成である。
特にDC−DCコンバータICおいては動作のスイッチング周波数が高くなってきており、DC−DCコンバータICに形成されるMOSパワートランジスタは高い動作効率がもとめられている。
図9はMOSパワートランジスタ1を示す。IC上に形成されたMOSパワートランジスタ1は、ドレインインピーダンスDIpと、ソースインピーダンスSIpと、ゲートインピーダンスGIpとを有する。ゲートインピーダンスGIpとはゲート配線及びゲート自体を含んだもののインピーダンスをいう。MOSパワートランジスタの動作効率を高めるには、ゲートインピーダンスGIpを下げることが有効である。
図10はIC上の従来のMOSパワートランジスタ10を概略的に示す平面図である。図11は図10のMOSパワートランジスタ10のうち円100で囲んだ部分を拡大して示す断面図である。図示の便宜上、ソース共通接続用アルミ配線層25及びドレイン共通接続用アルミ配線層27は一点鎖線で示してある。
MOSトランジスタ集合部11は多数のMOSトランジスタ12−1〜12−4(12−n)がX1−X2方向に密に並んでいる構成である。各MOSトランジスタ12−1〜12−4はソースSとゲートGとドレインDとよりなる。ソースS、ゲートG、ドレインDは共にY1−Y2方向に長い帯形状である。
15はゲート共通接続用アルミ配線パターンであり、MOSトランジスタ集合部11を囲む枠形状であり、X1−X2方向に延在する第1のX方向延在辺16と、第2のX方向延在辺17と、Y1−Y2方向に延在する第1のY方向延在辺18と、第2のY方向延在辺19とを有する。20はドライブ段(図示せず)とゲートを接続する配線部である。
ゲートGは、その一端がコンタクトホール21によって第1のX方向延在辺16と電気的に接続してあり、他端がコンタクトホール22によって第1のX方向延在辺17と電気的に接続してある。
200−1、200−2、200−3はソース用アルミ配線であり、コンタクトホール(図示せず)によって各ソースSに接続され、更にスルーホール(図示せず)により上層配線層25に接続してある。300−1、300−2はドレイン用アルミ配線であり、コンタクトホール(図示せず)によって各ドレインDに接続され、更にスルーホール(図示せず)により上層配線層27に接続してある。
このMOSパワートランジスタ10は、回路的に示すと、図12に示すように、複数のMOSトランジスタ12−1〜12−4(12−n)が並列に接続されており、且つ、各MOSトランジスタ12−1〜12−4(12−n)のソースS、ゲートG、ドレインDが夫々共通に接続されている構成である。
MOSパワートランジスタ10は、ドレイン用パッド28に負荷が接続され、ソース用パッド26に電源又はGNDが接続され、ゲート用パッド20に入力信号が供給されて、全部のMOSトランジスタ12−1〜12−4(12−n)がオンとされるように動作する。
特開平8−204183号公報
ゲート共通接続用アルミ配線パターン15は、ゲートインピーダンスを出来るだけ小さくするようにするために、幅W1が約20μmと広くしてある。
しかし、幅W1を約20μmと広くしても、ゲートインピーダンスを下げるのには限度があり、ゲートインピーダンスを十分に下げることが困難であった。このため、MOSパワートランジスタ10の動作効率を十分に高めることが困難であった。
また、ゲート共通接続用アルミ配線パターン15がMOSトランジスタ集合部11を囲む枠形状であり、且つ、幅W1が約20μmと広いため、MOSパワートランジスタ10はMOSトランジスタ集合部11の周囲に広い面積を必要とし、面積効率がよくないという問題があった。
そこで、本発明は、図9中、ゲートインピーダンスGIpを下げるようにして、上記課題を解決した半導体装置を提供することを目的とする。
本発明は、共に帯形状であるドレイン(D)とゲート(G)とソース(S)とが繰り返して並んで配置してあるトランジスタ集合部(51)と、ゲート用配線パターン(54)とを有し、該ゲート用配線パターンは、トランジスタ集合部の周囲に沿っており、各ゲートの一端が接続してある第1のパターン部(56)と、各ゲートの他端が接続してある第2のパターン部(57)とを有する形状である構成の半導体装置において、
前記ゲート用配線パターンは、前記ゲートに沿って延在して、両端が、前記ゲート用配線パターンの前記第1、第2のパターン部(56,57)とつながっているゲート配線部(60−1〜60−4)を有する構成としたことを特徴とする。
前記ゲート用配線パターンは、前記ゲートに沿って延在して、両端が、前記ゲート用配線パターンの前記第1、第2のパターン部(56,57)とつながっているゲート配線部(60−1〜60−4)を有する構成としたことを特徴とする。
尚、上記参照符号は、あくまでも参考であり、これによって、本願発明が図示の態様に限定されるものではない。
本発明によれば、ゲート上面延在配線部が形成してあることによってゲートインピーダンスを従来に比較して低下させることが出来、これによって、従来に比較して動作効率の高い半導体装置を実現することが出来る。
次に本発明の実施の形態について説明する。
図1はIC上の本発明の実施例1になるMOSパワートランジスタ50を概略的に示す平面図である。図2は図1のMOSパワートランジスタ10のうち円200で囲んだ部分を拡大して示す断面図である。MOSパワートランジスタ50は、図10及び図11に示すMOSパワートランジスタ50とは、ゲート用配線パターンがゲート上面延在配線部を有する点が相違している。図1では、図示の便宜上、ソース用アルミ配線層25及びドレイン用アルミ配線層27は一点鎖線で示してある。
図3はMOSパワートランジスタ50の平面図、図4はMOSパワートランジスタ50の拡大断面図である。図5は図1のMOSパワートランジスタ50の等価回路である。X1−X2は長手方向であって、多数のMOSトランジスタが並んでいる方向、Y1−Y2は幅方向、Z1−Z2は厚さ方向である。
図4に示すように、MOSパワートランジスタ50は、Nチャネル型であり、N型基板70上に形成してあり、四角形状のMOSトランジスタ集合部51を有する。MOSトランジスタ集合部51は多数のMOSトランジスタ51−1〜51−nがX1からX2の方向に密に並んでいる構成である。各MOSトランジスタ51−1〜51−nはドレインDとゲートGとソースSとよりなる。ソースS、ゲートG、ドレインDは、共にY1−Y2方向に長い帯形状であり、X1−X2方向に、繰り返して並んでいる。また、各MOSトランジスタ51−1〜51−nは、電気回路上では、図5に示すように互いに並列に接続してある。
図4に示すように、基板70の上面にはMOSトランジスタ集合部51が形成される領域にPウエル71が形成してある。Pウエル71の表面に、拡散によってY1−Y2方向に細長いN+領域が一定の間隔で形成されて、ソースS及びドレインDが形成してある。また、Pウエル71の上面には、ソースSとドレインDとの間に、ゲートGがポリシリコンによって形成してある。ソースS、ドレインD、ゲートGの上面は絶縁膜73でもって覆われている。ソースS上には絶縁膜73を突き破ってコンタクトホール74が形成してあり、ドレインD上には絶縁膜73を突き破ってコンタクトホール75が形成してある。
54はゲート用アルミ配線パターンであり、MOSトランジスタ集合部51を囲む枠部55と、この枠部55をY1−Y2方向に横切る複数のゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)とを有する。
枠部55は、X1−X2方向に延在する第1のX方向延在パターン部56及び第2のX方向延在パターン部57と、Y1−Y2方向に延在する第1のY方向延在パターン部58及び第2のY方向延在パターン部59とを有する。第1、第2のX方向延在パターン部56、57が対向しており、第1、第2のY方向延在パターン部58、59が対向している。
ゲートGは、そのY1端がコンタクトホール80によって第1のX方向延在パターン部56と電気的に接続してあり、Y2端がコンタクトホール81によって第2のX方向延在辺57と電気的に接続してある。
ゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)は、ゲートGの上面を覆う絶縁層73の上面に、ゲートGに沿って延在しており、一端は第1のX方向延在パターン部56とつながっており、他端は第2のX方向延在パターン部57とつながっている。
図1中、200−1、200−2、200−3はソース用アルミ配線であり、コンタクトホール74(図4参照)によって各ソースSに接続され、更にスルーホール(図示せず)により上層配線層25に接続してある。300−1、300−2はドレイン用アルミ配線であり、コンタクトホール75(図4参照)によって各ドレインDに接続され、更にスルーホール(図示せず)により上層配線層27に接続してある。
上記構成のMOSパワートランジスタ50は、ドレイン用パッド28に負荷が接続され、ソース用パッド26に電源又はGNDが接続され、ゲート用パッド20に入力信号が供給されて、全部のMOSトランジスタ51−1〜51−4(51−n)がオンとされるように動作する。
ここで、ゲート用配線パターン54が、枠部55と、この枠部55をY1−Y2方向に横切る複数のゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)とよりなる構成であるため、各ゲートGの部分では、ゲートGとアルミニウム製のゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)とが並列に接続された状態となる。アルミニウムの電気抵抗は約60mΩ/□でありゲートGの材質であるポリシリコンの電気抵抗40Ω/□の約1/1000と小さい。よって、各ゲートGの両端の間の電気抵抗がゲートGだけの場合の電気抵抗に比較して大幅に低下し、ゲートインピーダンスGIpは、ゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)に相当する分、従来に比較して相当に低くなる。よって、MOSパワートランジスタ50は、動作効率が十分に高くなり、スイッチング周波数が高いDC−DCコンバータICに適するものとなる。
なお、図1に示すようにゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)は実効ゲート領域76の上を通っているけれども、ゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)の電位はゲートGのうちゲートとして機能する領域である実効ゲート領域76の全体に亘って同電位であるため、チャネルの変動効果に問題は生じない。
ここで、ゲートGはゲート長Lが通常より長くて例えば6μmであり、よって、ゲートG上にこれに沿うゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)を形成することが可能となっている。各ゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)の幅W2は例えば3.5μmである。
なお、ゲートGのゲート長Lが通常より長くなっている理由は、MOSパワートランジスタの動作電圧を例えば18V或いは36Vと通常より高く設定してMOSパワートランジスタを設計した場合に、ソースS及びドレインDの拡散の深さを通常より深くすることが必要となり、これに伴ってソースSとドレインDとの間隔を通常よりも数倍広くすることが必要となった結果によるものである。
また、ゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)を設けたことに伴って、第1、第2のX方向延在パターン部56、57の幅W3及び第1、第2のY方向延在パターン部58、59の幅W4が、従来に比較して1/2或いは1/3と狭くてもよくなり、MOSパワートランジスタ50は従来に比較して面積効率が高い。
なお、複数のゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)は、枠部55と、同じ工程で形成され、ゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)を形成するための特別の工程は不要であり、MOSパワートランジスタ50は従来の工程を踏襲して製造される。
図6、図7、図8は本発明の実施例2になるMOSパワートランジスタ50Aを示す。図7は図6のMOSパワートランジスタ50Aのうち円300で囲んだ部分を拡大して示す。MOSパワートランジスタ50Aは、図1乃至図4に示すMOSパワートランジスタ50とは、上記ゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)が途中の複数の個所でコンタクトホール90によって絶縁膜73を突き破ってゲートGと電気的に接続してある構成が相違する。
よって、ゲートGは、その両端を夫々コンタクトホール80、81によって第1、第2のX方向延在パターン部56、57と電気的に接続してあることに加えて、途中の複数の個所でコンタクトホール90によってゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)と電気的に接続してある。
これによって、各ゲートGの部分では、ゲートGとアルミニウム製のゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)とが略一体化して、ゲートGの電気抵抗が略無視できる状態となり、ゲートインピーダンスGIpは、前記の図1乃至図4に示すMOSパワートランジスタ50のゲートインピーダンスよりも低くなる。
よって、MOSパワートランジスタ50Aは、動作効率が更に十分に高くなり、スイッチング周波数が高いDC−DCコンバータICに更に適するものとなる。
場合によっては、ゲート用配線パターン54Aの枠部55のうち第2のY方向延在パターン部59を省略することも可能となる。この場合には、MOSパワートランジスタ50Aは面積効率が更に高くなる。
なお、特許請求の範囲に記載の「ゲート配線部」は、ゲート上面延在配線部60−1〜60−4(60−n)に対応し、特許請求の範囲に記載の「第1のパターン部」は、第1のX方向延在パターン部56に対応し、特許請求の範囲に記載の「第2のパターン部」は、第2のX方向延在パターン部57に対応する。
以上、本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
50、50A MOSパワートランジスタ
51 MOSトランジスタ集合部
51−1〜51−n MOSトランジスタ
54、54A ゲート用アルミ配線パターン
55 枠部
56 第1のX方向延在パターン部
57 第2のX方向延在パターン部
58 第1のY方向延在パターン部
59 第2のY方向延在パターン部
60−1〜60−4(60−n) ゲート上面延在配線部
80,81、90 コンタクトホール
51 MOSトランジスタ集合部
51−1〜51−n MOSトランジスタ
54、54A ゲート用アルミ配線パターン
55 枠部
56 第1のX方向延在パターン部
57 第2のX方向延在パターン部
58 第1のY方向延在パターン部
59 第2のY方向延在パターン部
60−1〜60−4(60−n) ゲート上面延在配線部
80,81、90 コンタクトホール
Claims (4)
- 共に帯形状であるドレインとゲートとソースとが繰り返して並んで配置してあるトランジスタ集合部と、ゲート用配線パターンとを有し、該ゲート用配線パターンは、トランジスタ集合部の周囲に沿っており、各ゲートの一端が接続してある第1のパターン部と、各ゲートの他端が接続してある第2のパターン部とを有する形状である構成の半導体装置において、
前記ゲート用配線パターンは、前記ゲートに沿って延在して、両端が、前記ゲート用配線パターンの前記第1、第2のパターン部とつながっているゲート配線部を有する構成としたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記ゲート配線部は、前記各ゲートの上面側を該ゲートに沿って延在している構成としたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記ゲート配線部は、その途中の部分で、その下側の前記ゲートと、複数の個所で電気的に接続してある構成としたことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至請求項3のうち何れか一項に記載の半導体装置において、
前記ゲート配線部は、前記ゲート用配線パターンの前記第1、第2のパターン部を形成する工程と同じ工程で形成したものであることを特徴とする半導体装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111101 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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