JP2021100084A - 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 制御部
3 第1リフロー炉、3b 加熱ゾーン、3b1 第1加熱ゾーン、3b2 第2加熱ゾーン、3c 冷却ゾーン、3c1 第1冷却ゾーン、3c2 第2冷却ゾーン
4 塗布機
5 実装機
6 導通試験機
7 不良品除去機
8 第2リフロー炉
30 本体、30a 入口、30f 出口
31 第1コンベヤ
32 第2コンベヤ
33 投入コンベヤ
34 押えローラ
35 コントローラ
36a、36f ラビリンス
90 ワーク
90a 第1中間体(ワーク)、90b 第2中間体(ワーク)、90c 第3中間体(ワーク)、90d 第4中間体(ワーク)、90e 第5中間体(ワーク)
91 半導体チップ、91b 下面、91e 電極
92 異方性導電ペースト、92a 導電粒子、92b 熱硬化性接着剤
93 基板、93a 上面、93e 電極
94 半導体装置
911 導通不良品
前記第1加熱処理ステップは、前記第1加熱ゾーンにて前記ワークをピーク温度に到達するまで20〜40秒加熱し、前記第2加熱ゾーンにて前記ワークを前記ピーク温度が維持されるように5〜30秒加熱し、続いて、前記冷却ゾーンにて前記ワークを冷却することが好ましい。一例として、前記半導体チップはLEDであって、前記第1加熱処理ステップの後に、前記ワークに導通試験を行う導通試験ステップと、前記導通試験ステップにおいて前記LEDのうちから導通不良品が検出された場合に前記導通不良品を不良品除去機によって除去する不良品除去ステップと、前記導通不良品に換えて前記LEDの新たなものに前記異方性導電ペーストを転写して前記導通不良品が除去された箇所に搭載する再実装ステップとを有し、前記不良品除去ステップは、前記導通不良品の実装箇所を非接触で加熱しながら、真空吸引ヘッドにて吸引することで前記半田を再溶融して前記導通不良品および接続部の前記熱硬化性接着剤を前記基板から除去する。一例として、前記再実装ステップの後に、前記第1加熱処理ステップと前記導通試験ステップとを前記導通不良品が検出されなくなるまで繰り返し、前記導通試験ステップは、前記LEDの点灯の有無を前記LEDの配置データと関連付けて記憶手段によってデータ記憶させて前記導通不良品の位置を特定する。
前記押えローラは、シャフトにローラが所定間隔で回転可能に軸支されており、前記ローラの自重で前記基板の実装面を避けた位置に接する構成であり、前記制御部は、前記第1加熱ゾーンにて前記ワークをピーク温度に到達するまで20〜40秒加熱し、前記第2加熱ゾーンにて前記ワークを前記ピーク温度が維持されるように5〜30秒加熱し、続いて、前記冷却ゾーンにて前記ワークを冷却する制御を行う構成であることが好ましい。一例として、前記半導体チップはLEDであって、前記ワークに導通試験を行う導通試験機と、前記導通試験機によって前記LEDのうちから導通不良品が検出された場合に前記導通不良品を除去する不良品除去機とを有し、前記不良品除去機は、前記導通不良品の実装箇所を非接触で加熱しながら、真空吸引ヘッドにて吸引することで前記半田を再溶融して前記導通不良品および接続部の前記熱硬化性接着剤を前記基板から除去する構成であり、前記制御部は、前記塗布機および前記実装機に対して、前記LEDの新たなものに前記異方性導電ペーストを転写して前記導通不良品が除去された箇所に搭載する制御を行う構成である。一例として、前記導通試験機は、前記LEDの点灯の有無を前記LEDの配置データと関連付けて記憶手段によってデータ記憶させて前記導通不良品の位置を特定する構成である。
Claims (10)
- 導電粒子と熱硬化性接着剤とを有する異方性導電ペーストを介して複数の半導体チップが基板に搭載されたワークを第1リフロー炉によって加熱処理する第1加熱処理ステップを有する構成であって、
前記第1リフロー炉は、前記導電粒子に含まれている半田の溶融温度以上に設定された加熱ゾーンと、前記半田の溶融温度未満に設定された冷却ゾーンと、入口側から前記加熱ゾーンに亘って設けられた第1コンベヤと、前記冷却ゾーンから出口側に亘って設けられた第2コンベヤとを有し、前記第1コンベヤと前記第2コンベヤとによって前記ワークを前記熱硬化性接着剤の硬化時間未満で前記第1リフロー炉を通過させる構成であり、
前記第1加熱処理ステップは、前記ワークを前記加熱ゾーンに搬送して前記半田を溶融させ、続いて、前記ワークを前記冷却ゾーンに搬送して前記半田を硬化させて、前記ワークを通電可能かつリワーク可能な状態にすること
を特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記加熱ゾーンは第1加熱ゾーンと前記第1加熱ゾーンよりも低温に設定された第2加熱ゾーンとを有し、
前記第1加熱処理ステップは、前記加熱ゾーンにおいて前記ワークを前記第1加熱ゾーンから前記第2加熱ゾーンにピッチ送りで搬送し、続いて、前記ワークを前記第2加熱ゾーンから前記冷却ゾーンに定速送りで搬送すること
を特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1加熱処理ステップの前に、前記半導体チップを前記基板に搭載する実装ステップを有し、
前記第1加熱処理ステップの後に、前記ワークに導通試験を行う導通試験ステップと、前記導通試験ステップにおいて前記半導体チップのうちから導通不良品が検出された場合に前記導通不良品を不良品除去機によって除去する不良品除去ステップと、前記導通不良品に換えて前記半導体チップにおける新たなものを前記基板に搭載する再実装ステップとを有すること
を特徴とする請求項1または2項記載の半導体装置の製造方法。 - 前記再実装ステップの後に、前記第1加熱処理ステップと前記導通試験ステップとを前記導通不良品が検出されなくなるまで繰り返すこと
を特徴とする請求項3記載の半導体装置の製造方法。 - 前記導通試験ステップにおいて前記導通不良品が検出されなかった場合に前記ワークを加熱して前記熱硬化性接着剤を熱硬化させる第2加熱処理ステップを有すること
を特徴とする請求項3または4記載の半導体装置の製造方法。 - 導電粒子と熱硬化性接着剤とを有する異方性導電ペーストを介して複数の半導体チップが基板に搭載されたワークを加熱処理する第1リフロー炉と制御部とを有する構成であって、
前記第1リフロー炉は、前記導電粒子に含まれている半田の溶融温度以上に設定された加熱ゾーンと、前記半田の溶融温度未満に設定された冷却ゾーンと、入口側から前記加熱ゾーンに亘って設けられた第1コンベヤと、前記冷却ゾーンから出口側に亘って設けられた第2コンベヤとを有し、前記第1コンベヤと前記第2コンベヤとによって前記ワークを前記熱硬化性接着剤の硬化時間未満で前記第1リフロー炉を通過させる構成であり、
前記制御部は、前記第1コンベヤと前記第2コンベヤに対して、前記ワークを前記加熱ゾーンに搬送して前記半田を溶融させ、続いて、前記ワークを前記冷却ゾーンに搬送して前記半田を硬化させて、前記ワークを通電可能かつリワーク可能な状態にする制御を行う構成であること
を特徴とする半導体装置の製造装置。 - 前記加熱ゾーンは第1加熱ゾーンと前記第1加熱ゾーンよりも低温に設定された第2加熱ゾーンとを有し、
前記制御部は、前記ワークを前記第1加熱ゾーンから前記第2加熱ゾーンにピッチ送りで搬送し、続いて、前記ワークを前記第2加熱ゾーンから前記冷却ゾーンに定速送りで搬送する制御を行う構成であること
を特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造装置。 - 前記第1コンベヤと前記第2コンベヤとの間の位置に、前記ワークを前記第1コンベヤから前記第2コンベヤに移載する際に前記基板の上面に接する押えローラが設けられている構成であること
を特徴とする請求項6または7記載の半導体装置の製造装置。 - 前記異方性導電ペーストを塗布または転写する塗布機と、前記半導体チップを前記基板に搭載する実装機と、前記ワークに導通試験を行う導通試験機と、前記導通試験機によって前記半導体チップのうちから導通不良品が検出された場合に前記導通不良品を除去する不良品除去機とを有し、
前記制御部は、前記実装機に対して、前記導通不良品に換えて前記半導体チップにおける新たなものを前記基板に搭載する制御を行う構成であること
を特徴とする請求項6〜8のいずれか一項記載の半導体装置の製造装置。 - 前記導通試験機によって前記導通不良品が検出されなかった場合に前記ワークを加熱して前記熱硬化性接着剤を熱硬化させる第2リフロー炉またはバッチ炉を有すること
を特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造装置。
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