JP2000216594A - 基板搬送方法及び装置 - Google Patents
基板搬送方法及び装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板処理装置の入口・出口付近での基板の搬
送速度を、基板処理装置の搬送速度に強制的に同期させ
ることによって、搬入間隔を保つための乗り継ぎ部が不
要となると共に、所定の処理時間を確保して搬出するこ
とのできる基板搬送方法及び装置を提供する。 【解決手段】 搬入コンベヤ１上にある基板５を装置内
コンベヤ４上に乗り継がせつつ移送する際には、基板処
理装置２の入口近傍に設けた速度同期手段８により、基
板５の移送速度を搬入コンベヤ１より遅い装置内コンベ
ヤ４の搬送速度に強制的に同期させる一方、装置内コン
ベヤ４上にある基板５を搬出コンベヤ３上に乗り継がせ
つつ移送する際には、基板処理装置２の出口近傍に設け
た速度同期手段８により、基板５の移送速度を搬出コン
ベヤ３より遅い装置内コンベヤ４の搬送速度に強制的に
同期させる。
送速度を、基板処理装置の搬送速度に強制的に同期させ
ることによって、搬入間隔を保つための乗り継ぎ部が不
要となると共に、所定の処理時間を確保して搬出するこ
とのできる基板搬送方法及び装置を提供する。 【解決手段】 搬入コンベヤ１上にある基板５を装置内
コンベヤ４上に乗り継がせつつ移送する際には、基板処
理装置２の入口近傍に設けた速度同期手段８により、基
板５の移送速度を搬入コンベヤ１より遅い装置内コンベ
ヤ４の搬送速度に強制的に同期させる一方、装置内コン
ベヤ４上にある基板５を搬出コンベヤ３上に乗り継がせ
つつ移送する際には、基板処理装置２の出口近傍に設け
た速度同期手段８により、基板５の移送速度を搬出コン
ベヤ３より遅い装置内コンベヤ４の搬送速度に強制的に
同期させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばプリント回
路基板に電子部品を半田リフローによって固定するリフ
ロー装置等の基板処理装置における基板搬送方法および
装置に関するものである。
路基板に電子部品を半田リフローによって固定するリフ
ロー装置等の基板処理装置における基板搬送方法および
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プリント回路基板に電子部品を半田リフ
ローによって固定するリフロー装置における基板搬送方
法としては、チェーンベルトで構成されるリフロー装置
内のコンベヤに搬入・搬出される搬入コンベヤないし搬
出コンベヤをタイミング制御して基板をリフロー装置内
に搬入ないしリフロー装置から搬出する方法がある。そ
の１つは、基板をリフロー装置へ搬入ないしリフロー装
置から搬出する基板搬入・搬出速度を、リフロー装置で
の所定の基板搬送速度に合わせた状態で、リフロー装置
から搬入コンベヤに受け入れ許可信号を所定の間隔で出
し、その信号に基いて３つの各コンベヤを制御する基板
搬送方法である。もう１つは、シリンダー等で構成され
たストッパー等の速度同期手段で一旦、搬入コンベヤか
らリフロー装置へ乗り継がせつつ移送される基板をリフ
ロー装置の入口近傍に停止させる方法である。
ローによって固定するリフロー装置における基板搬送方
法としては、チェーンベルトで構成されるリフロー装置
内のコンベヤに搬入・搬出される搬入コンベヤないし搬
出コンベヤをタイミング制御して基板をリフロー装置内
に搬入ないしリフロー装置から搬出する方法がある。そ
の１つは、基板をリフロー装置へ搬入ないしリフロー装
置から搬出する基板搬入・搬出速度を、リフロー装置で
の所定の基板搬送速度に合わせた状態で、リフロー装置
から搬入コンベヤに受け入れ許可信号を所定の間隔で出
し、その信号に基いて３つの各コンベヤを制御する基板
搬送方法である。もう１つは、シリンダー等で構成され
たストッパー等の速度同期手段で一旦、搬入コンベヤか
らリフロー装置へ乗り継がせつつ移送される基板をリフ
ロー装置の入口近傍に停止させる方法である。
【０００３】この従来の基板搬送方法を具現化した基板
搬送装置を図４に示す。
搬送装置を図４に示す。
【０００４】この装置は、搬入コンベヤ１とリフロー装
置２と搬出コンベヤ３とから構成される。４は装置内コ
ンベヤである。搬入コンベヤ１と装置内コンベヤ４と搬
出コンベヤ３はそれぞれ異なる搬送速度で駆動されるチ
ェーンベルトから構成される。
置２と搬出コンベヤ３とから構成される。４は装置内コ
ンベヤである。搬入コンベヤ１と装置内コンベヤ４と搬
出コンベヤ３はそれぞれ異なる搬送速度で駆動されるチ
ェーンベルトから構成される。
【０００５】搬入コンベヤ１とリフロー装置２との間に
は乗り継ぎ部２１が、リフロー装置２と搬出コンベヤ３
との間には乗り継ぎ部２２が設けられている。搬入コン
ベヤ１は基板５を取り込んで、リフロー装置２へ搬入す
る。リフロー装置２に乗り継ぎ部２１を経て移送されて
きた基板５は、半田リフローすることによって電子部品
が固定される。そして電子部品が固定された基板５は、
乗り継ぎ部２２を経て搬出コンベヤ３へ移送される。
は乗り継ぎ部２１が、リフロー装置２と搬出コンベヤ３
との間には乗り継ぎ部２２が設けられている。搬入コン
ベヤ１は基板５を取り込んで、リフロー装置２へ搬入す
る。リフロー装置２に乗り継ぎ部２１を経て移送されて
きた基板５は、半田リフローすることによって電子部品
が固定される。そして電子部品が固定された基板５は、
乗り継ぎ部２２を経て搬出コンベヤ３へ移送される。
【０００６】搬入コンベヤ１は、リフロー装置２から受
け入れ許可信号を受けると、基板５をリフロー装置２へ
搬入する。搬入コンベヤ１のチェーンベルトの速度は、
乗り継ぎ部２１で基板５が引っかかってスムーズな乗り
継ぎがされないことを想定して、リフロー装置２におけ
る装置内コンベヤ４の搬送速度より速く設定してある。
逆に基板５がスムーズにリフロー装置２へ乗り継いだ場
合には、設定されている所定の時間間隔より短くリフロ
ー装置２に基板５が搬入されることになるので、リフロ
ー装置２の入口近傍に基板ストッパー２３を設置してい
る。
け入れ許可信号を受けると、基板５をリフロー装置２へ
搬入する。搬入コンベヤ１のチェーンベルトの速度は、
乗り継ぎ部２１で基板５が引っかかってスムーズな乗り
継ぎがされないことを想定して、リフロー装置２におけ
る装置内コンベヤ４の搬送速度より速く設定してある。
逆に基板５がスムーズにリフロー装置２へ乗り継いだ場
合には、設定されている所定の時間間隔より短くリフロ
ー装置２に基板５が搬入されることになるので、リフロ
ー装置２の入口近傍に基板ストッパー２３を設置してい
る。
【０００７】リフロー装置２に搬入されてきた基板５
は、基板ストッパー２３で確実に所定の時間間隔を置い
て加熱部６へ搬送される。所定の加熱工程を終えた基板
５は、冷却部７を通過する間冷却される。
は、基板ストッパー２３で確実に所定の時間間隔を置い
て加熱部６へ搬送される。所定の加熱工程を終えた基板
５は、冷却部７を通過する間冷却される。
【０００８】搬出コンベヤ３のチェーンベルトの速度
は、乗り継ぎ部２２で基板５が引っかかってスムーズな
乗り継ぎがされないことを想定して、リフロー装置２に
おける装置内コンベヤ４の搬送速度より速く設定してあ
る。逆に基板５がスムーズに搬出コンベヤ３へ乗り継い
だ場合には、設定されている所定の時間間隔より短く搬
出コンベヤ３に基板５が搬出されて引張り出されること
が起こる。
は、乗り継ぎ部２２で基板５が引っかかってスムーズな
乗り継ぎがされないことを想定して、リフロー装置２に
おける装置内コンベヤ４の搬送速度より速く設定してあ
る。逆に基板５がスムーズに搬出コンベヤ３へ乗り継い
だ場合には、設定されている所定の時間間隔より短く搬
出コンベヤ３に基板５が搬出されて引張り出されること
が起こる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のリフロー装
置における基板搬送方法及び装置では、リフロー装置２
への基板５の搬入間隔を保持するために、リフロー装置
２の入口近傍に設けた基板ストッパー２３で基板５を１
枚分停止させておくスペースが必要である。例えば、基
板５の長さが３３０ｍｍまで対応する場合には、スペー
スも３３０ｍｍまで確保する必要があり、その分装置が
大型化してしまうという問題がある。
置における基板搬送方法及び装置では、リフロー装置２
への基板５の搬入間隔を保持するために、リフロー装置
２の入口近傍に設けた基板ストッパー２３で基板５を１
枚分停止させておくスペースが必要である。例えば、基
板５の長さが３３０ｍｍまで対応する場合には、スペー
スも３３０ｍｍまで確保する必要があり、その分装置が
大型化してしまうという問題がある。
【００１０】またリフロー装置２の出口では、基板５の
搬送方向の前方部分は、リフロー装置２の冷却部７で所
定の時間冷却されるが、搬出コンベヤ３に基板５が半分
程度乗り移った時点で、基板５が高速の搬出コンベヤ３
に引き出されるため、リフロー装置２の冷却部７での所
定の冷却時間が確保できないという問題がある。
搬送方向の前方部分は、リフロー装置２の冷却部７で所
定の時間冷却されるが、搬出コンベヤ３に基板５が半分
程度乗り移った時点で、基板５が高速の搬出コンベヤ３
に引き出されるため、リフロー装置２の冷却部７での所
定の冷却時間が確保できないという問題がある。
【００１１】そこで本発明は上記のような問題点を解決
することを目的とする。
することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本願第１発明の基板搬送
方法は上記目的を達成するため、基板を基板処理装置へ
搬入する搬入コンベヤと、搬入コンベヤより遅い搬送速
度の装置内コンベヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処
理を施す基板処理装置とにおける基板搬送方法におい
て、搬入コンベヤ上にある基板を装置内コンベヤ上に乗
り継がせつつ移送する際に、基板処理装置の入口近傍に
設けた速度同期手段により、基板の移送速度を装置内コ
ンベヤの搬送速度に強制的に同期させることを特徴とす
る。
方法は上記目的を達成するため、基板を基板処理装置へ
搬入する搬入コンベヤと、搬入コンベヤより遅い搬送速
度の装置内コンベヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処
理を施す基板処理装置とにおける基板搬送方法におい
て、搬入コンベヤ上にある基板を装置内コンベヤ上に乗
り継がせつつ移送する際に、基板処理装置の入口近傍に
設けた速度同期手段により、基板の移送速度を装置内コ
ンベヤの搬送速度に強制的に同期させることを特徴とす
る。
【００１３】この第１発明によれば、基板処理装置の入
口近傍に設けた速度同期手段によって、搬入コンベヤか
ら基板処理装置に乗り継ぐ基板の移送速度を基板処理装
置における装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期さ
せるので、所定の搬入間隔をおいて基板処理装置に基板
を搬入することができ、従来のように基板を停止させる
ための停止部が不要となって、装置のコンパクト化を可
能にすることができる。
口近傍に設けた速度同期手段によって、搬入コンベヤか
ら基板処理装置に乗り継ぐ基板の移送速度を基板処理装
置における装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期さ
せるので、所定の搬入間隔をおいて基板処理装置に基板
を搬入することができ、従来のように基板を停止させる
ための停止部が不要となって、装置のコンパクト化を可
能にすることができる。
【００１４】本願第２発明の基板搬送方法は上記目的を
達成するため、装置内コンベヤで基板を搬送しつつ基板
に所定の処理を施す基板処理装置と、処理された基板を
基板処理装置から装置内コンベヤより速い搬送速度で基
板を搬出する搬出コンベヤとにおける基板搬送方法にお
いて、装置内コンベヤ上にある基板を搬出コンベヤ上に
乗り継がせつつ移送する際に、基板処理装置の出口近傍
に設けた速度同期手段により、基板の移送速度を装置内
コンベヤの搬送速度に強制的に同期させることを特徴と
する。
達成するため、装置内コンベヤで基板を搬送しつつ基板
に所定の処理を施す基板処理装置と、処理された基板を
基板処理装置から装置内コンベヤより速い搬送速度で基
板を搬出する搬出コンベヤとにおける基板搬送方法にお
いて、装置内コンベヤ上にある基板を搬出コンベヤ上に
乗り継がせつつ移送する際に、基板処理装置の出口近傍
に設けた速度同期手段により、基板の移送速度を装置内
コンベヤの搬送速度に強制的に同期させることを特徴と
する。
【００１５】この第２発明によれば、基板処理装置の出
口近傍に設けられた速度同期手段によって、基板処理装
置から搬出コンベヤに乗り継ぐ基板の移送速度を基板処
理装置における装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同
期させるので、所定の搬出間隔をおいて基板処理装置か
ら基板を搬出することができ、基板処理装置における所
定の処理時間、例えば、リフロー装置での半田リフロー
による電子部品の固定においては、その冷却部での所定
の冷却時間を十分に確保できるようになる。
口近傍に設けられた速度同期手段によって、基板処理装
置から搬出コンベヤに乗り継ぐ基板の移送速度を基板処
理装置における装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同
期させるので、所定の搬出間隔をおいて基板処理装置か
ら基板を搬出することができ、基板処理装置における所
定の処理時間、例えば、リフロー装置での半田リフロー
による電子部品の固定においては、その冷却部での所定
の冷却時間を十分に確保できるようになる。
【００１６】本願第３発明の基板搬送方法は上記目的を
達成するため、基板を基板処理装置へ搬入する搬入コン
ベヤと、搬入コンベヤより遅い搬送速度の装置内コンベ
ヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処理を施す基板処理
装置と、処理された基板を基板処理装置から装置内コン
ベヤより速い搬送速度で基板を搬出する搬出コンベヤと
における基板搬送方法において、搬入コンベヤ上にある
基板を装置内コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際に
は、基板処理装置の入口近傍に設けた速度同期手段によ
り、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制
的に同期させる一方、装置内コンベヤ上にある基板を搬
出コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際には、基板処
理装置の出口近傍に設けた速度同期手段により、基板の
移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期さ
せることを特徴とする。
達成するため、基板を基板処理装置へ搬入する搬入コン
ベヤと、搬入コンベヤより遅い搬送速度の装置内コンベ
ヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処理を施す基板処理
装置と、処理された基板を基板処理装置から装置内コン
ベヤより速い搬送速度で基板を搬出する搬出コンベヤと
における基板搬送方法において、搬入コンベヤ上にある
基板を装置内コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際に
は、基板処理装置の入口近傍に設けた速度同期手段によ
り、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制
的に同期させる一方、装置内コンベヤ上にある基板を搬
出コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際には、基板処
理装置の出口近傍に設けた速度同期手段により、基板の
移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期さ
せることを特徴とする。
【００１７】本願第４発明の基板搬送装置は上記目的を
達成するため、基板を基板処理装置へ搬入する搬入コン
ベヤと、搬入コンベヤより遅い搬送速度の装置内コンベ
ヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処理を施す基板処理
装置と、処理された基板を基板処理装置から装置内コン
ベヤより速い搬送速度で基板を搬出する搬出コンベヤと
からなる基板搬送装置において、基板処理装置の入口近
傍には、搬入コンベヤ上にある基板を装置内コンベヤ上
に乗り継がせつつ移送する際に、基板の移送速度を装置
内コンベヤの搬送速度に強制的に同期させる速度同期手
段を設け、基板処理装置の出口近傍には、装置内コンベ
ヤ上にある基板を搬出コンベヤ上に乗り継がせつつ移送
する際に、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度
に強制的に同期させる速度同期手段を設けたことを特徴
とする。
達成するため、基板を基板処理装置へ搬入する搬入コン
ベヤと、搬入コンベヤより遅い搬送速度の装置内コンベ
ヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処理を施す基板処理
装置と、処理された基板を基板処理装置から装置内コン
ベヤより速い搬送速度で基板を搬出する搬出コンベヤと
からなる基板搬送装置において、基板処理装置の入口近
傍には、搬入コンベヤ上にある基板を装置内コンベヤ上
に乗り継がせつつ移送する際に、基板の移送速度を装置
内コンベヤの搬送速度に強制的に同期させる速度同期手
段を設け、基板処理装置の出口近傍には、装置内コンベ
ヤ上にある基板を搬出コンベヤ上に乗り継がせつつ移送
する際に、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度
に強制的に同期させる速度同期手段を設けたことを特徴
とする。
【００１８】上記第３発明によれば、第１発明と第２発
明の基板搬送方法を併せた作用を奏することができ、第
４発明によってその作用を具現化することができる。
明の基板搬送方法を併せた作用を奏することができ、第
４発明によってその作用を具現化することができる。
【００１９】上記第１〜第４発明の方法および装置にお
いて、速度同期手段を、装置内コンベヤによって駆動さ
れ装置内コンベヤと同一の速度で回転する回転体とし、
装置内コンベヤとの間で基板を圧接状態で挟むものと構
成とすると好適であり、回転体の駆動源を装置内コンベ
ヤの直線運動から採ることによって、基板の搬入・搬出
の際の移送速度を基板処理装置を駆動する装置内コンベ
ヤの搬送速度に容易に同期させることができ、搬送速度
の変更にも簡単に追随することができる。また、装置内
コンベヤとの間で基板を圧接状態で挟む回転体が、従来
例で示した基板へのストッパーの役割を果たし、所定の
基板搬送間隔を保持することができる。
いて、速度同期手段を、装置内コンベヤによって駆動さ
れ装置内コンベヤと同一の速度で回転する回転体とし、
装置内コンベヤとの間で基板を圧接状態で挟むものと構
成とすると好適であり、回転体の駆動源を装置内コンベ
ヤの直線運動から採ることによって、基板の搬入・搬出
の際の移送速度を基板処理装置を駆動する装置内コンベ
ヤの搬送速度に容易に同期させることができ、搬送速度
の変更にも簡単に追随することができる。また、装置内
コンベヤとの間で基板を圧接状態で挟む回転体が、従来
例で示した基板へのストッパーの役割を果たし、所定の
基板搬送間隔を保持することができる。
【００２０】尚、回転体の回転軸を圧縮バネ等を用いて
上下動自由にすることも可能になり、そうすることによ
って、回転体をさまざまな基板の厚みに柔軟に対応する
ようにすることもできる。
上下動自由にすることも可能になり、そうすることによ
って、回転体をさまざまな基板の厚みに柔軟に対応する
ようにすることもできる。
【００２１】更に上記速度同期手段において、回転体の
周縁に弾性ゴム体を取付けるように構成することによっ
て、回転体によって基板を挟み易くすると共に、一旦挟
み込んだ基板が空滑りするのを防止することができる。
周縁に弾性ゴム体を取付けるように構成することによっ
て、回転体によって基板を挟み易くすると共に、一旦挟
み込んだ基板が空滑りするのを防止することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の基板搬送装置の一
実施形態について、図１から図３を参照しながら説明す
る。
実施形態について、図１から図３を参照しながら説明す
る。
【００２３】この装置の全体構成は図４に示した従来例
と同様であるので、図１に表れない構成部分は図４を併
せて参照する。本実施形態では基板処理装置であるプリ
ント回路基板に電子部品を固定するリフロー装置２と、
その出入口近傍にそれぞれ設けられる速度同期手段８を
主として説明する。
と同様であるので、図１に表れない構成部分は図４を併
せて参照する。本実施形態では基板処理装置であるプリ
ント回路基板に電子部品を固定するリフロー装置２と、
その出入口近傍にそれぞれ設けられる速度同期手段８を
主として説明する。
【００２４】本実施形態の基板搬送装置は、搬入コンベ
ヤ１とリフロー装置２と搬出コンベヤ３とから構成さ
れ、各部が異なる搬送速度で駆動されるチェーンベルト
をそれぞれ備えている。リフロー装置２内のチェーンベ
ルトは、搬入コンベヤ１や搬出コンベヤ３より遅い速度
で駆動される装置内コンベヤ４を構成する。
ヤ１とリフロー装置２と搬出コンベヤ３とから構成さ
れ、各部が異なる搬送速度で駆動されるチェーンベルト
をそれぞれ備えている。リフロー装置２内のチェーンベ
ルトは、搬入コンベヤ１や搬出コンベヤ３より遅い速度
で駆動される装置内コンベヤ４を構成する。
【００２５】搬入コンベヤ１は上流工程より搬送される
基板５を取り込んだ後、リフロー装置２へ搬入する。そ
の際、基板５は搬入コンベヤ１上から装置内コンベヤ４
上に乗り継がせつつ移送される。リフロー装置２では搬
入された基板５を、搬入コンベヤ１より遅い速度で装置
内コンベヤ４で搬送しつつ半田付けによって電子部品を
固定する。搬出コンベヤ３は電子部品が固定された基板
５を、装置内コンベヤ４上から乗り継がせつつ移送した
後、搬入コンベヤ１より速い速度で基板５を搬出する。
基板５を取り込んだ後、リフロー装置２へ搬入する。そ
の際、基板５は搬入コンベヤ１上から装置内コンベヤ４
上に乗り継がせつつ移送される。リフロー装置２では搬
入された基板５を、搬入コンベヤ１より遅い速度で装置
内コンベヤ４で搬送しつつ半田付けによって電子部品を
固定する。搬出コンベヤ３は電子部品が固定された基板
５を、装置内コンベヤ４上から乗り継がせつつ移送した
後、搬入コンベヤ１より速い速度で基板５を搬出する。
【００２６】搬入コンベヤ１は、リフロー装置２から受
け入れ許可信号を受けると、基板５をリフロー装置２へ
送り出す。搬入コンベヤ１からリフロー装置２に搬入さ
れた基板５は、その入口近傍に設けられた速度同期手段
８によって確実に所定の時間間隔を置いて加熱部６へ搬
送される。所定の加熱工程を終えた基板５は、冷却部７
を通過する間冷却される。リフロー装置２から搬出コン
ベヤ３へ搬出される基板５は、その出口近傍に設けられ
た速度同期手段８によって冷却部７での冷却時間を確保
される。
け入れ許可信号を受けると、基板５をリフロー装置２へ
送り出す。搬入コンベヤ１からリフロー装置２に搬入さ
れた基板５は、その入口近傍に設けられた速度同期手段
８によって確実に所定の時間間隔を置いて加熱部６へ搬
送される。所定の加熱工程を終えた基板５は、冷却部７
を通過する間冷却される。リフロー装置２から搬出コン
ベヤ３へ搬出される基板５は、その出口近傍に設けられ
た速度同期手段８によって冷却部７での冷却時間を確保
される。
【００２７】図２及び図３は速度同期手段８と基板５及
び装置内コンベヤ４との関係を示しており、図２はその
縦断側面図、図３（ａ）はその横断平面図、図３（ｂ）
はその縦断側面図、図３（ｃ）は速度同期手段８の後面
図である。
び装置内コンベヤ４との関係を示しており、図２はその
縦断側面図、図３（ａ）はその横断平面図、図３（ｂ）
はその縦断側面図、図３（ｃ）は速度同期手段８の後面
図である。
【００２８】速度同期手段８は、装置内コンベヤ４に設
けられて基板５の下面を支える支持ピン部９と、基板５
の上面を挟み込む回転体８ａと、装置内コンベヤ４の直
線運動を回転運動に変換して回転体８ａに伝えるスプロ
ケット８ｂと、回転体８ａの回転軸８ｈの変動を上下方
向にだけ自由にする規制ブロック８ｃと、その上下方向
の変動を調整する圧縮バネ８ｄ及びストッパー８ｅと、
スプロケット８ｂと回転体８ａとを連結する自在ジョイ
ント８ｆとから構成される。スプロケット８ｂは管状の
スプロケット軸８ｊを備え、そのスプロケット軸８ｊ
が、スプロケット８ｂの回転を前記自在ジョイント８ｆ
を介して回転軸８ｈに伝達して回転体８ａを回転させ
る。自在ジョイント８ｆは前記回転軸８ｈに遊挿された
ピン８ｋと球面軸受８ｍとからなり、前記回転軸８ｈが
スプロケット軸８ｊの軸心に対して、自由に傾動するよ
うに両者８ｈ、８ｊを結合している。尚、支持ピン部９
は、装置内コンベヤ４を構成するチェーンベルトの各チ
ェーンの結合ピンを内側に延出することによって基板５
を支持するように形成したものである。
けられて基板５の下面を支える支持ピン部９と、基板５
の上面を挟み込む回転体８ａと、装置内コンベヤ４の直
線運動を回転運動に変換して回転体８ａに伝えるスプロ
ケット８ｂと、回転体８ａの回転軸８ｈの変動を上下方
向にだけ自由にする規制ブロック８ｃと、その上下方向
の変動を調整する圧縮バネ８ｄ及びストッパー８ｅと、
スプロケット８ｂと回転体８ａとを連結する自在ジョイ
ント８ｆとから構成される。スプロケット８ｂは管状の
スプロケット軸８ｊを備え、そのスプロケット軸８ｊ
が、スプロケット８ｂの回転を前記自在ジョイント８ｆ
を介して回転軸８ｈに伝達して回転体８ａを回転させ
る。自在ジョイント８ｆは前記回転軸８ｈに遊挿された
ピン８ｋと球面軸受８ｍとからなり、前記回転軸８ｈが
スプロケット軸８ｊの軸心に対して、自由に傾動するよ
うに両者８ｈ、８ｊを結合している。尚、支持ピン部９
は、装置内コンベヤ４を構成するチェーンベルトの各チ
ェーンの結合ピンを内側に延出することによって基板５
を支持するように形成したものである。
【００２９】速度同期手段８は、リフロー装置２の入口
近傍と出口近傍に設けることによって、その出入口部分
でリフロー装置２と搬入コンベヤ１ないし搬出コンベヤ
３のそれぞれ両方に乗り継いでいる基板５が搬入コンベ
ヤ１や搬出コンベヤ３より遅い装置内コンベヤ４の搬送
速度に強制的に同期させるものである。
近傍と出口近傍に設けることによって、その出入口部分
でリフロー装置２と搬入コンベヤ１ないし搬出コンベヤ
３のそれぞれ両方に乗り継いでいる基板５が搬入コンベ
ヤ１や搬出コンベヤ３より遅い装置内コンベヤ４の搬送
速度に強制的に同期させるものである。
【００３０】速度同期手段８をリフロー装置２の入口近
傍に設置した場合を例にとり以下、説明する。
傍に設置した場合を例にとり以下、説明する。
【００３１】基板５は、搬入コンベヤ１上からリフロー
装置２内の装置内コンベヤ４上へ乗り継がせつつ移送さ
れる際、装置内コンベヤ４の支持ピン部９によってその
下面から両端を支えられて搬入コンベヤ１よりリフロー
装置２へ搬入される。図示しない基板搬送モータによっ
て駆動される装置内コンベヤ４の直線運動は、スプロケ
ット８ｂで回転運動に変換される。スプロケット８ｂに
一体化されたスプロケット軸８ｊの回転運動は、自在ジ
ョイント８ｆで連結されている回転軸８ｈに伝達され回
転体８ａを回転させる。回転体８ａの周辺にはＯリング
状のゴム弾性体８ｇが取付けられており、基板５を挟み
込み易くすると共に、一旦挟み込んだ基板５が空滑りす
ることを防止している。
装置２内の装置内コンベヤ４上へ乗り継がせつつ移送さ
れる際、装置内コンベヤ４の支持ピン部９によってその
下面から両端を支えられて搬入コンベヤ１よりリフロー
装置２へ搬入される。図示しない基板搬送モータによっ
て駆動される装置内コンベヤ４の直線運動は、スプロケ
ット８ｂで回転運動に変換される。スプロケット８ｂに
一体化されたスプロケット軸８ｊの回転運動は、自在ジ
ョイント８ｆで連結されている回転軸８ｈに伝達され回
転体８ａを回転させる。回転体８ａの周辺にはＯリング
状のゴム弾性体８ｇが取付けられており、基板５を挟み
込み易くすると共に、一旦挟み込んだ基板５が空滑りす
ることを防止している。
【００３２】回転軸８ｈは、固定中心点８ｉを中心に３
６０°回転可能なため、規制ブロック８ｃの拘束部８ｎ
により、その左右方向の動きが拘束され、上下方向にの
み自由になっている。そして基板５を前記支持ピン部９
と協働して回転体８ａによって圧接状態で挟み込むため
に、回転軸８ｈを圧縮バネ８ｄで押し上げ、その押し上
げ量つまり上下方向の変動量はストッパー８ｅで調整し
ている。この上下方向の変動の調整によって、さまざま
な基板５の厚みに柔軟に対応できるようになる。
６０°回転可能なため、規制ブロック８ｃの拘束部８ｎ
により、その左右方向の動きが拘束され、上下方向にの
み自由になっている。そして基板５を前記支持ピン部９
と協働して回転体８ａによって圧接状態で挟み込むため
に、回転軸８ｈを圧縮バネ８ｄで押し上げ、その押し上
げ量つまり上下方向の変動量はストッパー８ｅで調整し
ている。この上下方向の変動の調整によって、さまざま
な基板５の厚みに柔軟に対応できるようになる。
【００３３】回転体８ａの回転運動の駆動源は装置内コ
ンベヤ４の直線運動から採るので、搬入コンベヤ１とリ
フロー装置２の装置内コンベヤ４の両方にまたがる基板
５の移送速度を、搬入コンベヤ１のチェーンベルトでな
く装置内コンベヤ４のチェーンベルトの速度に容易に同
期させることができ、搬送速度の変更にも簡単に追随す
ることができる。また、回転体８ａ自体が、従来例で示
したストッパー２３の役割を果たし、所定の基板間隔を
保つことができる。
ンベヤ４の直線運動から採るので、搬入コンベヤ１とリ
フロー装置２の装置内コンベヤ４の両方にまたがる基板
５の移送速度を、搬入コンベヤ１のチェーンベルトでな
く装置内コンベヤ４のチェーンベルトの速度に容易に同
期させることができ、搬送速度の変更にも簡単に追随す
ることができる。また、回転体８ａ自体が、従来例で示
したストッパー２３の役割を果たし、所定の基板間隔を
保つことができる。
【００３４】そして、この速度同期手段８をリフロー装
置２の出口近傍に設ける場合には、リフロー装置２の装
置内コンベヤ４と搬出コンベヤ３の両方にまたがる基板
５の移送速度を、搬出コンベヤ３のチェーンベルトでな
く装置内コンベヤ４のチェーンベルトの速度に容易に同
期させることができるので、リフロー装置２内の冷却部
７での所定の冷却時間を確保できる。
置２の出口近傍に設ける場合には、リフロー装置２の装
置内コンベヤ４と搬出コンベヤ３の両方にまたがる基板
５の移送速度を、搬出コンベヤ３のチェーンベルトでな
く装置内コンベヤ４のチェーンベルトの速度に容易に同
期させることができるので、リフロー装置２内の冷却部
７での所定の冷却時間を確保できる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、リ
フロー装置等の基板処理装置における入口・出口付近
で、搬入コンベヤから基板処理装置へ、および基板処理
装置から搬出コンベヤへとそれぞれに乗り継ぐ基板の搬
入・搬出速度を、それらより遅い基板処理装置の搬送速
度に強制的に同期させることによって、基板処理装置の
入口では基板の搬入間隔を保つことで基板停止スペース
が不要となると共に、基板処理装置の出口ではリフロー
装置における冷却時間等のような所定時間を確保して搬
出することができる。
フロー装置等の基板処理装置における入口・出口付近
で、搬入コンベヤから基板処理装置へ、および基板処理
装置から搬出コンベヤへとそれぞれに乗り継ぐ基板の搬
入・搬出速度を、それらより遅い基板処理装置の搬送速
度に強制的に同期させることによって、基板処理装置の
入口では基板の搬入間隔を保つことで基板停止スペース
が不要となると共に、基板処理装置の出口ではリフロー
装置における冷却時間等のような所定時間を確保して搬
出することができる。
【図１】本発明の一実施形態の要部を示し、（ａ）は平
面図、（ｂ）は縦断側面図。
面図、（ｂ）は縦断側面図。
【図２】同実施形態における速度同期手段を示す縦断側
面図。
面図。
【図３】同実施形態における速度同期手段を示し、
（ａ）は横断平面図、（ｂ）は縦断側面図、（ｃ）はそ
の後面図。
（ａ）は横断平面図、（ｂ）は縦断側面図、（ｃ）はそ
の後面図。
【図４】従来例の概略構成を示す縦断側面図。
１ 搬入コンベヤ ２ リフロー装置（基板処理装置） ３ 搬出コンベヤ ４ 装置内コンベヤ ５ 基板 ８ 速度同期手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桑原 公仁 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 永井 耕一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 野々村 勝 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 阿部 俊宏 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 3F027 AA04 CA02 DA14 DA16 EA01 5E313 AA11 CC07 DD12 FG06 5E319 AC01 BB01 CC36 CD35 GG11
Claims (7)
- 【請求項１】 基板を基板処理装置へ搬入する搬入コン
ベヤと、搬入コンベヤより遅い搬送速度の装置内コンベ
ヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処理を施す基板処理
装置とにおける基板搬送方法において、搬入コンベヤ上
にある基板を装置内コンベヤ上に乗り継がせつつ移送す
る際に、基板処理装置の入口近傍に設けた速度同期手段
により、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に
強制的に同期させることを特徴とする基板搬送方法。 - 【請求項２】 装置内コンベヤで基板を搬送しつつ基板
に所定の処理を施す基板処理装置と、処理された基板を
基板処理装置から装置内コンベヤより速い搬送速度で基
板を搬出する搬出コンベヤとにおける基板搬送方法にお
いて、装置内コンベヤ上にある基板を搬出コンベヤ上に
乗り継がせつつ移送する際に、基板処理装置の出口近傍
に設けた速度同期手段により、基板の移送速度を装置内
コンベヤの搬送速度に強制的に同期させることを特徴と
する基板搬送方法。 - 【請求項３】 基板を基板処理装置へ搬入する搬入コン
ベヤと、搬入コンベヤより遅い搬送速度の装置内コンベ
ヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処理を施す基板処理
装置と、処理された基板を基板処理装置から装置内コン
ベヤより速い搬送速度で基板を搬出する搬出コンベヤと
における基板搬送方法において、搬入コンベヤ上にある
基板を装置内コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際に
は、基板処理装置の入口近傍に設けた速度同期手段によ
り、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制
的に同期させる一方、装置内コンベヤ上にある基板を搬
出コンベヤ上に乗り継がせつつ移送する際には、基板処
理装置の出口近傍に設けた速度同期手段により、基板の
移送速度を装置内コンベヤの搬送速度に強制的に同期さ
せることを特徴とする基板搬送方法。 - 【請求項４】 速度同期手段は、装置内コンベヤによっ
て駆動され装置内コンベヤと同一の速度で回転する回転
体であって、装置内コンベヤとの間で基板を圧接状態で
挟むものである請求項１、２又は３記載の基板搬送方
法。 - 【請求項５】 基板を基板処理装置へ搬入する搬入コン
ベヤと、搬入コンベヤより遅い搬送速度の装置内コンベ
ヤで基板を搬送しつつ基板に所定の処理を施す基板処理
装置と、処理された基板を基板処理装置から装置内コン
ベヤより速い搬送速度で基板を搬出する搬出コンベヤと
からなる基板搬送装置において、基板処理装置の入口近
傍には、搬入コンベヤ上にある基板を装置内コンベヤ上
に乗り継がせつつ移送する際に、基板の移送速度を装置
内コンベヤの搬送速度に強制的に同期させる速度同期手
段を設け、基板処理装置の出口近傍には、装置内コンベ
ヤ上にある基板を搬出コンベヤ上に乗り継がせつつ移送
する際に、基板の移送速度を装置内コンベヤの搬送速度
に強制的に同期させる速度同期手段を設けたことを特徴
とする基板搬送装置。 - 【請求項６】 速度同期手段は、装置内コンベヤによっ
て駆動され装置内コンベヤと同一の速度で回転する回転
体であって、装置内コンベヤとの間で基板を圧接状態で
挟むものである請求項５記載の基板搬送装置。 - 【請求項７】 回転体は、その周縁に弾性ゴム体を取付
けたものである請求項６記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01687899A JP4278753B2 (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01687899A JP4278753B2 (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000216594A true JP2000216594A (ja) | 2000-08-04 |
| JP4278753B2 JP4278753B2 (ja) | 2009-06-17 |
Family
ID=11928454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01687899A Expired - Lifetime JP4278753B2 (ja) | 1999-01-26 | 1999-01-26 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4278753B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010147041A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 基板製造移送設備 |
| JP2021100084A (ja) * | 2019-12-24 | 2021-07-01 | 株式会社鈴木 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0465891A (ja) * | 1990-07-06 | 1992-03-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リフロー装置 |
| JPH04147765A (ja) * | 1990-10-09 | 1992-05-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リフロー装置 |
| JPH06164130A (ja) * | 1992-11-18 | 1994-06-10 | Toshiba Corp | プリント基板のリフロー炉 |
| JPH08291U (ja) * | 1993-11-08 | 1996-02-16 | 日立粉末冶金株式会社 | 連続炉の物品取出し装置 |
-
1999
- 1999-01-26 JP JP01687899A patent/JP4278753B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0465891A (ja) * | 1990-07-06 | 1992-03-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リフロー装置 |
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| JPH06164130A (ja) * | 1992-11-18 | 1994-06-10 | Toshiba Corp | プリント基板のリフロー炉 |
| JPH08291U (ja) * | 1993-11-08 | 1996-02-16 | 日立粉末冶金株式会社 | 連続炉の物品取出し装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010147041A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 基板製造移送設備 |
| JP2021100084A (ja) * | 2019-12-24 | 2021-07-01 | 株式会社鈴木 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4278753B2 (ja) | 2009-06-17 |
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|
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