JP2021059783A5 - - Google Patents
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- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 9
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023181313A JP2024010051A (ja) | 2017-11-14 | 2023-10-20 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017219369 | 2017-11-14 | ||
| JP2017219369 | 2017-11-14 | ||
| JP2017249744 | 2017-12-26 | ||
| JP2017249744 | 2017-12-26 | ||
| JP2018002932 | 2018-01-11 | ||
| JP2018002932 | 2018-01-11 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020134174A Division JP6814420B2 (ja) | 2017-11-14 | 2020-08-06 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023181313A Division JP2024010051A (ja) | 2017-11-14 | 2023-10-20 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021059783A JP2021059783A (ja) | 2021-04-15 |
| JP2021059783A5 true JP2021059783A5 (enExample) | 2021-12-23 |
Family
ID=66496400
Family Applications (14)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018563643A Pending JPWO2019098168A1 (ja) | 2017-11-14 | 2018-11-13 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
| JP2019554213A Active JP7167936B2 (ja) | 2017-11-14 | 2018-11-13 | 蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスクを備える蒸着マスク装置 |
| JP2019554211A Active JP6787503B2 (ja) | 2017-11-14 | 2018-11-13 | 蒸着マスクを製造するための金属板の製造方法 |
| JP2019090946A Active JP6792829B2 (ja) | 2017-11-14 | 2019-05-13 | 蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスクを備える蒸着マスク装置 |
| JP2019122142A Active JP6896801B2 (ja) | 2017-11-14 | 2019-06-28 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
| JP2020134174A Active JP6814420B2 (ja) | 2017-11-14 | 2020-08-06 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
| JP2020180577A Active JP7116929B2 (ja) | 2017-11-14 | 2020-10-28 | 蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 |
| JP2020202968A Pending JP2021059783A (ja) | 2017-11-14 | 2020-12-07 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
| JP2021133631A Active JP7125683B2 (ja) | 2017-11-14 | 2021-08-18 | 蒸着マスクを製造するための金属板並びに蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 |
| JP2022123637A Active JP7334833B2 (ja) | 2017-11-14 | 2022-08-02 | 蒸着マスクを製造するための金属板の製造方法 |
| JP2022169266A Active JP7478364B2 (ja) | 2017-11-14 | 2022-10-21 | 蒸着マスクを製造するための金属板の評価方法 |
| JP2023128116A Active JP7720035B2 (ja) | 2017-11-14 | 2023-08-04 | 蒸着マスクを製造するための金属板の製造方法 |
| JP2023181313A Pending JP2024010051A (ja) | 2017-11-14 | 2023-10-20 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
| JP2025033920A Pending JP2025090646A (ja) | 2017-11-14 | 2025-03-04 | 蒸着マスクを製造するための金属板 |
Family Applications Before (7)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018563643A Pending JPWO2019098168A1 (ja) | 2017-11-14 | 2018-11-13 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
| JP2019554213A Active JP7167936B2 (ja) | 2017-11-14 | 2018-11-13 | 蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスクを備える蒸着マスク装置 |
| JP2019554211A Active JP6787503B2 (ja) | 2017-11-14 | 2018-11-13 | 蒸着マスクを製造するための金属板の製造方法 |
| JP2019090946A Active JP6792829B2 (ja) | 2017-11-14 | 2019-05-13 | 蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスクを備える蒸着マスク装置 |
| JP2019122142A Active JP6896801B2 (ja) | 2017-11-14 | 2019-06-28 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
| JP2020134174A Active JP6814420B2 (ja) | 2017-11-14 | 2020-08-06 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
| JP2020180577A Active JP7116929B2 (ja) | 2017-11-14 | 2020-10-28 | 蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 |
Family Applications After (6)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021133631A Active JP7125683B2 (ja) | 2017-11-14 | 2021-08-18 | 蒸着マスクを製造するための金属板並びに蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 |
| JP2022123637A Active JP7334833B2 (ja) | 2017-11-14 | 2022-08-02 | 蒸着マスクを製造するための金属板の製造方法 |
| JP2022169266A Active JP7478364B2 (ja) | 2017-11-14 | 2022-10-21 | 蒸着マスクを製造するための金属板の評価方法 |
| JP2023128116A Active JP7720035B2 (ja) | 2017-11-14 | 2023-08-04 | 蒸着マスクを製造するための金属板の製造方法 |
| JP2023181313A Pending JP2024010051A (ja) | 2017-11-14 | 2023-10-20 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
| JP2025033920A Pending JP2025090646A (ja) | 2017-11-14 | 2025-03-04 | 蒸着マスクを製造するための金属板 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (5) | US11237481B2 (enExample) |
| EP (3) | EP3712295A4 (enExample) |
| JP (14) | JPWO2019098168A1 (enExample) |
| KR (6) | KR102591494B1 (enExample) |
| CN (7) | CN113774323B (enExample) |
| DE (2) | DE202018006883U1 (enExample) |
| TW (5) | TWI776990B (enExample) |
| WO (3) | WO2019098168A1 (enExample) |
Families Citing this family (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108977762B (zh) * | 2017-06-05 | 2019-12-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩膜板、套装掩膜板和蒸镀系统 |
| JPWO2019098168A1 (ja) * | 2017-11-14 | 2019-11-14 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
| KR102109037B1 (ko) * | 2018-11-13 | 2020-05-11 | (주)애니캐스팅 | 다중배열전극을 이용한 유기 증착 마스크 제조 방법 |
| DE102019007831A1 (de) * | 2018-11-13 | 2020-05-14 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Metallplatte zur herstellung von dampfphasenabscheidungsmasken, verfahren zur herstellung von metallplatten, dampfphasenabscheidungsmaske, verfahren zur herstellung einer dampfphasenabscheidungsmaske, und dampfphasenabscheidungsmaskenvorrichtung aufweisend eine dampfphasenabscheidungsmaske |
| WO2020105910A1 (ko) * | 2018-11-19 | 2020-05-28 | 엘지이노텍 주식회사 | 합금 금속판 및 이를 포함하는 증착용 마스크 |
| JP7487481B2 (ja) | 2019-02-06 | 2024-05-21 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク装置、マスク支持機構及び蒸着マスク装置の製造方法 |
| CN109778116B (zh) * | 2019-03-28 | 2021-03-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种掩膜版及其制作方法、掩膜版组件 |
| CN213708465U (zh) | 2019-10-04 | 2021-07-16 | 凸版印刷株式会社 | 蒸镀掩模 |
| KR20210042026A (ko) * | 2019-10-08 | 2021-04-16 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 증착 마스크를 제조하기 위한 금속판, 금속판의 제조 방법, 증착 마스크 및 증착 마스크의 제조 방법 |
| JP7749925B2 (ja) * | 2020-03-13 | 2025-10-07 | 大日本印刷株式会社 | 有機デバイスの製造装置の蒸着室の評価方法 |
| US11613802B2 (en) * | 2020-04-17 | 2023-03-28 | Rockwell Collins, Inc. | Additively manufactured shadow masks for material deposition control |
| CN114481018B (zh) * | 2020-10-23 | 2024-08-09 | 悟劳茂材料公司 | 掩模制造方法 |
| KR102485407B1 (ko) * | 2020-10-23 | 2023-01-06 | 주식회사 오럼머티리얼 | 마스크의 제조 방법 |
| CN112376015A (zh) * | 2020-11-09 | 2021-02-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种掩膜版及其制作方法、显示基板及其制作方法 |
| CN112323019B (zh) * | 2020-11-18 | 2025-03-14 | 匠博先进材料科技(广州)有限公司 | 一种蒸镀掩模、组件、装置及有机显示装置 |
| CN116547085A (zh) * | 2020-12-03 | 2023-08-04 | 杰富意钢铁株式会社 | 焊接钢管的接缝部以及加热部的位置检测装置、焊接钢管的制造设备、焊接钢管的接缝部以及加热部的位置检测方法、焊接钢管的制造方法以及焊接钢管的品质管理方法 |
| JP7743186B2 (ja) * | 2021-01-08 | 2025-09-24 | 株式会社Magnolia White | 蒸着マスクの製造装置、及び蒸着マスクの製造方法 |
| CN113410151B (zh) * | 2021-06-01 | 2022-10-14 | 云谷（固安）科技有限公司 | 一种确定掩膜版的位置偏移量的方法、装置及设备 |
| CN113373406A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-09-10 | 浙江众凌科技有限公司 | 一种精密金属遮罩及其蚀刻激光复合制作方法 |
| JP7681442B2 (ja) * | 2021-06-22 | 2025-05-22 | 前田建設工業株式会社 | シールドマシンにおけるチャンバー内試料回収装置及び試料回収方法 |
| JP2023035028A (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-13 | 富士フイルム株式会社 | 蒸着マスク形成用転写フィルム及び蒸着マスクの製造方法 |
| TW202325868A (zh) * | 2021-08-31 | 2023-07-01 | 日商凸版印刷股份有限公司 | 蒸鍍遮罩基材、蒸鍍遮罩基材的檢查方法、蒸鍍遮罩的製造方法、及顯示裝置的製造方法 |
| TWI828015B (zh) * | 2021-12-01 | 2024-01-01 | 達運精密工業股份有限公司 | 精密金屬遮罩的製造方法 |
| CN115558928B (zh) * | 2022-08-31 | 2024-10-22 | 浙江众凌科技有限公司 | 一种基于表面平坦度的蒸镀基材蚀刻装置及蚀刻方法 |
| KR102764176B1 (ko) * | 2022-09-29 | 2025-02-07 | 엘지이노텍 주식회사 | 금속판 및 이를 포함하는 증착용 마스크 |
| WO2024102693A2 (en) | 2022-11-07 | 2024-05-16 | Xencor, Inc. | Il-18-fc fusion proteins |
| CN116314527B (zh) * | 2023-03-31 | 2025-09-05 | 江西兆驰半导体有限公司 | 一种led芯片及其制备方法 |
| CN118773543A (zh) * | 2023-04-07 | 2024-10-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种掩模版及制备方法 |
| TW202444140A (zh) | 2023-04-18 | 2024-11-01 | 日商大日本印刷股份有限公司 | 金屬板、金屬板之製造方法、遮罩、遮罩裝置及遮罩之製造方法 |
| WO2025009388A1 (ja) * | 2023-07-06 | 2025-01-09 | Ｔｏｐｐａｎホールディングス株式会社 | メタルマスク用基材、メタルマスク、メタルマスク用基材の製造方法、メタルマスクの製造方法、および、表示装置の製造方法 |
| CN120268813B (zh) * | 2025-06-09 | 2025-10-24 | 浙江众凌科技有限公司 | 一种金属掩膜板用金属带材的板形控制方法 |
Family Cites Families (78)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5612503Y2 (enExample) | 1976-12-08 | 1981-03-23 | ||
| JPS57104141A (en) * | 1980-12-22 | 1982-06-29 | Dainippon Printing Co Ltd | Photomask and photomask substrate |
| JPS5968146A (ja) * | 1982-10-08 | 1984-04-18 | Toshiba Corp | フラツトマスクの表裏判別方法 |
| JPS6139344A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-25 | Toshiba Corp | シャドウマスク |
| JPH0687398B2 (ja) * | 1986-07-08 | 1994-11-02 | 株式会社東芝 | シヤドウマスクの製造方法 |
| US5130203A (en) * | 1988-07-28 | 1992-07-14 | Nippon Leakless Industry Co., Ltd. | Metal gasket and method of producing the same |
| JPH04282439A (ja) * | 1991-03-12 | 1992-10-07 | Fujitsu Ltd | 貫通孔検査装置 |
| JPH0528913A (ja) * | 1991-07-23 | 1993-02-05 | Toshiba Corp | カラーブラウン管用シヤドウマスク検査装置 |
| JPH05144384A (ja) * | 1991-09-25 | 1993-06-11 | Toshiba Corp | シヤドウマスク用素材 |
| JPH0634623A (ja) * | 1992-07-17 | 1994-02-10 | Nkk Corp | 鋼板の表面のカーボン汚れ分析方法 |
| JPH08220778A (ja) | 1995-02-17 | 1996-08-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | エッチング方法及び装置 |
| JPH08269742A (ja) * | 1995-03-30 | 1996-10-15 | Nikko Kinzoku Kk | 精密エッチング加工用冷間圧延金属材料及びその製造方法 |
| JPH11219986A (ja) * | 1998-02-03 | 1999-08-10 | Hitachi Cable Ltd | Ｔａｂ用テープキャリアの製造方法 |
| US6547893B1 (en) * | 1999-06-10 | 2003-04-15 | Nippon Yakin Kogyo Co., Ltd. | Fe-Ni based material for shadow mask |
| JP4595143B2 (ja) | 1999-09-06 | 2010-12-08 | 双葉電子工業株式会社 | 有機ｅｌデバイスとその製造方法 |
| JP2001131707A (ja) | 1999-10-29 | 2001-05-15 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーブラウン管用シャドウマスク |
| JP2001234385A (ja) | 2000-02-24 | 2001-08-31 | Tohoku Pioneer Corp | メタルマスク及びその製造方法 |
| EP1134300A3 (en) | 2000-03-17 | 2002-05-22 | Hitachi Metals, Ltd. | Fe-Ni alloy |
| JP3370316B2 (ja) * | 2000-04-28 | 2003-01-27 | 福田金属箔粉工業株式会社 | プリント配線板用銅箔及びその表面処理方法 |
| US6524723B2 (en) | 2000-04-28 | 2003-02-25 | Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd. | Copper foil for printed circuit boards and its surface treatment method |
| JP3545684B2 (ja) * | 2000-07-17 | 2004-07-21 | 日鉱金属加工株式会社 | エッチング穿孔性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金シャドウマスク用素材 |
| JP2002035804A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-05 | Hitachi Metals Ltd | 高強度シャドウマスク用あるいはアパーチャグリル用薄板の製造方法 |
| JP2002194573A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-10 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 銅および銅合金の表面処理剤 |
| JP3740105B2 (ja) | 2001-11-20 | 2006-02-01 | 日鉱金属加工株式会社 | シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金条 |
| JP2004061121A (ja) | 2002-07-24 | 2004-02-26 | Nippon Light Metal Co Ltd | 表面分析用標準試料及びその製造方法 |
| JP2004185890A (ja) * | 2002-12-02 | 2004-07-02 | Hitachi Metals Ltd | メタルマスク |
| JP3975439B2 (ja) * | 2002-12-02 | 2007-09-12 | 日立金属株式会社 | メタルマスク |
| JP4170179B2 (ja) * | 2003-01-09 | 2008-10-22 | 株式会社 日立ディスプレイズ | 有機ｅｌパネルの製造方法および有機ｅｌパネル |
| JP2006010576A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 物体表面における測定対象凹部或いは凸部の幅測定方法および体積測定方法 |
| US20060068132A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-03-30 | Asahi Glass Company, Limited | Ink jet recording sheet for plate-making mask film, and process for producing flexographic printing plate |
| DE602006003856D1 (de) * | 2006-02-28 | 2009-01-08 | Agfa Graphics Nv | Verfahren zur Herstellung eines lithographischen Druckplattenträgers |
| DE102008064781B3 (de) * | 2007-04-23 | 2016-01-07 | Hitachi High-Technologies Corporation | lonenstrahlbearbeitungs-/Betrachtungsvorrichtung |
| JP4983399B2 (ja) * | 2007-05-25 | 2012-07-25 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | マスクアライメント装置 |
| JP2009054512A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Seiko Epson Corp | マスク |
| JP2010106358A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-05-13 | Canon Inc | 成膜用マスク及びそれを用いた成膜方法 |
| JP5294072B2 (ja) * | 2009-03-18 | 2013-09-18 | 日立金属株式会社 | エッチング加工用素材の製造方法及びエッチング加工用素材 |
| JP2010247500A (ja) * | 2009-04-20 | 2010-11-04 | Sonocom Co Ltd | マスク及びマスクの製造方法 |
| US9337497B2 (en) * | 2011-02-15 | 2016-05-10 | Plansee Se | Layer structure and use thereof to form a ceramic layer structure between an interconnect and a cathode of a high-temperature fuel cell |
| KR101711502B1 (ko) * | 2011-06-22 | 2017-03-02 | 아익스트론 에스이 | 기상 증착 방법 및 장치 |
| MX2014003968A (es) * | 2011-10-14 | 2014-08-27 | Ingrain Inc | Metodo de imagen doble y sistema para generar una imagen multidimensional de una muestra. |
| CN102692184B (zh) * | 2012-02-29 | 2014-07-23 | 首钢总公司 | 一种同时测量腐蚀坑体积、面积、深度的方法 |
| JP5382259B1 (ja) * | 2013-01-10 | 2014-01-08 | 大日本印刷株式会社 | 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いて蒸着マスクを製造する方法 |
| JP6432722B2 (ja) * | 2013-07-30 | 2018-12-05 | 俊 保坂 | 半導体センサー・デバイスおよびその製造方法 |
| JP5455099B1 (ja) * | 2013-09-13 | 2014-03-26 | 大日本印刷株式会社 | 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いてマスクを製造する方法 |
| JP2015129334A (ja) * | 2014-01-08 | 2015-07-16 | 大日本印刷株式会社 | 積層マスクの製造方法、積層マスクおよび保護フィルム付き積層マスク |
| JP2015140464A (ja) * | 2014-01-29 | 2015-08-03 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク装置及び熱バリア材 |
| JP5626491B1 (ja) | 2014-03-06 | 2014-11-19 | 大日本印刷株式会社 | 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いて蒸着マスクを製造する方法 |
| JP5641462B1 (ja) | 2014-05-13 | 2014-12-17 | 大日本印刷株式会社 | 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いてマスクを製造する方法 |
| KR101862962B1 (ko) * | 2014-05-28 | 2018-05-30 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | 열간 공구 재료 및 열간 공구의 제조 방법 |
| JP6341039B2 (ja) | 2014-09-29 | 2018-06-13 | 大日本印刷株式会社 | 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いて蒸着マスクを製造する方法 |
| JP6459040B2 (ja) | 2014-12-10 | 2019-01-30 | 大日本印刷株式会社 | 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いて蒸着マスクを製造する方法 |
| JP6515520B2 (ja) * | 2014-12-15 | 2019-05-22 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスクを作製するために用いられる金属板および蒸着マスク |
| JP6372755B2 (ja) * | 2014-12-24 | 2018-08-15 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスクを作製するために用いられる金属板および蒸着マスク |
| JP6628082B2 (ja) * | 2015-01-20 | 2020-01-08 | 日立金属株式会社 | Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方法 |
| JP2015098650A (ja) * | 2015-02-05 | 2015-05-28 | Jx日鉱日石金属株式会社 | メタルマスク材料及びメタルマスク |
| EP3626852B1 (en) * | 2015-02-10 | 2022-04-06 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Method for manufacturing a deposition mask |
| WO2016129534A1 (ja) | 2015-02-10 | 2016-08-18 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの製造方法および蒸着マスク |
| JP6666656B2 (ja) * | 2015-04-02 | 2020-03-18 | 東洋鋼鈑株式会社 | Ｒｆマグネトロンスパッタリング装置 |
| CN111526674A (zh) * | 2015-06-05 | 2020-08-11 | Jx日矿日石金属株式会社 | 压延铜箔、覆铜层叠板、以及柔性印刷基板和电子设备 |
| CN110117767A (zh) | 2015-07-17 | 2019-08-13 | 凸版印刷株式会社 | 金属掩模用基材及其制造方法、蒸镀用金属掩模及其制造方法 |
| KR102341450B1 (ko) | 2015-07-17 | 2021-12-21 | 도판 인사츠 가부시키가이샤 | 메탈 마스크 기재, 메탈 마스크 기재의 관리 방법, 메탈 마스크, 및, 메탈 마스크의 제조 방법 |
| CN107406963B (zh) * | 2015-07-17 | 2018-11-20 | 凸版印刷株式会社 | 蒸镀用金属掩模基材及其制造方法、蒸镀用金属掩模及其制造方法 |
| CN105004786B (zh) * | 2015-08-17 | 2017-10-31 | 苏州热工研究院有限公司 | 一种基于涡流检测的换热管管壁凹陷程度评估方法 |
| JP6598007B2 (ja) | 2015-09-30 | 2019-10-30 | 日立金属株式会社 | Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方法 |
| JP6177299B2 (ja) * | 2015-11-04 | 2017-08-09 | Ｊｘ金属株式会社 | メタルマスク材料及びメタルマスク |
| JP6177298B2 (ja) * | 2015-11-04 | 2017-08-09 | Ｊｘ金属株式会社 | メタルマスク材料及びメタルマスク |
| JP6624504B2 (ja) * | 2015-12-03 | 2019-12-25 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 |
| KR102586048B1 (ko) | 2016-01-12 | 2023-10-10 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 조립체, 이의 제조방법 및 이를 포함한 표시 장치의 제조장치 |
| JP6720564B2 (ja) * | 2016-02-12 | 2020-07-08 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法 |
| JP6460131B2 (ja) * | 2016-02-16 | 2019-01-30 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 溶融亜鉛めっき鋼板の表面性状評価方法、溶融亜鉛めっき鋼板の表面性状評価装置、及び溶融亜鉛めっき鋼板の製造方法 |
| JP6670469B2 (ja) * | 2016-03-16 | 2020-03-25 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクおよび蒸着マスク中間体 |
| EP3231588A1 (de) * | 2016-04-12 | 2017-10-18 | Evonik Röhm GmbH | Sprühgetrocknetes weichphasenemulsionspolymerisat für das auffüllen der zwickel in perlpolymerisatschichten im binder jetting verfahren |
| EP3508604B1 (en) | 2016-08-31 | 2020-12-09 | Hitachi Metals, Ltd. | Metal mask material and production method therefor |
| KR102164912B1 (ko) | 2016-08-31 | 2020-10-13 | 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 | 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 |
| KR101819367B1 (ko) * | 2016-09-08 | 2018-01-17 | 주식회사 포스코 | 철-니켈 합금 박 및 이의 제조방법 |
| KR102294111B1 (ko) | 2017-06-20 | 2021-08-26 | 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 | 메탈 마스크용 박판의 제조 방법 및 메탈 마스크용 박판 |
| JPWO2019098168A1 (ja) | 2017-11-14 | 2019-11-14 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板、金属板の検査方法、金属板の製造方法、蒸着マスク、蒸着マスク装置及び蒸着マスクの製造方法 |
| KR20200058819A (ko) * | 2018-11-20 | 2020-05-28 | 엘지이노텍 주식회사 | 합금 금속판 및 이를 포함하는 증착용 마스크 |
-
2018
- 2018-11-13 JP JP2018563643A patent/JPWO2019098168A1/ja active Pending
- 2018-11-13 KR KR1020207016042A patent/KR102591494B1/ko active Active
- 2018-11-13 KR KR1020237035288A patent/KR20230150402A/ko not_active Ceased
- 2018-11-13 WO PCT/JP2018/041919 patent/WO2019098168A1/ja not_active Ceased
- 2018-11-13 CN CN202111239868.3A patent/CN113774323B/zh active Active
- 2018-11-13 JP JP2019554213A patent/JP7167936B2/ja active Active
- 2018-11-13 CN CN201811344229.1A patent/CN109778113B/zh active Active
- 2018-11-13 KR KR1020207016167A patent/KR20200087184A/ko active Pending
- 2018-11-13 WO PCT/JP2018/041915 patent/WO2019098165A1/ja not_active Ceased
- 2018-11-13 TW TW107140185A patent/TWI776990B/zh active
- 2018-11-13 KR KR1020207016170A patent/KR102596249B1/ko active Active
- 2018-11-13 EP EP18879902.7A patent/EP3712295A4/en active Pending
- 2018-11-13 TW TW107140184A patent/TWI757562B/zh active
- 2018-11-13 DE DE202018006883.7U patent/DE202018006883U1/de active Active
- 2018-11-13 TW TW107140186A patent/TWI765121B/zh active
- 2018-11-13 EP EP18879989.4A patent/EP3712296A4/en active Pending
- 2018-11-13 EP EP18879719.5A patent/EP3712294A4/en active Pending
- 2018-11-13 CN CN201811344277.0A patent/CN109778114B/zh active Active
- 2018-11-13 KR KR1020237036866A patent/KR20230154477A/ko not_active Ceased
- 2018-11-13 CN CN201811345197.7A patent/CN109778115A/zh active Pending
- 2018-11-13 TW TW111133554A patent/TWI827235B/zh active
- 2018-11-13 JP JP2019554211A patent/JP6787503B2/ja active Active
- 2018-11-13 WO PCT/JP2018/041918 patent/WO2019098167A1/ja not_active Ceased
- 2018-11-13 CN CN202311162647.XA patent/CN117187746A/zh active Pending
- 2018-11-13 DE DE202018006884.5U patent/DE202018006884U1/de active Active
- 2018-11-13 CN CN202110306778.5A patent/CN113061843B/zh active Active
-
2019
- 2019-05-13 JP JP2019090946A patent/JP6792829B2/ja active Active
- 2019-06-28 JP JP2019122142A patent/JP6896801B2/ja active Active
- 2019-09-21 US US16/578,291 patent/US11237481B2/en active Active
- 2019-09-24 US US16/580,401 patent/US20200017951A1/en not_active Abandoned
- 2019-09-24 US US16/580,524 patent/US11733607B2/en active Active
- 2019-11-13 CN CN201911106045.6A patent/CN111455312B/zh active Active
- 2019-11-13 TW TW108141150A patent/TWI832926B/zh active
- 2019-11-13 KR KR1020190145054A patent/KR102650066B1/ko active Active
-
2020
- 2020-08-06 JP JP2020134174A patent/JP6814420B2/ja active Active
- 2020-10-28 JP JP2020180577A patent/JP7116929B2/ja active Active
- 2020-12-07 JP JP2020202968A patent/JP2021059783A/ja active Pending
-
2021
- 2021-02-05 US US17/168,496 patent/US20210157232A1/en active Pending
- 2021-08-18 JP JP2021133631A patent/JP7125683B2/ja active Active
- 2021-12-29 US US17/646,351 patent/US12117727B2/en active Active
-
2022
- 2022-08-02 JP JP2022123637A patent/JP7334833B2/ja active Active
- 2022-10-21 JP JP2022169266A patent/JP7478364B2/ja active Active
-
2023
- 2023-08-04 JP JP2023128116A patent/JP7720035B2/ja active Active
- 2023-10-20 JP JP2023181313A patent/JP2024010051A/ja active Pending
-
2025
- 2025-03-04 JP JP2025033920A patent/JP2025090646A/ja active Pending
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