JP2021057364A - 搬送システム - Google Patents
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Abstract
Description
対象物を複数収納する収納容器と、トレイに保持された複数の対象物に対して一括して処理を行う処理装置との間で、対象物を搬送する搬送システムであって、
前記収納容器が載置される載置部と、
複数の対象物が載置されるステージと、
前記トレイを支持するトレイ支持部と、
前記載置部に載置された収納容器と前記ステージとの間で対象物を搬送する第1搬送装置と、
前記ステージと前記トレイ支持部に支持されたトレイとの間で対象物を搬送する第2搬送装置と、
を備えることを特徴とする。
前記第2搬送装置が、n枚(ただし、nは2以上の整数)の対象物を一度に搬送するものであり、
前記トレイが、n×m枚(ただし、mは1以上の整数)の対象物を保持するものであることを特徴とする。
前記ステージが、
前記第2搬送装置がアクセス可能な受渡し位置と、これから外れた退避位置との間で移動可能に設けられた可動ステージ部分と、
前記可動ステージ部分と上下にずれた高さ位置において、前記受渡し位置に固定的に設けられた固定ステージ部分と、
を備えることを特徴とする。
対象物を反転させる反転装置、
を備え、
前記第1搬送装置が、
前記載置部に載置された収納容器と、前記ステージと、前記反転装置との間で、対象物を搬送することを特徴とする。
対象物を一時的に収納するストッカー、
を備え、
前記第1搬送装置が、
前記載置部に載置された収納容器と、前記ステージと、前記ストッカーとの間で、対象物を搬送することを特徴とする。
前記処理装置から、処理済みの対象物が保持されたトレイを受け取るとともに、前記処理装置に、未処理の対象物が保持されたトレイを受け渡す、トレイ搬送装置、
を備えることを特徴とする。
実施形態に係る搬送システムの全体構成を、主として図1、図2を参照しながら説明する。図1は、実施形態に係る搬送システム1の構成を模式的に示す斜視図である。図2は、搬送システム1の構成を模式的に示す平面図である。
ロードポート11は、収納容器9に収納された複数枚のテープフレームウエハ90を外部の雰囲気に晒すことなく、収納容器9の内部空間を第1筐体121の内部空間と連通させるための装置であり、収納容器9が載置される載置部31を備える。載置部31には、必要に応じて、収納容器9を所定の位置に案内するガイドピン、収納容器9を該所定の位置に固定する固定ピン、収納容器9の内部空間に所定のガスを供給するガス供給ノズル、収納容器9の内部空間のガスを排出するガス排出ノズル、載置部31を前後にスライドさせる駆動機構、等が設けられる(いずれも図示省略)。
第1搬送部12は、第1筐体121の内部に、複数枚のテープフレームウエハ90が載置されるステージ41、テープフレームウエハ90を一時的に収納するストッカー42、テープフレームウエハ90を反転させる反転装置43、これら各部41,42,43の間でテープフレームウエハ90を搬送する搬送装置(第1搬送装置)44、等が配置された構成を備える。また、第1筐体121の内部には、図示しないファンフィルタユニット(FFU:Fan Filter Unit)等が設けられており、第1筐体121の内部空間に清浄な気体のダウンフローが形成されるようになっている。
第2搬送部13は、第2筐体131の内部に、トレイ8を支持するトレイ支持部51、トレイ支持部51を移動させるためのトレイ支持部駆動機構52、第1搬送部12のステージ41とトレイ支持部51に支持されているトレイ8との間でテープフレームウエハ90を搬送する搬送装置(第2搬送装置)53、等が配置された構成を備える。また、第2筐体131の内部には、図示しないファンフィルタユニット等が設けられており、第2筐体131の内部空間に清浄な気体のダウンフローが形成されるようになっている。
制御部14は、搬送システム1が備える各部の動作を制御する。制御部14のハードウェアとしての構成は、一般的なコンピュータと同様である。すなわち、制御部14は、各種演算処理を行うCPU、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるROM、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるRAM、制御用ソフトウェアやデータなどを記憶しておく磁気ディスク、等を備えている。制御部14のCPUが所定の処理プログラムを実行することによって搬送システム1において所定の搬送動作が進行する。
搬送システム1は、所定の搬送動作を行うことによって、収納容器9に収納されている未処理のテープフレームウエハ90を、トレイ8上に並べていくとともに、トレイ8に保持されている処理済みのテープフレームウエハ90を、収納容器9に収納していく。以下において、搬送システム1において実行される搬送動作の一例について、図3〜図26を参照しながら説明する。以下に説明する一連の動作は、制御部14の制御下で実行される。
まず、未処理のテープフレームウエハ90を複数枚収納した収納容器9が、ロードポート11の載置部31に載置される。そして、ロードポート11が所定の動作を行うことにより、該収納容器9の本体部901の内部空間が、開口321を介して第1筐体121の内部空間と連通した状態とされる(図3)。
載置部31に載置された収納容器9の内部空間が第1筐体121の内部空間と連通した状態とされると、第1搬送装置44が、収納容器9に収容されている未処理のテープフレームウエハ90を取り出して、これを反転装置43に渡す(図4)。反転装置43が該テープフレームウエハ90を反転させると、第1搬送装置44は該反転されたテープフレームウエハ90を受け取って、これを退避位置P2に配置されている可動ステージ部分412に搬送する(図5〜図6)。このような動作が繰り返されて、可動ステージ部分412に、3枚の未処理のテープフレームウエハ90が載置された状態とされる(図7)。
第1搬送装置44は、引き続き、収納容器9に収容されている4枚目のテープフレームウエハ90を取り出して、これを反転装置43に渡し、反転後の該テープフレームウエハ90を反転装置43から受け取る。可動ステージ部分412は既に3枚のテープフレームウエハ90で埋まっているため、この4枚目のテープフレームウエハ90を可動ステージ部分412に載置することはできない。そこで、第1搬送装置44は、4枚目以降のテープフレームウエハ90については、反転後、ストッカー42に格納していく(図8)。第1搬送装置44は、このような動作を、ストッカー42に6枚の未処理のテープフレームウエハ90が格納されるまで、繰り返す(図8〜図11)。
固定ステージ部分411に処理済みのテープフレームウエハ90が3枚載置されると、第1搬送装置44は、固定ステージ部分411に載置されている処理済みのテープフレームウエハ90を次々とストッカー42に移載するとともに、固定ステージ部分411の空いた位置に、ストッカー42に格納されていた未処理のテープフレームウエハ90を次々に移載する。このような動作が繰り返されて、固定ステージ部分411に3枚の未処理のテープフレームウエハ90が載置された状態とされる(図12〜図14)。
可動ステージ部分412に処理済みのテープフレームウエハ90が載置されると、第1搬送装置44は、可動ステージ部分412に載置されている処理済みのテープフレームウエハ90を次々とストッカー42に移載するとともに、可動ステージ部分412の空いた位置に、ストッカー42に格納されていた未処理のテープフレームウエハ90を次々と移載する。このような動作が繰り返されて、可動ステージ部分412に3枚の未処理のテープフレームウエハ90が載置された状態とされる(図16〜図18)。可動ステージ部分412に3枚の未処理のテープフレームウエハ90が載置された状態となると、続いて、第1搬送装置44は、ストッカー42に収容されている処理済みのテープフレームウエハ90を取り出して、これを反転装置43に渡し、反転後のテープフレームウエハ90を受け取って、これを載置部31に載置された収納容器9に搬送する(図19〜図21)。
第1搬送装置44は、ストッカー42内から処理済みのテープフレームウエハ90がなくなるまで、これを収納容器9に搬送する動作を繰り返す。すなわち、第1搬送装置44は、ストッカー42に収容されている処理済みのテープフレームウエハ90を取り出して、これを反転装置43に渡し、反転後のテープフレームウエハ90を受け取って、これを載置部31に載置された収納容器9に搬送する、という動作を繰り返す(図22)。そして、ストッカー42内から処理済みのテープフレームウエハ90がなくなると、続いて、第1搬送装置44は、固定ステージ部分411に載置されている処理済みのテープフレームウエハ90を保持して、これを反転装置43に渡し、反転後の該テープフレームウエハ90を反転装置43から受け取って、これを載置部31に載置された収納容器9に搬送する。このような動作が繰り返されて、固定ステージ部分411に載置されている3枚の処理済みのテープフレームウエハ90が全て収納容器9に収納される(図23〜図25)。
上記の実施形態に係る搬送システム1は、対象物であるテープフレームウエハ90を複数収納する収納容器9と、トレイ8に保持された複数のテープフレームウエハ90に対して一括して処理を行う処理装置2との間で、テープフレームウエハ90を搬送する。この搬送システム1は、収納容器9が載置される載置部31と、複数のテープフレームウエハ90が載置されるステージ41と、トレイ8を支持するトレイ支持部51と、載置部31に載置された収納容器9とステージ41との間でテープフレームウエハ90を搬送する第1搬送装置44と、ステージ41とトレイ支持部51に支持されたトレイ8との間でテープフレームウエハ90を搬送する第2搬送装置53と、を備える。
上記の実施形態では、ステージ41が備える各ステージ部分411,412が、最大で3枚のテープフレームウエハ90を載置できるものとしたが、各ステージ部分411,412に載置できるテープフレームウエハ90の最大枚数は3枚でなくともよい。もっとも、上記の通り、搬送効率を高めるためには、各ステージ部分411,412に載置できるテープフレームウエハ90の最大枚数と、第2搬送装置53が一度に搬送するテープフレームウエハ90の枚数とが一致していることが好ましい。
11 ロードポート
31 載置部
12 第1搬送部
41 ステージ
411 固定ステージ部分
412 可動ステージ部分
413 ステージ駆動機構
42 ストッカー
43 反転装置
44 第1搬送装置
13 第2搬送部
51 トレイ支持部
52 トレイ支持部駆動機構
53 第2搬送装置
14 制御部
2 処理装置
21 処理部
22 ロードロック部
8 トレイ
9 収納容器
90 対象物(テープフレームウエハ)
Claims (6)
- 対象物を複数収納する収納容器と、トレイに保持された複数の対象物に対して一括して処理を行う処理装置との間で、対象物を搬送する搬送システムであって、
前記収納容器が載置される載置部と、
複数の対象物が載置されるステージと、
前記トレイを支持するトレイ支持部と、
前記載置部に載置された収納容器と前記ステージとの間で対象物を搬送する第1搬送装置と、
前記ステージと前記トレイ支持部に支持されたトレイとの間で対象物を搬送する第2搬送装置と、
を備えることを特徴とする、搬送システム。 - 請求項1に記載の搬送システムであって、
前記第2搬送装置が、n枚(ただし、nは2以上の整数)の対象物を一度に搬送するものであり、
前記トレイが、n×m枚(ただし、mは1以上の整数)の対象物を保持するものである、
ことを特徴とする搬送システム。 - 請求項1または2に記載の搬送システムであって、
前記ステージが、
前記第2搬送装置がアクセス可能な受渡し位置と、これから外れた退避位置との間で移動可能に設けられた可動ステージ部分と、
前記可動ステージ部分と上下にずれた高さ位置において、前記受渡し位置に固定的に設けられた固定ステージ部分と、
を備える、
ことを特徴とする搬送システム。 - 請求項1から3のいずれかに記載の搬送システムであって、
対象物を反転させる反転装置、
を備え、
前記第1搬送装置が、
前記載置部に載置された収納容器と、前記ステージと、前記反転装置との間で、対象物を搬送する、
ことを特徴とする搬送システム。 - 請求項1から4のいずれかに記載の搬送システムであって、
対象物を一時的に収納するストッカー、
を備え、
前記第1搬送装置が、
前記載置部に載置された収納容器と、前記ステージと、前記ストッカーとの間で、対象物を搬送する、
ことを特徴とする搬送システム。 - 請求項1から5のいずれかに記載の搬送システムであって、
前記処理装置から、処理済みの対象物が保持されたトレイを受け取るとともに、前記処理装置に、未処理の対象物が保持されたトレイを受け渡す、トレイ搬送装置、
を備える、
ことを特徴とする搬送システム。
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