CN114514601A - 传送系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够在用于储存多个物体的储存容器与用于对多个物体进行批量处理的处理设备之间高效地传送多个物体的技术。一种用于在用于储存多个物体的储存容器(9)与用于对保持在托盘(8)上的多个物体进行批量处理的处理设备(2)之间传送多个物体的传送系统(1)，包括：将储存容器(9)安装在其上的安装部(31)；将多个物体安装在其上的载物台(41)；支撑托盘(8)的托盘支撑部(51)；在安装在安装部(31)上的储存容器(9)与载物台(41)之间传送多个物体的第一传送装置(44)；以及用于在载物台(41)与通过托盘支撑部(51)支撑的托盘(8)之间传送多个物体的第二传送装置(53)。

Description

传送系统
技术领域
本发明涉及一种在用于容纳物体(通常是晶圆或通过胶带、薄膜保持在框架中的晶圆等)的储存容器与用于处理物体的处理设备之间传送物体的传送系统。
背景技术
众所周知，典型的半导体制造工艺包括在晶圆上形成电路的晶圆处理(预处理)和将晶圆切割成芯片、使其形成有外部端子并用树脂密封的封装处理(后处理)。此外，近年来，有在预处理与后处理之间形成布线层或元件的情况。
经受预处理的晶圆非常薄并且难以独自进行操作。因此，通常，为了便于操作这种晶圆，如图27所示，经受了预处理的晶圆在被送去进行后处理之前被粘接到附接在具有比晶圆91稍大的框架形状(在附图的例子中基本上为环形)的框架93上的胶带92(或粘合膜)上(在下文中，通过胶带92等保持在框架93上的晶圆91也将称为“带框晶圆90”)。通过采用这种形式，晶圆91可以通过框架93保持。这能够容易地操作难以独自进行操作的薄晶圆91。此外，通过采用这种形式，可以在后处理中将晶圆91分散切割成芯片时防止芯片飞散。
在通常的半导体制造工厂中，多个晶圆或多个带框晶圆(在下文中被称为“晶圆”)通过储存在称为FOUP(前开式晶圆盒)、箱体等的封闭储存容器(载体)中来进行传送或保存。在许多情况下，用于处理晶圆等的处理设备包括：将储存容器安装在其上的安装部，其作为处理设备与储存容器之间的接口；以及用于在安装在安装部上的储存容器与处理设备之间传送晶圆等的传送装置。传送装置从安装在安装部上的储存容器中取出未处理的晶圆等并将未处理的晶圆等装载到处理设备的主体部中。传送装置从主体部中卸载处理过的晶圆等并将处理过的晶圆储存到安装在安装部上的储存容器中。
【现有技术文件】
专利文件
专利文件1：日本特开第2017-069488号
专利文件2：日本特开第2012-222288号
在半导体制造工艺中使用的处理设备基本上分为一个接一个地处理晶圆的设备(所谓的单晶圆型)和一次处理多个晶圆的设备(所谓的批量型)。作为后者的一个例子，已知一种处理设备，其中多个晶圆以平面形式设置在托盘上并且共同进行处理。
在以这种方式使用托盘的批量型处理设备中，需要传送过程，其中在接口部处将储存在储存容器中的未处理的晶圆设置到托盘上，并将保持在托盘上的处理过的晶圆储存到储存容器中。
为了不降低处理设备的运行速率，需要充分缩短接口部处的传送过程的循环时间。为此目的，需要高效地执行传送操作。
为了解决上述问题，本发明提供了一种技术的一些实施方式，该技术能够在储存物体的储存容器与对物体共同进行处理的处理设备之间高效地传送物体。
发明内容
本发明采取以下措施来实现上述目的。
根据本发明的一个实施方式，提供了一种用于在被构造为储存多个物体的储存容器与被构造为对保持在托盘上的多个物体进行批量处理的处理设备之间传送多个物体的传送系统，其包括：
安装部，储存容器被安装在其上；
载物台，多个物体被安装在其上；
托盘支撑部，其被构造为支撑托盘；
第一传送装置，其被构造为在安装在安装部上的储存容器与载物台之间传送多个物体；以及
第二传送装置，其被构造为在载物台与通过托盘支撑部支撑的托盘之间传送多个物体。
在上述构造中，每个物体例如是晶圆。作为物体的晶圆例如可以是晶圆自身或者可以通过胶带、薄膜等由框架保持。
根据这种构造，两个传送装置(第一传送装置和第二传送装置)在通过载物台彼此配合的同时在储存容器与托盘之间传送物体。因此，例如，在一个传送装置执行将未处理的物体朝向托盘传送的操作(供应传送操作)的同时，另一个传送装置能够执行将处理过的物体朝向储存容器传送的操作(返回传送操作)。即，能够同时执行供应传送操作和返回传送操作，并且能够在用于储存物体的储存容器与用于对物体进行批量处理的处理设备之间高效地传送物体。
优选地，在传送系统中，第二传送装置被构造为一次传送n个物体(其中n为大于或等于2的整数)，并且托盘被构造为保持n×m个物体(其中m是大于或等于1的整数)。
根据这种构造，第二传送装置一次传送多个物体。因此，第二传送装置能够在载物台与托盘之间高效地传送物体。特别地，可以通过第二传送装置一次传送的物体的数量的整倍数是托盘上保持的物体的总数。因此，尤其可以提高第二传送装置的传送效率。
优选地，在传送系统中，载物台包括：可动载物台部分，其被设置为能在第二传送装置可到达的递送位置与偏离递送位置的缩回位置之间移动；以及固定载物台部分，其被固定地设置在递送位置处以及垂直地偏离可动载物台部分的高度位置处。
根据这种构造，能够充分确保载物台上能够安装的物体的数量。因此，可以提高第一传送装置和第二传送装置二者的传送效率。
优选地，传送系统还包括：翻转装置，其被构造为使多个物体翻转，其中第一传送装置被构造为在安装在安装部上的储存容器、载物台和翻转装置之间传送多个物体。
根据这种构造，可以使储存在储存容器中的物体翻转然后安装到托盘上。当在传送过程中使物体翻转然后安装到托盘上时，难以缩短传送过程中的循环时间，这可能成为瓶颈并可能降低处理设备的运行速率。然而，在这种构造中，在两个传送装置(第一传送装置和第二传送装置)通过载物台彼此配合的同时在储存容器与托盘之间传送物体。这能够高效地传送物体。因此，即使在物体翻转时也能够充分缩短传送过程中的循环时间。
优选地，传送系统还包括：储料器，其被构造为临时储存多个物体，其中第一传送装置被构造为在安装在安装部上的储存容器、载物台和储料器之间传送多个物体。
根据这种构造，第一传送装置根据情况将储存在储存容器中的物体或安装在载物台上的物体临时储存在储料器中。这能够高效地传送物体。
优选地，传送系统还包括：托盘传送装置，其被构造为从处理设备接收保持有处理过的物体的托盘并且将保持有未处理的物体的托盘递送至处理设备。
根据这种构造，处理设备不需要具有用于将托盘递送至传送系统的机构。因此，传送系统可以应用于各种各样的处理设备。
根据本发明，可以在储存物体的储存容器与对物体进行批量处理的处理设备之间高效地传送物体。
附图说明
图1是示意性示出根据一个实施方式的传送系统的构造的立体图。
图2是示意性示出传送系统的构造的平面图。
图3是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第一方面的视图。
图4是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第二方面的视图。
图5是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第二方面的视图。
图6是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第二方面的视图。
图7是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第二方面的视图。
图8是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第三方面的视图。
图9是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第三方面的视图。
图10是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第三方面的视图。
图11是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第三方面的视图。
图12是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第四方面的视图。
图13是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第四方面的视图。
图14是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第四方面的视图。
图15是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第四方面的视图。
图16是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第五方面的视图。
图17是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第五方面的视图。
图18是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第五方面的视图。
图19是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第五方面的视图。
图20是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第五方面的视图。
图21是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第五方面的视图。
图22是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第六方面的视图。
图23是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第六方面的视图。
图24是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第六方面的视图。
图25是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第六方面的视图。
图26是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第六方面的视图。
图27是用于说明带框晶圆的视图。
具体实施方式
现在将参照附图详细描述本发明的实施方式。
<1.整体构造>
将主要参照图1和图2描述根据一个实施方式的传送系统的整体构造。图1是示意性示出根据一个实施方式的传送系统1的构造的立体图。图2是示意性示出传送系统1的构造的平面图。
传送系统1与处理设备2连接使用并且被构造为在用于储存多个物体90的储存容器9与用于对多个物体90进行批量处理的处理设备2之间传送物体90。在当前的实施方式中，物体90是通过胶带92由框架93保持的晶圆91，即带框晶圆90(见图27)。此外，储存容器9是用于传送并储存带框晶圆90的密闭容器。储存容器9包括用于将多个带框晶圆90以水平姿态储存在多个载物台中的主体部分901以及用于封闭设置在主体部分901的一个侧壁上的开口的盖子902。
在具体描述传送系统1之前，将描述与传送系统1连接的处理设备2。
处理设备2包括处理部21，其对平面形式地设置在托盘8上的多个带框晶圆90共同执行预定的处理(见图3)。此处使用的托盘8在平面图中具有基本上正方形的形状并且可以支撑3列×3行并排设置的九个带框晶圆90。尽管未示出，但托盘8的底表面(用于带框晶圆90的安装表面)具有3列×3行设置的开口。每个带框晶圆90的晶圆91的至少一部分与每个开口重叠。带框晶圆90在托盘8上安装成使得晶圆91的表面(电路形成表面)面朝下并指向每个开口。在处理部21中，经由每个开口从托盘8的下侧对晶圆91的表面执行预定的处理。
作为真空备用室的负载锁定部22与处理部21连接，并且传送系统1经由负载锁定部22与处理部21连接。在负载锁定部22的与传送系统1(或处理部21)连接的部分处设有门221。通过关闭门221，负载锁定部22的内部空间被气密地密封。此外，负载锁定部22设有用于以水平姿态支撑托盘8的托盘支撑销组222。在下文中，为了便于说明，将传送系统1与负载锁定部22连接的一侧称为“前侧”。此外，与前-后方向正交的水平方向称为“左-右方向”。
接下来，将具体描述传送系统1。
传送系统1包括多个装载端口11、第一传送部12、第二传送部13以及控制这些部分11、12、13的控制器14。
装载端口11与第一传送部12的前侧连接。即，一个或多个(在视图的例子中为五个)开口Tl形成在第一传送部12的壳体(第一壳体)121的前壁部分中，并且装载端口11被气密地附接，以封闭相应的开口T1。
第一传送部12设置为与第二传送部13的前侧相邻。在第一壳体121的后壁部分中形成开口T2。在第二传送部13的壳体(第二壳体)131的前壁部分中在与开口T2对应的位置处形成开口T3。即，两个壳体121和131的内部空间通过开口T2和T3彼此连通。此外，在第二壳体131的后壁部分中形成开口T4。开口T4通过负载锁定部22的门221气密地封闭。
在下文中，将参照图1和图2更具体地描述传送系统1中包括的各个部分11至14的构造。
(装载端口11)
装载端口11是用于在不会使储存在储存容器9中的带框晶圆90暴露于外部大气的情况下使储存容器9的内部空间与第一壳体121的内部空间连通的装置。装载端口11设有安装部31，储存容器9安装在其上。如果需要，安装部31可以设有将储存容器9引导到预定位置的引导销、将储存容器9固定到预定位置的固定销、将预定气体供应到储存容器9的内部空间的供气喷嘴、排出储存容器9的内部空间中的气体的排气喷嘴、使安装部31前后滑动的驱动机构等(它们全都未示出)。
如图1所示，安装部31设置在作为平板状构件的面板32的前表面上。面板32略大于形成在第一壳体121中的开口T1。通过附接面板32来气密地封闭开口T1，使装载端口11与第一壳体121连接。
面板32形成有供带框晶圆90通过的开口321。在面板32的后侧上设有能够气密地封闭开口321的门部分33以及用于使门部分33在关闭位置和打开位置之间移动的门部分驱动机构(未示出)。此外，门部分33设有盖子保持机构，其将安装在安装部31上的储存容器9的盖子902从主体部分901上移除(释放锁闩)并将盖子902与门部分33连接成一体(对接)。
装载端口11的操作如下。当通过诸如AMHS、PGV等的外部机器人将容纳未处理的带框晶圆90的储存容器9放置到安装部31上时，安装部31向后滑动，使得储存容器9的安装在其上的盖子902和门部分33彼此充分靠近。然后，设置在门部分33上的盖子保持机构从主体部分901上移除储存容器9的盖子902并将盖子902与门部分33连接成一体。随后，门部分驱动机构使门部分33与和门部分33形成为一体的盖子902一起从开口321被气密地封闭的关闭位置移动到开口321被完全打开的打开位置。因此，主体部分901的内部空间通过开口321与第一壳体121的内部空间连通。不言而喻，通过执行相反的操作，储存容器9的主体部分901被盖子902封闭，并且开口321被门部分33封闭，即，储存容器9与第一壳体121彼此分离。
(第一传送部12)
第一传送部12被构造为在第一壳体121内部包括将多个带框晶圆90放置在其上的载物台41、用于临时储存带框晶圆90的储料器42、用于使带框晶圆90翻转的翻转装置43、用于在这些部分41、42和43之间传送带框晶圆90的传送装置(第一传送装置)44等。此外，在第一壳体121内部设有风扇过滤单元(FFU)(未示出)，从而在第一壳体121的内部空间中形成清洁气体下冲流。
载物台41包括固定地安装的载物台部分(固定载物台部分)411、可动地安装的载物台部分(可动载物台部分)412以及用于移动可动载物台部分412的载物台驱动机构413。
固定载物台部分411是长平板状构件并被构造为使得三个带框晶圆90可以沿着纵向方向并排地成排放置在其上表面上。用于支撑放置在固定载物台部分411的上表面上的每个带框晶圆90的支撑销4111设置在该上表面上。固定载物台部分411在第一壳体121的后壁部分附近固定地设置在面对开口T2的位置P1处，使得其纵向方向沿左-右方向延伸。面对开口T2的位置P1是稍后描述的第二传送装置53可接近的位置，在下文中也被称为“递送位置P1”。
与固定载物台部分411一样，可动载物台部分412是长平板状构件并被构造为使得三个带框晶圆90可以沿着纵向方向并排地成排放置在其上表面上。用于支撑放置在可动载物台部分412的上表面上的每个带框晶圆90的支撑销4121设置在该上表面上。可动载物台部分412设置在第一壳体121的后壁部分附近，使得其纵向方向沿左-右方向延伸。在图2中，可动载物台部分412设置在偏离开口T2(即，当从上方观察时偏离递送位置P1且不与其重叠的位置)的位置(在下文中也称为“缩回位置”)P2处。可动载物台部分412被构造为通过在下文描述的载物台驱动机构413的驱动作用下在左-右方向(即延伸方向)上移动而使得可动载物台部分412能够在缩回位置P2与面对开口T2的位置(即，递送位置P1)之间移动(见图9)。但是，可动载物台部分412设置在垂直地偏离固定载物台部分411的高度位置处。具体而言，可动载物台部分412设置在向固定载物台部分411的上侧偏移的位置处。因此，载物台部分411和412可以一起设置在递送位置P1处而不会相互干扰。
载物台驱动机构413是用于移动可动载物台部分412的机构并且包括用于支撑载物台的载物台支撑部分4131、放置在第一壳体121的底表面上并在左-右方向上延伸的一对导轨4132和4132以及允许载物台支撑部分4131沿着一对导轨4132和4132移动的直线运动机构(未示出)。例如，直线运动机构可以被构造为包括滚珠丝杠机构以及给滚珠丝杠机构提供驱动力的马达(这在下文中同样适用)。可动载物台部分412在其一个端部处以悬臂方式通过载物台支撑部分4131支撑并且随着载物台支撑部分4131沿着一对导轨4132和4132移动而在递送位置P1与缩回位置P2之间移动。
储料器42是用于临时储存多个带框晶圆90的储存部(所谓的缓冲部)并且设置在递送位置P1附近。具体而言，例如，储料器42是前侧开口的盒状容器并被构造为将十二或十三个带框晶圆90以水平姿态储存在多个载物台中。
翻转装置43是用于使带框晶圆90翻转的装置并且在载物台41位于中间的情况下设置在储料器42的相对侧上。在此使用的术语“翻转”是指带框晶圆90的晶圆91的表面(电路形成表面)朝上的姿态与晶圆91的该表面朝下的姿态彼此转换。具体而言，翻转装置43例如被构造为包括通过在水平方向上进行夹持来保持带框晶圆90的框架93的夹持构件431以及使夹持构件431围绕水平轴线旋转的驱动部件432。在这种构造中，在夹持构件431以水平姿态保持带框晶圆90的同时带框晶圆90随着驱动部件432使夹持构件431围绕水平轴线旋转180度而发生翻转。
第一传送装置44是用于传送带框晶圆90的装置并且包括主体部分441、设置在第一壳体121的前壁部分上且在左-右方向上延伸的导轨442以及允许主体部分441沿着导轨442移动的直线运动机构(未示出)。随着主体部分441沿着导轨442移动，主体部分441在左-右方向上移动。
在主体部分441上设有两个臂443和443。每个臂443在基端部处被设置为能围绕与主体部分441垂直的轴线旋转并且被构造为通过围绕基端部旋转而转动。另外，每个臂443通过连接多个连杆元件而形成为水平地转动并且被构造为是可伸缩的。
在每个臂443的末端处设有抓手444。抓手444在基端处被设置为能围绕与臂443垂直的轴线旋转。在当前的实施方式中，抓手444被构造为通过以机械卡紧方式保持带框晶圆90的框架93而将带框晶圆90保持在基本上水平的姿态。然而，抓手444的卡紧方式不限于此并且可以是真空吸附方式等。
通过采用这种构造，第一传送装置44可以在安装在装载端口11的安装部31上的储存容器9、载物台41(具体来说固定载物台部分411和可动载物台部分412)、储料器42和翻转装置43之间传送带框晶圆90。
(第二传送部13)
第二传送部13被构造为包括用于支撑托盘8的托盘支撑部51、用于在第二壳体131内移动托盘支撑部51的托盘支撑部驱动机构52、用于在第一传送部12的载物台41与通过托盘支撑部51支撑的托盘8之间传送带框晶圆90的传送装置(第二传送装置)53等。此外，在第二壳体131内部设有风扇过滤单元等(未示出)，从而在第二壳体131的内部空间中形成清洁气体下冲流。
托盘支撑部51是以水平姿态支撑托盘8的构件。具体而言，托盘支撑部51是通过将三个长平板构件组合成U形而形成的构件并且包括设置为在左-右方向上延伸的垂直平板构件511以及与垂直平板构件511的两个端部连接并被设置为在前-后方向上延伸的一对水平平板构件512和512。通过将这三个平板构件511、512和512的上表面设置为彼此基本上齐平，形成用于支撑托盘8的支撑表面。在支撑表面上设有用于对支撑在其上的托盘8的四个拐角进行定位的定位构件513。
托盘支撑部51被构造为能够通过在稍后描述的托盘支撑部驱动机构52的驱动作用下在前-后方向上移动而在面对开口T3的位置Q1与负载锁定部22中的位置Q2之间移动(见图5)。在这方面，面对开口T3的位置Q1是稍后描述的第二传送装置53可接近的位置。位置Q1在下文中也被称为“递送位置Q1”。另一方面，负载锁定部22中的位置Q2是设置在负载锁定部22中的托盘支撑销组222设置在一对水平平板构件512和512之间的位置。在下文中，位置Q2也被称为“销组位置Q2”。
托盘支撑部驱动机构52是用于移动托盘支撑部51的机构并且包括支撑托盘支撑部51的可动基部521。在左-右方向上延伸的一对导轨522和522放置在可动基部521的上表面上(见图5)。托盘支撑部51可沿着一对导轨522和522滑动。另外，在一对导轨522和522与托盘支撑部51之间设有用于使托盘支撑部51沿着一对导轨522和522移动的直线运动机构(未示出)。
此外，在第二壳体131的底板表面上放置有在左-右方向上延伸的一对导轨523和523(见图5)。可动基部521可沿着一对导轨523和523滑动。另外，在一对导轨523和523与可动基部521之间设有用于使可动基部521沿着一对导轨523和523移动的直线运动机构(未示出)。
在这种构造中，可动基部521设置在第二壳体131中，并且托盘支撑部51设置在托盘支撑部51与可动基部521重叠的位置处，由此使托盘支撑部51设置在递送位置Q1处。从该状态开始，托盘支撑部51沿着一对导轨522和522向后移动(参照图4)，并且可动基部521沿着一对导轨523和523向后移动，由此使托盘支撑部51设置在销组位置Q2处(见图5)。
随着支撑托盘8的托盘支撑部51在递送位置Q1与销组位置Q2之间移动，托盘8在传送系统1与处理设备2之间进行传送。即，托盘支撑部51和托盘支撑部驱动机构52构成了在传送系统1与处理设备2之间传送托盘8的托盘传送装置。
第二传送装置53是用于传送带框晶圆90的装置并且包括放置在第二壳体131的底板表面上并在左-右方向上延伸的一对导轨组531和531、设置在每个导轨组531中的可动块532以及允许可动块532沿着导轨组531移动的直线运动机构(未示出)。每个可动块532设有一对可伸长的升降柱(未示出)，并且设置有在一对升降柱的上端部之间进行桥接的在平面图中具有门架形状的框架部分533。另外，设置在左侧和右侧上的三个吸附部分534、534和534被支撑在框架部分533的左侧延伸部分和右侧延伸部分上。
每个吸附部分534被构造为通过以真空吸附方式保持带框晶圆90的框架93的部分而将带框晶圆90保持在基本上水平的姿态。
第二传送装置53可以在载物台41与通过托盘支撑部51支撑的托盘8之间一次传送三个带框晶圆90。例如，当保持在通过托盘支撑部51支撑的托盘8中的带框晶圆90被传送到载物台41上时，第二传送装置53执行以下操作。
首先，使每个可动块532沿着导轨组531移动，以使设置在框架部分533上的三个吸附部分534、534和534能够移动到在从上方观察时三个吸附部分534、534和534与设置在递送位置Q1处的通过托盘支撑部51支撑的托盘8上的带框晶圆90重叠的位置(托盘接近位置)(见图8中的虚线)。然后，使升降柱收缩，使得每个吸附部分534可以向下移动到足够靠近每个带框晶圆90的位置。在这种状态下，施加每个吸附部分534的吸附力。然后，通过吸附部分534吸附框架93，并且通过吸附部分534保持带框晶圆90。在当前的实施方式中，假设三个吸附部分534、534和534的吸附状态同步切换，由此对保持在托盘8中的三个带框晶圆90同时进行保持。
随后，使升降柱伸长，使得每个吸附部分534可以与带框晶圆90一起向上移动。此后，使每个可动块532沿着导轨组531移动，使得每个吸附部分534可以设置在从上方观察时每个吸附部分534与设置在递送位置P1处的固定载物台部分411(或设置在递送位置P1处的可动载物台部分412)重叠的位置(载物台接近位置)(见图8中的实线)。然后，使升降柱收缩，使得通过每个吸附部分534保持的带框晶圆90可以向下移动到足够靠近固定载物台部分411的位置。此后，使每个吸附部分534的吸附力停止。此外，在这种情况下，三个吸附部分534、534和534的吸附状态同步切换，由此使三个带框晶圆90同时被释放并被递送到设置在固定载物台部分411中的支撑销4111上。
通过执行上述操作，将保持在托盘8中的三个带框晶圆90共同传送至载物台41。此外，通过执行与上述相反的操作，放置在载物台41上的三个带框晶圆90被共同传送至托盘8。
(控制器14)
控制器14控制传送系统1中包括的每个部件的操作。作为硬件的控制器14的构造与一般的计算机相同。即，控制器14包括执行各种运算过程的CPU、作为存储基本程序的只读存储器的ROM、作为存储各种信息的可读写存储器的RAM、存储控制软件、数据等的磁盘等。随着控制器14的CPU执行预定的处理程序，在传送系统1中进行预定的传送操作。
<2.传送系统1的操作>
传送系统1执行将储存在储存容器9中的未处理的带框晶圆90并排地设置在托盘8上并将保持在托盘8上的处理过的带框晶圆90储存在储存容器9中的预定的传送操作。在下文中，将参照图3至图26描述在传送系统1中执行的传送操作的例子。下面描述的一系列操作在控制器14的控制下执行。
在下文中，通过将传送系统1执行的一系列操作分为六个方面来对其进行描述。但是，这只是为了方便容易地理解说明。即，在实际操作中，各个方面不必在时间上分开执行。例如，很可能允许一个方面的最后部分和下一个方面的第一部分并行地执行。
(第一方面)
首先，将包含多个未处理的带框晶圆90的储存容器9安装在装载端口11的安装部31上。然后，装载端口11执行预定操作，使得储存容器9的主体部分901的内部空间通过开口321而与第一壳体121的内部空间连通(图3)。
另一方面，在处理设备2中，保持九个处理过的带框晶圆90的托盘8从处理部21移动到负载锁定部22并通过设置在负载锁定部22中的托盘支撑销组222支撑。然后，将封闭开口T4的门221打开，以使负载锁定部22的内部空间和第二壳体131的内部空间彼此连通(图3)。
(第二方面)
当安装在安装部31上的储存容器9的内部空间与第一壳体121的内部空间连通时，第一传送装置44取出储存在储存容器9中的未处理的带框晶圆90并且将未处理的带框晶圆90递送至翻转装置43(图4)。在翻转装置43使带框晶圆90翻转之后，第一传送装置44接收翻转后的带框晶圆90并将其传送至设置在缩回位置P2处的可动载物台部分412(图5和图6)。重复这种操作，以在可动载物台部分412上安装三个未处理的带框晶圆90(图7)。
与上述操作并行地，托盘支撑部驱动机构52将托盘支撑部51从递送位置Q1移动到销组位置Q2(图4和图5)。设置在负载锁定部22中的托盘支撑销组222能够突出和缩回。随着在托盘支撑部51被设置在销组位置Q2的同时托盘支撑销组222进入缩回状态，托盘8从托盘支撑销组222被传送到托盘支撑部51上。此后，托盘支撑部驱动机构52将托盘支撑部51从销组位置Q2移动到递送位置Q1(图6和图7)。因此，将托盘8从负载锁定部22中移出并移入到第二壳体131中。在移出托盘8之后，关闭负载锁定部22的门221。
以这种方式，得到图7所示的状态。即，可动载物台部分412填充有三个未处理的带框晶圆90，并且托盘8设置在第二壳体131中。
(第三方面)
第一传送装置44随后取出储存在储存容器9中的第四带框晶圆90，将第四带框晶圆90递送至翻转装置43，并从翻转装置43接收翻转后的第四带框晶圆90。由于可动载物台部分412已经填充有三个带框晶圆90，因此第四带框晶圆90不能安装到可动载物台部分412上。因此，第一传送装置44使第四带框晶圆及随后的带框晶圆90翻转并将它们储存在储料器42中(图8)。第一传送装置44重复这种操作，直到储料器42储存六个未处理的带框晶圆90为止(图8至图11)。
与上述操作并行地，第二传送装置53将保持在托盘8中的九个处理过的带框晶圆90中的位于最前排的三个带框晶圆90共同传送至固定载物台部分411(图8)。此后，载物台驱动机构413使可动载物台部分412从缩回位置P2移动到递送位置P1(图9)。在将可动载物台部分412设置在递送位置P1之后，第二传送装置53将安装在可动载物台部分412上的三个未处理的带框晶圆90共同传送至托盘8上的空置位置(最前排)(图10)。
以这种方式，得到图11所示的状态。即，托盘8保持三个未处理的带框晶圆90和六个处理过的带框晶圆90。此外，可动载物台部分412是空置的，并且固定载物台部分411填充有三个处理过的带框晶圆90。另外，六个未处理的带框晶圆90储存在储料器42中。
(第四方面)
在将三个处理过的带框晶圆90安装在固定载物台部分411上之后，第一传送装置44将安装在固定载物台部分411上的处理过的带框晶圆90依次传送至储料器42并且将储存在储料器42中的未处理的带框晶圆90依次传送至固定载物台部分411上的空置位置。重复这种操作，以在固定载物台部分411上安装三个未处理的带框晶圆90(图12至图14)。
与上述操作并行地，第二传送装置53将保持在托盘8上的六个处理过的带框晶圆90中的位于前排的三个带框晶圆90共同传送至可动载物台部分412(图12)。此后，载物台驱动机构413将可动载物台部分412从递送位置P1移动到缩回位置P2(图13)。在将可动载物台部分412设置在缩回位置P2之后，第二传送装置53将安装在固定载物台部分411上的三个未处理的带框晶圆90共同传送至托盘8上的空置位置(中间排)(图14)。
以这种方式，得到图15所示的状态。即，托盘8保持六个未处理的带框晶圆90和三个处理过的带框晶圆90。此外，可动载物台部分412填充有三个处理过的带框晶圆90，并且固定载物台部分411是空置的。另外，储料器42储存三个处理过的带框晶圆90和三个未处理的带框晶圆90。
(第五方面)
在将处理过的带框晶圆90安装在可动载物台部分412上之后，第一传送装置44将安装在可动载物台部分412上的处理过的带框晶圆90依次传送至储料器42并且将储存在储料器42中的未处理的带框晶圆90依次传送至可动载物台部分412上的空置位置。重复这种操作，以在可动载物台部分412上安装三个未处理的带框晶圆90(图16至图18)。在将三个未处理的带框晶圆90安装在可动载物台部分412上之后，第一传送装置44随后取出储存在储料器42中的处理过的带框晶圆90，将处理过的带框晶圆90递送至翻转装置43，接收翻转后的带框晶圆90，并将翻转后的带框晶圆90传送至安装在安装部31上的储存容器9(图19至图21)。
与上述操作并行地，第二传送装置53将保持在托盘8上的剩余的三个处理过的带框晶圆90共同传送至固定载物台部分411(图16)。此后，当可动载物台部分412上安装有三个未处理的带框晶圆90时(图18)，载物台驱动机构413将可动载物台部分412从缩回位置P2移动到递送位置P1(图19)。在将可动载物台部分412设置在递送位置P1之后，第二传送装置53将安装在可动载物台部分412上的三个未处理的带框晶圆90共同传送至托盘8上的空置位置(后排)(图20)。
以这种方式，得到图21所示的状态。即，九个未处理的带框晶圆90保持在托盘8上。此外，可动载物台部分412是空置的，并且固定载物台部分411填充有三个处理过的带框晶圆90。另外，只有零到六个处理过的带框晶圆90留在储料器42中。
(第六方面)
第一传送装置44重复将处理过的带框晶圆90从储料器42传送至储存容器9的操作，直到处理过的带框晶圆90用完为止。即，第一传送装置44重复取出储存在储料器42中的处理过的带框晶圆90、将处理过的带框晶圆90递送至翻转装置43、接收翻转后的带框晶圆90并将翻转后的带框晶圆90传送至安装在安装部31上的储存容器9的操作(图22)。然后，当处理过的带框晶圆90从储料器42中消失时，第一传送装置44随后保持安装在固定载物台部分411上的处理过的带框晶圆90，将处理过的带框晶圆90递送至翻转装置43，从翻转装置43接收翻转后的带框晶圆90，并将翻转后的带框晶圆90传送至安装在安装部31上的储存容器9。通过重复这种操作，将安装在固定载物台部分411上的全部三个处理过的带框晶圆90储存到储存容器9中(图23至图25)。
与上述操作并行地，托盘支撑部驱动机构52将托盘支撑部51从递送位置Q1移动到销组位置Q2(图22和图23)。在托盘支撑部51设置在销组位置Q2的状态下，使托盘支撑销组222变为突出状态，使得托盘8能够从托盘支撑部51传送到托盘支撑销222上。此后，托盘支撑部驱动机构52将托盘支撑部51从销组位置Q2移动到递送位置Q1(图24和图25)。因此，托盘8从第二壳体131被移入到负载锁定部22中。
此后，在处理设备2的控制作用下，托盘8从负载锁定部22被移入到处理部21中，并且对保持在托盘8上的九个带框晶圆90共同执行预定处理(图26)。在图26所示的状态下，在上述的“第一方面”中储存在储存容器9中的九个未处理的带框晶圆90被保持在托盘8上并且通过处理设备2进行处理，并且在“第一方面”中保持在托盘上的九个处理过的带框晶圆90被储存在储存容器9中。
在传送系统1中，通过重复上述的一系列操作，将储存在储存容器9中的未处理的带框晶圆90依次传送至托盘8，并且将保持在托盘8上的处理过的带框晶圆90依次储存到储存容器9中。
然而，上述的一系列传送操作仅仅是一个例子。传送系统1执行的一系列传送操作可以根据处理方法、托盘8上保持的带框晶圆90的数量、储存容器9中储存的带框晶圆90的数量等任意进行设置。
<3.效果>
根据上述实施方式的传送系统1在用于储存带框晶圆90的储存容器9与用于对托盘8上保持的带框晶圆90进行批量处理的处理设备2之间传送作为物体的多个带框晶圆90。传送系统1包括将储存容器9安装在其上的安装部31、将带框晶圆90安装在其上的载物台41、被构造为用于支撑托盘8的托盘支撑部51、被构造为用于在安装在安装部31上的储存容器9与载物台41之间传送带框晶圆90的第一传送装置44以及被构造为用于在载物台41与通过托盘支撑部51支撑的托盘8之间传送带框晶圆90的第二传送装置53。
根据这种构造，两个传送装置(第一传送装置44和第二传送装置53)在通过载物台41彼此配合的同时在储存容器9与托盘8之间传送带框晶圆90。因此，例如，在一个传送装置执行将未处理的带框晶圆90朝向托盘8传送的操作(供应传送操作)的同时，另一个传送装置能够执行将处理过的带框晶圆90朝向储存容器9传送的操作(返回传送操作)。即，能够同时执行供应传送操作和返回传送操作，并且能够在用于储存带框晶圆90的储存容器9与用于对带框晶圆90进行批量处理的处理设备2之间高效地传送带框晶圆90。
此外，在根据上述实施方式的传送系统1中，第二传送装置53被构造为一次传送三个带框晶圆90，并且托盘8被构造为保持3×3个带框晶圆90。
根据这种构造，第二传送装置53一次传送多个带框晶圆90。因此，第二传送装置53能够在载物台41与托盘8之间高效地传送带框晶圆90。特别地，可以通过第二传送装置53一次传送的带框晶圆90的数量的整倍数是托盘8上保持的带框晶圆90的总数。因此，尤其可以提高第二传送装置53的传送效率。
此外，在根据上述实施方式的传送系统1中，载物台41包括被设置为能在第二传送装置53可到达的递送位置P1与偏离递送位置P1的缩回位置P2之间移动的可动载物台部分412以及被固定地设置在递送位置P1处以及垂直地偏离可动载物台部分412的高度位置处的固定载物台部分411。
根据这种构造，能够充分确保载物台41上能够安装的带框晶圆90的数量。因此，可以提高第一传送装置44和第二传送装置53二者的传送效率。特别地，在上述实施方式中，载物台部分411和412上能够安装的带框晶圆90的最大数量与第二传送装置53一次能够传送的带框晶圆90的数量匹配。这尤其能够提高传送效率。
根据上述实施方式的传送系统1还包括被构造为使带框晶圆90翻转的翻转装置43。第一传送装置44被构造为在安装在安装部31上的储存容器9、载物台41和翻转装置43之间传送带框晶圆90。
根据这种构造，可以使储存在储存容器9中的带框晶圆90翻转然后安装到托盘8上。当在传送过程中使带框晶圆90翻转然后安装到托盘8上时，难以缩短传送过程中的循环时间，这可能成为瓶颈并可能降低处理设备2的运行速率。然而，在这种构造中，在两个传送装置(第一传送装置44和第二传送装置53)通过载物台41彼此配合的同时在储存容器9与托盘8之间传送带框晶圆90。这能够高效地传送带框晶圆90。因此，即使在带框晶圆90翻转时也能够充分缩短传送过程中的循环时间。
根据上述实施方式的传送系统1还包括用于临时储存带框晶圆90的储料器42。第一传送装置44被构造为在安装在安装部31上的储存容器9、载物台41和储料器42之间传送带框晶圆90。
根据这种构造，第一传送装置44根据情况将储存在储存容器9中的带框晶圆90或安装在载物台41上的带框晶圆90临时储存在储料器42中。这能够高效地传送带框晶圆90。
在根据上述实施方式的传送系统1中，在传送系统1与处理设备2之间传送托盘8的托盘传送装置由托盘支撑部51和托盘支撑部驱动机构52构成。托盘传送装置被构造为从处理设备2接收保持处理过的带框晶圆90的托盘8并将保持未处理的带框晶圆90的托盘8递送至处理设备2。
根据这种构造，处理设备2不需要具有用于将托盘8递送至传送系统1的机构。因此，传送系统1可以应用于各种各样的处理设备2。
<4.变型>
在上述实施方式中，载物台41中包括的每个载物台部分411或412可以安装最多三个带框晶圆90，但是可以安装在每个载物台部分411或412上的带框晶圆90的最大数量不必是三个。如上所述，为了提高传送效率，优选的是能够安装在载物台部分411或412上的带框晶圆90的最大数量与第二传送装置53一次能够传送的带框晶圆90的数量匹配。
在上述实施方式中，载物台41包括可动载物台部分412和固定载物台部分411。然而，不一定必须设置可动载物台部分412。相反地，可以设置多个可动载物台部分412。在这种情况下，固定载物台部分411和多个可动载物台部分412全部都设置在彼此垂直偏离的高度位置处，使得载物台部分411和412全部都可以在不相互干扰的情况下设置在递送位置P1处。
在上述实施方式中，第二传送装置53被构造为一次传送三个带框晶圆90。然而，第二传送装置53可以被构造为一个接一个地传送带框晶圆90或者可以被构造为一次传送两个或四个或更多的带框晶圆90。如上所述，为了提高第二传送装置53的传送效率，优选的是可以通过第二传送装置53一次传送的带框晶圆90的数量的整倍数等于托盘8上保持的带框晶圆90的总数。
根据上述实施方式的传送系统1设有翻转装置43。然而，翻转装置43不是必需元件并且可以省略。例如，在处理设备2被构造为用于对处于储存在储存容器9中的姿态下的带框晶圆90进行处理的情况下可以省略翻转装置43。
根据上述实施方式的传送系统1设有储料器42。然而，储料器42不是必需元件并且可以省略。例如，在载物台41能够安装足够多的带框晶圆90的情况下可以省略储料器42。
根据上述实施方式的传送系统1设有五个装载端口11。然而，装载端口11的数量不限于五个。
在根据上述实施方式的传送系统1中，第一传送装置44包括两组臂443和与臂443连接的抓手444。然而，第一传送装置44包括一组或三组或更多组的臂443和与臂443连接的抓手444。
在根据上述实施方式的传送系统1中，托盘支撑部驱动机构52不是必需元件并且可以省略。例如，在处理设备设有用于将托盘递送至传送系统的机构的情况下可以省略托盘支撑部驱动机构52。
在上述实施方式中，通过传送系统1传送的物体是通过胶带92由环形框架93保持的晶圆91。然而，框架93不限于环形的形状，也可以是多边形框架形状等。此外，物体不必是带框晶圆90，也可以是不通过框架保持的晶圆。替代地，物体可以不是晶圆。
在不脱离本发明的范围的情况下可以对其他构造进行各种修改。
本发明的工业用途
本发明可用作在用于容纳物体的储存容器与用于处理物体的处理设备之间传送物体(通常是晶圆，或通过胶带、薄膜等保持在框架中的晶圆)的传送系统。
附图标记说明
1：传送系统；11：装载端口；31：安装部；12：第一传送部；41：载物台；411：固定载物台部分；412：可动载物台部分；413：载物台驱动机构；42：储料器；43：翻转装置；44：第一传送装置；13：第二传送部；51：托盘支撑部；52：托盘支撑部驱动机构；53：第二传送装置；14：控制器；2：处理设备；21：处理部；22：负载锁定部；8：托盘；9：储存容器；90：物体(带框晶圆)

Claims (6)

1.一种用于在被构造为储存多个物体的储存容器与被构造为对保持在托盘上的所述多个物体进行批量处理的处理设备之间传送所述多个物体的传送系统，其包括：
安装部，所述储存容器被安装在其上；
载物台，所述多个物体被安装在其上；
托盘支撑部，其被构造为支撑所述托盘；
第一传送装置，其被构造为在安装在所述安装部上的所述储存容器与所述载物台之间传送所述多个物体；以及
第二传送装置，其被构造为在所述载物台与通过所述托盘支撑部支撑的所述托盘之间传送所述多个物体。
2.根据权利要求1所述的传送系统，其中，所述第二传送装置被构造为一次传送n个物体，其中n是大于或等于2的整数，并且
其中所述托盘被构造为保持n×m个物体，其中m是大于或等于1的整数。
3.根据权利要求1或2所述的传送系统，其中，所述载物台包括：
可动载物台部分，其被设置为能在所述第二传送装置可到达的递送位置与偏离所述递送位置的缩回位置之间移动；以及
固定载物台部分，其被固定地设置在所述递送位置处以及垂直地偏离所述可动载物台部分的高度位置处。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的传送系统，其还包括：
翻转装置，其被构造为使所述多个物体翻转，
其中所述第一传送装置被构造为在安装在所述安装部上的所述储存容器、所述载物台和所述翻转装置之间传送所述多个物体。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的传送系统，其还包括：
储料器，其被构造为临时储存所述多个物体，
其中所述第一传送装置被构造为在安装在所述安装部上的所述储存容器、所述载物台和所述储料器之间传送所述多个物体。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的传送系统，其还包括：
托盘传送装置，其被构造为从所述处理设备接收保持有处理过的物体的所述托盘并且将保持有未处理的物体的托盘递送至所述处理设备。
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