KR20190101181A - 기판이송모듈 및 이를 포함하는 기판처리시스템 - Google Patents

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KR20190101181A
KR20190101181A KR1020180021210A KR20180021210A KR20190101181A KR 20190101181 A KR20190101181 A KR 20190101181A KR 1020180021210 A KR1020180021210 A KR 1020180021210A KR 20180021210 A KR20180021210 A KR 20180021210A KR 20190101181 A KR20190101181 A KR 20190101181A
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엄용택
허현강
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Abstract

본 발명은, 기판이송모듈 및 이를 포함하는 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 트레이 상에 다수의 기판들을 안착시킨 후 기판처리를 수행하는 기판처리시스템에서 사용되는 기판이송모듈에 관한 것이다.
본 발명은 다수의 기판(10)들이 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 기판처리모듈에서 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로 로딩하는 기판이송모듈(300)로서, 다수의 기판(10)들이 n×m 행렬의 기판배열(n은 2 이상의 자연수, m은 2 이상의 자연수)로 적재되는 직사각형 트레이(20)가 안착되는 트레이안착부(310)와; 상기 트레이안착부(310)의 일측에 설치되며, 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들을 인출하여 n×k 행렬의 기판배열(k는, 2 이상의 자연수)로 위치시키는 기판로딩부(320)와; 상기 기판로딩부(320) 상의 n×k 행렬의 기판배열 중 하나의 열에 위치된 n개의 기판(10)을 픽업하여 상기 트레이안착부(310) 상의 트레이(20)로 이송하는 제1기판이송툴(332)들을 복수개 구비하는 제1기판이송부(330)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송모듈(300)을 개시한다.

Description

기판이송모듈 및 이를 포함하는 기판처리시스템 {Substratetransfer module and substrateprocessing system having the same}
본 발명은, 기판이송모듈 및 이를 포함하는 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 트레이 상에 다수의 기판들을 안착시킨 후 기판처리를 수행하는 기판처리시스템에서 사용되는 기판이송모듈에 관한 것이다.
기판처리시스템은, 특허문헌 1 및 2와 같이, 밀폐된 처리공간에서 기판지지대에 안착된 기판의 표면을 증착, 식각하는 등 기판처리 공정을 수행하는 등 기판처리를 위한 기판처리모듈 등을 포함하는 시스템을 말한다.
기판처리시스템은, 특허문헌 2와 같이 처리대상인 기판의 종류, 기판처리의 종류 등에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 기판을 로딩/언로딩하는 기판이송모듈과, 기판이송모듈로부터 기판을 전달받아 기판처리 등 소정의 공정을 수행하는 기판처리모듈과, 기판이송모듈과 기판처리모듈 사이에서 기판을 이송하는 이송로봇이 구비된 반송모듈 등을 포함하는 등 그 배치방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
이때 기판처리의 대상인 기판은, 한 장씩 이송되는 경우가 일반적이지만 태양전지용 기판과 같이 소형 기판의 경우 공정효율을 고려하여 복수의 기판들이 트레이에 안착된 후 한 번에 이송될 수 있다.
한편 상기와 같은 기판처리시스템에 있어서, 기판의 로딩, 기판처리를 마친 기판의 언로딩까지 소요되는 시간으로 정의되는 TACT(Turn Around Cycle Time)는 기판처리시스템의 성능을 결정하는 중요한 요소 중 하나이다.
(특허문헌 1) KR10-2013-0074145 A
(특허문헌 2) KR10-1624982 B
본 발명의 목적은 상기와 같은 필요성을 인식하여 기판이송부가 한번에 이송할 수 있는 기판을 수를 증가시켜 기판로딩 또는 기판언로딩에 소요되는 시간을 최소화하고 장치의 생산성을 향상시킬 수 있는 기판이송모듈 및 이를 포함하는 기판처리시스템을 제공하는데 있다
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 다수의 기판(10)들이 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 기판처리모듈에서 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로 로딩하는 기판이송모듈(300)로서, 다수의 기판(10)들이 n×m 행렬의 기판배열(n은 2 이상의 자연수, m은 2 이상의 자연수)로 적재되는 직사각형 트레이(20)가 안착되는 트레이안착부(310)와; 상기 트레이안착부(310)의 일측에 설치되며, 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들을 인출하여 n×k 행렬의 기판배열(k는, 2 이상의 자연수)로 위치시키는 기판로딩부(320)와; 상기 기판로딩부(320) 상의 n×k 행렬의 기판배열 중 하나의 열에 위치된 n개의 기판(10)을 픽업하여 상기 트레이안착부(310) 상의 트레이(20)로 이송하는 제1기판이송툴(332)들을 복수개 구비하는 제1기판이송부(330)를 포함하는 기판이송모듈(300)을 개시한다.
상기 기판로딩부(320)는, 상기 n×k 행렬의 기판배열의 각 열에 대응되도록 행방향을 따라 제1중심간격(D)을 두고 설치되는 k개의 로딩컨베이어부(322)를 포함할 수 있다.
상기 복수의 제1기판이송툴(332)들은, 상기 제1중심간격(D)을 두고 설치되며, 기판이송시 대응되는 로딩컨베이어부(322)에 위치되는 n개의 기판(10)을 픽업하기 위한 복수의 픽커(334)들을 각각 구비할 수 있다.
상기 제1중심간격(D)은, 상기 트레이(20) 상에서 n×m 행렬의 기판배열(n은 2이상의 자연수, m은 3 이상의 자연수)에 있어 제p열 및 제p+2열(p는 (m-2) 이하의 자연수) 사이의 중심간격과 동일할 수 있다.
상기 제1기판이송부(330)는, 두 개의 제1기판이송툴(332)을 포함하며, 이때, 상기 트레이(20) 상에서 n×m 행렬의 기판배열에 있어 열의 개수(m)는, 4의 배수일 수 있다.
상기 기판이송모듈(300)은, 상기 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하고 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하며, 상기 트레이안착부(310)를 중심으로 상기 기판로딩부(320)에 대향되는 위치에 설치되며, 상기 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)로부터 기판처리된 다수의 기판(10)들을 전달받아 카세트(30)로 적재하는 기판언로딩부(350)와, 상기 트레이(20) 상의 n×m 행렬의 기판배열(n은 2이상의 자연수, m은 3 이상의 자연수) 중 하나의 열에 위치된 n개의 기판(10)을 픽업하여 상기 기판언로딩부(350)로 이송하는 제2기판이송툴(362)을 복수개 구비하는 제2기판이송부(360)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 복수의 제2기판이송툴(362)들은, 상기 트레이(20) 상에서 n×m 행렬의 기판배열에 있어 제p열 및 제p+2열(p는 (m-2) 이하의 자연수) 사이의 중심간격과 동일한 제1중심간격(D)을 두고 설치되며, 기판이송시 대응되는 열에 위치되는 n개의 기판(10)을 픽업하기 위한 복수의 픽커(364)들을 각각 구비할 수 있다.
상기 기판언로딩부(350)는, 상기 제2기판이송툴(362)로부터 n개의 기판(10)을 전달받으며 상기 제1중심간격(D)을 두고 설치되는 s개(s는 2이상의 자연수)의 언로딩컨베이어부(352)를 포함할 수 있다.
상기 제1기판이송부(330) 및 상기 제2기판이송부(360)는, 서로 간섭되지 않도록 상기 트레이안착부(310) 상에서 교번하여 기판(10)을 이송할 수 있다.
본 발명은, 다수의 기판(10)들이 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 기판이송모듈(300)로서, 다수의 기판(10)들이 n×m 행렬의 기판배열(n은 2 이상의 자연수, m은 3 이상의 자연수)로 적재되는 직사각형 트레이(20)가 안착되는 트레이안착부(310)와; 상기 트레이안착부(310)의 일측에 설치되며, 상기 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)로부터 기판처리된 다수의 기판(10)들을 전달받아 카세트(30)로 적재하는 기판언로딩부(350)와; 상기 트레이(20) 상의 n×m 행렬의 기판배열 중 하나의 열에 위치된 n개의 기판(10)을 픽업하여 상기 기판언로딩부(350)로 이송하는 제2기판이송툴(362)을 복수개 구비하는 제2기판이송부(360)를 포함하며, 상기 복수의 제2기판이송툴(362)들은, 상기 트레이(20) 상에서 n×m 행렬의 기판배열에 있어 제p열 및 제p+2열(p는 (m-2) 이하의 자연수) 사이의 중심간격과 동일한 제1중심간격(D)을 두고 설치되며, 기판이송시 대응되는 열에 위치되는 n개의 기판(10)을 픽업하기 위한 복수의 픽커(364)들을 각각 구비할 수 있다.
상기 기판언로딩부(350)는, 상기 제2기판이송툴(362)로부터 n개의 기판(10)을 전달받으며 상기 제1중심간격(D)을 두고 설치되는 s개(s는 2이상의 자연수)의 언로딩컨베이어부(352)를 포함할 수 있다.
본 발명은, 다수의 기판(10)들이 n×m의 기판배열(n은 2 이상의 자연수, m은 3 이상의 자연수)로 직사각형 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과; 상기 트레이(20)에 대한 기판로딩 및 기판언로딩 중 적어도 하나를 수행하는 기판이송모듈(300)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템을 개시한다.
본 발명에 따른 기판이송모듈 및 이를 포함하는 기판처리시스템은, 기판이송부가 복수의 기판이송툴들을 구비함으로써, 기판이송부가 한번에 이송할 수 있는 기판의 수를 증가시켜 기판로딩 또는 기판언로딩에 소요되는 시간을 최소화하고 장치의 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
구체적으로, 본 발명에 따른 기판이송모듈 및 이를 포함하는 기판처리시스템은, 복수의 기판이송툴들을 기판들이 복수의 열로 위치되는 로딩컨베이이어부(또는 언로딩컨베이어부)들 사이의 중심간격과 대응되는 간격을 가지도록 설치함으로써, 기판이송부를 통해 로딩컨베이어부(또는 언로딩컨베이어부)와 트레이 사이에서 복수의 열을 이루는 다수의 기판들을 한번에 이송할 수 있어 단위시간 당 이송 가능한 기판의 수를 크게 향상시킬 수 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송모듈을 보여주는 X-Y 평면도이다.
도 2a 내지 도 2e는, 도 1의 기판이송모듈의 구성일부를 보여주는 X-Y 평면도로서, 트레이로의 기판로딩 및 기판언로딩 시 기판이송부에 의해 기판이 이송되는 과정을 보여주는 X-Y 평면도이다.
도 3은, 도 2의 기판이송모듈의 트레이의 변형례를 보여주는 X-Y 평면도로서, 트레이로의 기판로딩 및 기판언로딩 시 기판이송부에 의해 기판이 이송되는 과정을 보여주는 X-Y 평면도이다.
도 4는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판이송모듈에서 기판이 이송되는 과정을 보여주는 X-Y 평면도이다.
이하 본 발명에 따른 기판처리시스템에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 기판처리시스템은, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 다수의 기판(10)들이 n×m의 기판배열(n은 2 이상의 자연수, m은 2 이상의 자연수)로 직사각형 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과; 트레이(20)에 대한 기판로딩 및 기판언로딩 중 적어도 하나를 수행하는 기판이송모듈(300)을 포함한다.
여기서 본 발명에 따른 기판처리시스템의 기판처리대상인 기판은, 트레이(20)에 다수개로 안착된 상태로 기판처리모듈에 의하여 식각, 증착 등의 기판처리를 요하는 기판으로서, 태양전지용 기판, OLED용 기판, LCD용 기판 등 식각, 증착 등의 기판처리를 요하는 기판이면 어떠한 대상도 가능하다.
한편 상기 다수의 기판(10)들이 안착되는 트레이(20)는, 다수의 기판(10)들이 안착된 상태로 기판처리모듈 등으로 이송되는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 트레이(20)는, 특허문헌 1 내지 2 이외에, 한국 공개특허공보 제1020130141740호, 한국 공개특허공보 제1020120122783호 등에 개시된 트레이 등이 사용될 수 있다.
한편 상기 트레이(20)는, 다수의 기판(10)들이 안착됨에 있어서, n×m 행렬의 기판배열(n은 2 이상의 자연수, m은 2 이상의 자연수)로 배치되어 안착될 수 있다.
즉, 상기 트레이(20)는, X-Y 평면 상에 평면 형상이 직사각형 형상을 가지며, X축방향(행방향) 및 Y축방향(열방향)으로 다수의 기판(10)들이 행렬을 이루어 배치될 수 있다. 상기 트레이(20)의 각 열에는 n개의 기판(10)이 열방향을 따라 배치될 수 있다.
상기 기판처리모듈은, 다수의 기판(10)들이 직사각형 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 구성으로서, 식각, 증착 등 기판처리의 종류, 기판처리방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판처리모듈은, 특허문헌 1 내지 2 이외에, 한국 공개특허공보 제1020130141740호, 한국 공개특허공보 제1020120122783호 등에 개시된 공정모듈, 기판처리모듈 등이 될 수 있다.
한편 상기 기판처리모듈은, 하나 이상으로 설치될 수 있으며 기판이송모듈(300)과 함께 기판처리시스템을 구성할 수 있으며, 기판처리시스템은, 기판이송모듈(300) 및 기판처리모듈이 순차적으로 배치된 인라인 타입, 반송로봇(미도시)이 설치된 반송모듈을 중심으로 복수의 기판처리모듈들 및 기판이송모듈(300)이 결합된 클러스터 타입 등 다양한 배치 구조를 가질 수 있다.
상기 기판이송모듈(300)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 트레이(20)에 대한 기판로딩 및 기판언로딩 중 적어도 하나를 수행하기 위하여 기판(10)들을 이송하는 구성으로, 기판처리모듈과의 결합방식, 기판교환방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기 기판이송모듈(300)은, 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에서 언로딩하거나 또는 기판처리모듈에서 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하기 위하여 기판(10)을 이송할 수 있다.
제1실시예에서, 상기 기판이송모듈(300)은, 다수의 기판(10)들이 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 기판처리모듈에서 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로 로딩하는 기판이송모듈(300)로서, 다수의 기판(10)들이 n×m 행렬의 기판배열(n은 2 이상의 자연수, m은 2 이상의 자연수)로 적재되는 직사각형 트레이(20)가 안착되는 트레이안착부(310)와; 트레이안착부(310)의 일측에 설치되며, 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들을 인출하여 n×k 행렬의 기판배열(k는, 2 이상의 자연수)로 위치시키는 기판로딩부(320)와; 기판로딩부(320) 상의 n×k 행렬의 기판배열 중 하나의 열에 위치된 n개의 기판(10)을 픽업하여 트레이안착부(310) 상의 트레이(20)로 이송하는 제1기판이송툴(332)들을 복수개 구비하는 제1기판이송부(330)를 포함할 수 있다.
상기 트레이안착부(310)는, 트레이(20)가 안착되는 구성으로서 트레이(20)의 안착방식, 교환방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
상기 트레이(20)는, 다수의 기판(10)들이 n×m 행렬의 기판배열(n은 2 이상의 자연수, m은 2 이상의 자연수)로 적재되는 직사각형 트레이(20)로서 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 트레이(20)에는, 다수의 기판(10)들이 행방향(X방향) 및 열방향(Y방향)을 따라 10×10 행렬(10행 10열)의 기판배열로 적재될 수 있다.
상기 기판로딩부(320)는, 트레이안착부(310)의 일측에 설치되며, 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들을 인출하여 n×k 행렬의 기판배열(k는, 2 이상의 자연수)로 위치시키는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판로딩부(320)는, n×k 행렬의 기판배열의 각 열에 대응되도록 n×k 행렬의 기판배열의 행방향을 따라 간격을 두고 평행하게 설치되는 k개의 로딩컨베이어부(322)를 포함할 수 있다.
상기 k개의 로딩컨베이어부(322)들을, 행방향을 따라 제1중심간격(D)을 두고 서로 평행하게 설치될 수 있다. 그에 따라, 기판로딩부(320) 상에서 기판(10)들은 열과 열 사이의 중심간격이 제1중심간격(D)을 가지도록 위치될 수 있다. 여기서, 중심간격이란, 하나의 열에 위치된 n개의 기판(10)들의 중심을 연결한 선과 이웃하는 열에 위치된 n개의 기판(10)들의 중심을 연결한 선 사이의 간격을 의미한다.
상기 로딩컨베이어부(322)는, n×k 행렬의 기판배열 중 하나의 열에 대응되어 n개의 기판(10)을 지지하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
상기 로딩컨베이어부(322)는, 벨트(미도시) 및 상기 벨트를 회전구동하기 위한 한 쌍의 풀리(미도시) 구성될 수 있다.
한편 상기 벨트에는, 열방향을 따라서 n개의 기판(10)이 순차적으로 위치되도록 n개의 기판(10)들에 대응되어 복수의 구획돌기(미도시)들이 벨트의 표면으로부터 돌출되어 형성될 수 있다.
상기 벨트의 회전에 따라, 카세트(30)에서 인출된 n개의 기판(10)들이 벨트의 상면에 순차적으로 위치될 수 있다.
한편 상기 카세트(30)로부터 n개의 기판(10)들이 순차적으로 로딩컨베이어부(322)의 상면에 안착이 완료되면, 후술하는 제1기판이송부(320)에 의하여 픽업되어 트레이(20) 상에 안착된다.
상기 제1기판이송부(330)는, 기판로딩부(320) 상에 위치된 기판(10)을 기판안착부(310)의 트레이(20)로 이송하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 제1기판이송부(330)는, 기판로딩부(320) 상의 n×k 행렬의 기판배열 중 하나의 열에 위치된 n개의 기판(10)을 픽업하여 트레이안착부(310) 상의 트레이(20)로 이송하는 제1기판이송툴(332)들을 복수개 구비할 수 있다.
상기 상기 제1기판이송부(330)는, 기판로딩부(320)와 트레이(20) 사이에서 왕복이동 및 상하이동 가능하게 설치되며, 진공압에 의하여 기판(10)을 흡착하여 픽업하여 트레이(20)로 이동하여 플레이스하는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 복수의 제1기판이송툴(332)들은, 기판이송시 대응되는 로딩컨베이어부(322)에 위치되는 n개의 기판(10)을 픽업하기 위한 복수의 픽커(334)들을 구비할 수 있다.
이때, 본 발명에 따른 기판처리시스템은, 제1기판이송부(330)의 기판로딩부(320)와 트레이(20) 사이 왕복이동을 구동하는 제1구동부(미도시)와 제1기판이송부(330)의 이동을 가이드 하기 위해 제1기판이송부(330)의 이동경로를 따라 설치되는 가이드부(400)를 포함할 수 있다.
상기 가이드부(400)는, 제1기판이송부(330)의 이동블록(331)과 결합될 수 있다.
상기 제1기판이송부(330)는, 복수의 제1기판이송툴(332)들을 구비함으로써 기판로딩부(320) 상의 복수의 로딩컨베이어(322)에 의해 복수의 열로 위치된 기판(10)들을 한번에 트레이(20)로 이송할 수 있다.
따라서, 상기 제1기판이송부(330)가 a개(a는 2이상의 자연수)의 제1기판이송툴(332)을 구비하는 경우, 기판로딩부(320)는 a보다 크거나 같은 수의 로딩컨베이어부(322)를 포함하도록 구성되며, 바람직하게는 a*c 개(c는 1이상의 자연수)의 로딩컨베이어부(322)를 포함할 수 있다.
예로서, 상기 제1기판이송부(330)가 2개의 제1기판이송툴(332)을 포함하는 경우, 상기 기판로딩부(320)는, 카세트(30)로부터 로딩컨베이어부(322)로의 기판(10) 인출에 소요되는 시간 동안 기판이송이 중단되는 것을 방지하기 위하여, 4개의 로딩컨베이어부(322)를 포함할 수 있다.
제2실시예에서, 상기 기판이송모듈(300)은, 다수의 기판(10)들이 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 기판이송모듈(300)로서, 다수의 기판(10)들이 n×m 행렬의 기판배열(n은 2 이상의 자연수, m은 2 이상의 자연수)로 적재되는 직사각형 트레이(20)가 안착되는 트레이안착부(310)와; 트레이안착부(310)의 일측에 설치되며, 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)로부터 기판처리된 다수의 기판(10)들을 전달받아 카세트(30)로 적재하는 기판언로딩부(350)와; 트레이(20) 상의 n×m 행렬의 기판배열 중 하나의 열에 위치된 n개의 기판(10)을 픽업하여 기판언로딩부(350)로 이송하는 제2기판이송툴(362)을 복수개 구비하는 제2기판이송부(360)를 포함할 수 있다.
제1실시예의 경우, 기판처리될 기판(10)이 제1기판이송부(320)에 의해 기판로딩부(320)에서 트레이안착부(310) 상의 트레이(20)로 이송되나, 제2실시예의 경우, 기판처리된 기판(10)이 트레이안착부(310) 상의 트레이(20)에서 후술하는 기판언로딩부(350)로 이송된다는 점에서 기판(10)의 이송흐름에 차이가 있다.
이하, 제1실시예와의 차이점을 중심으로 제2실시예를 자세히 설명한다.
상기 기판언로딩부(350)는, 상기 트레이안착부(310)의 일측에 설치되며, 상기 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)로부터 기판처리된 다수의 기판(10)들을 전달받아 카세트(30)로 적재하는 구성으로, 기판로딩부(320)와 동일하거나 유사한 구성을 가지는 등 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 기판언로딩부(350)는, 도 1에 도시된 기판로딩부(320)의 구성과 실질적으로 동일하거나 유사한바 자세한 설명은 생략한다.
다만, 상기 기판언로딩부(350)는, 카세트(30)로부터 기판(10)을 인출하는 기판로딩부(320)과는 달리, 후술하는 제2기판이송툴(360)에 의하여 기판(10)을 전달받아 카세트(30)에 적재하는데 기본적인 차이가 있다.
예로서, 상기 기판언로딩부(350)는, 후술하는 제2기판이송툴(362)로부터 n개의 기판(10)을 전달받으며 간격을 두고 설치되는 s개(s는 2이상의 자연수)의 언로딩컨베이어부(352)를 포함할 수 있다.
상기 언로딩컨베이어부(352)는, 벨트(미도시) 및 상기 벨트를 회전구동하기 위한 한 쌍의 풀리(미도시) 구성될 수 있다.
한편 상기 벨트에는, 열방향을 따라서 위치된 n개의 기판(10)이 순차적으로 카세트(30)로 적재되도록 n개의 기판(10)들에 대응되어 복수의 구획돌기(미도시)들이 벨트의 표면으로부터 돌출되어 형성될 수 있다.
후술하는 제2기판이송툴(362)를 통해 n개의 기판(10)이 언로딩컨베이어부(352)의 상면에 안착되면, 상기 벨트의 회전에 따라 n개의 기판(10)들이 순차적으로 카세트(30)로 적재될 수 있다.
상기 제2기판이송부(360)는, 트레이(20) 상에 위치된 기판처리된 기판(10)을 기판언로딩부(350)로 이송하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
예로서, 상기 제2기판이송부(360)는, 트레이(20) 상의 n×m 행렬의 기판배열 중 하나의 열에 위치된 n개의 기판(10)을 픽업하여 기판언로딩부(350)로 이송하는 제2기판이송툴(362)을 복수개 구비할 수 있다.
상기 상기 제2기판이송부(360)는, 트레이(20)와 기판언로딩부(350) 사이에서 왕복이동 및 상하이동 가능하게 설치되며, 진공압에 의하여 기판(10)을 흡착하여 픽업하여 기판언로딩부(350)로 이동하여 플레이스하는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 복수의 제2기판이송툴(362)들은, 기판이송시 트레이(20) 상 대응되는 열에 위치되는 n개의 기판(10)을 픽업하기 위한 복수의 픽커(364)들을 각각 구비할 수 있다.
이때, 본 발명에 따른 기판처리시스템은, 제2기판이송부(360)의 트레이(20)와 기판언로딩부(350) 사이 왕복이동을 구동하는 제2구동부(미도시)와 제2기판이송부(360)의 이동을 가이드 하기 위해 제2기판이송부(360)의 이동경로를 따라 설치되는 가이드부(400)를 포함할 수 있다.
상기 가이드부(400)는, 제2기판이송부(360)의 이동블록(361)과 결합될 수 있다.
상기 제2기판이송부(360)는, 복수의 제2기판이송툴(362)들을 구비함으로써 트레이(20) 상의 복수의 열에 위치된 기판(10)들을 한번에 기판언로딩부(350)로 이송할 수 있다.
상기 제2기판이송부(360)가 b개(b는 2이상의 자연수)의 제1기판이송툴(332)을 구비하는 경우, 기판언로딩부(350)는 b보다 크거나 같은 수의 언로딩컨베이어부(352)를 포함하도록 구성되며, 바람직하게는 b*c 개(c는 1이상의 자연수)의 로딩컨베이어부(322)를 포함할 수 있다.
예로서, 상기 제2기판이송부(360)가 2개의 제2기판이송툴(362)을 포함하는 경우, 상기 기판언로딩부(360)는, 카세트(30)로 기판(10)을 적재하는데 소요되는 시간 동안 기판이송이 중단되는 것을 방지하기 위하여, 4개의 언로딩컨베이어부(362)를 포함할 수 있다.
제3실시예에서, 상기 기판이송모듈(300)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하고 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩 할 수 있다.
이때, 상기 기판이송모듈(300)은, 제1실시예의 기판이송모듈(300)에 더해, 트레이안착부(310)를 중심으로 기판로딩부(320)에 대향되는 위치에 설치되며, 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)로부터 기판처리된 다수의 기판(10)들을 전달받아 카세트(30)로 적재하는 기판언로딩부(350)와, 트레이(20) 상의 n×m 행렬의 기판배열 중 하나의 열에 위치된 n개의 기판(10)을 픽업하여 기판언로딩부(350)로 이송하는 제2기판이송툴(362)을 복수개 구비하는 제2기판이송부(360)를 추가로 포함할 수 있다.
제3실시예에 따른 기판언로딩부(350) 및 제2기판이송부(360)는, 트레이안착부(310)를 중심으로 기판로딩부(320)에 대향되는 위치에 설치된다는 점을 제외하고는 제2실시예와 동일하거나 유사하게 구성될 수 있는 바 자세한 설명은 생략한다.
제3실시예에서, 상기 기판로딩부(320), 기판안착부(310) 및 기판언로딩부(350)는, 도 1에 도시된 바와 같이, X축 방향을 따라 순차적으로 설치될 수 있다. 이때, 상기 제1기판이송부(330) 및 제2기판이송부(360)는, X축 방향을 따라 선형왕복이동 가능하게 설치될 수 있다.
또한, 제3실시예에 따른 기판이송모듈(300)의 경우, 제2기판이송부(360)에 의한 기판언로딩이 모두 완료된 후 제1기판이송부(330)에 의한 기판로딩이 수행되는 것도 가능하나, 제1기판이송부(330) 및 제2기판이송부(360)는 서로 간섭되지 않도록 트레이안착부(310) 상에서 교번하여 기판(10)을 이송하도록 설치된다면, 기판처리된 기판(10)에 대한 트레이(20)에서의 언로딩과 기판처리될 기판(10)의 트레이(20)로의 로딩이 함께(동시에) 수행될 수 있어 기판처리효율을 개선할 수 있는 이점이 있다.
또한, 도 2a 내지 도 2e에 도시된 바와 같이 제2기판이송툴(362)에 의해 트레이(20) 상의 기판(10)이 언로딩되어 빈 자리(도면 상 점선)에 제1기판이송툴(332)이 기판처리될 기판(10)을 로딩하기 위하여, 제1기판이송툴(332) 및 제2기판이송툴(362)은 같은 개수로 구성됨이 바람직하다.
그런데, 일반적으로, 트레이(20) 상의 기판(10)들은 로딩컨베이어부(322)들 사이간격(또는 언로딩컨베이어부(352)들 사이간격) 대비 상대적으로 매우 좁은 간격을 가지고 배치되기 때문에, 복수의 제1기판이송툴(332)들 의해 로딩컨베이어부(322)에서 트레이(20)로 기판(10)들이 한번에(동시에) 이송되기 어려우며, 마찬가지로 복수의 제2기판이송툴(362)들에 의해 트레이(20)에서 기판언로딩부(350)로 기판(10)들이 한번에(동시에) 이송되기 어려운 문제점이 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 제1방법으로서, 본 발명은, 복수의 제1기판이송툴(332)들을 로딩컨베이어부(322)들 사이 중심간격과 동일한 제1중심간격(D)을 두고 설치한다.
복수의 제1기판이송툴(322)들 사이 중심간격과 로딩컨베이어부(322)들 사이의 중심간격이 제1중심간격(D)로 일치하므로, 복수의 제1기판이송툴(322)에 의해 대응되는 복수의 로딩컨베이어부(322)에 안착된 다수의 기판(10)들에 대한 픽업이 한번에(동시에) 이루어질 수 있다.
이때, 상기 제1중심간격(D)은, 도 2a 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 트레이(20) 상에서 n×m 행렬의 기판배열에 있어 제p열 및 제p+2열(p는 (m-2) 이하의 자연수) 사이의 중심간격과 동일하게 설정될 수 있다. 다만, 이 경우, 트레이(20) 상 n×m 행렬의 기판배열은 3열 이상으로 배치되어야 한다. 즉, 트레이(20) 상 n×m 행렬의 기판배열에 있어 m은 3 이상의 자연수를 만족해야 한다.
도 2a 내지 도 2e를 참조하면, 2개의 제1기판이송툴(332) 사이의 제1중심간격(D)은, 트레이(20) 상의 제1열 및 제3열(또는 2열 및 제4열, 제3열 및 제5열 등등, 도면 상 좌측기준) 사이의 중심간격과 동일하므로, 2개의 제1기판이송툴(332)에 의해 픽업된 기판(10)들은 별도의 동작 없이도 트레이(20) 상의 대응되는 2개의 열에 한번에 안착될 수 있다.
마찬가지로, 상기 복수의 제2기판이송툴(362)들은, 트레이(20) 상에서 n×m 행렬의 기판배열에 있어 제p열 및 제p+2열(p는 (m-2) 이하의 자연수) 사이의 중심간격과 동일한 제1중심간격(D)을 두고 설치될 수 있다. 다만, 이 경우, 트레이(20) 상 n×m 행렬의 기판배열은 3열 이상으로 배치되어야 한다. 즉, 트레이(20) 상 n×m 행렬의 기판배열에 있어 m은 3 이상의 자연수를 만족해야 한다.
도 2a 내지 도 2e를 참조하면, 2개의 제2기판이송툴(362) 사이의 제1중심간격(D)은, 트레이(20) 상의 제1열 및 제3열(또는 2열 및 제3열, 제3열 및 제5열 등등, 도면 상 좌측기준) 사이의 중심간격과 동일하므로, 트레이(20) 상의 대응되는 2개의 열에 위치된 기판(10)들이 별도의 동작 없이도 2개의 제2기판이송툴(362)에 의해 한번에 픽업될 수 있다.
이때, 상술한 s개의 언로딩컨베이어부(352) 또한, 제2기판이송툴(362)들 사이 중심간격과 동일한 제1중심간격(D)을 두고 설치될 수 있다.
복수의 제2기판이송툴(362)들 사이 중심간격과 언로딩컨베이어부(362)들 사이의 중심간격이 제1중심간격(D)로 일치하므로, 복수의 제2기판이송툴(362)에 의해 픽업된 기판(10)들은 별도의 동작 없이도 대응되는 복수의 언로딩컨베이어부(362)에 한번에 안착될 수 있다.
이하, 도 2a 내지 도 2e를 참조하여, 상술한 구성을 가지는 기판이송모듈(300)에서의 기판이송과정을 자세히 설명한다.
먼저, 도 2a에서, 기판처리모듈에서 배출된 트레이(20) 상에는 10×10 행렬의 기판배열로 기판처리된 기판(10)이 안착된다. 여기서, 10×10 행렬의 기판배열의 각 열들은 좌측부터 제1열 내지 제10열로 정의될 수 있다. 각 열에는 10개의 기판이 열방향(Y축방향)을 따라 배치된다.
이때, 제1중심간격(D)을 두고 설치된 2개의 제2기판이송툴(362)이 각각 트레이(20) 상 제1열 및 제3열에 위치된 기판(10)들을 픽업하여 기판언로딩부(350)로 이송한다. 제2기판이송툴(362)이 기판처리된 기판(10)을 트레이(20)에서 언로딩하는 동안, 제1중심간격(D)을 두고 설치된 2개의 제1기판이송툴(332)이 각각 로딩컨베이어부(322) 상에 위치된 기판(10)들을 픽업하여 트레이(20) 상 제1열 및 제3열로 이송한다. 이를 통해, 트레이(20) 상 제1열 및 제3열에 위치된 기판처리완료된 기판(10)들이 기판처리될 기판(10)들로 교환될 수 있다.
다음으로, 도 2b에서, 2개의 제2기판이송툴(362)이 각각 트레이(20) 상 제2열 및 제4열에 위치된 기판(10)들을 픽업하여 기판언로딩부(350)로 이송한다. 제2기판이송툴(362)이 기판처리된 기판(10)을 트레이(20)에서 언로딩하는 동안, 2개의 제1기판이송툴(332)이 각각 로딩컨베이어부(322) 상에 위치된 기판(10)들을 픽업하여 트레이(20) 상 제2열 및 제4열로 이송한다. 이를 통해, 트레이(20) 상 제2열 및 제4열에 위치된 기판처리완료된 기판(10)들이 기판처리될 기판(10)들로 교환될 수 있다.
이와 유사하게, 트레이(20) 상 제5열 및 제7열에 위치된 기판(10)들이 교환(도 2c)될 수 있으며, 트레이(20) 상 제6열 및 제8열에 위치된 기판(10)들이 교환(도 2d)될 수 있다.
도 2a 내지 도 2d와 같이 4번의 기판이송단계를 거쳐, 트레이(20)의 제1열 내지 제8열에 위치된 기판(10)들이 기판처리될 기판(10)으로 교환될 수 있다.
그런데, 제1기판이송툴(332) 및 제2기판이송툴(362)의 개수, 트레이(20)에 안착되는 기판(10)들의 열의 개수에 따라 트레이(20) 상의 일부의 열은 제1기판이송툴(332) 및 제2기판이송툴(362)에 의해 한번에 이송될 수 없는 경우가 발생할 수 있다. 예로서, 교환되지 않고 남은 트레이(20) 상 제9열 및 제10열은 서로 이웃하는 열로써, 이웃하는 열 사이의 제2중심간격(w)은 제1중심간격(D) 보다 작으므로, 제1중심간격(D)을 두고 설치된 2개 제1기판이송툴(332) 및 제2기판이송툴(362)를 통해 한번에(동시에) 이송될 수 없다.
즉, 도 2e를 참조하면, 제2기판이송부(260)는 트레이(20) 상에서 2개의 제2기판이송툴(262)이 선형이동하며 제9열에 위치된 기판(10)들과 제10열에 위치된 기판(10)들을 순차적으로 픽업한 후 기판언로딩부(350)로 이동한다.
다시 말해, 제2기판이송부(360)에 의한 제9열 및 제10열의 픽업이 동시에 이루어지지 못하고 단계적으로(순차적으로) 이루어짐에 따라 소자이송 효율이 상대적으로 떨어질 수 있다.
마찬가지로, 제1기판이송부(330)는, 기판로딩부(320)에서 픽업된 기판(10)들을 트레이(20) 상 제9열 및 제10열에 로딩함에 있어, 2개의 제1기판이송툴(332)이 선형이동하며 제9열 및 제10열에 순차적으로 적재한 후 기판로딩부(320)로 이동한다.
도시하지는 않았으나, 2개의 제2기판이송툴(362) 중 하나만을 이용하여 제9열에 위치된 10개의 기판(10)을 언로딩하고, 2개의 제1기판이송툴(332) 중 하나만을 이용하여 제10열에 위치된 10개의 기판(10)을 제9열에 로딩하는 방식(트레이(20) 상 제10열 또한 제9열과 같은 방식으로 수행됨)도 가능하나 제9열 및 제10열에 대한 기판로딩(또는 기판언로딩)을 위하여 제1기판이송부(330)(또는 제2기판이송부(360))가 트레이(20)와 기판로딩부(320) 사이(또는 트레이(20)와 기판언로딩부(350) 사이)를 2회 왕복이동 해야 하므로 도 2e에서 설명한 방식보다 기판이송효율이 저하될 수 있다.
즉, 제1방법의 경우, 제1기판이송부(330) 및 제2기판이송부(360)가 각각 2개의 기판이송툴(332, 362)을 구비하고 있음에도 불구하고, 트레이(20) 상 일부에 대해서는 복수의 열에 위치된 기판(10)들에 대한 픽업 또는 복수의 열로의 기판(10) 적재가 동시에(한번에) 수행되기 어려운 경우가 발생될 수 있다.
이는, 제1기판이송부(330) 및 제2기판이송부(360)가 구비하는 기판이송툴(332, 362)의 개수, 트레이(20) 상의 n×m 행렬의 기판배열에 있어 열의 개수(m)를 적절히 조정함으로써 해결될 수 있다.
예로서, 제1기판이송부(330) 및 제2기판이송부(360)가 각각 2개의 기판이송툴(332, 362)을 구비하고, 트레이(20) 상의 n×m 행렬의 기판배열에 있어 열의 개수(m)가 4의 배수를 만족하는 경우, 트레이(20) 상의 2열의 기판(10)들이 항상 동시에(한번에) 픽업되거나 적재될 수 있다.
구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 트레이(20) 상에 10×12 행렬의 기판배열로 기판(10)이 적재되는 경우, 2개의 기판이송툴(332, 362)에 의해 수행되는 6번의 기판이송과정을 통해 트레이(20) 상에 기판로딩 및 기판언로딩이 완료될 수 있다.
즉, 본 발명은 종래 하나의 기판이송툴에 의해 12번의 기판이송과정을 통해 수행되는 기판로딩(또는 기판언로딩)을 그 절반인 6번의 기판이송과정만으로 수행할 수 있어 기판이송의 효율을 2배로 향상시킬 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 제2방법으로서, 본 발명에 따른 제1기판이송부(330)는, 복수의 제1기판이송툴(332)들 사이의 중심간격을 가변시키기 위한 제1간격조절부(336)를 추가로 포함한다. 즉, 복수의 제1기판이송툴(332)들 사이의 간격이 제1방법과 같이 고정된 것이 아니라 가변 가능하게 함으로써 상술한 문제점이 해결될 수 있다.
제2방법에 있어, 트레이(20) 상 n×m 행렬의 기판배열은 2열 이상으로 배치되면 충분하고 필수적으로 3열 이상으로 배치될 필요가 없다. 즉, 제2방법의 경우, 트레이(20) 상 n×m 행렬의 기판배열에 있어 m이 2 이상의 자연수인 경우도 실시 가능하다.
상기 제1간격조절부(336)는, 제1기판이송부(330)에 구비된 제1기판이송툴(332)들 사이의 중심간격을 가변시키기 위한 구성으로 다양한 구성이 가능하다.
상기 제1간격조절부(336)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1기판이송툴(332)에 결합되어 제1기판이송툴(332)들 중 적어도 하나를 다른 제1기판이송툴(332)에 대하여 상대이동 시키는 구동부를 포함할 수 있다.
트레이(20) 상 이웃하는 열에 위치된 기판(10)들 사이의 제2중심간격이 w이고, 이웃하는 로딩컨베이어부(322) 사이의 제1중심간격이 D라 할 때, 상기 제1간격조절부(336)는 이웃하는 제1기판이송툴(332) 사이의 간격을 w와 D 사이에서 가변되도록 조절할 수 있다.
제1기판이송부(330)와 유사하게, 본 발명에 따른 제2기판이송부(360)는, 복수의 제2기판이송툴(362)들 사이의 중심간격을 가변시키기 위한 제2간격조절부(366)를 추가로 포함한다.
상기 제2간격조절부(366)는, 상술한 제1간격조절부(336)와 동일하거나 유사하게 구성될 수 있는 바 자세한 설명은 생략한다.
상기 제1기판이송툴(332)들 사이의 간격이 가변될 수 있으므로, 로딩컨베이어부(322)들 사이의 간격(D)과 트레이(20) 상 이웃하는 열 사이의 간격(w)이 상이하다고 하더라도, 복수의 제1기판이송툴(332)에 의해 서로 다른 복수의 기판로딩컨베이어부(322)들에서 기판(10)들이 한번에(동시에) 픽업될 수 있고 픽업된 기판(10)들은 트레이(20) 상의 서로 다른 복수의 열에 한번에 적재(안착)될 수 있다. 이와 유사하게 제2기판이송툴(362)들 사이의 간격 또한 가변될 수 있으므로, 복수의 제2기판이송툴(362)에 의해 트레이(20) 상 서로 다른 복수의 열에 위치된 기판(10)들을 한번에(동시에) 픽업할 수 있고 픽업된 기판(10)들은 복수의 언로딩컨베이어부(352) 상에 한번에(동시에) 적재(안착)될 수 있다.
이하, 제1기판이송부(330)가 2개의 제1기판이송툴(332)을 구비하고, 제2기판이송부(360)가 2개의 제2기판이송툴(362)을 구비하는 실시예에 대하여 도 4를 참조하여 제1간격조절부(336) 및 제2간격조절부(366)의 작동을 자세히 설명한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 트레이(20) 상 서로 이웃하는 제9열 및 제10열에 위치된 기판(10)을 언로딩하는 경우를 가정하면, 제2간격조절부(366)는 2개의 제2기판이송툴(362) 사이의 간격을 제9열 및 제10열 사이의 제2중심간격(w)과 동일한 w로 가변시킨다. 그에 따라 2개의 제2기판이송툴(362)는 제9열 및 제10열에 위치된 2열의 기판(10)들을 동시에 픽업하여 기판언로딩부(350)로 이송할 수 있다.
상기 제2기판이송부(360)가 기판언로딩부(350)로 이동하면, 제2간격조절부(366)는, 2개의 제2기판이송툴(362) 사이의 간격을 언로딩컨베이어부(352) 사이의 제1중심간격(D)과 동일한 D로 가변시킨다. 그에 따라, 2개의 제2기판이송툴(362)에 의해 픽업된 기판(10)들이 각각 2개의 언로딩컨베이어부(352)로 동시에 안착될 수 있다.
상기 제2기판이송부(360)가 트레이(20) 상에서 기판(10)을 언로딩하는 동안, 제1기판이송부(330)가 트레이(20)의 빈자리(점선, 트레이(20) 상 제9열 및 제10열)로 기판(10)을 로딩한다. 이때, 제1간격조절부(336)는, 2개의 제1기판이송툴(332) 사이의 간격을 로딩컨베이어부(352) 사이의 중심간격과 동일한 D로 가변시킨다. 그에 따라 2개의 제1기판이송툴(332)는 2개의 언로딩컨베이어부(352)에 위치된 2열의 기판(10)들을 동시에 픽업하여 트레이(20)로 이송할 수 있다.
상기 제1기판이송부(330)가 트레이(20)로 이동하면, 제1간격조절부(336)는 2개의 제1기판이송툴(332) 사이의 간격을 제9열 및 제10열 사이의 제2중심간격(w)과 동일한 w로 가변시킨다. 그에 따라 2개의 제1기판이송툴(332)은 픽업한 2열의 기판(10)들을 제9열 및 제10열에 동시에 각각 적재할 수 있다.
도 4를 참조하여, 제1기판이송부(330) 및 제2기판이송부(360)에 의해 트레이(20) 상 제9열 및 제10열에 대한 기판로딩 및 기판언로딩 과정을 중점적으로 설명하였으나, 트레이(20) 상 나머지 열들(제1열 내지 제8열)에 대한 기판로딩 및 기판언로딩 또한 트레이(20) 상 제9열 및 제10열에 대한 기판로딩 및 기판언로딩 과정과 동일하거나 유사한 방식으로 수행될 수 있음은 물론이다.
예로서, 제1기판이송부(330)(또는 제2기판이송부(360))에 의해, 트레이(20) 상 제1열과 제2열에 대한 기판로딩(또는 기판언로딩), 트레이(20) 상 제3열과 제4열에 대한 기판로딩(또는 기판언로딩), 트레이(20) 상 제5열과 제6열에 대한 기판로딩(또는 기판언로딩), 트레이(20) 상 제7열과 제8열에 대한 기판로딩(또는 기판언로딩), 트레이(20) 상 제9열과 제10열에 대한 기판로딩(또는 기판언로딩)이 순차적으로 수행될 수 있다.
제2방법의 경우, 제1기판이송툴(332)들(또는 제2기판이송툴(362)들) 사이의 간격이 가변가능 하므로, 상술한 제1방법과 같이 로딩컨베이어부(322)들 사이의 제1중심간격(D)이 트레이(20) 상에서 제p열 및 제p+2열(p는 (m-2) 이하의 자연수, m은 3 이상의 자연수) 사이의 중심간격과 동일하게 설정되는 것은 필수적인 구성이 아니다.
다만, 로딩컨베이어부(322)들 사이의 제1중심간격(D)이 트레이(20) 상에서 제p열 및 제p+2열 사이의 중심간격과 동일한 경우, 제1기판이송부(330)(또는 제2기판이송부(360))에 의해, 트레이(20) 상 제1열과 제3열에 대한 기판로딩(또는 기판언로딩), 트레이(20) 상 제2열과 제4열에 대한 기판로딩(또는 기판언로딩), 트레이(20) 상 제5열과 제7열에 대한 기판로딩(또는 기판언로딩), 트레이(20) 상 제6열과 제8열에 대한 기판로딩(또는 기판언로딩), 트레이(20) 상 제9열과 제10열에 대한 기판로딩(또는 기판언로딩)이 순차적으로 수행될 수 있다.
이때, 로딩컨베이어부(322)들 사이의 제1중심간격(D)이 트레이(20) 상에서 제p열 및 제p+2열 사이의 중심간격과 동일하므로, 트레이(20) 상 제9열과 제10열에 대한 기판로딩(또는 기판언로딩) 수행 시를 제외하고는, 트레이(20) 상 제1열과 제3열, 제2열과 제4열, 제5열과 제7열, 제6열과 제8열에 대한 기판로딩(또는 기판언로딩) 시 제1기판이송툴(332)들(또는 제2기판이송툴(362)들) 사이의 간격을 가변할 필요가 없어 기판이송 효율을 보다 개선할 수 있다.
상기 제2방법에 있어 몇 가지 기판이송순서를 예로서 설명하였으나, 제1기판이송부(330) 및 제2이판이송부(360)에 의한 기판이송을 통한 트레이(20) 상의 기판로딩 및 기판언로딩은 다양한 순서 및 방식으로 수행될 수 있음은 물론이다.
즉, 본 발명은 복수의 기판이송툴(332, 362)들 사이의 간격이 기판(10) 이송과정에서 가변 되도록 구성함으로써, 복수의 열에 위치된 기판(10)들을 한번에 픽업, 적재 및 이송할 수 있어, 단위시간당 이송가능한 기판(10)의 수를 크게 증가시킬 수 있으며, 그에 따라 트레이(20)에 대한 기판로딩 및 기판언로딩 속도를 개선할 수 있는 이점이 있다.
한편 본 발명에 따른 기판처리시스템은, 기판이송모듈(300)에 대하여 기판로딩부(320)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩, 기판언로딩부(350)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 카세트이송모듈(500)을 추가로 포함할 수 있다.
상기 카세트이송모듈(500)은, 기판교환모듈(300)에 대하여 로딩위치(P1)(카세트(30)에서 기판처리될 다수의 기판(10)들이 인출되는 위치)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 제1카세트핸들링부(600)와, 언로딩위치(P2)(카세트(30)로 기판처리된 다수의 기판(10)들이 적재되는 위치)에서의 카세트(30)의 로딩 및 언로딩을 위한 제2카세트핸들링부(700)를 포함할 수 있다.
또한 상기 카세트이송모듈(500)은, 로딩위치(P1)에 위치된 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들이 인출되며, 기판처리된 다수의 기판(10)들이 언로딩위치(P2)에 위치된 카세트(30)에 적재되도록 카세트(30)를 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)로 순차적으로 이송하도록 구성될 수 있다.
구체적으로, 상기 카세트이송모듈(500)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판이송모듈(300)의 일측에 설치되어 카세트(30)가 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)를 순차적으로 거치도록 구성될 수 있다.
이때 상기 카세트이송모듈(500)은, 카세트(30)의 이송방식에 따라서 컨베이어벨트 등 다양한 구성이 가능하며, 카세트(30)의 이송방향에 따라서 로딩위치(P1) 및 언로딩위치(P2)를 기준으로 순차적으로 설치된 제1카세트이송부(510), 제2카세트이송부(520) 및 제3카세트이송부(530)를 포함할 수 있다.
상기 제1카세트이송부(510), 제2카세트이송부(520) 및 제3카세트이송부(530)는, 카세트(30)의 이송을 위한 구성으로서 카세트(30)의 이송방식에 따라서 컨베이어벨트 등 다양한 구성이 가능하다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
10: 기판 20: 트레이
310: 트레이안착부 320: 기판로딩부
330: 제1기판이송부 350: 기판언로딩부
360: 제2기판이송부

Claims (10)

  1. 다수의 기판(10)들이 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 기판처리모듈에서 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로 로딩하는 기판이송모듈(300)로서,
    다수의 기판(10)들이 n×m 행렬의 기판배열(n은 2이상의 자연수, m은 2 이상의 자연수)로 적재되는 직사각형 트레이(20)가 안착되는 트레이안착부(310)와;
    상기 트레이안착부(310)의 일측에 설치되며, 카세트(30)로부터 기판처리될 다수의 기판(10)들을 인출하여 n×k 행렬의 기판배열(k는, 2 이상의 자연수)로 위치시키는 기판로딩부(320)와;
    상기 기판로딩부(320) 상의 n×k 행렬의 기판배열 중 하나의 열에 위치된 n개의 기판(10)을 픽업하여 상기 트레이안착부(310) 상의 트레이(20)로 이송하는 제1기판이송툴(332)들을 복수개 구비하는 제1기판이송부(330)를 포함하며,
    상기 기판로딩부(320)는, 상기 n×k 행렬의 기판배열의 각 열에 대응되도록 행방향을 따라 제1중심간격(D)을 두고 설치되는 k개의 로딩컨베이어부(322)를 포함하며,
    상기 복수의 제1기판이송툴(332)들은, 상기 제1중심간격(D)을 두고 설치되며, 기판이송시 대응되는 로딩컨베이어부(322)에 위치되는 n개의 기판(10)을 픽업하기 위한 복수의 픽커(334)들을 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송모듈(300).
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1중심간격(D)은, 상기 트레이(20) 상에서 n×m 행렬의 기판배열(n은 2이상의 자연수, m은 3 이상의 자연수)에 있어 제p열 및 제p+2열(p는 (m-2) 이하의 자연수) 사이의 중심간격과 동일한 것을 특징으로 하는 기판이송모듈(300).
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1기판이송부(330)는, 두 개의 제1기판이송툴(332)을 포함하며,
    상기 트레이(20) 상에서 n×m 행렬의 기판배열에 있어 열의 개수(m)는, 4의 배수인 것을 특징으로 하는 기판이송모듈(300).
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판이송모듈(300)은, 상기 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하고 기판처리될 다수의 기판(10)들을 트레이(20)에 로딩하며,
    상기 트레이안착부(310)를 중심으로 상기 기판로딩부(320)에 대향되는 위치에 설치되며, 상기 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)로부터 기판처리된 다수의 기판(10)들을 전달받아 카세트(30)로 적재하는 기판언로딩부(350)와, 상기 트레이(20) 상의 n×m 행렬의 기판배열 중 하나의 열에 위치된 n개의 기판(10)을 픽업하여 상기 기판언로딩부(350)로 이송하는 제2기판이송툴(362)을 복수개 구비하는 제2기판이송부(360)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송모듈(300).
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 복수의 제2기판이송툴(362)들은, 상기 트레이(20) 상에서 n×m 행렬의 기판배열(n은 2이상의 자연수, m은 3 이상의 자연수)에 있어 제p열 및 제p+2열(p는 (m-2) 이하의 자연수) 사이의 중심간격과 동일한 제1중심간격(D)을 두고 설치되며, 기판이송시 대응되는 열에 위치되는 n개의 기판(10)을 픽업하기 위한 복수의 픽커(364)들을 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송모듈(300).
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 기판언로딩부(350)는, 상기 제2기판이송툴(362)로부터 n개의 기판(10)을 전달받으며 상기 제1중심간격(D)을 두고 설치되는 s개(s는 2이상의 자연수)의 언로딩컨베이어부(352)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송모듈(300).
  7. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1기판이송부(330) 및 상기 제2기판이송부(360)는, 서로 간섭되지 않도록 상기 트레이안착부(310) 상에서 교번하여 기판(10)을 이송하는 것을 특징으로 하는 기판이송모듈(300).
  8. 다수의 기판(10)들이 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 기판처리모듈에서 기판처리된 다수의 기판(10)들을 트레이(20)로부터 언로딩하는 기판이송모듈(300)로서,
    다수의 기판(10)들이 n×m 행렬의 기판배열(n은 2이상의 자연수, m은 3 이상의 자연수)로 적재되는 직사각형 트레이(20)가 안착되는 트레이안착부(310)와;
    상기 트레이안착부(310)의 일측에 설치되며, 상기 트레이안착부(310)에 안착된 트레이(20)로부터 기판처리된 다수의 기판(10)들을 전달받아 카세트(30)로 적재하는 기판언로딩부(350)와;
    상기 트레이(20) 상의 n×m 행렬의 기판배열 중 하나의 열에 위치된 n개의 기판(10)을 픽업하여 상기 기판언로딩부(350)로 이송하는 제2기판이송툴(362)을 복수개 구비하는 제2기판이송부(360)를 포함하며,
    상기 복수의 제2기판이송툴(362)들은, 상기 트레이(20) 상에서 n×m 행렬의 기판배열에 있어 제p열 및 제p+2열(p는 (m-2) 이하의 자연수) 사이의 중심간격과 동일한 제1중심간격(D)을 두고 설치되며, 기판이송시 대응되는 열에 위치되는 n개의 기판(10)을 픽업하기 위한 복수의 픽커(364)들을 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송모듈(300).
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 기판언로딩부(350)는, 상기 제2기판이송툴(362)로부터 n개의 기판(10)을 전달받으며 상기 제1중심간격(D)을 두고 설치되는 s개(s는 2이상의 자연수)의 언로딩컨베이어부(352)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송모듈(300).
  10. 다수의 기판(10)들이 n×m의 기판배열(n은 2 이상의 자연수, m은 3 이상의 자연수)로 직사각형 트레이(20)에 안착된 상태로 기판처리를 수행하는 하나 이상의 기판처리모듈과;
    상기 트레이(20)에 대한 기판로딩 및 기판언로딩 중 적어도 하나를 수행하는 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 하나의 항에 따른 기판이송모듈(300)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
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