KR101068769B1 - 컨베이어를 이용하여 기판을 교환하는 대면적 엘씨디제조장치 및 이를 이용한 기판의 운송방법 - Google Patents

컨베이어를 이용하여 기판을 교환하는 대면적 엘씨디제조장치 및 이를 이용한 기판의 운송방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 하나 이상의 내부 컨베이어장치를 구비한 로드락챔버를 포함하는 클러스터와, 상기 로드락챔버와 기판을 교환하는 인라인(In-line) 컨베이어를 포함하는 대면적 LCD 제조장치를 제공한다.
본 발명에 따르면, 전단계 공정을 마친 기판을 외부 컨베이어장치를 이용하여 직접 로드락챔버로 반입하고, 클러스터에서 공정을 마친 기판을 외부 컨베이어장치로 직접 반출할 수 있게 되므로, 기판저장부, 저장부 로봇, 카세트 등이 불필요해져, 장치의 제작비용을 절감할 수 있을 뿐만아니라, 클러스터 전후의 공정이 외부 컨베이어장치를 통해 연계되므로 공정시간의 단축을 도모할 수 있게 된다.
로드락챔버, 외부 컨베이어장치, 내부 컨베이어장치, 클러스터

Description

컨베이어를 이용하여 기판을 교환하는 대면적 엘씨디 제조장치 및 이를 이용한 기판의 운송방법{Manufacturing apparatus for large-size LCD which exchanges substrate by conveyor, and transferring method for substrate using the same}
도 1은 클러스터장치의 일반적인 구성도
도 2는 종래 로드락챔버의 단면도
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 로드락챔버의 평면도
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 로드락챔버의 단면도
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 클러스터와 외부 컨베이어장치의 배치형태를 예시한 구성도
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 클러스터와 외부 컨베이어장치의 다른 배치형태를 예시한 구성도
도 7 내지 도 10은 외부 컨베이어장치에서 이송챔버로 기판이 이송되는 과정을 단계별로 도시한 구성도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 기판저장부 12 : 저장부 로봇
20, 200 : 로드락챔버 21 : 기판지지용 핀
22, 220, 620, 720 : 제1 도어 24, 240, 640, 740 : 제2 도어
26 : 제1 플레이트 28 : 제2 플레이트
30 : 공정챔버 40 : 예열챔버
50 : 이송챔버 52 : 이송챔버 로봇
60 : 기판 260 : 상하구동부
300 : 외부 컨베이어장치 400 : 제1 내부 컨베이어장치
500 : 제2 내부 컨베이어장치 600 : 반입 로드락챔버
700 : 반출 로드락챔버
본 발명은 LCD 제조장치에 관한 것으로서, 구체적으로는 외부 컨베이어장치를 이용하여 로드락 챔버로 기판을 반입 또는 반출하는 대면적 LCD 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD를 제조하기 위해서는, 기판에 유전체 물질 등을 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피(photolithography) 공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝하는 식각공정, 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등을 수차 례 반복하게 된다.
또한 이들 각 공정은 해당공정을 위해 최적의 환경으로 설계된 공정챔버에서 진행되는데, 특히 근래에는 단시간에 다량의 기판을 처리하기 위해서 복수개의 공정챔버와, 기판을 공정 챔버로 이송 또는 회송하는 이송챔버와, 기판을 일시 저장하며 이송챔버와 연결되는 로드락챔버를 포함하는 복합형 장치로서 클러스터(cluster)가 많이 사용되고 있다.
이러한 클러스터를 구성하는 공정챔버로는 플라즈마 화학기상증착(PECVD)장치나 건식식각장치(Dry Etcher) 등이 있다.
도 1은 일반적인 클러스터의 개략적인 구성을 도시한 것으로서, 클러스터는 로드락챔버(20), 이송챔버(50) 및 복수 개의 공정챔버(30)와, 상기 공정챔버(30)에서 공정을 수행하기 전에 미리 기판(60)을 예열시키기 위한 예열챔버(40)를 포함하며, 상기 로드락챔버(20)는 다수의 기판(60)을 적재하는 기판 저장부(10)에 연결된다.
이송챔버(50)에는 로드락챔버(20), 공정챔버(30) 및 예열챔버(40) 사이에서 기판(60)을 이송하기 위해 이송챔버 로봇(52)이 설치되며, 기판 저장부(10)에는 기판(60)을 이송하기 위해 저장부 로봇(12)이 설치된다. 이때 이송챔버 로봇(52)이나 저장부 로봇(12)은 도시된 것처럼 회전운동 방식이 아니라 인라인 방식으로 수평 왕복 운동하는 경우도 있다.
한편 공정상 필요에 따라, 상기 예열챔버(40)는 생략될 수 있고, 로드락챔버 (20)나 공정챔버(30)의 개수가 달라질 수도 있다.
도 2는 이러한 종래 방식의 클러스터에 포함되는 로드락챔버(20)의 단면도로서, 상부의 제1 플레이트(26)에 기판(60)이 안치되고, 하부의 제2 플레이트(28)는 비어 있는 모습을 도시하고 있다.
이와 같이 기판(60)을 안치하는 플레이트(26,28)를 복수개로 구성하는 것은 기판(60)의 교환을 위한 것이다. 기판(60)의 교환은 이송챔버 로봇(52)이 공정을 마친 기판을 하부의 제2 플레이트(28)에 안치시킨 다음, 제1 플레이트(26)의 미처리 기판(60)을 공정챔버(30)로 이송하고, 저장부 로봇(12)이 제2 플레이트(28)에 안치된 기판을 반출하는 방식으로 이루어 진다.
한편 플레이트(26,28)를 상하로 이동하기 위해 구동실린더(미도시)가 각 플레이트(26,28)에 연결되는 경우도 있다. 제1,2 플레이트(26,28)의 상면에는 기판(60)이 플레이트(26,28)에 직접 접촉하는 것을 방지하기 위해 기판지지용핀(21)이 부착되어 있다.
상기와 같은 구성의 클러스터에서 기판(60)에 대한 공정을 수행하기 위해서는, 세정 등 전단계 공정을 마친 기판(60)을 카세트에 다수 적재한 후, 카세트를 기판 저장부(10)에 연결하고, 저장부 로봇(12)을 이용하여 로드락챔버(20)로 기판(60)을 반입하게 된다.
그리고 공정을 마친 기판(60)은 저장부 로봇(12)에 의해 로드락챔버(20)로부 터 회수되어 카세트에 다시 적재되는 과정을 거치게 된다.
그런데 통상적으로 클러스터에서 행해지는 박막증착 등의 공정 전후에는 세정 등의 공정을 거치게 되고, 이러한 공정의 대부분은 인라인(In-line) 컨베이어와 같은 외부 컨베이어장치를 이용하여 기판을 운송하면서 동시에 진행되고 있다.
따라서 클러스터에서 일정한 공정을 마친 후 카세트에 다시 적재되는 기판에 대해서, 세정 등의 후(後)공정을 수행하거나 다른 장소로 이송하기 위해서는, 기판을 카세트로부터 외부 컨베이어장치 위로 다시 로딩시켜 외부 컨베이어장치를 이용하여 이송하게 된다.
이에 따라 외부 컨베이어장치의 흐름이 단절되고, 기판을 카세트에 적재하거나 이를 다시 외부 컨베이어장치에 로딩시키는데 많은 시간이 소요되므로, 공정시간이나 처리매수의 면에서 비효율적이라는 문제가 지적되어 왔다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 전체적인 공정시간을 단축하고, 장치의 제작비용을 절감할 수 있는 대면적 LCD 제조장치를 제공하기 위한 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 반응공간을 형성하며, 기판에 대한 공정을 수행하는 공정챔버; 상기 기판이 직접 안치되는 다수의 롤러를 포함하는 내부 컨베이어장치를 구비하는 로드락 챔버; 및 상기 기판을 운송하기 위한 운송수단을 구비하고, 상기 공정챔버 및 상기 로드락 챔버와 연결되는 이송챔버;를 포함하는 LCD 제조장치를 제공한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 로드락 챔버와 인접하여 설치되고 상기 내부 컨베이어장치로 상기 기판을 이송하는 외부 컨베이어장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 외부 컨베이어장치는 다수의 제2롤러와 상기 다수의 제2롤러 각각의 중심을 관통하는 다수의 롤러 지지봉을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 내부 컨베이어장치와 상기 외부 컨베이어장치는 별도의 구동장치를 사용할 수 있다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 로드락 챔버는, 상기 외부 컨베이어장치와 인접한 영역에 제1도어를 구비하고, 상기 이송챔버와 인접한 영역에 제2도어를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 내부 컨베이어장치는 제1 및 제2내부 컨베이어장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 제1내부 컨베이어장치는 상기 제2내부 컨베이어장치 상에 적층되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 기판은 상기 제1내부 컨베이어장치를 통하여 상기 외부 컨베이어장치로부터 상기 이송챔버로 운송되고, 상기 제2내부컨베이어장치를 통하여 상기 이송챔버로부터 상기 외부 컨베이어장치로 운송되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 외부 컨베이어장치는 제1 및 제2외부 컨베어이장치를 포함하고, 상기 로드락 챔버는 상기 제1외부 컨베이어장치에 인접한 제1로드락 챔버와 상기 제2외부 컨베이어장치에 인접한 제2로드락 챔버를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 제1로드락 챔버는 상기 제1 외부 컨베이어장치에 인접한 제1도어와 상기 이송챔버에 인접한 제2도어를 포함하고, 상기 제2로드락 챔버는 상기 제2컨베이어장치에 인접한 제3도어와 상기 이송챔버에 인접한 제4도어를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 내부 컨베이어장치는 상기 제1로드락 챔버에 설치되는 제1내부 컨베이어장치와 상기 제2로드락 챔버에 설치되는 제2 내부컨베이어장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 기판은 상기 제1도어를 통하여 상기 제1외부 컨베이어장치로부터 상기 제1내부 컨베이어장치로 운송되고, 상기 제4도어를 통하여 상기 이송챔버로부터 상기 제2내부 컨베이어장치로 운송되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 내부 컨베이어장치를 상하로 구동시키는 상하구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 운송수단은 수평 왕복 운동하는 로봇암인 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 내부 컨베이어장치는 상기 다수의 롤러 각각의 중심을 관통하는 다수의 롤러 지지봉을 포함하고, 상기 다수의 롤러와 상기 다수의 롤러 지지봉 사이에는 상기 로봇암이 진입할 수 있는 공간이 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 LCD 제조장치에 있어서, 상기 로봇암은 상기 다수의 롤러와 접촉하지 않고 출입하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 반응공간을 형성하며, 기판에 대한 공정을 수행하는 다수의 공정챔버; 상기 기판이 직접 안치되는 다수의 롤러를 포함하는 최소한 하나의 내부 컨베이어장치를 구비하는 최소한 하나의 로드락 챔버; 및 상기 기판을 운송하기 위한 운송수단을 구비하고, 상기 다수의 공정챔버 및 상기 최소한 하나의 로드락 챔버와 연결되는 이송챔버;를 포함하는 LCD 제조장치를 제공한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 공정챔버, 내부 컨베이어장치를 가지는 로드락 챔버, 이송챔버, 및 외부 컨베이어장치를 포함하는 LCD 제조장치를 이용하여 기판을 이송하는 방법에 있어서, 상기 외부 컨베이어장치를 이용하여 상기 로드락 챔버의 전면에 상기 기판을 이송하는 단계; 상기 기판이 직접 안치되는 다수의 롤러를 포함하는 상기 내부 컨베이어장치를 구동하여 상기 외부 컨베이어장치로부터 상기 로드락 챔버의 내부로 상기 기판을 반입하는 단계; 상기 로드락 챔버로부터 상기 공정챔버로 상기 기판을 운송하는 단계; 상기 공정챔버로부터 상기 로드락 챔버로 상기 기판을 운송하는 단계; 및 상기 로드락챔버로부터 상기 외부 컨베이어장치로 상기 기판을 반출하는 단계;를 포함하는 기판의 운송방법을 제공한다.
상기와 같은 기판의 운송방법에 있어서, 상기 외부 컨베이어장치로부터 상기 로드락 챔버의 내부로 상기 기판을 반입한 후, 상기 로드락 챔버의 내부를 진공상태로 전환하는 단계와, 상기 공정챔버로부터 상기 로드락 챔버로 상기 기판을 운송한 후, 상기 로드락 챔버를 대기압 상태로 전환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판의 운송방법에 있어서, 상기 내부 컨베이어장치는 제1및 제2내부 컨베이어장치를 포함하고, 상기 외부 컨베이어장치로부터 운송된 상기 기판은 상기 제1내부 컨베이어장치에 안치되고, 상기 공정챔버로부터 운송된 상기 기판은 상기 제2내부 컨베이어장치에 안치되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 다수의 공정챔버, 제1내부 컨베이어장치를 구비하는 반입 로드락 챔버, 제2내부 컨베이어장치를 구비하는 반출 로드락 챔버, 이송챔버, 및 제1 및 제2외부 컨베이어장치를 포함하는 LCD 제조장치를 이용하여 기판을 이송하는 방법에 있어서, 상기 제1외부 컨베이어장치를 이용하여 상기 반입 로드락 챔버의 전면에 상기 기판을 이송하는 단계; 상기 기판이 직접 안치되는 다수의 롤러를 포함하는 상기 제1내부 컨베이어장치를 구동하여, 상기 제1외부 컨베이어장치로부터 상기 반입 로드락 챔버의 내부로 기판을 반입하는 단계; 상기 반입 로드락 챔버로부터 상기 다수의 공정챔버 중 하나에 상기 기판을 운송하는 단계; 상기 다수의 공정챔버 중 하나로부터 상기 기판을 상기 반출 로드락 챔버로 운송하는 단계; 및 상기 제2내부 컨베이어 장치를 구동하여 상기 반출 로드락챔버로부터 상기 제2외부 컨베이어장치로 상기 기판을 반출하는 단계;를 포함하는 기판의 운송방법을 제공한다.
상기와 같은 기판의 운송방법에 있어서, 상기 제1외부 컨베이어장치로부터 상기 반입 로드락 챔버의 내부로 상기 기판을 반입한 후, 상기 반입 로드락 챔버의 내부를 진공상태로 전환하는 단계와, 상기 다수의 공정챔버 중 하나로부터 상기 반출 로드락 챔버로 상기 기판을 운송한 후, 상기 반출 로드락 챔버를 대기압 상태로 전환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하에서는 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 하며, 도면 중 동일한 부분은 동일한 명칭을 사용하기로 한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 로드락챔버(200)를 도시한 평면도로서, 일 측면에는 인라인 컨베이어와 같은 외부 컨베이어장치로부터 기판을 반입하거나 외부 컨베이어 장치로 기판을 반출하기 위한 제1 도어(220)가 형성되고, 타 측면에는 이송챔버로 연결되는 제2 도어(240)가 형성된다.
또한 내부에는 하나 이상의 내부 컨베이어장치를 구비하는데, 도면에는 상부의 제1 내부 컨베이어장치(400)만이 도시되어 있다.
제1 내부 컨베이어장치(400)는 도 2에서 도시된 종래 방식의 플레이트(26,28)와 달리, 기판을 능동적으로 이동시키기 위해, 다수의 롤러(430)와, 다수의 롤러(430)를 중심을 관통하여 연결하는 롤러 지지봉(420)과, 롤러 지지봉(420)의 양 끝단을 지지하는 동시에 롤러 지지봉(420)의 회전운동을 위한 구동부(미도시)와 연결되는 지지대(410)를 포함한다.
롤러(430)에는 기판이 직접 안치되므로, 롤러(430)와 롤러 지지봉(420) 사이에는 이송챔버 로봇(52)의 로봇암이 진입할 수 있는 충분한 높이의 공간이 형성되어야 하며, 상기 이송챔버 로봇(52)의 로봇암도 각 롤러(430)와 접촉하지 않고 출입할 수 있는 형상(예를 들면, 포크모양)을 가져야 한다.
이러한 내부 컨베이어장치(400)의 롤러 지지봉(420) 또는 롤러(430)의 구동방식은 통상적인 것이므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
도 4는 본 발명에 따른 로드락챔버(200)의 측단면도를 도시한 것으로서, 상부의 제1 내부 컨베이어장치(400)와, 하부의 제2 내부 컨베이어장치(500)와, 각 컨베이어장치(400,500)의 상하운동을 위해 각 컨베이어장치(400,500)에 연결되는 상하구동부(260)를 구비하고 있다.
이와 같이 내부 컨베이어 장치를 적층구조로 형성하는 것은 기판의 교환시간을 단축시킬 수 있기 때문이다.
상하구동부(260)는 외부 컨베이어장치로부터 기판을 반입 또는 반출할 때, 외부 컨베이어장치와 내부 컨베이어장치(400,500)의 높이를 맞추기 위한 것이므로, 내부 컨베이어장치(400,500) 대신에 외부 컨베이어장치의 높이를 조절할 수 있는 경우에는 상하구동부(260)가 생략될 수 있음은 물론이다.
도 5는 이상과 같은 로드락챔버(200)를 포함하는 클러스터가 외부의 외부 컨 베이어장치(300)와 연결되는 모습을 예시한 구성도로서, 외부 컨베이어장치(300)의 일부가 로드락챔버(200)의 제1 도어(220)와 인접하여 설치되어 있다. 상기 외부 컨베이어장치(300)는 세정 공정 등에서 기판 이송을 위해 통상적으로 사용되는 컨베이어와 큰 차이가 없는 것이므로, 구성이나 동작에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
이와 같은 외부 컨베이어장치(300)와 로드락챔버 내부의 내부 컨베이어 장치(400,500)는 별개의 구동장치에 의하여 구동될 수도 있으나, 동일한 구동장치에 의해 구동하는 것을 배제하지는 않는다.
외부 컨베이어장치(300)가 도 5와 같이 배치된 경우에는, 동일한 로드락 챔버(200)에서 기판의 반입과 반출이 행해지게 되나, 만일 도 6과 같이 로드락 챔버를 다수개로 하고, 일부 로드락 챔버에서는 미처리 기판을 반입하고, 다른 로드락 챔버에서는 공정을 마친 기판을 반출하는 역할만 수행하도록 할 수도 있다. 이 경우에는 기판의 교환절차가 불필요하므로, 로드락챔버(600,700)에는 내부 컨베이어장치를 하나만 설치하여도 무방하다.
도 6의 경우에는 로드락 챔버를, 미처리 기판을 반입하는 반입 로드락챔버(600)와 공정을 마친 기판을 반출하는 반출 로드락챔버(700)로 구분하고, 반입 로드락챔버(600)의 제1 도어(620)의 전면과 반출 로드락챔버(700)의 제1 도어(720)의 전면에 외부 컨베이어장치(300)를 각 설치함으로써, 전체 외부 컨베이어장치(300) 가 제2 도어(640, 740)를 통해 각 로드락챔버(600, 700)를 출입하는 이송챔버 로봇(52)에 의해 연결되는 구조가 된다.
도 5와 같은 배치형태에서, 기판이 이동되는 경로를 살펴보면, 먼저 세정 등의 전단계 공정을 마친 기판이 외부 컨베이어장치(300)를 통해 로드락챔버(200)의 제1 도어(220) 전면으로 이송된다.
기판이 외부 컨베이어장치(300)로부터 로드락챔버(200)를 거쳐 이송챔버(50)로 이송되는 과정을 보다 구체적으로 살펴보기 위해 도 7 내지 도 10을 참고하여 설명하면 다음과 같다.
먼저 기판(60)이 외부 컨베이어장치(300)에 의해, 로드락챔버(200)의 제1 도어(220) 전면에 위치한다.(도 7)
다음으로 외부 컨베이어장치(300)의 롤러를 구동하여, 기판(60)을 제1 도어(220)를 통해 로드락챔버(200)의 제1 내부 컨베이어장치(400) 위에 위치시킨다. 이때 상기 제1 내부 컨베이어장치(400)도 구동부(미도시)를 통해 롤러를 구동시켜 기판(60)의 위치를 제어하게 된다.(도 8)
기판(60)이 제1 내부 컨베이어장치(400)에 안치된 후에는 제1 도어(220)를 닫고, 불순물 제거와 진공펌핑의 과정을 거친 후에 제2 도어(240)를 열게 된다. 이후 이송챔버 로봇(52)이 기판(60)의 하부로 진입하여(도 9), 기판(60)을 이송챔버(50)로 이송하게 된다.(도 10)
이송챔버(50)로 이송된 기판(60)은 공정챔버로 이송되어 공정을 마친 후 상 기 과정의 역순으로 로드락챔버(200)로 회수되는데, 이때 기판(60)의 교환을 위해 제2 내부 컨베이어장치(500)위에 기판(60)을 안치시킨다. 이후 제2 도어(240)가 닫히면, 로드락챔버(200)의 내부압력을 대기압으로 전환하기 위한 가압단계를 거친 후, 제1 도어(220)가 열린다.
다음으로 제2 내부 컨베이어장치(500)의 롤러가 구동하여, 기판(60)을 외부 컨베이어장치(300)로 반출하게 된다. 이때 제2 내부 컨베이어장치(400)와 외부 컨베이어장치(300)의 높이를 맞출 필요가 있는 경우, 구동장치를 이용하여 제2 내부 컨베이어장치(400) 및/또는 내부 컨베이어장치(300)의 상하위치를 조정할 수 있다.
도 6과 같이 클러스터와 외부 컨베이어장치(300)가 배치되는 경우에는, 기판(60)의 회수는 반출 로드락챔버(700)를 통해 이루어진다는 점에서 도 5의 배치형태와 차이가 있다.
즉 외부 컨베이어장치(300)로부터 반입 로드락챔버(600)로 기판이 반입되면, 이송챔버 로봇(52)에 의해 공정챔버로 이송되고, 공정을 마친 기판은 이송챔버 로봇(52)에 의해 반입 로드락챔버(600)가 아닌 반출 로드락챔버(700)의 내부 컨베이어장치에 안치되게 된다.
따라서 미처리 기판과 공정을 마친 기판을 동일 로드락챔버를 통해 교환하지 않아도 되므로, 로드락챔버(600,700)에는 내부 컨베이어장치를 하나만 구비하여도 무방하고, 상하구동부 없이 외부 컨베이어장치(300)와 동일한 높이로 고정시켜 놓아도 무방하다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 한하여 설명하였으나, 당업자에 의한 다양한 수정이나 변경이 가능하며, 그러한 수정이나 변경도 본 발명의 기술적 사상을 바탕으로 하는 한, 본 발명의 권리범위에 속하게 됨은 당연하다 할 것이다.
본 발명에 따르면, 전단계 공정을 마친 기판을 외부 컨베이어장치를 이용하여 직접 로드락챔버로 반입하고, 클러스터에서 공정을 마친 기판을 외부 컨베이어장치로 직접 반출할 수 있게 되므로, 기판저장부, 저장부 로봇, 카세트 등이 불필요해져, 장치의 제작비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라, 클러스터 전후의 공정이 외부 컨베이어장치를 통해 연계되므로 공정시간의 단축을 도모할 수 있게 된다.

Claims (22)

  1. 반응공간을 형성하며, 기판에 대한 공정을 수행하는 공정챔버;
    상기 기판이 직접 안치되는 다수의 롤러를 포함하는 내부 컨베이어장치를 구비하는 로드락 챔버;
    상기 로드락 챔버에 인접하여 설치되고, 상기 기판을 상기 로드락 챔버에 반입하거나 상기 로드락 챔버로부터 반출하기 위한 외부 컨베이어 장치; 및
    상기 기판을 운송하기 위한 운송수단을 구비하고, 상기 공정챔버 및 상기 로드락 챔버와 연결되는 이송챔버;
    를 포함하고,
    상기 기판은 제1방향으로 상기 외부 컨베이어장치로부터 상기 내부 컨베이어장치에 이송되고, 상기 제1방향과 반대되는 제2방향으로 상기 내부 컨베이어장치로부터 상기 외부 컨베이어장치로 이송되는 것을 특징으로 하는 LCD 제조장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 외부 컨베이어장치는 다수의 제2롤러와 상기 다수의 제2롤러 각각의 중심을 관통하는 다수의 롤러 지지봉을 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 제조장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 내부 컨베이어장치와 상기 외부 컨베이어장치는 별도의 구동장치를 사용하는 것을 특징으로 하는 LCD 제조장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 로드락 챔버는, 상기 외부 컨베이어장치와 인접한 영역에 제1도어를 구비하고, 상기 이송챔버와 인접한 영역에 제2도어를 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 제조장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 내부 컨베이어장치는 제1 및 제2내부 컨베이어장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 제조장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1내부 컨베이어장치는 상기 제2내부 컨베이어장치 상에 적층되는 것을 특징으로 하는 LCD 제조장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 기판은 상기 제1내부 컨베이어장치를 통하여 상기 외부 컨베이어장치로부터 상기 이송챔버로 운송되고, 상기 제2내부컨베이어장치를 통하여 상기 이송챔버로부터 상기 외부 컨베이어장치로 운송되는 것을 특징으로 하는 LCD 제조장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 제1항에 있어서,
    상기 내부 컨베이어장치를 상하로 구동시키는 상하구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 제조장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 운송수단은 수평 왕복 운동하는 로봇암인 것을 특징으로 하는 LCD 제조장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 내부 컨베이어장치는 상기 다수의 롤러 각각의 중심을 관통하는 다수의 롤러 지지봉을 포함하고, 상기 다수의 롤러와 상기 다수의 롤러 지지봉 사이에는 상기 로봇암이 진입할 수 있는 공간이 형성되는 것을 특징으로 하는 LCD 제조장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 로봇암은 상기 다수의 롤러와 접촉하지 않고 출입하는 것을 특징으로 하는 LCD 제조장치.
  17. 반응공간을 형성하며, 기판에 대한 공정을 수행하는 다수의 공정챔버;
    상기 기판이 직접 안치되는 다수의 롤러를 포함하는 최소한 하나의 내부 컨베이어장치를 구비하는 최소한 하나의 로드락 챔버;
    상기 최소한 하나의 로드락 챔버에 인접하여 설치되고, 상기 기판을 동일한 상기 최소한 하나의 로드락 챔버에 반입하거나 상기 최소한 하나의 로드락 챔버로부터 반출하기 위한 외부 컨베이어 장치; 및
    상기 기판을 운송하기 위한 운송수단을 구비하고, 상기 다수의 공정챔버 및 상기 최소한 하나의 로드락 챔버와 연결되는 이송챔버;
    를 포함하고,
    상기 기판은 제1방향으로 상기 외부 컨베이어장치로부터 상기 내부 컨베이어장치에 이송되고, 상기 제1방향과 반대되는 제2방향으로 상기 내부 컨베이어장치로부터 상기 외부 컨베이어장치로 이송되는 것을 특징으로 하는 LCD 제조장치.
  18. 반응공간을 형성하며, 기판에 대한 공정을 수행하는 공정챔버; 상기 기판이 직접 안치되는 다수의 롤러를 포함하는 내부 컨베이어장치를 구비하는 로드락 챔버; 상기 로드락 챔버에 인접하여 설치되고, 상기 기판을 동일한 상기 로드락 챔버에 반입하거나 상기 로드락 챔버로부터 반출하기 위한 외부 컨베이어 장치; 및 상기 기판을 운송하기 위한 운송수단을 구비하고, 상기 공정챔버 및 상기 로드락 챔버와 연결되는 이송챔버;를 포함하고, 상기 기판은 제1방향으로 상기 외부 컨베이어장치로부터 상기 내부 컨베이어장치에 이송되고, 상기 제1방향과 반대되는 제2방향으로 상기 내부 컨베이어장치로부터 상기 외부 컨베이어장치로 이송되는 LCD 제조장치를 이용하여 기판을 이송하는 방법에 있어서,
    상기 외부 컨베이어장치를 이용하여 상기 로드락 챔버의 전면에 상기 기판을 이송하는 단계;
    상기 기판이 직접 안치되는 다수의 롤러를 포함하는 상기 내부 컨베이어장치를 구동하여 상기 외부 컨베이어장치로부터 상기 로드락 챔버의 내부로 상기 기판을 반입하는 단계;
    상기 로드락 챔버로부터 상기 공정챔버로 상기 기판을 운송하는 단계;
    상기 공정챔버로부터 상기 로드락 챔버로 상기 기판을 운송하는 단계; 및
    상기 로드락챔버로부터 상기 외부 컨베이어장치로 상기 기판을 반출하는 단계;
    를 포함하는 기판의 운송방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 외부 컨베이어장치로부터 상기 로드락 챔버의 내부로 상기 기판을 반입한 후, 상기 로드락 챔버의 내부를 진공상태로 전환하는 단계와, 상기 공정챔버로부터 상기 로드락 챔버로 상기 기판을 운송한 후, 상기 로드락 챔버를 대기압 상태로 전환하는 단계를 포함하는 기판의 운송방법.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 내부 컨베이어장치는 제1및 제2내부 컨베이어장치를 포함하고, 상기 외부 컨베이어장치로부터 운송된 상기 기판은 상기 제1내부 컨베이어장치에 안치되고, 상기 공정챔버로부터 운송된 상기 기판은 상기 제2내부 컨베이어장치에 안치되는 것을 특징으로 하는 기판의 운송방법.
  21. 삭제
  22. 삭제
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