JP4934619B2 - 有機el製造装置及び有機el製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 29
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 67
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 32
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 207
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 127
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 18
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 18
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 8
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 7
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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Description
クラスター方式の有機EL製造装置101の場合は、例えば図9に示すように、マルチチャンバー式の第1及び第2の成膜装置110、120を受け渡し室102により連結して構成されるもので、それぞれの搬送室内111、121内には、図示しない搬送ロボットが設けられている。
さらに、第2の成膜装置120において、搬送ロボットを用い、基板100を、順次、搬送室121を介して各処理室122〜125に搬入して処理を行い(符号127はマスクストック室を示す)、その後、基板100を搬出室126に移送する。
この場合、基板100の処理タクトは、基板搬送時間とアライメント時間と成膜時間の合計時間になる。
ここで、基板搬送時間及びアライメント時間は、有機EL製造装置101の動作時間によって定まり、他方、成膜時間は、蒸発材料の蒸発レートによって定まる。
一方、インライン方式は、上記クラスター方式で問題となる成膜時間の長さを短縮するためのもので、複数の有機層を同一の処理室で連続的に成膜処理を行う。
その後、受け渡し室216において、基板200とマスク230を分離し、搬送ロボットによって基板200のみを取り出し、電極成膜領域に基板を移送する。
一方、マスク230は、コーナー室217、リターン室218、コーナー室219を経由させて受け渡し室211に戻す(符号220はマスクストック室、符号221は使用済みマスクストック室を示す)。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記成膜ユニットが、前記成膜搬送ラインを分岐させるための旋回可能なローラ状の旋回搬送機構部を有するものである。
請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明において、前記成膜ユニットの旋回搬送機構部が、前記成膜搬送ラインに対して90度旋回するように構成されているものである。
請求項4記載の発明は、請求項2又は3のいずれか1項記載の発明において、前記成膜ユニットの旋回搬送機構部が、前記マスク付き搬送体を昇降させて前記成膜搬送ラインから退避させるための昇降機構を有するものである。
請求項5記載の発明は、請求項1乃至4のいずれか1項記載の有機EL製造装置を用いて有機ELを製造する方法であって、前記成膜ユニットに搬入された成膜対象物と前記マスク収容部に収容されたマスク付き搬送体とを前記位置合わせ部において位置合わせする動作と、当該マスク付き搬送体に位置合わせされた当該成膜対象物に対して前記成膜部において成膜する動作とを、並行して行う工程を有するものである。
図1は、本実施の形態に係る有機EL製造装置の概略構成図である。
図1に示すように、本実施の形態の有機EL製造装置1は、搬送ユニット2と、成膜ユニット3とを備えている。ここで、搬送ユニット2と、成膜ユニット3とは、それぞれ図示しない真空排気系に接続され、後述するように、真空中で基板(成膜対象物)7又はマスク付き搬送体を搬送するように構成されている。
さらに、第4の搬送室2dには、基板搬送ラインL上に位置するように取り出し室6が接続されている。
ここで、第1〜第8の成膜ユニット10〜80は、第1〜第4の搬送室2a〜2d挟むように、上述した基板搬送ラインLと直交する成膜搬送ラインM上に配置構成されている。
また、第2の搬送室2bの第1の成膜領域側に、第3の成膜ユニット30が配設され、第2の搬送室2bの第2の成膜領域側に、第4の成膜ユニット40が配設されている。
さらにまた、第4の搬送室2dの第1の成膜領域側には、第7の成膜ユニット70が配設され、第4の搬送室2dの第2の成膜領域側には、第8の成膜ユニット80が配設されている。
本実施の形態の場合、第1の成膜ユニット10は、有機EL素子の正孔注入層を形成するためのもので、第1の搬送室2aに接続された受け渡し室11と、この受け渡し室11に接続された旋回室12と、この旋回室12に接続された成膜室(有機蒸着室)13と、この成膜室13に接続されたマスクストック室(マスク収容部)14とを有している。さらに、旋回室12の一方の側方には、成膜搬送ラインMから分岐する退避位置にアライメント室(位置合わせ部)15が配置接続されている。
以下、第4の成膜ユニット40を例にとって説明する。
図2に示すように、本実施の形態の第4の成膜ユニット40は、受け渡し室41内に、ローラ方式の搬送機構41aが設けられている。
ここで、搬送機構41aは、マスク付きパレット9の下側の両側縁部を支持して搬送するように構成されている。
さらに、受け渡し室41は、基板7とマスク付きパレット9を一体化又は分離する機能を有している。
受け渡し室41に隣接する旋回室42内には、上述したローラ方式の搬送機構42aが配設され、受け渡し室41との間においてマスク付きパレット9の受け渡しを行うことができるようになっている。
また、旋回室42の側方に分岐して搬送ラインN上に隣接するアライメント室45には、基板7とマスク8の位置合わせするアライメント機構(図示せず)が設けられている。このアライメント機構は、例えば、基板昇降機構、基板7とマスク8のアライメントマーク(図示せず)を撮影するカメラ、基板移動機構、画像処理装置を有して構成されている。
ここで、成膜室43のローラ方式の搬送機構、及び、マスク付きパレット9の移動方向の側部側(左右側)の縁部には、蒸発源43bからの成膜材料が付着されないように遮蔽板(図示せず)が設けられている。
成膜室43に隣接するマスクストック室44には、上述したローラ方式の搬送機構44aが配設され、成膜室43との間においてマスク付きパレット9の受け渡しを行うことができるようになっている。
その後、第1の受け渡し室2e及び第2の搬送室2bを介して基板7を第3の成膜ユニット30に移送し、マスク付きパレット9を交換し、基板7を搬送しつつ第1の発光層(図示せず)を形成する。
その後、マスク付きパレット9から基板7を分離させ、第2の搬送室2b、第2の受け渡し室2f及び第3の搬送室2cを介して基板7を第5の成膜ユニットに移送し、マスク付きパレット9を交換し、基板7を搬送しつつ第3の発光層を形成する。
その後、マスク付きパレット9から基板7を分離させ、第3の搬送室2c、第3の受け渡し室2g及び第4の搬送室2dを介して基板7を第7の成膜ユニットに移送し、マスク付きパレット9を交換し、基板7を搬送しつつ電子注入層を形成する。
その後、マスク付きパレット9から基板7を分離させ、第4の搬送室2d及び取り出し室6を介して基板7を取り出す。
本例においては、まず、図3(a)に示すように、マスクストック室44に収容された第1のマスク付きパレット9Aを、成膜室43及び旋回室42を介して受け渡し室41に移送する。
そして、図示しない搬送ロボットを用いて第2の搬送室2bから第1の基板7Aを受け渡し室41内に搬入し、この基板7を第1のマスク付きパレット9A上に搭載する。
なお、この時点において、第2のマスク付きパレット9Bをマスクストック室44から取り出し、受け渡し室41に向って搬送を開始する。
この昇降機構46は、例えばマスク付きパレット9の前後部の下側縁部を支持して昇降可能な一対の支持部材46a、46bを有している。
なお、昇降機構46の支持部材46a、46bは、マスク付きパレット9を支持しない場合には、旋回室42の退避空間42cに留まるように構成されている。
本例においては、上記実施の形態と同様に、図6(a)に示すように、マスクストック室44から第1のマスク付きパレット9Aを、成膜室43及び旋回室42を介して受け渡し室41に移送し、第2の搬送室2bから第1の基板7Aを受け渡し室41内に搬入して、第1のマスク付きパレット9A上に第1の基板7Aを搭載する。
なお、この時点において、後続処理用の第2及び第3のマスク付きパレット9B、9Cについて受け渡し室41に向って搬送を開始する。
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
ただし、より小さい面積の成膜領域において複数の成膜ユニットを効率良く配置する観点からは、上記実施の形態のように構成することが好ましい。
加えて、本発明は、有機EL素子を製造するための成膜装置のみならず、種々の薄膜を形成する装置に適用することができる。
ただし、本発明は、有機EL素子を製造するための成膜装置に適用した場合に最も有効となるものである。
Claims (5)
- 真空中で成膜対象物上にマスクを介して有機EL素子用の成膜を行う有機EL製造装置であって、
前記成膜対象物を搬送する搬送ロボットを有する複数の搬送室を備え、当該複数の搬送室間を真空中で当該成膜対象物を順次搬送するように構成された搬送ユニットと、
前記搬送ユニットの所定の搬送室に真空接続され、当該搬送室から搬入された成膜対象物上に所定の膜を形成する複数の成膜ユニットとを備え、
前記成膜ユニットは、前記成膜対象物に対して着脱自在のマスク付き搬送体を収容するマスク収容部と、前記搬入された成膜対象物と前記マスク収容部に収容されたマスク付き搬送体とを位置合わせする位置合わせ部と、前記マスク付き搬送体に装着された成膜対象物に所定の膜を形成する成膜部とを有し、
前記マスク収容部と前記成膜部とが同一の成膜搬送ライン上に配置される一方で、前記位置合わせ部が、前記成膜搬送ラインから分岐した退避位置に配置されている有機EL製造装置。 - 前記成膜ユニットは、前記成膜搬送ラインを分岐させるための旋回可能なローラ状の旋回搬送機構部を有する請求項1記載の有機EL製造装置。
- 前記成膜ユニットの旋回搬送機構部は、前記成膜搬送ラインに対して90度旋回するように構成されている請求項2記載の有機EL製造装置。
- 前記成膜ユニットの旋回搬送機構部は、前記マスク付き搬送体を昇降させて前記成膜搬送ラインから退避させるための昇降機構を有する請求項2又は3のいずれか1項記載の有機EL製造装置。
- 請求項1乃至4のいずれか1項記載の有機EL製造装置を用いて有機ELを製造する方法であって、
前記成膜ユニットに搬入された成膜対象物と前記マスク収容部に収容されたマスク付き搬送体とを前記位置合わせ部において位置合わせする動作と、当該マスク付き搬送体に位置合わせされた当該成膜対象物に対して前記成膜部において成膜する動作とを、並行して行う工程を有する有機EL製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008068535A JP4934619B2 (ja) | 2008-03-17 | 2008-03-17 | 有機el製造装置及び有機el製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008068535A JP4934619B2 (ja) | 2008-03-17 | 2008-03-17 | 有機el製造装置及び有機el製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009224231A JP2009224231A (ja) | 2009-10-01 |
JP4934619B2 true JP4934619B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=41240786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008068535A Active JP4934619B2 (ja) | 2008-03-17 | 2008-03-17 | 有機el製造装置及び有機el製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4934619B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011040538A1 (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム |
JP5506824B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2014-05-28 | 株式会社アルバック | 成膜装置及び成膜方法 |
WO2012039383A1 (ja) * | 2010-09-22 | 2012-03-29 | 株式会社アルバック | 真空処理装置及び有機薄膜形成方法 |
JP5730322B2 (ja) * | 2010-10-19 | 2015-06-10 | 株式会社アルバック | 蒸着装置及び蒸着方法 |
KR20120081932A (ko) * | 2011-01-12 | 2012-07-20 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 성막 장치 및 제조 장치 |
US9722212B2 (en) | 2011-02-14 | 2017-08-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Lighting device, light-emitting device, and manufacturing method and manufacturing apparatus thereof |
KR101394367B1 (ko) | 2012-09-27 | 2014-05-27 | 주식회사 선익시스템 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
KR101394368B1 (ko) | 2012-09-27 | 2014-05-27 | 주식회사 선익시스템 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
KR101405102B1 (ko) | 2012-10-04 | 2014-06-10 | 주식회사 선익시스템 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
JP5968770B2 (ja) * | 2012-11-30 | 2016-08-10 | 長州産業株式会社 | 真空成膜装置 |
WO2014174892A1 (ja) | 2013-04-25 | 2014-10-30 | シャープ株式会社 | エレクトロルミネッセンス装置、その製造装置、及びその製造方法 |
JP6937549B2 (ja) * | 2016-06-10 | 2021-09-22 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 発光素子の製造装置 |
JP6830772B2 (ja) | 2016-08-04 | 2021-02-17 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 積層膜の製造装置、及び積層膜の製造方法 |
KR20190124610A (ko) * | 2018-04-26 | 2019-11-05 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 기판 반송 시스템, 전자 디바이스 제조장치 및 전자 디바이스 제조방법 |
JP6605657B1 (ja) * | 2018-05-24 | 2019-11-13 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 |
KR20210083082A (ko) * | 2019-12-26 | 2021-07-06 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막 시스템 및 성막 방법 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5159010B2 (ja) * | 2000-09-08 | 2013-03-06 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置の作製方法 |
JP4343480B2 (ja) * | 2001-02-08 | 2009-10-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 成膜装置及び発光装置の作製方法 |
JP2004171845A (ja) * | 2002-11-18 | 2004-06-17 | Seiko Epson Corp | ワーク搬送装置及びこれを備えるワーク処理装置 |
US7918940B2 (en) * | 2005-02-07 | 2011-04-05 | Semes Co., Ltd. | Apparatus for processing substrate |
JP5051869B2 (ja) * | 2006-06-14 | 2012-10-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 発光素子および発光素子の製造方法 |
-
2008
- 2008-03-17 JP JP2008068535A patent/JP4934619B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009224231A (ja) | 2009-10-01 |
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Date | Code | Title | Description |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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