JP6605657B1 - 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6605657B1 JP6605657B1 JP2018099463A JP2018099463A JP6605657B1 JP 6605657 B1 JP6605657 B1 JP 6605657B1 JP 2018099463 A JP2018099463 A JP 2018099463A JP 2018099463 A JP2018099463 A JP 2018099463A JP 6605657 B1 JP6605657 B1 JP 6605657B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- film forming
- substrate
- vacuum
- film formation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 148
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 217
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 125
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 94
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 89
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 64
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 16
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 claims description 13
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 claims description 7
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 192
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 20
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 12
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 3
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005394 sealing glass Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/12—Organic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C16/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
- C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/513—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using plasma jets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/56—After-treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/02274—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition in the presence of a plasma [PECVD]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02631—Physical deposition at reduced pressure, e.g. MBE, sputtering, evaporation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
Abstract
Description
真空に維持される基板搬送室と、
基板を搬入及び搬出するための搬入出口を有する第1真空成膜室と、
基板を搬入するための搬入口と、基板を搬出するための搬出口と、を別々に有する第2真空成膜室と、
を備え、
前記第1真空成膜室は、蒸着処理により基板に成膜を行う成膜室であり、前記搬入出口を介して前記基板搬送室との間で基板が搬入及び搬出され、
前記第2真空成膜室は、スパッタリングにより基板に成膜を行う成膜室であり、前記搬入口を介して前記基板搬送室から基板が搬入され、前記搬入口を介して前記基板搬送室へ基板が搬出されないことを特徴とする。
また、上記目的を達成するため、本発明の別の一側面としての成膜方法は、
基板を、基板搬送室から第1真空成膜室へ搬入して成膜処理を行う第1成膜工程と、
前記第1真空成膜室で成膜処理された基板を、前記基板搬送室を経由して第2真空成膜室に搬入して成膜処理を行う第2成膜工程と、
前記第2真空成膜室で成膜処理された基板を、前記基板搬送室を経由せずに前記第2真
空成膜室から搬出する搬出工程と、
を備え、
前記第1成膜工程における成膜処理は、蒸着処理であり、
前記第2成膜工程における成膜処理は、スパッタリングであることを特徴とする。
また、上記目的を達成するため、本発明の別の一側面としての電子デバイスの製造方法は、
基板を、基板搬送室から第1真空成膜室へ搬入して成膜処理を行う第1成膜工程と、
前記第1真空成膜室で成膜処理された基板を、前記基板搬送室を経由して第2真空成膜室に搬入して成膜処理を行う第2成膜工程と、
前記第2真空成膜室で成膜処理された基板を、前記基板搬送室を経由せずに前記第2真空成膜室から搬出する搬出工程と、
前記第2真空成膜室から搬出された基板を封止する封止工程と、
を備え、
前記第1成膜工程における成膜処理は、蒸着処理であり、
前記第2成膜工程における成膜処理は、スパッタリングであることを特徴とする。
<成膜装置及び成膜プロセス>
図1は、本発明の実施例1に係る成膜装置1aの構成を示す模式的平面図である。図1の成膜装置1aは、例えば、各種半導体デバイス、磁気デバイス、電子部品、光学部品な
どの電子デバイスの製造装置100において、基板10に対する成膜処理の役割を担う構成である。製造装置100においては、例えば、スマートフォン用の表示パネルの製造の場合、例えば約1800mm×約1500mm、厚み約0.5mmのサイズの基板に有機ELを構成する各層の成膜を行った後、該基板をダイシングして複数の小サイズのパネルが作製される。
なお、搬送室12と蒸着室20a、20bの夫々の室内圧力は、基板10の成膜処理や搬送に影響を及ぼさない範囲において、多少の圧力差があってもよい。
基板10a、10bを縦置き、すなわち基板被処理面が鉛直方向に延び、かつ水平方向を向く姿勢で搬送され、蒸着源容器23aが、基板被処理面に対して水平方向に対向するように配置される構成としてもよい。
また、蒸着室20aに収容可能な基板の枚数は、3枚以上としてもよいし、1枚のみ収容可能な構成としてもよい。
とは異なる蒸着材料による蒸着処理が施される(S102)。
蒸着室20bは、蒸着室20aと同様、ハウジング21bと、搬入出口22bと、蒸着源容器23bと、排気装置25bと、を備える。これら各構成は、蒸着材料の種類が異なることを除き、蒸着室20aのハウジング21a、搬入出口22a、蒸着源容器23a、排気装置25aと同様に構成されており、説明を省略する。
蒸着室20a、20bによる成膜処理は、例えば、スマートフォンやテレビ、カメラ等に用いられる表示パネルにおける有機材料からなる各種発光層等の形成に好適に用いられる。
なお、上記説明では第1の蒸着室20aおよび第2の蒸着室20bをまとめて第1真空成膜室として説明したが、第1の蒸着室20aは第3真空成膜室、第2の蒸着室20bは第1真空成膜室として捉えることもできる。すなわち、第3真空成膜室である第1の蒸着室20aで成膜処理された基板10は、搬送室12を介して第1真空成膜室である第2の蒸着室20bへと搬入され、第1真空成膜室で成膜処理される。
なお、搬送室12とスパッタ室30の夫々の室内圧力は、基板10の成膜処理や搬送に影響を及ぼさない範囲において、多少の圧力差があってもよい。調圧後(減圧後)のスパッタ室30と搬送室12との圧力差(圧力比)は、成膜処理時におけるスパッタ室30と搬送室12との圧力差(圧力比)よりも小さくなる。
スパッタ室30による成膜処理は、例えば、スマートフォンやテレビ、カメラ等に用いられる表示パネルにおける電極や配線の形成に好適に用いられる。
り、ターゲット粒子がターゲット表面から放出される。ターゲットから放出されたターゲット粒子が基板10に向かって飛翔、堆積することで基板10の被成膜面に成膜がなされる(S105:第2成膜工程)。
なお、本実施例のスパッタ室30では、蒸着室20と同様、基板10を横置きとし、カソードユニット33が、基板10に対して下方に配置される構成としているが、かかる構成に限定されるものではない。基板10を横置きとし、カソードユニット22が基板10に対して上方に配置される構成(基板10の被処理面が上面となる構成)でもよいし、基板10を縦置きとする構成でもよい。
から製造装置100の外部へ搬出される。以上の一連の工程を経て、電子デバイスが製造される。
本実施例に係る成膜装置1aは、上述したように、スパッタ室30の搬入口32は、文字通り搬送室12からスパッタ室30への基板10の搬入にのみ用いられる連通口となっており、スパッタ室30で成膜処理を終えた基板10は搬送室12に戻ることがない。すなわち、スパッタ室30において成膜装置1aにおける最後の成膜処理を終えた基板10は、搬送室12を経由せず、直接、後処理室40へ搬出される搬送(搬出)経路により、成膜装置1aから搬出される構成となっている。かかる構成により、従来のクラスタ式成膜装置と比較して、成膜工程における工程数の削減を図ることができ、成膜装置の成膜処理における生産性(製造タクトや歩留まりなど)の向上を図ることができる。
図7は、本発明の実施例の比較例に係る成膜装置1cの構成を示す模式的平面図である。図7に示すように、比較例に係る成膜装置1cは、最後の成膜処理を行うスパッタ室30が、搬入出口35を介して、搬送室12とのみ接続されており、本実施例のスパッタ室30のように後処理室40と直接接続されていない。後処理室40は、受渡室14を介して搬送室12と接続している。すなわち、比較例に係る成膜装置1cでは、スパッタ室30において最後の成膜処理を終えた基板10は、スパッタ室30から搬送室12、受渡室14を経由して後処理室40へ搬出されることになる。受渡室14は、他の室と同様、不図示の排気装置が設けられ、室内圧力を調整可能に構成されており、搬送室12の室内圧力を蒸着室20a、20bの室内圧力と同程度に維持すべく、搬送室12と後処理室40との間のバッファ室として設けられている。このような構成により、比較例の成膜装置1
cは、実施例1の成膜装置1aと比較して、成膜処理における工程数が増加してしまう。なお、上記先行文献に記載の装置構成も、本比較例と同様に構成されている。
図5、図6を参照して、本発明の実施例2に係る成膜装置1bについて説明する。なお、実施例2において実施例1の構成と共通する構成は、同じ符号を付し、再度の説明を省略する。実施例2においてここで特に説明しない事項は、実施例1と同様である。
内圧力に調圧された受渡室14へ搬入する(S203)。そして、受渡室14の室内圧力をスパッタ室30の室内圧力と同等の圧力に調圧(増圧)する(S204)。受渡室14からスパッタ室30へ搬入口32を介して基板10を搬送し、スパッタ室30において基板10にスパッタリング処理を行う(S205)。スパッタ室30でのスパッタリングによる基板10の成膜処理を終えると、スパッタ室30の室内圧力を後処理室40の室内圧力に合せるべく、排気装置35により調圧する(S206)。調圧が完了すると搬出口34のゲートバルブが開けられ、搬出口34を介してスパッタ室30から後処理室40へ基板10が搬出される(S207)。以上の構成により、電子デバイスの製造装置100の成膜装置1bにおける成膜処理が完了する。
Claims (18)
- 真空に維持される基板搬送室と、
基板を搬入及び搬出するための搬入出口を有する第1真空成膜室と、
基板を搬入するための搬入口と、基板を搬出するための搬出口と、を別々に有する第2真空成膜室と、
を備え、
前記第1真空成膜室は、蒸着処理により基板に成膜を行う成膜室であり、前記搬入出口を介して前記基板搬送室との間で基板が搬入及び搬出され、
前記第2真空成膜室は、スパッタリングにより基板に成膜を行う成膜室であり、前記搬入口を介して前記基板搬送室から基板が搬入され、前記搬入口を介して前記基板搬送室へ基板が搬出されない
ことを特徴とする成膜装置。 - 前記第2真空成膜室の前記搬出口は、前記搬入口を介して前記基板搬送室とつながっていることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- 成膜処理時における前記第1真空成膜室と前記基板搬送室との間の圧力差は、成膜処理時における前記第2真空成膜室と前記基板搬送室との間の圧力差よりも小さい
ことを特徴とする請求項1または2に記載の成膜装置。 - 前記第2真空成膜室は、調圧手段を有し、
前記第2真空成膜室は、前記第2真空成膜室と前記基板搬送室との間の圧力差が、成膜処理時における前記第2真空成膜室と前記基板搬送室との間の圧力差よりも小さくなるように、前記調圧手段に調圧されてから、前記搬入口を介して前記基板搬送室から基板が搬入される
ことを特徴とする請求項3に記載の成膜装置。 - 前記第2真空成膜室は、前記搬出口とつながった室との圧力差が、成膜処理時における前記室との圧力差よりも小さくなるように、前記調圧手段に調圧されてから、前記搬出口を介して前記室へ基板が搬出される
ことを特徴とする請求項4に記載の成膜装置。 - 成膜処理時における前記第1真空成膜室の圧力は、成膜処理時における前記第2真空成膜室の圧力よりも低い
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の成膜方法。 - 基板を搬入及び搬出するための搬入出口を有する第3真空成膜室をさらに備え、
前記第3真空成膜室は、前記第3真空成膜室が有する前記搬入出口を介して前記基板搬送室との間で基板が搬入及び搬出され、
前記第3真空成膜室で成膜処理された基板は、前記基板搬送室を経由して前記第1真空成膜室に搬入される
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の成膜装置。 - 前記第1真空成膜室で成膜処理された基板は、前記基板搬送室を経由して前記第2真空成膜室に搬入される
ことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の成膜装置。 - 前記第1真空成膜室は、基板に有機材料からなる膜の成膜を行う成膜室であり、
前記第2真空成膜室は、基板に無機材料からなる膜の成膜を行う成膜室である
ことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の成膜装置。 - 基板を、基板搬送室から第1真空成膜室へ搬入して成膜処理を行う第1成膜工程と、
前記第1真空成膜室で成膜処理された基板を、前記基板搬送室を経由して第2真空成膜室に搬入して成膜処理を行う第2成膜工程と、
前記第2真空成膜室で成膜処理された基板を、前記基板搬送室を経由せずに前記第2真空成膜室から搬出する搬出工程と、
を備え、
前記第1成膜工程における成膜処理は、蒸着処理であり、
前記第2成膜工程における成膜処理は、スパッタリングである
ことを特徴とする成膜方法。 - 前記第2成膜工程において、前記第2真空成膜室と前記基板搬送室との間の圧力差が、成膜処理時における前記第2真空成膜室と前記基板搬送室との間の圧力差よりも小さくなるように、前記第2真空成膜室の圧力を調圧してから、基板を前記第2真空成膜室に搬入し、
成膜処理時における前記第1真空成膜室と前記基板搬送室との間の圧力差は、成膜処理時における前記第2真空成膜室と前記基板搬送室との間の圧力差よりも小さい
ことを特徴とする請求項10に記載の成膜方法。 - 前記搬出工程において、前記第2真空成膜室と搬出先の室との間の圧力差が、成膜処理時における前記第2真空成膜室と前記室との間の圧力差よりも小さくなるように、前記第2真空成膜室の圧力を調圧してから、基板を前記室へ搬出する
ことを特徴とする請求項10または11に記載の成膜方法。 - 第1成膜工程の成膜処理時における前記第1真空成膜室の圧力は、第2成膜工程の成膜処理時における前記第2真空成膜室の圧力よりも低い
ことを特徴とする請求項10〜12のいずれか1項に記載の成膜方法。 - 前記第1成膜工程は、基板に有機材料からなる膜の成膜を行う成膜工程であり、
前記第2成膜工程は、基板に無機材料からなる膜の成膜を行う成膜工程である
ことを特徴とする請求項10〜13のいずれか1項に記載の成膜方法。 - 基板を、基板搬送室から第1真空成膜室へ搬入して成膜処理を行う第1成膜工程と、
前記第1真空成膜室で成膜処理された基板を、前記基板搬送室を経由して第2真空成膜室に搬入して成膜処理を行う第2成膜工程と、
前記第2真空成膜室で成膜処理された基板を、前記基板搬送室を経由せずに前記第2真空成膜室から搬出する搬出工程と、
前記第2真空成膜室から搬出された基板を封止する封止工程と、
を備え、
前記第1成膜工程における成膜処理は、蒸着処理であり、
前記第2成膜工程における成膜処理は、スパッタリングである
ことを特徴とする電子デバイスの製造方法。 - 前記封止工程は、前記第2真空成膜室から搬出された基板を封止室に搬入して封止板と接着する接着工程を含み、
前記接着工程における接着処理時の前記封止室の圧力は、前記第1成膜工程における成膜処理時の前記第1真空成膜室の圧力よりも高い
ことを特徴とする請求項15に記載の電子デバイスの製造方法。 - 前記封止工程は、前記第2真空成膜室から搬出された基板を保護膜成膜室に搬入して保護膜を成膜する成膜処理を行う保護膜成膜工程を含み、
前記保護膜成膜工程における成膜処理時の前記保護膜成膜室の圧力は、前記第1成膜工程における成膜処理時の前記第1真空成膜室の圧力よりも高い
ことを特徴とする請求項15または16に記載の電子デバイスの製造方法。 - 保護膜成膜工程における成膜処理は、プラズマ化学気相成長法、スパッタリング及び原子層堆積のいずれかである
ことを特徴とする請求項17に記載の電子デバイスの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018099463A JP6605657B1 (ja) | 2018-05-24 | 2018-05-24 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 |
KR1020180126467A KR102540239B1 (ko) | 2018-05-24 | 2018-10-23 | 성막 장치, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
CN201811362764.XA CN110527948A (zh) | 2018-05-24 | 2018-11-16 | 成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018099463A JP6605657B1 (ja) | 2018-05-24 | 2018-05-24 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6605657B1 true JP6605657B1 (ja) | 2019-11-13 |
JP2019203175A JP2019203175A (ja) | 2019-11-28 |
Family
ID=68532250
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018099463A Active JP6605657B1 (ja) | 2018-05-24 | 2018-05-24 | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6605657B1 (ja) |
KR (1) | KR102540239B1 (ja) |
CN (1) | CN110527948A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111020522B (zh) * | 2019-12-09 | 2022-05-27 | 王殿儒 | 基于气体放电型大功率电子枪的复合型基材连续镀膜系统 |
US11840757B2 (en) * | 2020-07-08 | 2023-12-12 | Tdk Corporation | Film deposition system, factory system, and method of depositing film on wafer |
JP7212662B2 (ja) * | 2020-11-30 | 2023-01-25 | キヤノントッキ株式会社 | 搬送装置、成膜装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 |
JP7242626B2 (ja) * | 2020-12-10 | 2023-03-20 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW504941B (en) * | 1999-07-23 | 2002-10-01 | Semiconductor Energy Lab | Method of fabricating an EL display device, and apparatus for forming a thin film |
JP3783099B2 (ja) * | 2000-05-16 | 2006-06-07 | 株式会社豊田中央研究所 | 有機電界発光素子 |
US20040035360A1 (en) * | 2002-05-17 | 2004-02-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing apparatus |
JP2004319321A (ja) * | 2003-04-17 | 2004-11-11 | Sony Corp | 有機発光表示装置の製造装置および製造方法 |
JP4494126B2 (ja) * | 2003-08-15 | 2010-06-30 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 成膜装置および製造装置 |
JP4780983B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2011-09-28 | 株式会社アルバック | 有機el素子製造方法 |
JP4934619B2 (ja) * | 2008-03-17 | 2012-05-16 | 株式会社アルバック | 有機el製造装置及び有機el製造方法 |
KR101299755B1 (ko) * | 2008-10-16 | 2013-08-23 | 가부시키가이샤 아루박 | 스퍼터링 장치, 박막 형성 방법 및 전계 효과형 트랜지스터의 제조 방법 |
JP5836974B2 (ja) * | 2010-12-07 | 2015-12-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 表示デバイス製造装置、表示デバイスの製造方法 |
-
2018
- 2018-05-24 JP JP2018099463A patent/JP6605657B1/ja active Active
- 2018-10-23 KR KR1020180126467A patent/KR102540239B1/ko active IP Right Grant
- 2018-11-16 CN CN201811362764.XA patent/CN110527948A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20190134445A (ko) | 2019-12-04 |
JP2019203175A (ja) | 2019-11-28 |
KR102540239B1 (ko) | 2023-06-02 |
CN110527948A (zh) | 2019-12-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6605657B1 (ja) | 成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法 | |
KR100696547B1 (ko) | 증착 방법 | |
KR101057915B1 (ko) | 성막 장치 및 발광 소자의 제조 방법 | |
US20180138408A1 (en) | A shadow mask for organic light emitting diode manufacture | |
CN103429784B (zh) | 蒸镀颗粒射出装置和蒸镀装置 | |
US8263174B2 (en) | Light emitting device and method for manufacturing light emitting device | |
JP6584162B2 (ja) | 積層封止膜形成方法および形成装置 | |
JP2012097330A (ja) | 薄膜形成装置及び有機elデバイス製造装置 | |
KR101046239B1 (ko) | 성막 장치, 성막 시스템 및 성막 방법 | |
TW201739940A (zh) | 具有由雙電鑄所形成的錐形開口的陰影遮罩 | |
EP2607516B1 (en) | Method for forming a gas blocking layer | |
KR20110116210A (ko) | 성막 장치, 성막 방법 및 유기 el 소자 | |
JP2014189861A (ja) | 膜形成方法 | |
US20190036026A1 (en) | A shadow mask with tapered openings formed by double electroforming using positive/negative photoresists | |
US20090246941A1 (en) | Deposition apparatus, deposition system and deposition method | |
US20090202708A1 (en) | Apparatus for Manufacturing Light Emitting Elements and Method of Manufacturing Light Emitting Elements | |
KR20210021575A (ko) | 감소된 내부 응력들을 갖는 이중 전기주조에 의해 형성된 점감된 개구부들을 갖는 섀도우 마스크 | |
KR20170095362A (ko) | 이동 가능한 스퍼터 조립체 및 프로세스 가스 파라미터들에 대한 제어를 이용하여 기판을 코팅하기 위한 장치 및 방법 | |
KR102164553B1 (ko) | 박막 증착 장치 | |
WO2011040538A1 (ja) | 基板処理システム | |
US20100055816A1 (en) | Light Emitting Device Manufacturing Apparatus and Method | |
JP2007220358A (ja) | 基板処理装置および発光素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181026 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20181026 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20181205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181218 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190415 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190514 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190807 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20190807 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20190815 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20190820 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190917 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191016 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6605657 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |