JP2007243058A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】装置内との接続に支障を生ずることなく、オープンテーブル上に複数のFOUPを無理なく導入することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】オープンテーブル3は、複数のフロントオープン一体型ポッド51が縦置き姿勢で且つ位置決め状態でそれぞれ載置されると共に、基板処理装置1に沿わせるように横並びに配設した複数の縦移動手段31と、各縦移動手段31を横並びの並び方向に直交する方向にスライド自在に支持すると共に、複数の縦移動手段31を並び方向に一体として移動させる横移動手段32と、搬入搬出口4に臨んだ各フロントオープン一体型ポッド51を、縦移動手段31を介して搬入搬出口4に密接させるポッド押圧手段33と、を備えるように構成する。
【選択図】図2
【解決手段】オープンテーブル3は、複数のフロントオープン一体型ポッド51が縦置き姿勢で且つ位置決め状態でそれぞれ載置されると共に、基板処理装置1に沿わせるように横並びに配設した複数の縦移動手段31と、各縦移動手段31を横並びの並び方向に直交する方向にスライド自在に支持すると共に、複数の縦移動手段31を並び方向に一体として移動させる横移動手段32と、搬入搬出口4に臨んだ各フロントオープン一体型ポッド51を、縦移動手段31を介して搬入搬出口4に密接させるポッド押圧手段33と、を備えるように構成する。
【選択図】図2
Description
本発明は、フロントオープン一体型ポッド(Front-Opening Unified Pod:FOUP)に収容して導入された電子デバイスやMEMS(マイクロマシン)等の半導体装置を処理する基板処理装置に関するものである。
従来、この種の基板処理装置として、クリーンブース(チャンバ)に収容した半導体処理装置の開閉扉に、複数枚の基板を収容したFOUPを接続し、FOUPのフロントドアを開けて、FOUP内部の基板を1枚ずつ取り出すものが知られている(特許文献1参照)。この基板処理装置では、人間の手または自動搬送ロボットによって、FOUPがクリーンブースの外側に設けたオープンテーブルに横倒し姿勢で載置される。オープンテーブルに載置されたFOUPは、開閉扉に押し付けられ、装置内部の下側に位置する開閉機構(アーム等)により、開閉扉およびFOUPのフロントドアを吸着し下側に移動させることで装置内部に開放され、この状態で基板の出し入れが行われる。
特開2000−173911号公報
ところで、近年では、多品種少量生産化に伴うリードタイム短縮の要求が強まってきており、ロットサイズの縮小、究極的には枚葉搬送(1枚/1ロット)が提案されている。この場合、特にリードタイムの長い、例えばフォトライン等の装置ではロットサイズを縮小するほど1の基板処理装置に導入されるFOUPの数が増加する。かかる場合には、基板処理装置のオープンテーブル上に、横倒し姿勢のFOUPが複数段積みされることになり、FOUPの開閉扉への接続や段積みの機構が複雑になると共に、導入可能なFOUPの個数が数個に限られてしまう問題が生ずる。
本発明は、装置内との接続に支障を生ずることなく、オープンテーブル上に複数のFOUPを無理なく導入することができる基板処理装置を提供することをその課題としている。
本発明の基板処理装置は、フロントオープン一体型ポッドに収容して、基板処理装置のオープンテーブル上に移載された基板を、フロントオープン一体型ポッドと基板処理装置の搬入搬出口とを密接した後、フロントオープン一体型ポッドのフロントドアと基板処理装置の搬入搬出口とを開放し、基板を基板処理装置内に対し搬入・搬出するようにした基板処理装置において、オープンテーブルは、複数のフロントオープン一体型ポッドが縦置き姿勢で且つ位置決め状態でそれぞれ載置されると共に、基板処理装置に沿わせるように横並びに配設した複数の縦移動手段と、各縦移動手段を横並びの並び方向に直交する方向にスライド自在に支持すると共に、複数の縦移動手段を並び方向に一体として移動させる横移動手段と、搬入搬出口に臨んだ各フロントオープン一体型ポッドを、縦移動手段を介して搬入搬出口に密接させるポッド押圧手段と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、フロントオープン一体型ポッドをオープンテーブルとの接触面積が少ない縦置きにすることで、オープンテーブル上に多数のフロントオープン一体型ポッドを横並びに載置することができ、横倒し姿勢のFOUPが複数段積みされることがない。また、この状態で横移動手段が基板処理装置の搬入搬出口にフロントオープン一体型ポッドを適宜臨ませるため、開閉扉への接続も容易になる。このため、装置内との接続に支障を生ずることなく、オープンテーブル上に複数のFOUPを無理なく導入することができる。
この場合、搬入搬出口が一対設けられ、且つ一対の搬入搬出口に対応して横移動手段が一対設けられており、基板処理装置内に配設され、各フロントオープン一体型ポッドのフロントドアと基板処理装置の搬入搬出口とを開放し、基板を基板処理装置内に対し搬入・搬出する搬入搬出ロボットを、更に備え、搬入搬出ロボットは、一対の搬入搬出口を介して基板を交互に搬入・搬出することが、好ましい。
この構成によれば、例えば、搬入搬出ロボットが一方の横移動手段により一方の搬入搬出口に臨ませたフロントオープン一体型ポッドから基板を搬入している間に、横移動手段により他方の搬入搬出口に処理済みの基板が収容される空のフロントオープン一体型ポッドを臨ませることができ、基板の搬入・搬出の効率を高めることができる。
この場合、各フロントオープン一体型ポッドは、1枚の基板を収容するタイプのものであることが、好ましい。
この構成によれば、基板を一枚ずつ基板処理装置内で処理し搬入・搬出が行われるので、多品種少量生産化に対応させることができる構成となっている。
以下、添付の図面に基づいて、本発明の一実施形態に係る基板処理装置について説明する。この基板処理装置は、電子デバイスMEMS等の半導体装置の製造ライン組み込まれるものであり、処理対象となる半導体ウェハがFOUPに収容された状態で導入され、半導体ウェハをFOUPから取り出して所定の処理を行なう。ここで、基板処理装置を詳細に説明する前に、FOUPについて簡単に説明する。
図1(a)、(b)に示すように、FOUP51は、半導体ウェハWを収容する方形のボックス本体52と、ボックス本体52の前面(図示右側)に着脱自在に設けられ、ボックス本体52の内部をクリーンな状態で密閉するフロントドア53と、で構成されている。ボックス本体52の内部には、両側壁に、対を為す断面櫛歯状の複数の溝(本実施形態では4段)52aが、それぞれ対向するように形成されている。半導体ウェハWは、その周縁部が一対の溝52a、52aに挿入するようにセットされることで、チップ形成部分を傷つけないようにFOUP51に収容される。また、FOUP51には、FOUP51を縦置き姿勢で基板処理装置1に臨ませるように、ボックス本体52の外部の一方の側壁には3個のV溝状に形成されたカップリング部材54が設けられている。
なお、上記のFOUP51では、4枚の半導体ウェハWを収容可能であるが、本実施形態のものは、一枚ずつ半導体ウェハWを収容して搬送(枚葉搬送)を行っている。これにより、半導体ウェハWを一枚ずつ基板処理装置1内で処理し搬入・搬出が行われるので、多品種少量生産化に対応させることができる構成となっている。
続いて図2(a)、(b)を参照して、基板処理装置1について説明する。図2(a)は、基板処理装置1の上面模式図、図2(b)は、基板処理装置1の側面模式図をそれぞれ表している。基板処理装置1は、半導体ウェハWに処理を施す処理装置本体6と、処理装置本体6に対し半導体ウェハWを搬入・搬出する搬入搬出ロボット7と、FOUP51のフロントドア53を開閉する一対の開閉機構5、5と、をクリーンブース(チャンバ)2に収容して、構成されている。クリーンブース2には、その一の外壁に沿うように突設され、複数のFOUPが縦置き姿勢で載置されるオープンテーブル3と、オープンテーブル3に面して一対の開閉扉11、11を有し、半導体ウェハWを導入するためにFOUP51が臨む一対の搬入搬出口4、4と、が設けられている。この場合、搬入搬出ロボット7は、一対の搬入搬出口4、に適宜臨み得るように配設され、各開閉機構5は各搬入搬出口4に対応するように配設されている。また、基板処理装置1は、これら構成装置を統括制御する制御装置(図示省略)を備えている。
各開閉機構5は、搬入搬出口4の下側においてクリーンブース2の内壁に固定した上下動機構21と、基端部を上下動機構21に回動自在に支持され、開閉扉11およびFOUP51のフロントドア53を着脱するロボットアーム22と、を備えている。開閉機構5は、FOUP51が開閉扉11に押し付けられた状態で、FOUP51のフロントドア53のロックを外し、フロントドア53と開閉扉11とを一体として装置内部下側に下ろすようにして、FOUP51の内部を装置内に開放する。
搬入搬出ロボット7は、FOUP51と処理装置本体6との間で半導体ウェハWを移載するものであり、水平軸廻りに回転可能なロボットアーム61とロボットアーム61を回動させる回動機構62とを有している。搬入搬出ロボット7は、ロボットアーム61により、FOUP51内に収容されている半導体ウェハWを把持して引き出し、これを鉛直姿勢から水平姿勢に90度回転させながら回動して、基板処理装置1上に載置する。一方、処理済みの半導体ウェハWは、搬入搬出ロボット7により把持され、逆の手順でFOUP51に収容される。
オープンテーブル3は、クリーンブース2から外方に延設したベーステーブル34と、ベーステーブル34上において一対の搬入搬出口4、4に対応して設けた第1横移動テーブル32a(横移動手段)および第2横移動テーブル32b(横移動手段)と、第1第2各横移動テーブル32a、32b上に設けられ、複数のFOUP51が縦置き姿勢で載置される複数の縦移動テーブル31と、各搬入搬出口4に対応してベーステーブル34上に固定した一対のポッド押圧機構33、33(押圧手段)と、を備えている。複数の縦移動テーブル31は、各横移動テーブル32a、32b上において、オープンテーブル3の延在方向に横並びに配設されている。また、各縦移動テーブル31は、各横移動テーブル32a、32b上において、縦移動テーブル31の並び方向(Y軸方向)に直交する方向(X軸方向)にスライド自在に支持されており、ポッド押圧機構33に押圧されて、搬入搬出口4に密接するように押し付けられるようになっている。
各横移動テーブル32a、32bは、ベーステーブル34に沿ってその左右半部に設けられており、ベーステーブル34上に設けられた一対のY軸ガイドレールと、一対のY軸ガイドレール上をY軸方向に移動するモータ駆動のY軸スライダと、Y軸スライダを組み込んだテーブル本体36と、を有している。横移動テーブル32は、制御装置の制御信号に基づいて、縦移動テーブル31上の所望のFOUP51を搬入搬出口4の正面に臨ませるように駆動する。
各縦移動テーブル31は、駆動機構の無い単なるスライドテーブルであり、横移動テーブル32のテーブル本体36上に設けられた一対のX軸ガイドレールと、一対のX軸ガイドレールにスライド自在に係合する載置台35と、を有している。載置台35には、平面視2等辺三角形と成るように配設した3本のピン31aが立設されている。FOUP51は、この3本のピン31aに上述した3個のV溝状のカップリング部材54が係合させることにより、縦移動テーブル31上に縦置き姿勢でバランスよく位置決め載置される。
一対のポッド押圧機構33、33は、縦移動テーブル31を挟んで、一対の搬入搬出口4、4に対峙しており、各ポッド押圧機構33は、縦移動テーブル31に当接する押圧ロッド41と、押圧ロッド41を搬入搬出口4に向かって進退させるシリンダ部42と、を有している。制御装置の制御信号に基づいてポッド押圧機構33が駆動し、押圧ロッド41が縦移動テーブル31を押圧すると、FOUP51が前進して搬入搬出口4に密着する。図示では省略したが、FOUP(ボックス本体52)51の前端部には密着フランジが、また搬入搬出口4にも密着フランジが設けられており、搬入搬出口4とFOUP51とは気密に接合する。なお、押圧ロッド41をモータ駆動により進退させるようにしてもよい。
このように構成されたオープンテーブル3は、制御装置の制御信号により各横移動テーブル32a、32bを選択的に駆動し、多数のFOUP51が載置された複数の縦移動テーブル31を一体としてY軸方向に移動させて、所望のFOUP51を搬入搬出口4の正面に臨ませる。所望のFOUP51が搬入搬出口4に臨むと、ポッド押圧機構33が縦移動テーブル31を押圧し、FOUP51が搬入搬出口4に密着される。
ここで、この基板処理装置1による半導体ウェハWの一連の搬入・搬出動作について説明する。まず基板処理装置1の外部に配設された移載ロボット(図示省略)により、多数のFOUP51が1つずつオープンテーブル3上に縦置き姿勢で横並びに載置される。そして、オープンテーブル3上の第1横移動テーブル32aとポッド押圧機構33とが協働して、所望のFOUP51を一方の搬入搬出口4に密着させる。
次に、基板処理装置1内の一方の開閉機構5が、FOUP51のフロントドア53および開閉扉11を一体として取り外す。FOUP51のフロントドア53が開放されると、搬入搬出ロボット7がFOUP51内から半導体ウェハWを取り出し、処理装置本体6に載置する。ここで、処理装置本体6により半導体ウェハWに所定の処理が行なわれる。一方のこの処理が行なわれている間に、オープンテーブル3上の第2横移動テーブル32bとポッド押圧機構33とにより、他方の搬入搬出口4に次のFOUP51が密着されて待機状態となる。
続いて、搬入搬出ロボット7が、処理装置本体6から処理済みの半導体ウェハWを取得し、これを一方の搬入搬出口4に臨んでいるFOUP51に戻す。また、この動作と並行して、他方の開閉機構5により他方の搬入搬出口4に臨んでいるFOUP51のフロントドア53を開放する。搬入搬出ロボット7は、半導体ウェハWを戻した後、新たなFOUP51から半導体ウェハWを取り出して、処理装置本体6に載置する。一方、処理済みの半導体ウェハWを受け取ったFOUP51は、開閉機構5により閉蓋され、元の位置に戻される。そして再度、新たなFOUP51が一方の搬入搬出口4に導入される。
このように、一対の搬入搬出口4を介して交互に半導体ウェハWの処理装置本体6への搬入・搬出動作を繰り返すため、処理装置本体6の処理待ち時間が最大限短縮される。したがって、FOUP51に収容して導入される半導体ウェハWの処理におけるタクトタイムを極端に端出することができる。なお、処理済の半導体ウェハWが収容されたFOUP51は、移載ロボットにより、オープンテーブル3から次工程に向かう搬送装置に移載される。
以上のように、FOUP51をオープンテーブル3との接触面積が少ない縦置きにすることで、オープンテーブル3上に多数のFOUP51を横並びに載置することができ、且つFOUP51に収容して導入される半導体ウェハWを、効率良く処理することができる。特に、オープンテーブル3が縦置きの状態でFOUP51を基板処理装置1の搬入搬出口4に臨ませるため、開閉扉11への接続も容易になる。このため、装置内との接続に支障を生ずることなく、オープンテーブル3上に複数のFOUP51を無理なく導入することができる。
1…基板処理装置 3…オープンテーブル 4…搬入搬出口 7…搬入搬出ロボット 31…縦移動テーブル 32…横移動テーブル 33…ポッド押圧機構 51…FOUP 53…フロントドア W…半導体ウェハ
Claims (3)
- フロントオープン一体型ポッドに収容して、基板処理装置のオープンテーブル上に移載された基板を、前記フロントオープン一体型ポッドと前記基板処理装置の搬入搬出口とを密接した後、前記フロントオープン一体型ポッドのフロントドアと前記基板処理装置の搬入搬出口とを開放し、前記基板を前記基板処理装置内に対し搬入・搬出するようにした基板処理装置において、
前記オープンテーブルは、複数の前記フロントオープン一体型ポッドが縦置き姿勢で且つ位置決め状態でそれぞれ載置されると共に、前記基板処理装置に沿わせるように横並びに配設した複数の縦移動手段と、
前記各縦移動手段を横並びの並び方向に直交する方向にスライド自在に支持すると共に、前記複数の縦移動手段を前記並び方向に一体として移動させる横移動手段と、
前記搬入搬出口に臨んだ前記各フロントオープン一体型ポッドを、前記縦移動手段を介して前記搬入搬出口に密接させるポッド押圧手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記搬入搬出口が一対設けられ、且つ一対の前記搬入搬出口に対応して前記横移動手段が一対設けられており、
前記基板処理装置内に配設され、前記各フロントオープン一体型ポッドのフロントドアと前記基板処理装置の搬入搬出口とを開放し、前記基板を前記基板処理装置内に対し搬入・搬出する搬入搬出ロボットを、更に備え、
前記搬入搬出ロボットは、前記一対の前記搬入搬出口を介して前記基板を交互に搬入・搬出することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記各フロントオープン一体型ポッドは、1枚の前記基板を収容するタイプのものであることを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006066422A JP2007243058A (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006066422A JP2007243058A (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 基板処理装置 |
Publications (1)
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JP2007243058A true JP2007243058A (ja) | 2007-09-20 |
Family
ID=38588270
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006066422A Pending JP2007243058A (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 基板処理装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2007243058A (ja) |
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2006
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