JP2021044585A - チップ抵抗器 - Google Patents

チップ抵抗器 Download PDF

Info

Publication number
JP2021044585A
JP2021044585A JP2020205234A JP2020205234A JP2021044585A JP 2021044585 A JP2021044585 A JP 2021044585A JP 2020205234 A JP2020205234 A JP 2020205234A JP 2020205234 A JP2020205234 A JP 2020205234A JP 2021044585 A JP2021044585 A JP 2021044585A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resistor
substrate
layer
insulating layer
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2020205234A
Other languages
English (en)
Inventor
将記 米田
Masaki Yoneda
将記 米田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP2020205234A priority Critical patent/JP2021044585A/ja
Publication of JP2021044585A publication Critical patent/JP2021044585A/ja
Priority to JP2022126581A priority patent/JP7458448B2/ja
Priority to JP2022134091A priority patent/JP7457763B2/ja
Priority to JP2024042335A priority patent/JP2024061879A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Details Of Resistors (AREA)
  • Non-Adjustable Resistors (AREA)

Abstract

【課題】放熱性の向上を図ることが可能なチップ抵抗器を提供すること【解決手段】 チップ抵抗器200は、基板1と、抵抗体2と、接合層3と、絶縁層6と、第1電極4と、第2電極5と、を備え、第1電極4は、第1下地層41と、第1メッキ層43と、を含み、メッキ層43は、第1金属層43a、第2金属層43b、および第3金属層43cを含み、基板1は、X1方向を向く第1基板側面13を有し、接合層3は、X1方向を向く第1接合層側面を有し、第3金属層43cは、X1方向視において第1接合層側面のすべてと重なり、第1基板側面13の一部のみと重なる。【選択図】 図20

Description

本発明は、チップ抵抗器に関する。
従来から、電子機器に用いられるチップ抵抗器が知られている。たとえば、チップ抵抗器は、板状の2つの電極と、抵抗体と、を備える。抵抗体は2つの電極に配置されている。たとえば、チップ抵抗器については、特許文献1に開示されている。
特開2007−142148号公報
従来のチップ抵抗器においては、チップ抵抗器自体の強度を保つ必要があるので、板状の電極の厚さをあまり薄くできない。したがって、従来のチップ抵抗器では、薄型化を図ることができていない。また、従来から、チップ抵抗器の放熱性の向上も求められている。
本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、薄型化を図ることが可能なチップ抵抗器を提供することをその主たる課題とする。本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、放熱性の向上を図ることが可能なチップ抵抗器を提供することをその主たる課題とする。
本発明の第1の側面によると、絶縁性の基板と、前記基板に埋め込まれた抵抗体と、前記抵抗体に導通している第1電極と、前記抵抗体に導通しており、前記第1電極に対し、前記基板の厚さ方向に直交する第1方向とは反対の第2方向側に位置する第2電極と、を備える、チップ抵抗器が提供される。
好ましくは、前記基板は、前記基板の厚さ方向において、互いに反対側を向く基板表面および基板主面を有し、前記抵抗体は、前記基板表面から前記基板主面に向かって、前記基板表面からめり込んでいる。
好ましくは、前記基板の厚さ方向において、前記抵抗体の全体は、前記基板に重なっている。
好ましくは、前記基板は、前記抵抗体に直接接している。
好ましくは、前記基板は、樹脂部と、前記樹脂部内に位置するガラス繊維部と、を含み、前記抵抗体は、前記ガラス繊維部に直接接している。
好ましくは、前記樹脂部は、エポキシ樹脂よりなる。
好ましくは、前記樹脂部は、前記基板表面および前記基板主面を構成している。
好ましくは、前記基板の最大厚さは、60〜300μmである。
好ましくは、前記基板は、前記第1方向を向いている基板側面を有し、前記抵抗体は、前記第1方向を向いている抵抗体側面を有し、前記基板側面および前記抵抗体側面は、面一である。
好ましくは、前記基板側面は、前記第1電極に直接覆われている。
好ましくは、前記抵抗体は、互いに反対側を向く抵抗体表面と抵抗体主面とを有し、前記抵抗体主面は、前記基板に直接接している。
好ましくは、前記抵抗体表面は、前記基板表面と面一である。
好ましくは、前記抵抗体の厚さは、50〜200μmである。
好ましくは、前記抵抗体を覆う絶縁層を更に備える。
好ましくは、前記絶縁層は、前記基板の厚さ方向において、互いに反対側を向く絶縁層表面および絶縁層主面を有し、前記絶縁層主面は、前記基板および前記抵抗体に直接接している。
好ましくは、前記絶縁層は、前記抵抗体と前記第1電極との間に介在する部位、および、前記抵抗体と前記第2電極との間に介在する部位を有する。
好ましくは、前記絶縁層表面には、前記第1電極および前記第2電極が形成されている。
好ましくは、前記絶縁層表面の一部は、前記第1電極および前記第2電極から露出している。
好ましくは、前記絶縁層の熱伝導率は、1.0W/(m・K)〜5.0W/(m・K)である。
好ましくは、前記絶縁層は、絶縁層端面を有し、前記基板は、基板端面を有し、前記基板端面および前記絶縁層端面はいずれも、前記基板の厚さ方向および前記第1方向のいずれにも直交する第3方向を向いており、且つ、互いに面一となっている。
好ましくは、前記第1電極は、メッキにより形成されたメッキ層を含む。
好ましくは、前記メッキ層は、Cu層およびSn層を有し、前記Cu層は、前記Sn層と前記抵抗体の間に介在している。
好ましくは、前記メッキ層は、Ni層を有し、前記Ni層は、前記Cu層と前記Sn層との間に介在している。
好ましくは、前記第1電極は、前記抵抗体に直接接する下地層を含み、前記下地層は、前記メッキ層と前記抵抗体との間に介在している。
好ましくは、前記下地層は、前記基板の厚さ方向視において前記抵抗体に重なり、且つ、前記厚さ方向において前記抵抗体から離間した部位を有する。
好ましくは、前記下地層の厚さは、100〜500nmである。
好ましくは、前記下地層は、PVD、CVD、あるいは印刷によって形成される。
好ましくは、前記下地層は、スパッタリングにより形成される。
好ましくは、前記下地層は、Ni−Crよりなる。
好ましくは、前記抵抗体は、サーペンタイン状である。
好ましくは、前記抵抗体は、マンガニン、ゼラニン、Ni−Cr合金、Cu−Ni合金、あるいは、Fe−Cr合金よりなる。
本発明の第2の側面によると、抵抗体と、前記抵抗体を覆う絶縁層と、前記抵抗体に導通している第1電極と、前記抵抗体に導通しており、前記第1電極に対し、第1方向とは反対の第2方向側に位置する第2電極と、を備え、前記第1電極は、前記抵抗体に直接接する下地層と、前記下地層を覆うメッキ層と、を含み、前記絶縁層は、前記下地層と前記抵抗体との間に介在している、チップ抵抗器が提供される。
好ましくは、前記下地層は、前記メッキ層と前記絶縁層との間に介在している。
好ましくは、前記下地層の前記第1方向における寸法は、前記抵抗体の前記第1方向における寸法の4分の1以上である。
好ましくは、前記下地層の前記第1方向における寸法は、前記抵抗体の前記第1方向における寸法の3分の1以上である。
好ましくは、前記下地層の前記第1方向における寸法は、600〜3200μmである。
好ましくは、前記下地層の厚さは、前記抵抗体の厚さよりも薄い。
好ましくは、前記下地層の厚さは、100〜500nmである。
好ましくは、前記下地層は、PVD、CVD、あるいは印刷によって形成される。
好ましくは、前記下地層は、スパッタリングにより形成される。
好ましくは、前記下地層は、Ni−Crよりなる。
好ましくは、前記メッキ層は、前記絶縁層に直接接している。
好ましくは、前記メッキ層は、前記絶縁層のうち、前記下地層よりも前記第2方向側に位置する部位に直接接している。
好ましくは、前記メッキ層は、Cu層およびSn層を有し、前記Cu層は、前記Sn層と前記抵抗体の間に介在している。
好ましくは、前記メッキ層は、Ni層を有し、前記Ni層は、前記Cu層と前記Sn層との間に介在している。
好ましくは、前記抵抗体は、前記第1方向を向く第1抵抗体側面を有し、前記下地層は、前記第1方向を向く第1下地層側面を有し、前記第1抵抗体側面は、前記第1下地層側面と面一である。
好ましくは、前記第1抵抗体側面および前記第1下地層側面は、前記メッキ層に覆われている。
好ましくは、前記抵抗体は、互いに反対側を向く抵抗体表面と抵抗体主面とを有し、前記抵抗体表面は、前記絶縁層に直接接している。
好ましくは、前記絶縁層は、互いに反対側を向く絶縁層表面および絶縁層主面を有し、前記絶縁層表面は、前記下地層に直接接している。
好ましくは、前記絶縁層は、前記抵抗体と前記第1電極との間に介在する部位、および、前記抵抗体と前記第2電極との間に介在する部位を有する。
好ましくは、前記絶縁層表面には、前記第1電極および前記第2電極が形成されている。
好ましくは、前記絶縁層表面の一部は、前記第1電極および前記第2電極から露出している。
好ましくは、前記絶縁層の熱伝導率は、1.0W/(m・K)〜5.0W/(m・K)である。
好ましくは、前記抵抗体が配置された基板を更に備える。
好ましくは、前記基板は、絶縁性の材料よりなる。
好ましくは、前記基板は、基板端面を有し、前記絶縁層は、絶縁層端面を有し、前記基板端面および前記絶縁層端面はいずれも、前記基板の厚さ方向および前記第1方向のいずれにも直交する第3方向を向いており、且つ、互いに面一となっている。
好ましくは、前記基板は、互いに反対側を向く基板表面および基板主面を有し、前記基板表面側には、前記抵抗体が配置されており、前記基板主面は露出している。
好ましくは、前記基板を構成する材料の熱伝導率よりも、前記絶縁層を構成する材料の熱伝導率は大きい。
好ましくは、前記基板および前記抵抗体の間に介在する接合層を更に備える。
好ましくは、前記接合層は、エポキシ系の材料よりなる。
好ましくは、前記抵抗体は、サーペンタイン状である。
好ましくは、前記抵抗体は、マンガニン、ゼラニン、Ni−Cr合金、Cu−Ni合金、あるいは、Fe−Cr合金よりなる。
本発明の第3の側面によると、本発明の第1の側面または第2の側面によって提供されるチップ抵抗器と、前記チップ抵抗器が実装された実装基板と、前記実装基板と前記チップ抵抗器との間に介在する導電性接合部と、を備える、チップ抵抗器の実装構造が提供される。
本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
本発明の第1実施形態にかかるチップ抵抗器の実装構造の断面図である。 図1のII−II線に沿うチップ抵抗器の矢視図(一部透視化)である。 図1、図2のIII−III線に沿うチップ抵抗器の断面図である。 図1、図2のIV−IV線に沿うチップ抵抗器の断面図である。 図2から第1メッキ層および第2メッキ層を省略した図(一部透視化)である。 図1に示したチップ抵抗器の右側面図(一部透視化)である。 図1に示したチップ抵抗器の左側面図(一部透視化)である。 図1に示したチップ抵抗器の正面図である。 図1に示したチップ抵抗器の背面図である。 図1に示したチップ抵抗器の製造方法における一工程を示す平面図である。 図10のXI−XI線に沿う断面図である。 図10に続く一工程を示す裏面図である。 図12のXIII−XIII線に沿う断面図である。 図12に続く一工程を示す裏面図である。 図14のXV−XV線に沿う断面図である。 図14に続く一工程を示す裏面図である。 図16のXVII−XVII線に沿う断面図である。 本発明の第1実施形態の第1変形例を示す断面図である。 本発明の第1実施形態の第2変形例を示す断面図である。 本発明の第2実施形態にかかるチップ抵抗器の実装構造の断面図である。 図20のXXI−XXI線に沿うチップ抵抗器の矢視図(一部透視化)である。 図20、図21のXXII−XXII線に沿うチップ抵抗器の断面図である。 図20、図21のXXIII−XXIII線に沿うチップ抵抗器の断面図である。 図21から第1メッキ層および第2メッキ層を省略した図(一部透視化)である。 図20に示したチップ抵抗器の右側面図(一部透視化)である。 図20に示したチップ抵抗器の左側面図(一部透視化)である。 図20に示したチップ抵抗器の正面図である。 図20に示したチップ抵抗器の背面図である。 図20に示したチップ抵抗器の製造方法における一工程を示す断面図である。 図29に続く一工程を示す平面図である。 図30のXXXI−XXXI線に沿う断面図である。 図30に続く一工程を示す裏面図である。 図32のXXXIII−XXXIII線に沿う断面図である。 図32に続く一工程を示す裏面図である。 図34のXXXV−XXXV線に沿う断面図である。 図34に続く一工程を示す裏面図である。 図36のXXXVII−XXXVII線に沿う断面図である。 本発明の第2実施形態の第1変形例を示す断面図である。 本発明の第2実施形態の第2変形例を示す断面図である。
以下、本発明の実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。
<第1実施形態>
図1〜図19を用いて、本発明の第1実施形態について説明する。
図1は、本発明の第1実施形態にかかるチップ抵抗器の実装構造の断面図である。
同図に示すチップ抵抗器の実装構造891は、チップ抵抗器100と、実装基板893と、導電性接合部895とを備える。
実装基板893は、たとえばプリント配線基板である。実装基板893は、たとえば、絶縁基板と、当該絶縁基板に形成されたパターン電極(図示略)とを含む。当該絶縁基板は、たとえば、ガラスエポキシ樹脂基板である。チップ抵抗器100は実装基板893に実装されている。チップ抵抗器100と、実装基板893との間には、導電性接合部895が介在している。導電性接合部895は、チップ抵抗器100と実装基板893とを接合している。導電性接合部895は、たとえばハンダよりなる。
図2は、図1のII−II線に沿うチップ抵抗器の矢視図(一部透視化)である。図3は、図1、図2のIII−III線に沿うチップ抵抗器の断面図である。図4は、図1、図2のIV−IV線に沿うチップ抵抗器の断面図である。図5は、図2から第1メッキ層および第2メッキ層を省略した図(一部透視化)である。図6は、図1に示したチップ抵抗器の右側面図(一部透視化)である。図7は、図1に示したチップ抵抗器の左側面図(一部透視化)である。図8は、図1に示したチップ抵抗器の正面図である。図9は、図1に示したチップ抵抗器の背面図である。
これらの図に示すチップ抵抗器100は、基板1と、抵抗体2と、第1電極4と、第2電極5と、絶縁層6と、を備える。
基板1は板状である。基板1は、絶縁性あるいは導電性である。基板1が絶縁性である場合、基板1を構成する材料には、たとえば、樹脂あるいはセラミックを含む。基板1を構成する材料に樹脂を含む場合、基板1を構成する樹脂は、たとえば、エポキシ樹脂である。基板1を構成する材料にセラミックを含む場合、このようなセラミックとしては、たとえば、Al23、AlN、およびSiCが挙げられる。基板1が導電性である場合、基板1を構成する材料は、たとえば、CuあるいはAgである。なお、本実施形態においては、基板1はガラスエポキシ樹脂基板である。
基板1は、基板表面11と、基板主面12と、第1基板側面13と、第2基板側面14と、第1基板端面15と、第2基板端面16と、を有する。
基板表面11と、基板主面12と、第1基板側面13と、第2基板側面14と、第1基板端面15と、第2基板端面16はいずれも、平坦である。図1に示すように、同図の上下方向を基板1の厚さ方向Z1とする。そして、図2に示すように、同図の右方向を第1方向X1とし、左方向を第2方向X2とし、上方向を第3方向X3とし、下方向を第4方向X4とする。基板1の最大厚さ(厚さ方向Z1の最大寸法)は、たとえば、60〜300μmである。厚さ方向Z1は、第1方向X1、第2方向X2、第3方向X3、第4方向X4と互いに直交する。また、第1方向X1および第2方向X2はそれぞれ、第3方向X3および第4方向X4と直交する。
なお、チップ抵抗器100の第1方向X1における寸法は、たとえば、5〜10mmであり、チップ抵抗器100の第3方向X3における寸法は、たとえば、2〜10mmである。
基板表面11および基板主面12は互いに反対側を向く。第1基板側面13は第1方向X1を向いている。第2基板側面14は第2方向X2を向いている。すなわち第1基板側面13および第2基板側面14は互いに反対側を向いている。第1基板端面15は第3方向X3を向いている。第2基板端面16は第4方向X4を向いている。すなわち第1基板端面15および第2基板端面16は互いに反対側を向いている。
上述のように本実施形態では、基板1はガラスエポキシ樹脂基板である。そのため、基板1は、ガラス繊維部191および樹脂部192を含む。
樹脂部192は、基板1の外郭形状を規定している。樹脂部192は、たとえば、エポキシ樹脂よりなる。樹脂部192は、基板表面11および基板主面12を構成している。
ガラス繊維部191はガラス繊維よりなる。具体的には、ガラス繊維部191は、ガラス繊維製の布(クロス)を重ねたものである。ガラス繊維部191は、第1基板側面13の一部、第2基板側面14の一部、第1基板端面15の一部、および、第2基板端面16の一部を構成している。
本実施形態とは異なり、基板1がガラスエポキシ樹脂基板でなくてもよい。この場合、基板1がガラス繊維部191を含んでいない。
図1に示すように、抵抗体2は基板1に配置されている。具体的には抵抗体2は基板1の基板表面11側に配置されている。抵抗体2の厚さ(厚さ方向Z1方向における寸法)は、たとえば、50〜200μmである。本実施形態では、抵抗体2は厚さ方向Z1視において、サーペンタイン状である。抵抗体2がサーペンタイン状であることは、抵抗体2の抵抗値を大きくできる点において好ましい。本実施形態とは異なり、抵抗体2がサーペンタイン状ではなく、たとえば、X1−X2方向に延びる帯状であってもよい。抵抗体2は、金属抵抗材料よりなり、このような金属抵抗材料としては、たとえば、マンガニン、ゼラニン、Ni−Cr合金、Cu−Ni合金、および、Fe−Cr合金が挙げられる。
図1、図3に示すように、抵抗体2は、抵抗体表面21と、抵抗体主面22と、第1抵抗体側面23と、第2抵抗体側面24と、を有する。抵抗体表面21と、抵抗体主面22と、第1抵抗体側面23と、第2抵抗体側面24はいずれも、平坦である。
抵抗体表面21および抵抗体主面22は互いに反対側を向いている。抵抗体表面21は、基板表面11の向く方向と同一方向(すなわち、図1の下方向)を向いている。一方、抵抗体主面22は、基板主面12の向く方向と同一方向(すなわち、図1の上方向)を向いている。抵抗体主面22は基板1の方を向いている。第1抵抗体側面23は第1方向X1を向いている。本実施形態では、第1抵抗体側面23は、第1基板側面13と面一になっている。第2抵抗体側面24は第2方向X2を向いている。本実施形態では、第2抵抗体側面24は第2基板側面14と面一になっている。
本実施形態においては、抵抗体2は、基板1に埋め込まれている。具体的には、チップ抵抗器100は、以下に述べる構成となっている。
抵抗体2は、基板表面11から基板主面12に向かって、基板表面11から基板1にめり込んでいる。厚さ方向Z1において、抵抗体2の全体は、基板1に重なっている。抵抗体2は基板1に直接接している。更に、基板1がガラスエポキシ樹脂基板である本実施形態においては、抵抗体2は、基板1におけるガラス繊維部191に直接接している。
抵抗体表面21は、基板1における基板表面11と面一となっている。このことは、抵抗体表面21および基板表面11に、後述の絶縁層6を形成するのに好適である。抵抗体主面22は、基板1に直接接している。更に、基板1がガラスエポキシ樹脂基板である本実施形態においては、抵抗体主面22は、基板1におけるガラス繊維部191に直接接している。
本実施形態とは異なり、抵抗体2と基板1とが直接接していなくてもよい。たとえば、抵抗体2と基板1との間に接合層を介した状態で、抵抗体2が基板1に埋め込まれていてもよい。抵抗体2がガラス繊維部191に直接接していなくてもよい。
絶縁層6は抵抗体2を覆っている。絶縁層6は抵抗体2および基板1に直接接している。絶縁層6は、抵抗体2における抵抗体表面21と、基板1における基板表面11と、に直接接している。絶縁層6は、抵抗体2のうち第1方向X1側の部分と、抵抗体2のうち第2方向X2側の部分と、を露出させている。絶縁層6は、たとえば熱硬化性の材料よりなる。絶縁層6の第3方向X3における寸法は、基板1の第3方向X3における寸法と同一である。絶縁層6の最大厚さ(厚さ方向Z1における最大寸法)は、たとえば、20〜60μmである。絶縁層6は、たとえば樹脂よりなる。絶縁層6は、抵抗体2にて発生した熱をチップ抵抗器100の外部に放熱しやすくするため、絶縁層6を構成する材料としては熱伝導率が大きいものを用いることが好ましい。絶縁層6の熱伝導率は、基板1を構成する材料(本実施形態では、樹脂部192を構成する材料)の熱伝導率よりも、大きいことが好ましい。絶縁層6の熱伝導率は、たとえば、1.0W/(m・K)〜5.0W/(m・K)であることが好ましい。
絶縁層6は、絶縁層表面61と、絶縁層主面62と、第1絶縁層側面63と、第2絶縁層側面64と、第1絶縁層端面65と、第2絶縁層端面66と、を有する。
絶縁層表面61および絶縁層主面62は互いに反対側を向いている。絶縁層表面61は、抵抗体表面21の向く方向と同一方向(すなわち、図1の下方向)を向いている。絶縁層表面61には、第1電極4および第2電極5が形成されている。絶縁層表面61の一部(絶縁層表面61のうち第1電極4と第2電極5とに挟まれた領域)は、第1電極4および第2電極5から露出している。絶縁層主面62は、抵抗体主面22の向く方向と同一方向(すなわち、図1の上方向)を向いている。本実施形態では、絶縁層主面62は、抵抗体2と、基板1とに直接接している。具体的には、絶縁層主面62は、抵抗体表面21と、基板表面11と、に直接接している。第1絶縁層側面63は第1方向X1を向いている。第2絶縁層側面64は第2方向X2を向いている。第1絶縁層端面65は、第3方向X3を向いている。本実施形態では、第1絶縁層端面65は、第1基板端面15と面一となっている。第2絶縁層端面66は、第4方向X4を向いている。第2絶縁層端面66は、第2基板端面16と面一となっている。
第1電極4は抵抗体2に導通している。第1電極4は、チップ抵抗器100を実装する実装基板893から抵抗体2へと電力を供給するためのものである。第1電極4は、抵抗体2に直接接している。本実施形態においては、第1電極4は、抵抗体2における抵抗体表面21に直接接している。本実施形態では更に、第1電極4は、抵抗体2における第1抵抗体側面23と、絶縁層6と、を覆っている。本実施形態では、第1電極4と抵抗体2との間には、絶縁層6が介在している。本実施形態においては更に、第1電極4は、基板主面12側を覆っていない。本実施形態とは異なり、第1電極4が基板主面12を覆っていてもよい。図1に示すように、実装構造891においては、第1電極4は、導電性接合部895に直接接しており、導電性接合部895を介して、実装基板893における配線パターン(図示略)と導通している。
第1電極4は、第1下地層41と、第1メッキ層43と、を含む。
第1下地層41は抵抗体2に直接接している。本実施形態では、第1下地層41は、絶縁層6上にメッキによって第1メッキ層43を形成するために、形成されている。第1下地層41は抵抗体表面21のうち、絶縁層6から露出した部位に直接接している。第1下地層41は、基板1の厚さ方向Z1視において、抵抗体2に重なっている。また、第1下地層41は、厚さ方向Z1において抵抗体2から離間した部位を有している。第1下地層41および抵抗体2の間には、絶縁層6が介在している。第1下地層41は、第1メッキ層43と絶縁層6との間に介在している。本実施形態では、第1下地層41の第1方向X1における寸法が大きい方が好ましい。好ましくは、第1下地層41の第1方向X1における寸法は、抵抗体2の第1方向X1における寸法の4分の1以上であり、更に好ましくは、抵抗体2の第1方向X1における寸法の3分の1以上である。第1下地層41の第1方向X1における寸法は、たとえば、600〜3200μmである。第1下地層41の厚さは、抵抗体2の厚さよりも薄い。第1下地層41は、PVD(Physical Vapor Deposition)、CVD(Chemical Vapor Deposition)、あるいは印刷によって形成するとよい。本実施形態では、第1下地層41は、PVDのうちのスパッタリングにより形成される。第1下地層41の厚さは、たとえば、100〜500nmである。第1下地層41は、たとえば、NiやCrを含む。
第1下地層41は、第1下地層側面413を有している。第1下地層側面413は第1方向X1を向いている。本実施形態では、第1下地層側面413は、第1基板側面13および第1抵抗体側面23と面一となっている。
第1メッキ層43は、第1下地層41を直接覆っている。第1メッキ層43は、抵抗体2に形成されている。第1メッキ層43は、絶縁層6に直接接している。第1メッキ層43は、絶縁層6のうち、第1下地層41よりも第2方向X2側に位置する部位に、直接接している。実装基板893に実装される前のチップ抵抗器100においては、第1メッキ層43は外部に露出している。そのため、図1に示すように、実装構造891においては、第1メッキ層43は、導電性接合部895に直接接しており、導電性接合部895を介して、実装基板893における配線パターン(図示略)と導通している。なお、本実施形態では、第1メッキ層43は、抵抗体2における第1抵抗体側面23を覆っている。このことは、導電性接合部895にハンダフィレットを形成できる点において好ましい。
本実施形態においては具体的には、第1メッキ層43は、Cu層43aと、Ni層43bと、Sn層43cと、を有する。Cu層43aは第1下地層41を直接覆っている。Ni層43bは、Cu層43aを直接覆っている。Sn層43cは、Ni層43bを直接覆っている。Sn層43cは外部に露出している。チップ抵抗器100の実装構造891においては、Sn層43cには導電性接合部895(本実施形態ではハンダ)が付着する。Cu層43aの厚さは、たとえば10〜50μmであり、Ni層43bの厚さは、たとえば1〜10μmであり、Sn層43cの厚さは、たとえば1〜10μmである。本実施形態とは異なり、第1メッキ層43はNi層43bを含んでいなくてもよい。
第2電極5は、第1電極4に対し第2方向X2側に位置している。第2電極5は抵抗体2に導通している。第2電極5は、チップ抵抗器100を実装する実装基板893から抵抗体2へと電力を供給するためのものである。第2電極5は、抵抗体2に直接接している。本実施形態においては、第2電極5は、抵抗体2における抵抗体表面21に直接接している。本実施形態では更に、第2電極5は、抵抗体2における第2抵抗体側面24と、絶縁層6と、を覆っている。本実施形態では、第2電極5と抵抗体2との間には、絶縁層6が介在している。本実施形態においては更に、第2電極5は、基板主面12側を覆っていない。本実施形態とは異なり、第2電極5が基板主面12を覆っていてもよい。図1に示すように、実装構造891においては、第2電極5は、導電性接合部895に直接接しており、導電性接合部895を介して、実装基板893における配線パターン(図示略)と導通している。
第2電極5は、第2下地層51と、第2メッキ層53と、を含む。
第2下地層51は抵抗体2に直接接している。本実施形態では、第2下地層51は、絶縁層6上にメッキによって第2メッキ層53を形成するために、形成されている。第2下地層51は抵抗体表面21のうち、絶縁層6から露出した部位に直接接している。第2下地層51および抵抗体2の間には、絶縁層6が介在している。第2下地層51は、第2メッキ層53と絶縁層6との間に介在している。本実施形態では、第2下地層51の第2方向X2における寸法が大きい方が好ましい。好ましくは、第2下地層51の第2方向X2における寸法は、抵抗体2の第2方向X2における寸法の4分の1以上であり、更に好ましくは、抵抗体2の第2方向X2における寸法の3分の1以上である。第2下地層51の第2方向X2における寸法は、たとえば、600〜3200μmである。第2下地層51の厚さは、抵抗体2の厚さよりも薄い。第2下地層51は、PVD(Physical Vapor Deposition)、CVD(Chemical Vapor Deposition)、あるいは印刷によって形成するとよい。本実施形態では、第2下地層51は、PVDのうちのスパッタリングにより形成される。第2下地層51の厚さは、たとえば、0.5〜1.0nmである。第2下地層51は、たとえば、NiやCrを含む。
第2下地層51は、第2下地層側面514を有している。第2下地層側面514は第2方向X2を向いている。本実施形態では、第2下地層側面514は、第2基板側面14および第2抵抗体側面24と面一となっている。
第2メッキ層53は、第2下地層51を直接覆っている。第2メッキ層53は、抵抗体2に形成されている。第2メッキ層53は、絶縁層6に直接接している。第2メッキ層53は、絶縁層6のうち、第2下地層51よりも第1方向X1側に位置する部位に、直接接している。実装基板893に実装される前のチップ抵抗器100においては、第2メッキ層53は外部に露出している。そのため、図1に示すように、実装構造891においては、第2メッキ層53は、導電性接合部895に直接接しており、導電性接合部895を介して、実装基板893における配線パターン(図示略)と導通している。なお、本実施形態では、第2メッキ層53は、抵抗体2における第2抵抗体側面24を覆っている。このことは、導電性接合部895にハンダフィレットを形成できる点において好ましい。
本実施形態においては具体的には、第2メッキ層53は、Cu層53aと、Ni層53bと、Sn層53cと、を有する。Cu層53aは第2下地層51を直接覆っている。Ni層53bは、Cu層53aを直接覆っている。Sn層53cは、Ni層53bを直接覆っている。Sn層53cは外部に露出している。チップ抵抗器100の実装構造891においては、Sn層53cには導電性接合部895(本実施形態ではハンダ)が付着する。Cu層53aの厚さは、たとえば10〜50μmであり、Ni層53bの厚さは、たとえば1〜10μmであり、Sn層53cの厚さは、たとえば1〜10μmである。本実施形態とは異なり、第2メッキ層53はNi層53bを含んでいなくてもよい。
次に、チップ抵抗器100の製造方法について簡単に説明する。
まず、図10、図11に示すように、集合シート850を用意する。集合シート850は、基板シート810および抵抗集合体820を含んでいる。本実施形態では、集合シート850は、抵抗集合体820が基板シート810に埋め込まれた状態に形成されている。集合シート850は、たとえば、真空プレスを用いて形成される。集合シート850においては、抵抗集合体820は基板シート810に完全に固定されている。
なお、基板シート810は、上述の基板1になるものである。抵抗集合体820は、上述の抵抗体2になるものである。そのため、集合シート850においては、抵抗集合体820は、ガラス繊維部191に直接接している。
また、抵抗集合体820は、上述の抵抗体2となるべき部分を複数有している。本実施形態では、サーペンタイン状の抵抗体2を形成するべく、予め、エッチングあるいは打ち抜き金型で抵抗集合体820に複数のサーペンタイン状の部分が形成されている。
次に、抵抗集合体820における抵抗体2の抵抗値の調整を行う。抵抗体2の抵抗値の調整は、たとえば、抵抗集合体820を研削することにより行う。
次に、図12、図13に示すように、絶縁膜860を形成する。絶縁膜860は、上述の絶縁層6になるものである。絶縁膜860は、一方向に沿って延びる複数の帯状に形成される。絶縁膜860は、たとえば印刷あるいは塗布によって形成される。絶縁膜860からは、抵抗集合体820の一部が露出している。
次に、図14、図15に示すように、抵抗集合体820上に導電性材料840を積層させる。導電性材料840は、上述の第1下地層41あるいは第2下地層51になるものである。導電性材料840を積層させる工程は、PVDあるいはCVDを用いる、導電性材料840を積層させるために用いるPVDとしては、たとえばスパッタリングが挙げられる。本実施形態においては、導電性材料840を積層させる工程では、導電性材料840を、絶縁膜860の延びる方向に沿って帯状となるように積層させる。そのため、積層された導電性材料840からは、絶縁膜860の一部が露出している。なお、導電性材料840を帯状となるように積層させるには、たとえば、マスキングを行うとよい。導電性材料840は、たとえば、NiやCrである。
次に、図16、図17に示すように、抵抗集合体820を切断することにより、複数の固片886が得られる。本実施形態では、集合シート850(抵抗集合体820および基板シート810)が一括して切断される。固片886を得るには、たとえば、打ち抜きあるいはダイシングを行う。本実施形態では、固片886を得るために打ち抜きを行う。
固片886を得る際の切断によって、上述の第1基板側面13、第2基板側面14、第1基板端面15、第2基板端面16、第1抵抗体側面23、第2抵抗体側面24、第1下地層側面413、第2下地層側面514、第1絶縁層端面65、および第2絶縁層端面66が形成される。基板シート810、および抵抗集合体820等が同時に切断されることによって、上述の第1基板側面13と、第1抵抗体側面23と、第1下地層側面413と、が面一となる。同様に、基板シート810、および抵抗集合体820等が同時に切断されることによって、上述の第2基板側面14と、第2抵抗体側面24と、第2下地層側面514と、が面一となる。同様に、この切断によって、上述の第1基板端面15と、第1絶縁層端面65と、が面一となる。同様に、この切断によって、上述の第2基板端面16と、第2絶縁層端面66と、が面一となる。
次に、固片886に、図1に示した第1メッキ層43(Cu層43a、Ni層43b、およびSn層43c)、および、第2メッキ層53(Cu層53a、Ni層53b、およびSn層53c)を形成する。第1メッキ層43および第2メッキ層53を形成するには、たとえばバレルメッキを用いる。以上の工程を経ることにより、チップ抵抗器100の製造が完成する。
次に、本実施形態の作用効果について説明する。
本実施形態においては、抵抗体2が、基板1に埋め込まれている。このような構成によれば、基板1の厚さ方向Z1における、基板1および抵抗体2の集合体の全体寸法を小さくすることが可能となる。これにより、チップ抵抗器100の薄型化が可能となる。
また、チップ抵抗器100を製造する際には、抵抗集合体820が基板シート810に埋め込まれている集合シート850を用いることができる。そのため、チップ抵抗器100を製造するためには、集合シート850を用意すればよく、抵抗集合体820を基板シート810に貼り付ける手間を削減できる。これは、チップ抵抗器100の製造の効率化に資する。
本実施形態においては、絶縁層6の熱伝導率は、1.0W/(m・K)〜5.0W/(m・K)であり、比較的大きい。このような構成によると、抵抗体2にて発生した熱を、絶縁層6を経由して、チップ抵抗器100の外部に放出させやすい。したがって、チップ抵抗器100が過度に高温となることを防止できる。
本実施形態においては、第1電極4は、抵抗体2に直接接する第1下地層41と、第1下地層41を覆う第1メッキ層43と、を含む。絶縁層6は、第1下地層41と抵抗体2との間に介在している。このような構成によると、絶縁層6の上に第1メッキ層43を形成しやすい。そのため、第1電極4の面積を大きくすることができる。第1電極4の面積を大きくすることができると、抵抗体2にて発生した熱を、第1電極4を介して、実装基板893に放出させやすくなる。すなわち、チップ抵抗器100の放熱性の向上を図ることができる。
本実施形態においては、基板1は、絶縁性の材料よりなる。このような構成では、比較的厚さの厚いCu電極を用いる必要がない。そのため、Cu電極を加工する手間を削減できる。これは、チップ抵抗器100の製造の効率化に資する。
本実施形態では、基板1および実装基板893はいずれも、ガラスエポキシ樹脂基板である。このような構成では、基板1および実装基板893の各々の熱膨張率は、ほぼ同一である。そのため、チップ抵抗器100の使用中に基板1が熱膨張したとしても、実装基板893も同様の割合で熱膨張すると考えられる。したがって、チップ抵抗器100の使用中に、熱膨張の影響によって生じうる不具合(たとえば、チップ抵抗器100が折れる)を防止できる。
<第1実施形態の第1変形例>
図18を用いて、本発明の第1実施形態の第1変形例について説明する。
図18は、本発明の第1実施形態の第1変形例を示す断面図である。
同図に示すチップ抵抗器101は、抵抗体2の第1抵抗体側面23と、抵抗体2の第2抵抗体側面24とが、基板1に覆われている点において、チップ抵抗器100と主に相違する。その他の点に関しては、チップ抵抗器100と同様であるから、説明を省略する。
チップ抵抗器101によっても、チップ抵抗器100に関して述べたのと同様の作用効果を奏する。
<第1実施形態の第2変形例>
図19を用いて、本発明の第1実施形態の第2変形例について説明する。
図19は、本発明の第1実施形態の第2変形例を示す断面図である。
同図に示すチップ抵抗器102は、第1メッキ層43が、第1下地層41の第1下地層側面413と面一の面を有している点、および、第2メッキ層53が、第2下地層51の第2下地層側面514と面一の面を有している点において、チップ抵抗器100と主に相違する。その他の点に関しては、チップ抵抗器100と同様であるから、説明を省略する。なお、チップ抵抗器102を製造するには、図16、図17を参照して説明した、集合シート850の切断工程の前に、メッキ層を形成しておく。
チップ抵抗器102によっても、チップ抵抗器100に関して述べたのと同様の作用効果を奏する。
<第2実施形態>
図20〜図39を用いて、本発明の第2実施形態について説明する。
図20は、本発明の第2実施形態にかかるチップ抵抗器の実装構造の断面図である。
同図に示すチップ抵抗器の実装構造892は、チップ抵抗器200と、実装基板893と、導電性接合部895とを備える。
実装基板893と、導電性接合部895と、については、第1実施形態で述べた説明を適用できるから、本実施形態では説明を省略する。
図21は、図20のXXI−XXI線に沿うチップ抵抗器の矢視図(一部透視化)である。図22は、図20、図21のXXII−XXII線に沿うチップ抵抗器の断面図である。図23は、図20、図21のXXIII−XXIII線に沿うチップ抵抗器の断面図である。図24は、図21から第1メッキ層および第2メッキ層を省略した図(一部透視化)である。図25は、図20に示したチップ抵抗器の右側面図(一部透視化)である。図26は、図20に示したチップ抵抗器の左側面図(一部透視化)である。図27は、図20に示したチップ抵抗器の正面図である。図28は、図20に示したチップ抵抗器の背面図である。
これらの図に示すチップ抵抗器200は、基板1と、抵抗体2と、接合層3と、第1電極4と、第2電極5と、絶縁層6と、を備える。
基板1は板状である。基板1は、絶縁性あるいは導電性である。基板1が絶縁性である場合、基板1を構成する材料には、たとえば、樹脂あるいはセラミックを含む。基板1を構成する材料に樹脂を含む場合、基板1を構成する樹脂は、たとえば、エポキシ樹脂である。基板1を構成する材料にセラミックを含む場合、このようなセラミックとしては、たとえば、Al23、AlN、およびSiCが挙げられる。基板1が導電性である場合、基板1を構成する材料は、たとえば、CuあるいはAgである。なお、本実施形態においては、基板1はガラスエポキシ樹脂基板である。
基板1は、基板表面11と、基板主面12と、第1基板側面13と、第2基板側面14と、第1基板端面15と、第2基板端面16と、を有する。
基板表面11と、基板主面12と、第1基板側面13と、第2基板側面14と、第1基板端面15と、第2基板端面16はいずれも、平坦である。図20に示すように、同図の上下方向を基板1の厚さ方向Z1とする。そして、図21に示すように、同図の右方向を第1方向X1とし、左方向を第2方向X2とし、上方向を第3方向X3とし、下方向を第4方向X4とする。基板1の最大厚さ(厚さ方向Z1の最大寸法)は、たとえば、60〜300μmである。厚さ方向Z1は、第1方向X1、第2方向X2、第3方向X3、第4方向X4と互いに直交する。また、第1方向X1および第2方向X2はそれぞれ、第3方向X3および第4方向X4と直交する。
なお、チップ抵抗器200の第1方向X1における寸法は、たとえば、5〜10mmであり、チップ抵抗器200の第3方向X3における寸法は、たとえば、2〜10mmである。
基板表面11および基板主面12は互いに反対側を向く。第1基板側面13は第1方向X1を向いている。第2基板側面14は第2方向X2を向いている。すなわち第1基板側面13および第2基板側面14は互いに反対側を向いている。第1基板端面15は第3方向X3を向いている。第2基板端面16は第4方向X4を向いている。すなわち第1基板端面15および第2基板端面16は互いに反対側を向いている。
図20に示すように、抵抗体2は基板1に配置されている。具体的には抵抗体2は基板1の基板表面11側に配置されている。抵抗体2の厚さ(厚さ方向Z1方向における寸法)は、たとえば、50〜200μmである。本実施形態では、抵抗体2は厚さ方向Z1視において、サーペンタイン状である。抵抗体2がサーペンタイン状であることは、抵抗体2の抵抗値を大きくできる点において好ましい。本実施形態とは異なり、抵抗体2がサーペンタイン状ではなく、たとえば、X1−X2方向に延びる帯状であってもよい。抵抗体2は、金属抵抗材料よりなり、このような金属抵抗材料としては、たとえば、マンガニン、ゼラニン、Ni−Cr合金、Cu−Ni合金、および、Fe−Cr合金が挙げられる。
図21、図22に示すように、抵抗体2は、抵抗体表面21と、抵抗体主面22と、第1抵抗体側面23と、第2抵抗体側面24と、を有する。抵抗体表面21と、抵抗体主面22と、第1抵抗体側面23と、第2抵抗体側面24はいずれも、平坦である。
抵抗体表面21および抵抗体主面22は互いに反対側を向いている。抵抗体表面21は、基板表面11の向く方向と同一方向(すなわち、図20の下方向)を向いている。一方、抵抗体主面22は、基板主面12の向く方向と同一方向(すなわち、図20の上方向)を向いている。抵抗体主面22は基板1の方を向いている。第1抵抗体側面23は第1方向X1を向いている。本実施形態では、第1抵抗体側面23は、第1基板側面13と面一になっている。第2抵抗体側面24は第2方向X2を向いている。本実施形態では、第2抵抗体側面24は第2基板側面14と面一になっている。
接合層3は基板1および抵抗体2の間に介在している。具体的には、接合層3は基板1における基板表面11と、抵抗体2との間に介在している。接合層3は、抵抗体2を基板表面11に接合している。接合層3は絶縁性の材料よりなることが好ましい。このような絶縁性の材料としては、エポキシ系の材料が挙げられる。接合層3の厚さ(厚さ方向Z1における寸法)は、たとえば、30〜100μmである。図20、図22に示すように、本実施形態においては、接合層3は基板表面11の全面を覆っている。
本実施形態とは異なり、接合層3が基板表面11の一部のみに形成されていてもよい。たとえば、接合層3が、基板表面11のうち抵抗体2と重なる領域のみに形成されていてもよい。
図20、図22に示すように、接合層3は、互いに反対側を向く接合層表面31および接合層主面32を有する。接合層表面31は、基板表面11の向く方向と同一方向(すなわち、図20の下方向)を向いている。接合層表面31は抵抗体2に直接接している。接合層主面32は基板1に直接接している。
絶縁層6は抵抗体2を覆っている。絶縁層6は、接合層3を介して抵抗体2および基板1に配置されている。絶縁層6は、抵抗体2における抵抗体表面21に直接接している。絶縁層6は、抵抗体2のうち第1方向X1側の部分と、抵抗体2のうち第2方向X2側の部分と、を露出させている。絶縁層6は、たとえば熱硬化性の材料よりなる。絶縁層6の第3方向X3における寸法は、基板1の第3方向X3における寸法と同一である。絶縁層6の最大厚さ(厚さ方向Z1における最大寸法)は、たとえば、60〜150μmである。絶縁層6は、たとえば樹脂よりなる。絶縁層6は、抵抗体2にて発生した熱をチップ抵抗器200の外部に放熱しやすくするため、絶縁層6を構成する材料としては熱伝導率が大きいものを用いることが好ましい。絶縁層6の熱伝導率は、基板1を構成する材料の熱伝導率よりも、大きいことが好ましい。絶縁層6の熱伝導率は、たとえば、1.0W/(m・K)〜5.0W/(m・K)であることが好ましい。
絶縁層6は、絶縁層表面61と、絶縁層主面62と、第1絶縁層側面63と、第2絶縁層側面64と、第1絶縁層端面65と、第2絶縁層端面66と、を有する。
絶縁層表面61および絶縁層主面62は互いに反対側を向いている。絶縁層表面61は、抵抗体表面21の向く方向と同一方向(すなわち、図20の下方向)を向いている。絶縁層表面61には、第1電極4および第2電極5が形成されている。絶縁層表面61の一部(絶縁層表面61のうち第1電極4と第2電極5とに挟まれた領域)は、第1電極4および第2電極5から露出している。絶縁層主面62は、抵抗体主面22の向く方向と同一方向(すなわち、図20の上方向)を向いている。本実施形態では、接合層3に直接接している。具体的には、絶縁層主面62は、接合層表面31に直接接している。第1絶縁層側面63は第1方向X1を向いている。第2絶縁層側面64は第2方向X2を向いている。第1絶縁層端面65は、第3方向X3を向いている。本実施形態では、第1絶縁層端面65は、第1基板端面15と面一となっている。第2絶縁層端面66は、第4方向X4を向いている。第2絶縁層端面66は、第2基板端面16と面一となっている。
第1電極4は抵抗体2に導通している。第1電極4は、チップ抵抗器200を実装する実装基板893から抵抗体2へと電力を供給するためのものである。第1電極4は、抵抗体2に直接接している。本実施形態においては、第1電極4は、抵抗体2における抵抗体表面21に直接接している。本実施形態では更に、第1電極4は、抵抗体2における第1抵抗体側面23と、絶縁層6と、を覆っている。本実施形態では、第1電極4と抵抗体2との間には、絶縁層6が介在している。本実施形態においては更に、第1電極4は、基板主面12側を覆っていない。本実施形態とは異なり、第1電極4が基板主面12を覆っていてもよい。図20に示すように、実装構造892においては、第1電極4は、導電性接合部895に直接接しており、導電性接合部895を介して、実装基板893における配線パターン(図示略)と導通している。
図20に示すように、第1電極4は、第1下地層41と、第1メッキ層43と、を含む。
第1下地層41は抵抗体2に直接接している。本実施形態では、第1下地層41は、絶縁層6上にメッキによって第1メッキ層43を形成するために、形成されている。第1下地層41は抵抗体表面21のうち、絶縁層6から露出した部位に直接接している。第1下地層41は、基板1の厚さ方向Z1視において、抵抗体2に重なっている。また、第1下地層41は、厚さ方向Z1において抵抗体2から離間した部位を有している。第1下地層41および抵抗体2の間には、絶縁層6が介在している。第1下地層41は、第1メッキ層43と絶縁層6との間に介在している。本実施形態では、第1下地層41の第1方向X1における寸法が大きい方が好ましい。好ましくは、第1下地層41の第1方向X1における寸法は、抵抗体2の第1方向X1における寸法の4分の1以上であり、更に好ましくは、抵抗体2の第1方向X1における寸法の3分の1以上である。第1下地層41の第1方向X1における寸法は、たとえば、600〜3200μmである。第1下地層41の厚さは、抵抗体2の厚さよりも薄い。第1下地層41は、PVD(Physical Vapor Deposition)、CVD(Chemical Vapor Deposition)、あるいは印刷によって形成するとよい。本実施形態では、第1下地層41は、PVDのうちのスパッタリングにより形成される。第1下地層41の厚さは、たとえば、0.5〜1.0nmである。第1下地層41は、たとえば、NiやCrを含む。
第1下地層41は、第1下地層側面413を有している。第1下地層側面413は第1方向X1を向いている。本実施形態では、第1下地層側面413は、第1基板側面13および第1抵抗体側面23と面一となっている。
第1メッキ層43は、第1下地層41を直接覆っている。第1メッキ層43は、抵抗体2に形成されている。第1メッキ層43は、絶縁層6に直接接している。第1メッキ層43は、絶縁層6のうち、第1下地層41よりも第2方向X2側に位置する部位に、直接接している。実装基板893に実装される前のチップ抵抗器200においては、第1メッキ層43は外部に露出している。そのため、図20に示すように、実装構造892においては、第1メッキ層43は、導電性接合部895に直接接しており、導電性接合部895を介して、実装基板893における配線パターン(図示略)と導通している。なお、本実施形態では、第1メッキ層43は、抵抗体2における第1抵抗体側面23を覆っている。このことは、導電性接合部895にハンダフィレットを形成できる点において好ましい。
本実施形態においては具体的には、第1メッキ層43は、Cu層43aと、Ni層43bと、Sn層43cと、を有する。Cu層43aは第1下地層41を直接覆っている。Ni層43bは、Cu層43aを直接覆っている。Sn層43cは、Ni層43bを直接覆っている。Sn層43cは外部に露出している。チップ抵抗器200の実装構造892においては、Sn層43cには導電性接合部895(本実施形態ではハンダ)が付着する。Cu層43aの厚さは、たとえば10〜50μmであり、Ni層43bの厚さは、たとえば1〜10μmであり、Sn層43cの厚さは、たとえば1〜10μmである。本実施形態とは異なり、第1メッキ層43はNi層43bを含んでいなくてもよい。
第2電極5は、第1電極4に対し第2方向X2側に位置している。第2電極5は抵抗体2に導通している。第2電極5は、チップ抵抗器200を実装する実装基板893から抵抗体2へと電力を供給するためのものである。第2電極5は、抵抗体2に直接接している。本実施形態においては、第2電極5は、抵抗体2における抵抗体表面21に直接接している。本実施形態では更に、第2電極5は、抵抗体2における第2抵抗体側面24と、絶縁層6と、を覆っている。本実施形態では、第2電極5と抵抗体2との間には、絶縁層6が介在している。本実施形態においては更に、第2電極5は、基板主面12側を覆っていない。本実施形態とは異なり、第2電極5が基板主面12を覆っていてもよい。図20に示すように、実装構造892においては、第2電極5は、導電性接合部895に直接接しており、導電性接合部895を介して、実装基板893における配線パターン(図示略)と導通している。
図20に示すように、第2電極5は、第2下地層51と、第2メッキ層53と、を含む。
第2下地層51は抵抗体2に直接接している。本実施形態では、第2下地層51は、絶縁層6上にメッキによって第2メッキ層53を形成するために、形成されている。第2下地層51は抵抗体表面21のうち、絶縁層6から露出した部位に直接接している。第2下地層51および抵抗体2の間には、絶縁層6が介在している。第2下地層51は、第2メッキ層53と絶縁層6との間に介在している。本実施形態では、第2下地層51の第2方向X2における寸法が大きい方が好ましい。好ましくは、第2下地層51の第2方向X2における寸法は、抵抗体2の第2方向X2における寸法の4分の1以上であり、更に好ましくは、抵抗体2の第2方向X2における寸法の3分の1以上である。第2下地層51の第2方向X2における寸法は、たとえば、600〜3200μmである。第2下地層51の厚さは、抵抗体2の厚さよりも薄い。第2下地層51は、PVD(Physical Vapor Deposition)、CVD(Chemical Vapor Deposition)、あるいは印刷によって形成するとよい。本実施形態では、第2下地層51は、PVDのうちのスパッタリングにより形成される。第2下地層51の厚さは、たとえば、0.5〜1.0nmである。第2下地層51は、たとえば、NiやCrを含む。
第2下地層51は、第2下地層側面514を有している。第2下地層側面514は第2方向X2を向いている。本実施形態では、第2下地層側面514は、第2基板側面14および第2抵抗体側面24と面一となっている。
第2メッキ層53は、第2下地層51を直接覆っている。第2メッキ層53は、抵抗体2に形成されている。第2メッキ層53は、絶縁層6に直接接している。第2メッキ層53は、絶縁層6のうち、第2下地層51よりも第1方向X1側に位置する部位に、直接接している。実装基板893に実装される前のチップ抵抗器200においては、第2メッキ層53は外部に露出している。そのため、図20に示すように、実装構造892においては、第2メッキ層53は、導電性接合部895に直接接しており、導電性接合部895を介して、実装基板893における配線パターン(図示略)と導通している。なお、本実施形態では、第2メッキ層53は、抵抗体2における第2抵抗体側面24を覆っている。このことは、導電性接合部895にハンダフィレットを形成できる点において好ましい。
本実施形態においては具体的には、第2メッキ層53は、Cu層53aと、Ni層53bと、Sn層53cと、を有する。Cu層53aは第2下地層51を直接覆っている。Ni層53bは、Cu層53aを直接覆っている。Sn層53cは、Ni層53bを直接覆っている。Sn層53cは外部に露出している。チップ抵抗器200の実装構造892においては、Sn層53cには導電性接合部895(本実施形態ではハンダ)が付着する。Cu層53aの厚さは、たとえば10〜50μmであり、Ni層53bの厚さは、たとえば1〜10μmであり、Sn層53cの厚さは、たとえば1〜10μmである。本実施形態とは異なり、第2メッキ層53はNi層53bを含んでいなくてもよい。
次に、チップ抵抗器200の製造方法について簡単に説明する。
まず、図29に示すように、基板シート810を用意する。基板シート810は上述の基板1になるものである。基板シート810は絶縁材料よりなる。基板シート810はセラミックあるいは樹脂よりなる。セラミックとしては、たとえば、Al23、AlN、およびSiCが挙げられる。基板シート810は、互いに反対側を向くシート表面811およびシート裏面812を有する。
次に、図30、図31に示すように、基板シート810のシート表面811に接合材830を接合する。接合材830は、上述の接合層3になるものである。本実施形態においては接合材830は熱伝導性の接着シートである。そして、図31に示した状態では、基板シート810のシート表面811に接合材830が仮熱圧着されている。
次に、図30、図31に示すように、シート表面811に、接合材830によって、抵抗集合体820を接合する。本実施形態では、図30、図31に示した状態では、抵抗集合体820は接合材830に仮圧着されている。抵抗集合体820は、上述の抵抗体2となるべき部分を複数有している。本実施形態では、サーペンタイン状の抵抗体2を形成するべく、抵抗集合体820をシート表面811に接合する前に、エッチングあるいは打ち抜き金型で抵抗集合体820に複数のサーペンタイン状の部分が形成されている。次に、抵抗集合体820にトリミング処理を施す(図示略)。抵抗体2の抵抗値の調整のためである。トリミング処理はたとえば、レーザや、サンドブラストや、ダイサーや、グラインダー等を用いて行われる。
本実施形態とは異なり、基板シート810のシート表面811に抵抗集合体820を接合するのに、接合材830としてシート状の部材を用いずに、液状の接着剤を用いてもよい。
次に、図32、図33に示すように、絶縁膜860を形成する。絶縁膜860は、上述の絶縁層6になるものである。絶縁膜860は、一方向に沿って延びる複数の帯状に形成される。絶縁膜860は、たとえば印刷あるいは塗布によって形成される。絶縁膜860からは、抵抗集合体820の一部が露出している。
次に、図34、図35に示すように、抵抗集合体820上に導電性材料840を積層させる。導電性材料840は、上述の第1下地層41あるいは第2下地層51になるものである。導電性材料840を積層させる工程は、PVDあるいはCVDを用いる、導電性材料840を積層させるために用いるPVDとしては、たとえばスパッタリングが挙げられる。本実施形態においては、導電性材料840を積層させる工程では、導電性材料840を、絶縁膜860の延びる方向に沿って帯状となるように積層させる。そのため、積層された導電性材料840からは、絶縁膜860の一部が露出している。なお、導電性材料840を帯状となるように積層させるには、たとえば、マスキングを行うとよい。導電性材料840は、たとえば、NiやCrである。
次に、図36、図37に示すように、抵抗集合体820を切断することにより、複数の固片886が得られる。本実施形態では、抵抗集合体820および基板シート810が一括して切断される。固片886を得るには、たとえば、打ち抜きあるいはダイシングを行う。本実施形態では、固片886を得るために打ち抜きを行う。
固片886を得る際の切断によって、上述の第1基板側面13、第2基板側面14、第1基板端面15、第2基板端面16、第1抵抗体側面23、第2抵抗体側面24、第1下地層側面413、第2下地層側面514、第1絶縁層端面65、および第2絶縁層端面66が形成される。基板シート810、および抵抗集合体820等が同時に切断されることによって、上述の第1基板側面13と、第1抵抗体側面23と、第1下地層側面413と、が面一となる。同様に、基板シート810、および抵抗集合体820等が同時に切断されることによって、上述の第2基板側面14と、第2抵抗体側面24と、第2下地層側面514と、が面一となる。同様に、この切断によって、上述の第1基板端面15と、第1絶縁層端面65と、が面一となる。同様に、この切断によって、上述の第2基板端面16と、第2絶縁層端面66と、が面一となる。
次に、固片886に、図20に示した第1メッキ層43(Cu層43a、Ni層43b、およびSn層43c)、および、第2メッキ層53(Cu層53a、Ni層53b、およびSn層53c)を形成する。第1メッキ層43および第2メッキ層53を形成するには、たとえばバレルメッキを用いる。以上の工程を経ることにより、チップ抵抗器200の製造が完成する。
次に、本実施形態の作用効果について説明する。
本実施形態においては、絶縁層6の熱伝導率は、1.0W/(m・K)〜5.0W/(m・K)であり、比較的大きい。このような構成によると、抵抗体2にて発生した熱を、絶縁層6を経由して、チップ抵抗器200の外部に放出させやすい。したがって、チップ抵抗器200が過度に高温となることを防止できる。
本実施形態においては、第1電極4は、抵抗体2に直接接する第1下地層41と、第1下地層41を覆う第1メッキ層43と、を含む。絶縁層6は、第1下地層41と抵抗体2との間に介在している。このような構成によると、絶縁層6の上に第1メッキ層43を形成しやすい。そのため、第1電極4の面積を大きくすることができる。第1電極4の面積を大きくすることができると、抵抗体2にて発生した熱を、第1電極4を介して、実装基板893に放出させやすくなる。すなわち、チップ抵抗器200の放熱性の向上を図ることができる。これにより、チップ抵抗器200が過度に高温となることを防止できる。
本実施形態においては、基板1は、絶縁性の材料よりなる。このような構成では、比較的厚さの厚いCu電極を用いる必要がない。そのため、Cu電極を加工する手間を削減できる。これは、チップ抵抗器200の製造の効率化に資する。
本実施形態では、基板1および実装基板893はいずれも、ガラスエポキシ樹脂基板である。このような構成では、基板1および実装基板893の各々の熱膨張率は、ほぼ同一である。そのため、チップ抵抗器200の使用中に基板1が熱膨張したとしても、実装基板893も同様の割合で熱膨張すると考えられる。したがって、チップ抵抗器200の使用中に、熱膨張の影響によって生じうる不具合(たとえば、チップ抵抗器200が折れる)を防止できる。
<第2実施形態の第1変形例>
図38を用いて、本発明の第2実施形態の第1変形例について説明する。
図38は、本発明の第2実施形態の第1変形例を示す断面図である。
同図に示すチップ抵抗器201は、抵抗体2の第1抵抗体側面23と、抵抗体2の第2抵抗体側面24とが、基板1に覆われている点において、チップ抵抗器200と主に相違する。その他の点に関しては、チップ抵抗器200と同様であるから、説明を省略する。
チップ抵抗器201によっても、チップ抵抗器200に関して述べたのと同様の作用効果を奏する。
<第2実施形態の第2変形例>
図39を用いて、本発明の第2実施形態の第2変形例について説明する。
図39は、本発明の第2実施形態の第2変形例を示す断面図である。
同図に示すチップ抵抗器202は、第1メッキ層43が、第1下地層41の第1下地層側面413と面一の面を有している点、および、第2メッキ層53が、第2下地層51の第2下地層側面514と面一の面を有している点において、チップ抵抗器200と主に相違する。その他の点に関しては、チップ抵抗器200と同様であるから、説明を省略する。なお、チップ抵抗器202を製造するには、図36、図37を参照して説明した、基板1シート810および抵抗集合体820の切断工程の前に、メッキ層を形成しておく。
チップ抵抗器202によっても、チップ抵抗器200に関して述べたのと同様の作用効果を奏する。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。
1 基板
100,101,102,200,201,202 チップ抵抗器
11 基板表面
12 基板主面
13 第1基板側面
14 第2基板側面
15 第1基板端面
16 第2基板端面
191 ガラス繊維部
192 樹脂部
2 抵抗体
21 抵抗体表面
22 抵抗体主面
23 第1抵抗体側面
24 第2抵抗体側面
3 接合層
31 接合層表面
32 接合層主面
4 第1電極
41 第1下地層
413 第1下地層側面
43 第1メッキ層
43a Cu層
43b Ni層
43c Sn層
5 第2電極
51 第2下地層
514 第2下地層側面
53 第2メッキ層
53a Cu層
53b Ni層
53c Sn層
6 絶縁層
61 絶縁層表面
62 絶縁層主面
63 第1絶縁層側面
64 第2絶縁層側面
65 第1絶縁層端面
66 第2絶縁層端面
810 基板シート
811 シート表面
812 シート裏面
820 抵抗集合体
830 接合材
840 導電性材料
850 集合シート
860 絶縁膜
886 固片
891,892 実装構造
893 実装基板
895 導電性接合部
X1 第1方向
X2 第2方向
X3 第3方向
X4 第4方向
Z1 厚さ方向

Claims (11)

  1. 基板と、
    抵抗体と、
    前記基板および前記抵抗体の間に介在する接合層と、
    前記抵抗体を覆う絶縁層と、
    前記基板の厚さ方向において前記絶縁層に対して前記基板とは反対側に位置し、且つ前記抵抗体に導通している第1電極と、
    前記基板の厚さ方向において前記絶縁層に対して前記基板とは反対側に位置し、且つ前記抵抗体に導通しており、前記第1電極に対し、第1方向とは反対の第2方向側に位置する第2電極と、を備え、
    前記第1電極は、前記抵抗体に直接接する第1下地層と、前記第1下地層を覆う第1メッキ層と、を含み、
    前記第1メッキ層は、前記第1下地層を直接覆う第1金属層、前記第1金属層を直接覆う第2金属層、および前記第2金属層を直接覆う第3金属層を含み、
    前記基板は、前記第1方向を向く第1基板側面を有し、
    前記接合層は、前記第1方向を向く第1接合層側面を有し、
    前記第3金属層は、前記第1方向視において前記第1接合層側面のすべてと重なり、且つ前記第1基板側面の一部のみと重なる、チップ抵抗器。
  2. 前記第2金属層は、前記第1方向視において前記第1接合層側面と重なり、且つ前記第1基板側面と重ならない、請求項1に記載のチップ抵抗器。
  3. 前記第1金属層は、前記第1方向視において、前記第1基板側面および前記第1接合層側面と重ならない、請求項2に記載のチップ抵抗器。
  4. 前記第3金属層は、前記第1基板側面に直接接する、請求項3に記載のチップ抵抗器。
  5. 前記第2金属層は、前記第1接合層側面に直接接する、請求項4に記載のチップ抵抗器。
  6. 前記第1基板側面と前記第1接合層側面とは、互いに面一である、請求項5に記載のチップ抵抗器。
  7. 前記抵抗体は、前記第1方向を向く第1抵抗体側面を有し、
    前記第1金属層は、前記第1抵抗体側面に直接接する、請求項6に記載のチップ抵抗器。
  8. 前記第1金属層は、Cuよりなる、請求項1ないし7のいずれかに記載のチップ抵抗器。
  9. 前記第2金属層は、Niよりなる、請求項1ないし8のいずれかに記載のチップ抵抗器。
  10. 前記第3金属層は、Snよりなる、請求項1ないし9のいずれかに記載のチップ抵抗器。
  11. 前記基板は、絶縁性材料よりなる、請求項1ないし10のいずれかに記載のチップ抵抗器。
JP2020205234A 2020-12-10 2020-12-10 チップ抵抗器 Pending JP2021044585A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020205234A JP2021044585A (ja) 2020-12-10 2020-12-10 チップ抵抗器
JP2022126581A JP7458448B2 (ja) 2020-12-10 2022-08-08 チップ抵抗器
JP2022134091A JP7457763B2 (ja) 2020-12-10 2022-08-25 チップ抵抗器
JP2024042335A JP2024061879A (ja) 2020-12-10 2024-03-18 チップ抵抗器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020205234A JP2021044585A (ja) 2020-12-10 2020-12-10 チップ抵抗器

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018086910A Division JP6810095B2 (ja) 2018-04-27 2018-04-27 チップ抵抗器、チップ抵抗器の実装構造

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022126581A Division JP7458448B2 (ja) 2020-12-10 2022-08-08 チップ抵抗器
JP2022134091A Division JP7457763B2 (ja) 2020-12-10 2022-08-25 チップ抵抗器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2021044585A true JP2021044585A (ja) 2021-03-18

Family

ID=74861715

Family Applications (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020205234A Pending JP2021044585A (ja) 2020-12-10 2020-12-10 チップ抵抗器
JP2022126581A Active JP7458448B2 (ja) 2020-12-10 2022-08-08 チップ抵抗器
JP2022134091A Active JP7457763B2 (ja) 2020-12-10 2022-08-25 チップ抵抗器
JP2024042335A Pending JP2024061879A (ja) 2020-12-10 2024-03-18 チップ抵抗器

Family Applications After (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022126581A Active JP7458448B2 (ja) 2020-12-10 2022-08-08 チップ抵抗器
JP2022134091A Active JP7457763B2 (ja) 2020-12-10 2022-08-25 チップ抵抗器
JP2024042335A Pending JP2024061879A (ja) 2020-12-10 2024-03-18 チップ抵抗器

Country Status (1)

Country Link
JP (4) JP2021044585A (ja)

Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4727876Y1 (ja) * 1969-10-11 1972-08-24
JPS4725138U (ja) * 1971-04-12 1972-11-21
JPS5211539U (ja) * 1975-07-15 1977-01-26
JPS5469768A (en) * 1977-11-14 1979-06-05 Nitto Electric Ind Co Printing circuit substrate with resistance
JPS6070701A (ja) * 1983-09-26 1985-04-22 日東電工株式会社 チツプ抵抗体
JPS63257258A (ja) * 1987-04-15 1988-10-25 Denki Kagaku Kogyo Kk 低抵抗付回路基板およびその製造法
JPH04130792A (ja) * 1990-09-21 1992-05-01 Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk 回路基板の製造方法
JPH0774023A (ja) * 1993-09-01 1995-03-17 Hitachi Ltd 集積化インダクタおよびそれを用いた弾性表面波装置
JPH10135014A (ja) * 1996-10-31 1998-05-22 Taiyo Yuden Co Ltd チップ部品の製造方法
WO1998058390A1 (fr) * 1997-06-16 1998-12-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Tableau de connexions de resistance et son procede de fabrication
JP2000340413A (ja) * 1999-05-26 2000-12-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多連チップ抵抗器およびその製造方法
JP2001189541A (ja) * 1999-09-23 2001-07-10 Morton Internatl Inc 電気回路の形成方法
JP2004022659A (ja) * 2002-06-13 2004-01-22 Rohm Co Ltd 低い抵抗値を有するチップ抵抗器とその製造方法
JP2004253405A (ja) * 2002-12-24 2004-09-09 Noritake Co Ltd 膜埋込型基板の製造方法
JP2008010895A (ja) * 2007-09-27 2008-01-17 Rohm Co Ltd 低い抵抗値を有するチップ抵抗器の製造方法
JP2008187018A (ja) * 2007-01-30 2008-08-14 Taiyosha Electric Co Ltd チップ抵抗器の製造方法及びチップ抵抗器
JP2009289770A (ja) * 2008-05-27 2009-12-10 Koa Corp 抵抗器
JP2013080875A (ja) * 2011-10-05 2013-05-02 Rohm Co Ltd 電子部品の電極構造
JP2013089745A (ja) * 2011-10-18 2013-05-13 Panasonic Corp 多層プリント配線基板とその製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3834251B2 (ja) 2002-03-26 2006-10-18 コーア株式会社 チップ抵抗器およびその製造方法
JP4358664B2 (ja) 2004-03-24 2009-11-04 ローム株式会社 チップ抵抗器およびその製造方法
JP4889525B2 (ja) 2007-03-02 2012-03-07 ローム株式会社 チップ抵抗器、およびその製造方法
DE112018005181T5 (de) 2017-11-02 2020-07-02 Rohm Co., Ltd. Chip-widerstand

Patent Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4727876Y1 (ja) * 1969-10-11 1972-08-24
JPS4725138U (ja) * 1971-04-12 1972-11-21
JPS5211539U (ja) * 1975-07-15 1977-01-26
JPS5469768A (en) * 1977-11-14 1979-06-05 Nitto Electric Ind Co Printing circuit substrate with resistance
JPS6070701A (ja) * 1983-09-26 1985-04-22 日東電工株式会社 チツプ抵抗体
JPS63257258A (ja) * 1987-04-15 1988-10-25 Denki Kagaku Kogyo Kk 低抵抗付回路基板およびその製造法
JPH04130792A (ja) * 1990-09-21 1992-05-01 Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk 回路基板の製造方法
JPH0774023A (ja) * 1993-09-01 1995-03-17 Hitachi Ltd 集積化インダクタおよびそれを用いた弾性表面波装置
JPH10135014A (ja) * 1996-10-31 1998-05-22 Taiyo Yuden Co Ltd チップ部品の製造方法
WO1998058390A1 (fr) * 1997-06-16 1998-12-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Tableau de connexions de resistance et son procede de fabrication
JP2000340413A (ja) * 1999-05-26 2000-12-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多連チップ抵抗器およびその製造方法
JP2001189541A (ja) * 1999-09-23 2001-07-10 Morton Internatl Inc 電気回路の形成方法
JP2004022659A (ja) * 2002-06-13 2004-01-22 Rohm Co Ltd 低い抵抗値を有するチップ抵抗器とその製造方法
JP2004253405A (ja) * 2002-12-24 2004-09-09 Noritake Co Ltd 膜埋込型基板の製造方法
JP2008187018A (ja) * 2007-01-30 2008-08-14 Taiyosha Electric Co Ltd チップ抵抗器の製造方法及びチップ抵抗器
JP2008010895A (ja) * 2007-09-27 2008-01-17 Rohm Co Ltd 低い抵抗値を有するチップ抵抗器の製造方法
JP2009289770A (ja) * 2008-05-27 2009-12-10 Koa Corp 抵抗器
JP2013080875A (ja) * 2011-10-05 2013-05-02 Rohm Co Ltd 電子部品の電極構造
JP2013089745A (ja) * 2011-10-18 2013-05-13 Panasonic Corp 多層プリント配線基板とその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2024061879A (ja) 2024-05-08
JP7457763B2 (ja) 2024-03-28
JP7458448B2 (ja) 2024-03-29
JP2022160609A (ja) 2022-10-19
JP2022166308A (ja) 2022-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11676742B2 (en) Chip resistor and mounting structure thereof
JP2007506273A5 (ja)
JP2015002212A (ja) チップ抵抗器、チップ抵抗器の実装構造
TWI497535B (zh) 具有軟性材料層之微電阻元件及其製造方法
WO2004105454A1 (ja) 配線基板の製造方法
JP6227877B2 (ja) チップ抵抗器、およびチップ抵抗器の製造方法
JPH10149901A (ja) 電気抵抗器および電気抵抗器の製造方法
JP6317895B2 (ja) チップ抵抗器、チップ抵抗器の実装構造
JP2013051389A (ja) 回路基板、半導体パワーモジュール、製造方法
JP6810095B2 (ja) チップ抵抗器、チップ抵抗器の実装構造
JP2014165194A (ja) チップ抵抗器、およびチップ抵抗器の製造方法
JP2021044585A (ja) チップ抵抗器
JP6262458B2 (ja) チップ抵抗器、チップ抵抗器の実装構造
JPH10144967A (ja) 冷却用熱電素子モジュール
US20230282396A1 (en) Chip resistor and mounting structure thereof
JP6732996B2 (ja) チップ抵抗器
JPH0780272B2 (ja) 熱伝導複合材料
JP2019207952A (ja) 電子素子実装用基板、電子装置、および電子モジュール
JP4461801B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP2004327737A (ja) 複合基板及びその製造方法
JP2017163165A (ja) チップ抵抗器、およびチップ抵抗器の製造方法
CN116598083A (zh) 一种高精度的双面电极的合金贴片电阻器制作方法及其产品
JPH08148630A (ja) 半導体装置の製造方法
JP2015119092A (ja) 多数個取り配線基板、配線基板および電子装置
JP2013125794A (ja) 電子部品

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20201211

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211116

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220111

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20220607