JP2020199561A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115042086B (zh) * 2022-07-15 2023-11-28 江苏科沛达半导体科技有限公司 一种高精度半导体晶圆片外径研磨装置

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4131898B2 (ja) * 2000-08-21 2008-08-13 三菱電機株式会社 半導体製造装置及びその製造方法
US6939206B2 (en) * 2001-03-12 2005-09-06 Asm Nutool, Inc. Method and apparatus of sealing wafer backside for full-face electrochemical plating
JP4617028B2 (ja) * 2001-08-17 2011-01-19 株式会社ディスコ 加工歪除去装置
TW515352U (en) * 2001-12-12 2002-12-21 Tian Ding Entpr Co Ltd Improved structure for retractable protecting cover
JP2003282492A (ja) * 2002-03-22 2003-10-03 Disco Abrasive Syst Ltd 半導体ウエーハのための加工機及び複数台の加工機を備えた加工システム
DE10339335A1 (de) * 2003-08-25 2005-03-31 Robert Bosch Gmbh Schleifhandwerkzeugmaschine
CN2923168Y (zh) * 2005-10-26 2007-07-18 劦柏机械工业有限公司 车床防油罩结构
JP5332153B2 (ja) * 2007-08-28 2013-11-06 村田機械株式会社 ローダ付き工作機械
JP5006274B2 (ja) * 2008-06-25 2012-08-22 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
CN202090871U (zh) * 2011-04-22 2011-12-28 陈朝阳 电钻防尘罩
JP5646528B2 (ja) * 2012-03-09 2014-12-24 東京エレクトロン株式会社 液処理装置
JP5936963B2 (ja) * 2012-09-05 2016-06-22 株式会社ディスコ 加工装置
DE102012018226B4 (de) * 2012-09-15 2024-03-28 Emag Holding Gmbh Werkzeugmaschine mit Schutzabdeckung
SG10201906815XA (en) * 2014-08-26 2019-08-27 Ebara Corp Substrate processing apparatus
CN204564470U (zh) * 2015-03-26 2015-08-19 安徽三安光电有限公司 一种上胶机
JP2017001164A (ja) * 2015-06-15 2017-01-05 株式会社ディスコ 研磨装置
JP2017159379A (ja) * 2016-03-07 2017-09-14 株式会社ディスコ 開閉扉を有する装置
JP6736367B2 (ja) 2016-06-16 2020-08-05 株式会社ディスコ スピンドルユニット
CN207104500U (zh) * 2017-08-08 2018-03-16 宁夏共享机床辅机有限公司 一种机床防护滚动折叠门
CN107498079A (zh) * 2017-10-17 2017-12-22 陕西来复科技发展有限公司 一种设有旋转工作台的防溅钻孔机器人
CN207326575U (zh) * 2017-10-28 2018-05-08 苏州肯美特设备集成有限公司 一种钻床防护装置
JP7049813B2 (ja) * 2017-11-20 2022-04-07 株式会社ディスコ 加工装置
CN208146955U (zh) * 2018-05-09 2018-11-27 郑州市祥龙泵业有限公司 快速成型防尘打孔机
CN108526994A (zh) * 2018-07-16 2018-09-14 佛山市远阳五金制品有限公司 一种用于钻床的可伸缩防护罩
CN208773297U (zh) * 2018-07-27 2019-04-23 东京毅力科创株式会社 加工装置
CN209804597U (zh) * 2018-07-27 2019-12-17 东京毅力科创株式会社 加工装置
CN109352003A (zh) * 2018-12-06 2019-02-19 岳西县顺达机械有限公司 一种钻床钻头防废渣飞散装置
CN109571264B (zh) * 2018-12-28 2020-12-08 浙江兰博生物科技股份有限公司 基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置

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