CN112045518A - 基板加工装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板加工装置。提供一种能够使基板加工装置的维护作业简易化的技术。基板加工装置包括：旋转盘，其以对基板进行加工的工具能够更换的方式安装该工具；主轴电动机，其使所述旋转盘旋转；升降机构，其借助所述主轴电动机使所述旋转盘升降；面板，其具有供所述旋转盘插入的插入口；以及第1盖，其载置于所述面板，并覆盖所述插入口的至少局部，在所述旋转盘于比基准位置靠下方的位置升降的过程中，所述第1盖载置于所述面板，在所述旋转盘上升到超过所述基准位置时，所述第1盖与所述旋转盘一起上升并自所述面板离开。

Description

基板加工装置
技术领域
本公开涉及一种基板加工装置。
背景技术
专利文献1中记载的磨削装置的主轴单元包括用于安装磨削轮的支架、在顶端侧连结支架的主轴以及二分割构造的主轴盖。在使磨削轮升降时，主轴盖也始终升降。
专利文献1：日本特开2017－222003号公报
发明内容
发明要解决的问题
本公开的一技术方案提供一种能够使基板加工装置的维护作业简易化的技术。
用于解决问题的方案
本公开的一技术方案的基板加工装置包括：
旋转盘，其以对基板进行加工的工具能够更换的方式安装该工具；
主轴电动机，其使所述旋转盘旋转；
升降机构，其借助所述主轴电动机使所述旋转盘升降；
面板，其具有供所述旋转盘插入的插入口；以及
第1盖，其载置于所述面板，并覆盖所述插入口的至少局部，
在所述旋转盘于比基准位置靠下方的位置升降的过程中，所述第1盖载置于所述面板，
在所述旋转盘上升到超过所述基准位置时，所述第1盖与所述旋转盘一起上升并自所述面板离开。
发明的效果
根据本公开的一技术方案，能够使基板加工装置的维护作业简易化。
附图说明
图1是表示一实施方式的基板加工装置的俯视图。
图2是表示一实施方式的加工单元的剖视图。
图3是将图2的局部放大表示的剖视图，是表示旋转盘的待机位置的一个例子的剖视图。
图4是表示旋转盘的基准位置的一个例子的剖视图。
图5是表示旋转盘的维护位置的一个例子的剖视图。
图6是表示将图5所示的第1盖相对于旋转盘抬起的状态的一个例子的剖视图。
图7是表示使图6所示的第1盖在其抬起的位置旋转、并下降到引导部的上端的状态的一个例子的剖视图。
图8是表示一实施方式的第1盖的立体图。
图9是表示一实施方式的第2盖、提升部以及引导部的立体图。
图10是表示一实施方式的块体的立体图。
图11是表示一实施方式的第1盖、检测构件、确认传感器之间的位置关系的侧视图。
图12是表示一实施方式的面板的基板加工时的状态的立体图。
图13是表示一实施方式的面板的维护时的状态的立体图。
具体实施方式
以下，参照附图说明本公开的实施方式。此外，在各附图中，对相同或相对应的结构标注相同的附图标记，并具有省略说明的情况。在本说明书中，X轴方向、Y轴方向、Z轴方向为互相垂直的方向。X轴方向和Y轴方向为水平方向，Z轴方向为铅垂方向。
图1是表示一实施方式的基板加工装置的俯视图。基板加工装置10使基板2变薄。基板2例如为硅晶圆等半导体基板。基板加工装置10包括旋转台20、四个基板卡盘30A、30B、30C、30D以及三个加工单元40A、40B、40C。此外，加工单元40的数量为一个以上即可，并不限定于三个。另外，基板卡盘30的数量多于加工单元40的数量即可，并不限定于四个。
旋转台20以旋转中心线Z1为中心旋转。旋转台20的旋转中心线Z1例如铅垂地配置。四个基板卡盘30A、30B、30C、30D绕旋转台20的旋转中心线Z1以等间隔配置。四个基板卡盘30A、30B、30C、30D均与旋转台20一起旋转，并按照送入送出位置A0、一次加工位置A1、二次加工位置A2、三次加工位置A3、送入送出位置A0的顺序移动。
送入送出位置A0兼作进行基板2的送入的送入位置和进行基板2的送出的送出位置。由输送机器人3执行基板2的送入和基板2的送出。此外，在本实施方式中，送入位置和送出位置为同一位置，但送入位置和送出位置也可以为不同的位置。
在输送机器人3送入基板2时，基板卡盘30保持基板2。在基板2的与基板卡盘30相对的相对面(例如基板2的下表面)预先粘贴未图示的保护带。保护带保护预先形成于基板2的下表面的器件。作为保护带，能够使用常用的保护带，例如能够使用树脂带。输送机器人3对利用保护带保护的基板2进行送入送出。
一次加工位置A1为利用加工单元40A进行基板2的一次加工的位置。一次加工例如为磨削。
二次加工位置A2为利用加工单元40B进行基板2的二次加工的位置。二次加工例如为磨削。二次加工中使用的磨石的粒径小于一次加工中使用的磨石的粒径。
三次加工位置A3为利用加工单元40C进行基板2的三次加工的位置。三次加工可以为磨削、研磨中的任一者。三次加工中使用的磨石的粒径小于二次加工中使用的磨石的粒径。
四个基板卡盘30A、30B、30C、30D以各自的旋转中心线为中心旋转自如地安装于旋转台20。在一次加工位置A1、二次加工位置A2以及三次加工位置A3，基板卡盘30A、30B、30C、30D以各自的旋转中心线为中心旋转。
图2是表示一实施方式的加工单元的剖视图。加工单元40具有：旋转盘50，其以对基板2进行加工的工具4能够更换的方式安装该工具4；主轴电动机60，其使旋转盘50旋转；以及升降机构70，其借助主轴电动机60使旋转盘50升降。
工具4例如使基板2变薄。例如，工具4包含圆环盘状的磨削轮5和固定于磨削轮5的下表面的磨石6。多个磨石6沿着磨削轮5的下表面的外缘呈环状排列。
旋转盘50具有例如使旋转盘50的中心线与磨削轮5的中心线对准的定心部51。磨削轮5在其中心具有嵌合孔5a，定心部51嵌合于该嵌合孔5a，其结果，将旋转盘50的中心线与磨削轮5的中心线对准。
旋转盘50具有比定心部51向外侧伸出的环状的工具安装部52。工具安装部52用于以工具4能够更换的方式安装工具4。在工具安装部52沿着其周向空开间隔地形成有多个贯通孔53。
贯通孔53在铅垂方向上贯通工具安装部52。螺栓54贯穿于工具安装部52的贯通孔53，并拧入于磨削轮5的上表面的螺纹孔。若拧松螺栓54，则能够进行工具4的更换。
例如在磨石6的磨耗量超过设定量时，实施工具4的更换。工具4的更换也可以定期实施。
主轴电动机60通过使旋转盘50以铅垂的旋转轴为中心旋转，从而使工具4旋转。加工单元40具有保持架61，保持架61保持主轴电动机60。
保持架61例如具有水平的保持架底壁部62和自保持架底壁部62的外缘向上方延伸的保持架筒状部63。在保持架底壁部62的中央形成有贯通孔，主轴电动机60的局部配置于该贯通孔。
主轴电动机60在其侧面具有凸状的环部60a。环部60a配置于保持架筒状部63的内部较好。环部60a用于调整主轴电动机60的旋转中心线的铅垂度。
加工单元40具有调整主轴电动机60的旋转中心线的铅垂度的铅垂度调整机构65。保持架61借助铅垂度调整机构65保持主轴电动机60。
铅垂度调整机构65包含例如对环部60a的不同的点的高度进行调整的多个(例如三个)高度调整部66。多个高度调整部66沿着环部60a的周向空开间隔地配置，对环部60a的多个点的高度进行调整，而使主轴电动机60的旋转中心线铅垂。
升降机构70通过借助主轴电动机60使旋转盘50升降，从而使工具4升降。例如，升降机构70具有铅垂的引导件71、沿着引导件71移动的滑块72以及使滑块72移动的电动机73。
保持架61固定于滑块72，保持架61、主轴电动机60以及旋转盘50与滑块72一起升降。
在加工基板2时，首先升降机构70使旋转盘50自待机位置(参照图2和图3)下降，而使工具4下降。工具4一边旋转一边下降，并与旋转的基板2的上表面接触，而使基板2的上表面整体变薄。在使基板2变薄的过程中，利用液体供给喷嘴(参照图1)80向基板2的上表面供给水等液体。在基板2的厚度达到设定值时，升降机构70停止旋转盘50的下降，而停止工具4的下降。然后，升降机构70使旋转盘50上升，而使工具4自基板2分离。在工具4自基板2分离时，主轴电动机60停止旋转盘50的旋转。升降机构70使旋转盘50上升到待机位置。
基板加工装置10如图1所示具有控制部90。控制部90例如为计算机，包括CPU(Central Processing Unit，中央处理器)91和存储器等存储介质92。在存储介质92储存有对基板加工装置10中执行的各种处理进行控制的程序。控制部90通过使CPU91执行被储存于存储介质92的程序，来控制基板加工装置10的动作。另外，控制部90还包括输入接口93和输出接口94。控制部90由输入接口93接收来自外部的信号，并由输出接口94向外部发送信号。
上述程序例如被储存在能够由计算机读取的存储介质，并自该存储介质加载于控制部90的存储介质92。作为能够由计算机读取的存储介质，例如可列举出硬盘(HD)、软盘(FD)、光盘(CD)、磁光盘(MO)、存储卡等。此外，程序也可以经由互联网从服务器下载，并加载于控制部90的存储介质92。
如图3～图5所示，基板加工装置10除具有基板卡盘30、旋转盘50以及主轴电动机60以外，还具有面板100、第1盖110、提升部120、引导部130、块体140、第2盖170。
面板100在其内部形成实施基板2的加工的加工室101。在加工室101收纳基板卡盘30等。面板100抑制由液体供给喷嘴80向基板2供给的液体的飞散以及由基板2的加工产生的加工屑的飞散。面板100由例如金属形成。金属比树脂硬，因而耐久性优异。
面板100具有覆盖加工室101的上方的面板上表面部102。面板上表面部102水平地设置。在面板上表面部102形成有供旋转盘50插入的插入口103。插入口103的直径大于旋转盘50的直径。
面板100具有自插入口103的开口缘向上方立起的环状的面板立起部104。面板立起部104抑制液体和加工屑向水平方向的飞散。
第1盖110载置于面板100，更详细而言载置于面板上表面部102，由于第1盖110覆盖插入口103的至少局部，因此能够抑制液体、加工屑自插入口103的开口缘与旋转盘50之间的间隙飞散。例如，第1盖110阻止沿着面板立起部104上升的液体和加工屑。
另外，在旋转盘50于比图4所示的基准位置靠下方的位置进行升降的过程中，第1盖110载置于面板100。基准位置为第1盖110开始与旋转盘50一起上升的位置。基准位置为比图5所示的维护位置靠下方的位置，且是比图3所示的待机位置靠上方的位置。维护位置为进行工具4的安装和拆卸的位置。待机位置为在基板2的加工开始前和基板2的加工结束后旋转盘50所待机的位置。
在将工具4安装于旋转盘50时，旋转盘50自维护位置下降到待机位置，并在待机位置停止。待机位置为比工具4与基板2接触的位置靠上方的位置。在旋转台20旋转、并在加工单元30的下方配置新的基板2时，旋转盘50自待机位置下降，使工具4与基板2接触，而开始基板2的加工。在基板2的厚度达到设定值时，旋转盘50返回到原来的待机位置，并停止。然后，在旋转台20再次旋转、并在加工单元30的下方配置新的基板2时，旋转盘50自待机位置下降，利用工具4使基板2变薄成设定厚度，然后上升到待机位置。
由于待机位置为比基准位置靠下方的位置，因此，在工具4与基板2接触并对基板2进行切削的过程中，第1盖110继续载置于面板100，并继续覆盖插入口103的至少局部。因而，能够抑制液体、加工屑自插入口103的开口缘与旋转盘50之间的间隙飞散。
在需要进行基板加工装置10的维护例如磨石6磨耗而需要更换磨石6等时，旋转盘50自待机位置上升到维护位置。在旋转盘50自待机位置向基准位置上升的过程中，第1盖110继续载置于面板100。在旋转盘50上升到超过基准位置时，第1盖110与旋转盘50一起上升并自面板100离开。在旋转盘50位于维护位置时，在面板100与第1盖110之间产生间隙。
图6是表示将图5所示的第1盖相对于旋转盘抬起的状态的一个例子的剖视图。如上所述，如图5所示，在旋转盘50位于维护位置时，在面板100与第1盖110之间产生间隙。作业人员或作业机器人将手插入于该间隙，而能够如图6所示地将第1盖110相对于旋转盘50抬起，能够使旋转盘50的工具安装部52暴露。因而，能够容易地实施工具4的更换，能够使维护作业简易化。
图7是表示使图6所示的第1盖在其抬起的位置旋转、并下降到后述的引导部130的上端的状态的一个例子的剖视图。第1盖110在抬起的位置旋转，并载置于引导部130的上端。利用引导部130，能够防止第1盖110的下落，能够维持旋转盘50的工具安装部52暴露的状态。由于作业人员或作业机器人腾出手来，因而能够容易地实施工具4的更换，能够使维护作业简易化。
在维护作业结束时，第1盖110从图7的状态经过图6的状态而返回到图5的状态。然后，将旋转盘50自维护位置下降到待机位置。在该过程中，在旋转盘50下降到比基准位置靠下时，第1盖110再次载置于面板100。
图8是表示一实施方式的第1盖的立体图。第1盖110具有圆环盘状的第1盖顶部111和自第1盖顶部111的外缘向下方延伸的第1盖圆筒部112。如图3等所示，第1盖顶部111的外径大于面板上表面部102的插入口103的直径，第1盖顶部111的内径小于旋转盘50的直径。
第1盖圆筒部112包围面板立起部104。即使液体和加工屑沿着面板立起部104上升，在碰到第1盖顶部111时，也会将朝向改变为水平方向。由于第1盖圆筒部112包围面板立起部104，因此能够抑制液体和加工屑向水平方向的飞散。
第1盖110还具有自第1盖圆筒部112的下端向径向外侧突出的第1盖凸缘部113较好。利用第1盖凸缘部113，能够将第1盖110稳定地载置于面板上表面部102。
第1盖110还具有将第1盖凸缘部113与面板上表面部102之间的间隙密封的环状的第1盖密封部114较好。第1盖密封部114粘贴于第1盖凸缘部113的下表面，能够抑制液体和加工屑自第1盖凸缘部113与面板上表面部102之间的间隙漏出。
第1盖密封部114比第1盖凸缘部113柔软，而以吸收第1盖凸缘部113与面板上表面部102之间的间隙的大小偏差的方式变形。第1盖密封部114由例如独立发泡树脂或独立发泡橡胶等形成，并粘贴于第1盖凸缘部113的下表面。
第1盖110的至少局部(例如第1盖顶部111、第1盖圆筒部112以及第1盖凸缘部113)由树脂形成较好。由于树脂与金属相比轻量性优异，因此能够降低对提升部120施加的载荷。提升部120用于将第1盖110自面板100抬起。
提升部120相对于主轴电动机60固定，因此在主轴电动机60进行升降的过程中，提升部120也始终进行升降。在旋转盘50上升到超过基准位置时，提升部120将第1盖110自面板100抬起。利用提升部120，能够自动地将第1盖110自面板100抬起。
图9是表示一实施方式的第2盖、提升部120以及引导部130的立体图。提升部120沿着主轴电动机60的周向空开间隔地配置多个(例如三个)。利用多个提升部120，能够稳定地抬起第1盖110。
提升部120具有越去向下方则越向主轴电动机60的径向外侧倾斜的倾斜面121，在抬起第1盖110时，利用倾斜面121支承第1盖110。而且，在错误地导致第1盖110自图6的状态自然下落到图5的状态时，能够沿着倾斜面121释放对提升部120施加的冲击。这是因为，对提升部120施加的载荷分解为相对于倾斜面121铅垂的方向上的分力和相对于倾斜面121平行的方向上的分力。如上所述，由于能够释放对提升部120施加的冲击，因此，能够抑制提升部120的破损。
如图8所示，在第1盖顶部111的内周形成有避开与提升部120的干渉的第1盖缺口115。从俯视角度看，在第1盖缺口115与提升部120重叠的位置，能够相对于主轴电动机60装卸第1盖110。在安装第1盖110时，首先在主轴电动机60的下方配置第1盖110，接着使第1盖110上升，并套在主轴电动机60上。另一方面，在拆卸第1盖110时，使第1盖110下降，并自主轴电动机60卸下。
如图8所示，第1盖缺口115沿着第1盖顶部111的内周以不等间隔配置多个。例如，三个第1盖缺口115以三个间隔θ1、θ2、θ3配置。因而，三个提升部120也与三个第1盖缺口115相同地以三个间隔θ1、θ2、θ3配置。θ1、θ2以及θ3为互不相同的值，它们合计值为360°。
如上所述，从俯视角度看，在第1盖缺口115与提升部120重叠的位置进行第1盖110的安装和拆除。由此，若θ1、θ2以及θ3为互不相同的值，则能够防止上下颠倒地错误安装第1盖110，另外，能够使第1盖110的周向上的局部(例如，后述的检测构件150的安装部位)朝向期望的方向。
第1盖110并不是上下对称的构造，而容易直观地知道将哪一部位朝上为好，因而上下颠倒地错误安装的可能性较小。由此，可以是三个间隔θ1、θ2、θ3中的两个(例如θ1、θ2)为相同的值，且剩余的一个(例如θ3)为与上述两个不同的值。该情况下，只要不上下颠倒地错误安装第1盖110，也能够使第1盖110的周向局部朝向期望的方向。
因而，第1盖缺口115的数量为两个以上即可，且至少两个间隔不同即可。但是，只要第1盖缺口115的数量为三个以上、且至少三个间隔不同，就能够防止上下颠倒地错误安装第1盖110，并且能够使第1盖110的周向上的局部朝向期望的方向。
然而，若在第1盖顶部111形成第1盖缺口115，则提升部120无法与第1盖顶部111直接接触。于是，在第1盖顶部111利用螺栓141等安装有块体140。
块体140以堵塞第1盖顶部111的第1盖缺口115的至少局部的方式安装于第1盖顶部111。借助块体140，提升部120能够将第1盖110抬起。另外，利用块体140能够抑制液体和加工屑自第1盖缺口115的飞散。
图10是表示一实施方式的块体的立体图。块体140具有与提升部120的倾斜面121面接触的倾斜面142。在错误地导致第1盖110自图6的状态自然下落到图5的状态时，由于块体140的倾斜面142与提升部120的倾斜面121面接触，因此能够抑制应力集中。
由于引导部130与提升部120相同地相对于主轴电动机60固定，因此，在主轴电动机60进行升降的过程中，引导部130也始终进行升降。引导部130自提升部120的上端向上方呈直线状延伸。沿着第1盖顶部111的内周空开间隔地配置有多组提升部120和引导部130的组合。
块体140具有被引导部130沿着铅垂方向引导的引导槽143。引导槽143自倾斜面142的上端向上方延伸，形成为俯视时呈U字状，并朝向第1盖顶部111的径向内侧开口。
块体140的引导槽143嵌入于引导部130。由此，能够限制第1盖110在主轴电动机60的周向上旋转。另外，能够使第1盖110相对于主轴电动机60稳定地升降。
如图7所示，第1盖顶部111在其内周包含载置于引导部130的上端的载置部116。载置部116形成为与第1盖缺口115在周向上错开。引导部130的上端配置于比第2盖凸缘部172靠下方的位置，并在该引导部130的上端与第2盖凸缘部172之间形成间隙。
由于该间隙，在使第1盖顶部111自图6的状态旋转到图7的状态之后，使第1盖顶部111下降，则能够将第1盖顶部111的载置部116载置于引导部130的上端。利用引导部130，能够防止第1盖110的下落，能够维持旋转盘50的工具安装部52暴露的状态。由于作业人员或作业机器人腾出手来，因此，能够容易地实施工具4的更换，能够使维护作业简易化。
在维护作业结束时，如上所述，使第1盖110自图7的状态经过图6的状态返回到图5的状态。之后，使旋转盘50自维护位置下降到待机位置。在该过程中，在旋转盘50下降到比基准位置靠下时，第1盖110再次载置于面板100。
在使第1盖110自图7的状态经过图6的状态返回到图5的状态的过程中，块体140的引导槽143嵌入于引导部130。引导部130与提升部120相同地沿着第1盖顶部111的内周以不等间隔配置多个。因而，能够使第1盖110的周向上的局部(例如后述的检测构件150的安装部位)朝向期望的方向。
图11是表示一实施方式的第1盖、检测构件、确认传感器之间的位置关系的侧视图。如图11所示，基板加工装置10具有检测构件150和确认传感器160。检测构件150相对于第1盖110固定。例如，检测构件150安装于第1盖圆筒部112的周向上的局部，并自第1盖圆筒部112的外周向径向外侧突出。在第1盖110载置于面板上表面部102时，检测构件150与确认传感器160相对。检测构件150为例如板状，并铅垂配置。
确认传感器160通过检测例如检测构件150的存在，来确认第1盖110为载置于面板100的状态。在第1盖110为自面板100向上方离开的状态时，确认传感器160无法检测检测构件150的存在。确认传感器160为例如非接触式的接近传感器，但也可以是接触式的限位开关。确认传感器160将该确认结果向控制部90发送。
在第1盖110未载置于面板100的情况下，作业人员或作业机器人的手可能自插入口103的开口缘与主轴电动机60之间的间隙插入于加工室101。由于控制部90在利用确认传感器160确认第1盖110为载置于面板100的状态之前禁止主轴电动机60的旋转，因此，能够防止作业人员或作业机器人的手被旋转盘50的旋转卷入。
如图3等所示，第2盖170在第1盖110的内侧包围主轴电动机60。由于第2盖170相对于主轴电动机60固定，因此与第1盖110不同，第2盖170始终与主轴电动机60一起升降。因而，能够抑制液体和加工屑向主轴电动机60的附着。
第2盖170具有在第1盖110的内侧包围主轴电动机60的第2盖圆筒部171。第2盖圆筒部171的外径小于第1盖顶部111的内径，第2盖圆筒部171的内径大于主轴电动机60的外径。在第2盖圆筒部171的外周沿着周向空开间隔地配置有多组提升部120与引导部130的组合。
第2盖170具有自第2盖圆筒部171的上端向径向外侧突出的第2盖凸缘部172。第2盖凸缘部172利用例如螺栓173固定于保持架底壁部62的下表面。螺栓173贯穿于第2盖凸缘部172的贯通孔174，并拧入于保持架底壁部62的下表面的螺纹孔。
在第2盖凸缘部172的外缘形成有避开与铅垂度调整机构65的干渉的第2盖缺口175。第2盖缺口175的数量和位置与铅垂度调整机构65的高度调整部66的数量和位置相同较好。在第2盖170安装于保持架61的状态下，作业人员或作业机器人能够经由第2盖缺口175操作高度调整部66。
如图9所示，第2盖170具有自第2盖圆筒部171的下端向径向内侧突出的第2盖环部176。第2盖环部176插入于如图3等所示形成在主轴电动机60与旋转盘50的工具安装部52之间的凹坑，而缩窄液体和加工屑的漏出路径。
从轻量性的观点来看，第2盖170的至少局部(本实施方式中为整体)由树脂形成较好。
此外，也可以没有第2盖170，在该情况下，提升部120和引导部130可以直接设于主轴电动机60的外周较好。提升部120和引导部130相对于主轴电动机60固定即可，始终与主轴电动机60一起升降即可。
在图12和图13中，省略对第1盖110的图示。面板100具有堵塞加工室101的上方的面板上表面部102和堵塞加工室101的侧方的面板侧面部105。
面板上表面部102包含沿着插入口103的开口缘分割开的上表面固定部102a和上表面可动部102b。由于面板上表面部102被分割，因此同样地面板立起部104也被分割。面板立起部104包含固定部104a和可动部104b。
面板侧面部105具有利用第1铰链106与上表面可动部102b连结的侧面可动部105b和利用第2铰链107与侧面可动部105b连结的侧面固定部105a。第1铰链106的旋转中心线与第2铰链107的旋转中心线平行，且均为水平。
如图12所示，在基板加工时，上表面可动部102b与上表面固定部102a配置于同一平面，并且，侧面可动部105b与侧面固定部105a配置于同一平面。利用锁定机构108将该状态锁定。在侧面可动部105b形成有开口窗，该开口窗利用透明的构件109堵塞。透过透明的构件109能够目视确认加工室101。
另一方面，如图13所示，在维护时，解除锁定机构108的锁定，侧面可动部105b向加工室101的外侧打开，并且侧面可动部105b和上表面可动部102b被折叠。其结果，使加工室101的内部开放。
如图13所示，在维护时能够较大程度地开放加工室101的内部，特别是能够较大程度地开放插入口103的附近。如上所述，插入口103供旋转盘50插入。因而，作业人员或作业机器人容易触及旋转盘50的工具安装部52，而容易进行维护作业。
以上，说明了本公开的基板加工装置，但本公开并不限定于上述实施方式等。在权利要求书记载的范围内，能够进行各种变更、修正、置换、附加、删除以及组合。这些结构当然也属于本公开的保护范围。
基板2并不限定于硅晶圆。基板2也可以是例如碳化硅晶圆、氮化镓晶圆、氧化镓晶圆等。另外，基板2也可以是玻璃基板。

Claims (18)

1.一种基板加工装置，其中，
该基板加工装置包括：
旋转盘，其以对基板进行加工的工具能够更换的方式安装该工具；
主轴电动机，其使所述旋转盘旋转；
升降机构，其借助所述主轴电动机使所述旋转盘升降；
面板，其具有供所述旋转盘插入的插入口；以及
第1盖，其载置于所述面板，并覆盖所述插入口的至少局部，
在所述旋转盘于比基准位置靠下方的位置升降的过程中，所述第1盖载置于所述面板，
在所述旋转盘上升到超过所述基准位置时，所述第1盖与所述旋转盘一起上升并自所述面板离开。
2.根据权利要求1所述的基板加工装置，其中，
该基板加工装置具有提升部，该提升部相对于所述主轴电动机固定，在所述旋转盘上升到超过所述基准位置时，该提升部将所述第1盖自所述面板抬起。
3.根据权利要求2所述的基板加工装置，其中，
所述提升部具有越去向下方则越向所述主轴电动机的径向外侧倾斜的倾斜面，利用所述倾斜面支承所述第1盖。
4.根据权利要求2或3所述的基板加工装置，其中，
所述第1盖具有圆环盘状的第1盖顶部和自所述第1盖顶部的外缘向下方延伸的第1盖圆筒部。
5.根据权利要求4所述的基板加工装置，其中，
所述面板具有形成所述插入口的面板上表面部和自所述插入口的开口缘向上方立起的环状的面板立起部，
所述第1盖圆筒部包围所述面板立起部。
6.根据权利要求4或5所述的基板加工装置，其中，
在所述第1盖顶部的内周形成有避开与所述提升部的干渉的第1盖缺口。
7.根据权利要求6所述的基板加工装置，其中，
所述第1盖缺口沿着所述第1盖顶部的内周以不等间隔配置多个。
8.根据权利要求6或7所述的基板加工装置，其中，
该基板加工装置具有块体，该块体以堵塞所述第1盖缺口的至少局部的方式安装于所述第1盖顶部，
所述提升部借助所述块体抬起所述第1盖。
9.根据权利要求8所述的基板加工装置，其中，
该基板加工装置具有引导部，该引导部相对于所述主轴电动机固定，并自所述提升部的上端向上方呈直线状延伸，
所述块体具有被所述引导部沿着铅垂方向引导的引导槽。
10.根据权利要求9所述的基板加工装置，其中，
所述第1盖顶部在其内周包含能载置于所述引导部的上端的载置部。
11.根据权利要求4～10中任一项所述的基板加工装置，其中，
所述第1盖具有自所述第1盖圆筒部的下端向径向外侧突出的第1盖凸缘部。
12.根据权利要求11所述的基板加工装置，其中，
所述第1盖具有将所述第1盖凸缘部与所述面板之间的间隙密封的环状的第1盖密封部。
13.根据权利要求2～12中任一项所述的基板加工装置，其中，
该基板加工装置包括第2盖，该第2盖在所述第1盖的内侧包围所述主轴电动机，并相对于所述主轴电动机固定，
所述提升部设于所述第2盖。
14.根据权利要求13所述的基板加工装置，其中，
所述第2盖具有第2盖圆筒部，该第2盖圆筒部在所述第1盖的内侧包围所述主轴电动机，
所述提升部设于所述第2盖圆筒部的外周。
15.根据权利要求14所述的基板加工装置，其中，
该基板加工装置包括：
铅垂度调整机构，其对所述主轴电动机的旋转中心线的铅垂度进行调整；以及
保持架，其借助所述铅垂度调整机构保持所述主轴电动机，
所述第2盖具有自所述第2盖圆筒部的上端向径向外侧突出的第2盖凸缘部，
所述第2盖凸缘部固定于所述保持架的下表面，在所述第2盖凸缘部的外缘形成有避开与所述铅垂度调整机构的干渉的第2盖缺口。
16.根据权利要求14或15所述的基板加工装置，其中，
所述第2盖具有自所述第2盖圆筒部的下端向径向内侧突出的第2盖环部，
所述旋转盘具有安装所述工具的环状的工具安装部，
所述第2盖环部插入于在所述主轴电动机与所述工具安装部之间形成的凹坑。
17.根据权利要求1～16中任一项所述的基板加工装置，其中，
该基板加工装置包括：
确认传感器，其确认所述第1盖为载置于所述面板的状态；以及
控制部，在利用所述确认传感器确认出所述第1盖为载置于所述面板的状态之前，该控制部禁止所述主轴电动机的旋转。
18.根据权利要求1～17中任一项所述的基板加工装置，其中，
在所述面板的内部形成实施所述基板的加工的加工室，所述面板具有堵塞所述加工室的上方的面板上表面部和堵塞所述加工室的侧方的面板侧面部，
所述面板上表面部具有沿着所述插入口的开口缘分割开的上表面固定部和上表面可动部，
所述面板侧面部具有利用第1铰链与所述上表面可动部连结的侧面可动部和利用第2铰链与所述侧面可动部连结的侧面固定部。
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