CN109571264A - 基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置 - Google Patents

基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置，包括:底座、转动轴和研磨叶片；所述转动轴为底端封闭式结构，且所述转动轴外壁前端位置开设有螺纹。本发明具有较强的环保性，第一，通过防护罩主体可将因研磨叶片旋转研磨时飞溅的研磨废液进行遮挡，防止溅射到操作人员以及周围地面上造成环境的污染；第二，因废液收集板的设置，当零件的大小小于研磨叶片时，飞溅的研磨废液可溅射的防护罩主体上可滑落到废液收集板上；第三，当零件的大小大于研磨叶片时，防护罩主体压缩弹簧并沿圆柱管向上移动，直至与研磨叶片平齐，此时，因废液收集板上挡环的剖视结构为类似三角形结构，故可方便研磨废液进入废液收集板内。

Description

基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置
技术领域
本发明属于材料精度加工设备技术领域，更具体地说，特别涉及基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置。
背景技术
化学机械研磨(CMP)，是一种利用研磨液的化学性作用和研磨液所含的磨粒的机械作用而对晶片的表面进行研磨的技术。用于实施CMP的研磨装置，通常具有：支承研磨垫的研磨台、将晶片按压到研磨垫上的研磨头以及将研磨液(浆料)供给于研磨垫的研磨液供给机构。但是在研磨的过程中因研磨片的旋转容易导致研磨液的到处飞溅，容易造成周围环境的污染。
基于上述，本发明人发现，现有的高分子化学材料研磨时，主要存在以下两点不足：
一个是，环保和卫生性能较差，高分子化学材料在研磨的过程中需要和研磨液进行配合使用，在研磨的过程中，高速旋转的研磨片容易导致研磨液的四处飞溅，现有设备不能在保证观察研磨进度方便的前提下将飞溅的研磨液进行遮挡和收集，导致污染周围的工作环境；再者是，安全性和防护性较差，现有设备在对零件材料进行研磨时，当研磨片到达使用寿命或者零件表面不够平整时极易发生断裂，高速旋转的研磨片断裂后对周围的工作人员的身体健康存在严重的威胁，现有设备在安全防护上较为薄弱，不能很好的确保操作人员的安全。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置，以解决现有的在研磨时，一个是，环保和卫生性能较差，高分子化学材料在研磨的过程中需要和研磨液进行配合使用，在研磨的过程中，高速旋转的研磨片容易导致研磨液的四处飞溅，现有设备不能在保证观察研磨进度方便的前提下将飞溅的研磨液进行遮挡和收集，导致污染周围的工作环境；再者是，安全性和防护性较差，现有设备在对零件材料进行研磨时，当研磨片到达使用寿命或者零件表面不够平整时极易发生断裂，高速旋转的研磨片断裂后对周围的工作人员的身体健康存在严重的威胁，现有设备在安全防护上较为薄弱，不能很好的确保操作人员的安全的问题。
本发明基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置，包括底座、螺纹推进结构、伸缩支撑臂、圆柱管、矩形槽、弹簧、防护罩、防护罩主体、矩形凸起、废液收集板、圆环、挡环、挡板、转动调节结构、转动轴、合页、合页公件、合页母件、紧固螺母、矩形板、镜面板、转动轴和研磨叶片；所述底座顶端面固定连接有一个所述螺纹推进结构；所述伸缩支撑臂底端面焊接有一根所述圆柱管；所述防护罩、由所述防护罩主体、废液收集板、转动调节结构、矩形板和所述镜面板组成；所述护罩主体顶端面开设有一处圆形孔，且该圆形孔内壁焊接有一块所述矩形凸起；所述转动调节结构由所述转动轴、合页和所述锁紧螺母组成；所述转动轴为底端封闭式结构，且所述转动轴外壁前端位置开设有螺纹；所述转动轴上套接有两组所述合页，且所述转动轴外壁前端位置螺纹开设处螺纹连接有一个所述锁紧螺母。
进一步的，所述螺纹推进结构上螺纹连接有一个所述伸缩支撑臂。
进一步的，所述圆柱管与所述防护罩套接相连，且所述圆柱管外壁位于所述伸缩支撑臂和防护罩之间还套接有一根所述弹簧。
进一步的，所述圆柱管外壁上开设有一处所述矩形槽，且所述矩形槽与所述矩形凸起相匹配。
进一步的，所述防护罩主体为开口状结构，且位于开口处通过所述转动调节结构转动连接有一块所述矩形板，且所述矩形板前端面固定连接有一块所述镜面板，故可通过所述镜面板反射所述防护罩主体内部镜像。
进一步的，所述合页由所述合页公件和所述合页母件组成，且所述合页公件与所述防护罩主体焊接相连，所述合页母件与所述矩形板焊接相连，并且所述合页公件顶端面和所述合页母件底端面均开设有一组环形齿，当拧紧所述锁紧螺母时所述合页公件顶端面和所述合页母件上的环形齿相互啮合。
进一步的，所述防护罩主体内壁下方位置焊接有一个所述废液收集板，且所述防护罩主体外壁下方位置焊接有一处排污管。
进一步的，所述废液收集板由所述圆环、挡环和所述挡板组成；所述圆环内壁焊接有一个所述挡环且所述圆环和所述挡环开口的前端和后端均焊接有一块所述挡板，并且所述挡环截面为类似三角形结构。
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
本发明具有较强的安全性和防护性，因防护罩主体、调节结构、矩形板和镜面板的配合设置，第一，因防护罩主体为圆柱形罩结构，故在转动轴带动研磨叶片转动时，可防止研磨叶片因达到疲劳强度等原因突然断裂飞溅伤人；第二，因矩形板上固定连接的镜面板可通过防护罩主体开口处，将内部的研磨镜像进行反射，故可在安全的基础上能够方便及时了解研磨进度；第三，因调节结构的设置，一方面，可方便调整不同的反射角度；另一方面，因合页公件和合页母件上环形齿的设置，拧紧紧固螺母时，可防止在研磨的过程中矩形板和镜面板发生转动。
本发明具有较强的环保性，因防护罩的设置，第一，通过防护罩主体可将因研磨叶片旋转研磨时飞溅的研磨废液进行遮挡，防止溅射到操作人员以及周围地面上造成环境的污染；第二，因废液收集板的设置，当零件的大小小于研磨叶片时，飞溅的研磨废液可溅射的防护罩主体上可滑落到废液收集板上；第三，当零件的大小大于研磨叶片时，防护罩主体压缩弹簧并沿圆柱管向上移动，直至与研磨叶片平齐，此时，因废液收集板上挡环的剖视结构为类似三角形结构，故可方便研磨废液进入废液收集板内。
附图说明
图1是本发明的轴视结构示意图。
图2是本发明研磨主体的工作状态结构示意图。
图3是本发明研磨主体的工作状态结构示意图。
图4是本发明防护罩的轴视放大结构示意图。
图5是本发明图4中的A处放大结构示意图。
图6是本发明防护罩的轴视分解结构示意图。
图7是本发明圆柱管、弹簧和转动轴轴视放大结构示意图。
图8是本发明转动调节结构的轴视分解结构示意图。
图9是本发明合页公件和合页母件的轴视放大结构示意图。
图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
1-底座，2-螺纹推进结构，3-伸缩支撑臂，4-圆柱管，401-矩形槽，5-弹簧，6-防护罩，601-防护罩主体，60101-矩形凸起，602-废液收集板，60201-圆环，60202-挡环，60203-挡板，603-转动调节结构，60301-转动轴，60302-合页，6030201-合页公件,6030202-合页母件，60303-紧固螺母，604-矩形板，605-镜面板，7-转动轴，8-研磨叶片。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。
在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例：
如附图1至附图9所示：
本发明提供基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置，包括有：底座1、螺纹推进结构2、伸缩支撑臂3、圆柱管4、矩形槽401、弹簧5、防护罩6、防护罩主体601、矩形凸起60101、废液收集板602、圆环60201、挡环60202、挡板60203、转动调节结构603、转动轴60301、合页60302、合页公件6030201、合页母件6030202、紧固螺母60303、矩形板604、镜面板605、转动轴7和研磨叶片8；底座1顶端面固定连接有一个螺纹推进结构2；伸缩支撑臂3底端面焊接有一根圆柱管4；防护罩6、由防护罩主体601、废液收集板602、转动调节结构603、矩形板604和镜面板605组成；护罩主体601顶端面开设有一处圆形孔，且该圆形孔内壁焊接有一块矩形凸起60101；转动调节结构603由转动轴60301、合页60302和锁紧螺母60303组成；转动轴60301为底端封闭式结构，且转动轴60301外壁前端位置开设有螺纹；转动轴60301上套接有两组合页60302，且转动轴60301外壁前端位置螺纹开设处螺纹连接有一个锁紧螺母60303。
其中，螺纹推进结构2上螺纹连接有一个伸缩支撑臂3，故通过转动螺纹推进结构2上的把手可推动伸缩支撑臂3进行往复运动，从而实现往复打磨。
其中，圆柱管4与防护罩6套接相连，且圆柱管4外壁位于伸缩支撑臂3和防护罩6之间还套接有一根弹簧5，故防护罩6底端面受到阻力时可沿圆柱管4向上滑动。
其中，圆柱管4外壁上开设有一处矩形槽401，且矩形槽401与矩形凸起60101相匹配，故可限制护罩主体601沿圆柱管4进行轴向转动。
其中，防护罩主体601为开口状结构，且位于开口处通过转动调节结构603转动连接有一块矩形板604，且矩形板604前端面固定连接有一块镜面板605，故可通过镜面板605反射防护罩主体601内部镜像，故可防止开口处朝向工作人员造成研磨液飞溅污染。
其中，合页60302由合页公件6030201和合页母件6030202组成，且合页公件6030201与防护罩主体601焊接相连，合页母件6030202与矩形板604焊接相连，并且合页公件6030201顶端面和合页母件6030202底端面均开设有一组环形齿，当拧紧锁紧螺母60303时合页公件6030201顶端面和合页母件6030202上的环形齿相互啮合，故可防止在打磨时矩形板604产生转动。
其中，防护罩主体601内壁下方位置焊接有一个废液收集板602，且防护罩主体601外壁下方位置焊接有一处排污管，故可将研磨时使用后的研磨液进行收集排污。
其中，废液收集板602由圆环60201、挡环60202和挡板60203组成；圆环60201内壁焊接有一个挡环60202且圆环60201和挡环60202开口的前端和后端均焊接有一块挡板60203，并且挡环60202截面为类似三角形结构，故可有效阻止进入废液收集板602后的废液进行反流。
使用时：首先调整调节结构603调整镜面板605的角度，因合页公件6030201和合页母件6030202上环形齿的设置，当拧紧锁紧螺母60303时合页公件6030201顶端面和合页母件6030202上的环形齿相互啮合，故可防止在打磨时矩形板604产生转动；
当需要对小于研磨叶片8的零件进行研磨时，直接将研磨叶片8与零件表面进行接触，在研磨时，需要使用研磨液配合进行研磨，研磨过程中研磨叶片8转动研磨会造成研磨液和微小的废渣进行飞溅，飞溅的研磨液和微小的废渣首先与防护罩主体601相接触，而后因重力原因会顺防护罩主体601内壁向下流到废液收集板602内并通过防护罩主体601外壁焊接的废料管排出；
当需要对大于研磨叶片8的零件进行研磨时，首先防护罩6与零件的表面相接触，在继续向下调整伸缩支撑臂3时，防护罩6可压缩弹簧5沿圆柱管4外壁向上移动，直至防护罩6底端面与研磨叶片8底端面平齐，此时进行研磨，在研磨时因废液收集板602上的挡环60202截面为类似三角形结构，故可方便飞溅的研磨液和微小的废渣进入废液收集板602，进入废液收集板602的废液和微小的废渣，通过防护罩主体601外壁焊接的废料管排出；
本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (8)

1.基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置，其特征在于：该基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置包括：底座(1)、螺纹推进结构(2)、伸缩支撑臂(3)、圆柱管(4)、矩形槽(401)、弹簧(5)、防护罩(6)、防护罩主体(601)、矩形凸起(60101)、废液收集板(602)、圆环(60201)、挡环(60202)、挡板(60203)、转动调节结构(603)、转动轴(60301)、合页(60302)、合页公件(6030201)、合页母件(6030202)、紧固螺母(60303)、矩形板(604)、镜面板(605)、转动轴(7)和研磨叶片(8)；所述底座(1)顶端面固定连接有一个所述螺纹推进结构(2)；所述伸缩支撑臂(3)底端面焊接有一根所述圆柱管(4)；所述防护罩(6)、由所述防护罩主体(601)、废液收集板(602)、转动调节结构(603)、矩形板(604)和所述镜面板(605)组成；所述护罩主体(601)顶端面开设有一处圆形孔，且该圆形孔内壁焊接有一块所述矩形凸起(60101)；所述转动调节结构(603)由所述转动轴(60301)、合页(60302)和所述锁紧螺母(60303)组成；所述转动轴(60301)为底端封闭式结构，且所述转动轴(60301)外壁前端位置开设有螺纹；所述转动轴(60301)上套接有两组所述合页(60302)，且所述转动轴(60301)外壁前端位置螺纹开设处螺纹连接有一个所述锁紧螺母(60303)。
2.如权利要求1所述基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置，其特征在于：所述螺纹推进结构(2)上螺纹连接有一个所述伸缩支撑臂(3)。
3.如权利要求1所述基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置，其特征在于：所述圆柱管(4)与所述防护罩(6)套接相连，且所述圆柱管(4)外壁位于所述伸缩支撑臂(3)和防护罩(6)之间还套接有一根所述弹簧(5)。
4.如权利要求1所述基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置，其特征在于：所述圆柱管(4)外壁上开设有一处所述矩形槽(401)，且所述矩形槽(401)与所述矩形凸起(60101)相匹配。
5.如权利要求1所述基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置，其特征在于：所述防护罩主体(601)为开口状结构，且位于开口处通过所述转动调节结构(603)转动连接有一块所述矩形板(604)，且所述矩形板(604)前端面固定连接有一块所述镜面板(605)，故可通过所述镜面板(605)反射所述防护罩主体(601)内部镜像。
6.如权利要求1所述基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置，其特征在于：所述合页(60302)由所述合页公件(6030201)和所述合页母件(6030202)组成，且所述合页公件(6030201)与所述防护罩主体(601)焊接相连，所述合页母件(6030202)与所述矩形板(604)焊接相连，并且所述合页公件(6030201)顶端面和所述合页母件(6030202)底端面均开设有一组环形齿。
7.如权利要求1所述基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置，其特征在于：所述防护罩主体(601)内壁下方位置焊接有一个所述废液收集板(602)，且所述防护罩主体(601)外壁下方位置焊接有一处排污管。
8.如权利要求1所述基于高分子化学材料生产的安全环保型研磨装置，其特征在于：所述废液收集板(602)由所述圆环(60201)、挡环(60202)和所述挡板(60203)组成；所述圆环(60201)内壁焊接有一个所述挡环(60202)且所述圆环(60201)和所述挡环(60202)开口的前端和后端均焊接有一块所述挡板(60203)，并且所述挡环(60202)截面为类似三角形结构。
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