JP2017159379A

JP2017159379A - 開閉扉を有する装置

Info

Publication number: JP2017159379A
Application number: JP2016043809A
Authority: JP
Inventors: 斎藤　淳; Jun Saito; 淳斎藤; 吉田　幹; Miki Yoshida; 幹吉田; 武風呂中; Takeshi Furonaka
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2016-03-07
Filing date: 2016-03-07
Publication date: 2017-09-14

Abstract

【課題】コストを大幅に増加させることなく液体供給領域の外部への液体の落下を防止できる開閉扉を有する装置を提供する。【解決手段】開閉扉を有する装置（２）であって、開閉扉（８８）は、第１ヒンジ部材（７６）を介して開口部（４ａ）の後端に連結され、開口部の上方側を覆う第１カバー板（７８）と、第１カバー板（７８）の前方側に第２ヒンジ部材（８０）を介して連結され、開口部の前方側を覆う第２カバー板（８２）と、からなる扉本体（８４）と、扉本体に設けられ、開閉扉を開閉する際にオペレータによって把持される把持部（８６）と、を含み、第２カバー板には、開閉扉を開く際に第２カバー板の下端側が流体供給領域（４ｂ）の外部に出ないように第２カバー板の下端側を側壁（７０，７２）に沿ってスライドさせるガイド機構（９０）が設けられている。【選択図】図４

Description

本発明は、メンテナンス作業等の際に開閉される開閉扉を有する装置に関する。

板状の被加工物を加工等する際に用いられる装置の多くには、液体を供給、使用するために区画された液体供給領域が設けられている。例えば、被加工物を切削する切削装置の液体供給領域には、被加工物や切削ブレード等に対して切削液を供給するためのノズルが設置されている。また、廃液を処理する廃液処理装置の液体供給領域には、廃液を濾過するためのフィルタが収容されている。

上述のような液体供給領域を備える装置の筐体には、液体供給領域へと通ずる開口部が形成されている。装置を稼働させる際には、この開口部を開閉扉で覆うことによって、液体供給領域の内部から外部への液体の飛散を防いでいる。一方、ノズル調整、フィルタ交換等のメンテナンス作業を実施する際には、この開閉扉を開いて筐体内の液体供給領域にアクセスする。

ところが、このような装置では、開閉扉を開いて液体供給領域へとアクセスする際に、開閉扉に付着した液体が液体供給領域の外部へと落下してしまうことがあった。この問題に対し、開閉扉の内側に飛沫防止板を設けて開閉扉への液体の付着を防ぐことで、液体供給領域の外部への液体の落下を抑制した装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開平１０−１１６８０２号公報

しかしながら、飛沫防止板のような大型の部品を新たに設けると、装置に係るコストが大幅に増加してしまうという問題があった。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、コストを大幅に増加させることなく液体供給領域の外部への液体の落下を防止できる開閉扉を有する装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、内部に液体が供給される液体供給領域と、該液体供給領域の外部に向かって飛散する液体を遮断する開閉扉と、を備える開閉扉を有する装置であって、該流体供給領域は、後方に配置される後壁と、側方に配置される一対の側壁と、で区画されると共に、前方から上方にかけて形成される開口部によって外部へと通じており、該開閉扉は、第１ヒンジ部材を介して該開口部の後端に連結され、該開口部の上方側を覆う第１カバー板と、該第１カバー板の前方側に第２ヒンジ部材を介して連結され、該開口部の前方側を覆う第２カバー板と、からなる扉本体と、該扉本体に設けられ、該開閉扉を開閉する際にオペレータによって把持される把持部と、を含み、該第２カバー板には、該開閉扉を開く際に該第２カバー板の下端側が該流体供給領域の外部に出ないように該第２カバー板の下端側を該側壁に沿ってスライドさせるガイド機構が設けられていることを特徴とする開閉扉を有する装置が提供される。

本発明の一態様に係る開閉扉を有する装置は、流体供給領域に通ずる開口部の上方側を覆う第１カバー板と第１カバー板の前方側に連結され開口部の前方側を覆う第２カバー板とを含む開閉扉と、流体供給領域を区画する側壁に沿って第２カバー板の下端側をスライドさせるガイド機構と、を備えるので、開閉扉を開く際に、第２カバー板の下端側が流体供給領域の外部に出てしまうことがない。

つまり、第１カバー板と第２カバー板とを含むように開閉扉を構成した上で、簡単なガイド機構を設けるだけで良いので、装置に係るコストを大幅に増加させることなく液体供給領域の外部への液体の落下を防止できる。

廃液処理装置の外観を模式的に示す斜視図である。筐体に収容される構成要素の例を模式的に示す図である。開口部の近傍の構造を拡大した平面図である。開口部の近傍の構造を拡大した断面図である。ガイド機構を拡大した平面図である。図６（Ａ）は、開閉扉を開く際の各部の状態を示す断面図であり、図６（Ｂ）は、開閉扉が開かれた状態を示す断面図である。開閉扉が開かれた状態を示す斜視図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、半導体ウェーハ等の加工時に発生する廃液を処理するための廃液処理装置の外観を模式的に示す斜視図である。なお、本実施形態では、開閉扉を有する装置として廃液処理装置を例に挙げて説明するが、本発明に係る装置は、切削装置、研削装置、研磨装置、洗浄装置等でも良い。

図１に示すように、廃液処理装置（開閉扉を有する装置）２は、複数の構成要素が収容、搭載される筐体４を備えている。筐体４は、代表的には、廃液処理装置２の概形を形作る骨格（不図示）と、骨格を覆う複数のカバー６とで構成される。筐体４の内部には、構成要素を収容するための収容空間が形成されている。

図２は、筐体４に収容される構成要素の例を模式的に示す図である。筐体４の収容空間には、図２に示すように、配管８を通じて切削装置等の加工装置（不図示）に接続される廃液タンク１０が収容されている。この廃液タンク１０は、配管８を通じて加工装置から受け取った廃液を貯留する。

廃液タンク１０の上部には、廃液タンク１０に貯留されている廃液を後段に送り出すための廃液ポンプ１２が設けられている。廃液ポンプ１２によって廃液タンク１０から送り出された廃液は、配管１４、電磁弁１６等を通じて濾過ユニット１８へと供給される。濾過ユニット１８は、廃液タンク１０から供給される廃液を濾過するためのフィルタ２０を備えている。

フィルタ２０の下方には、濾過後の液体（濾液）を受ける濾液受けパン２２が設置されている。この濾液受けパン２２には、配管２４等を介して濾液タンク２６が接続されており、廃液をフィルタ２０で濾過して得られた濾液は、濾液受けパン２２等を通じて濾液タンク２６に貯留される。

なお、濾過ユニット１８へと廃液を供給する配管１４には、廃液の圧力を検出するための圧力センサ２８が設けられている。圧力センサ２８は、制御ユニット（不図示）に接続されており、圧力センサ２８で検出した圧力の情報を含む信号が制御ユニットへと送られる。

制御ユニットは、例えば、圧力センサ２８で検出した廃液の圧力が閾値よりも大きくなると、フィルタ２０の機能が低下していると判断してオペレータ（作業者）にその旨を通知する。このような通知は、警告灯（不図示）の発光、通知音の発生、モニタ６４（図１）への表示等の方法で行うことができる。

濾液タンク２６には、貯留されている濾液を後段に送り出すための濾液ポンプ３０が接続されている。濾液ポンプ３０によって濾液タンク２６から送り出された濾液は、配管３２等を通じて純水生成ユニット３４へと供給される。純水生成ユニット３４は、濾液タンク２６から供給される濾液に紫外線（紫外光）を照射するための紫外線光源３６を備えている。

紫外線光源３６から照射される紫外線で殺菌された濾液は、配管３８等を通じて第１イオン交換器４０及び第２イオン交換器４２に供給される。第１イオン交換器４０は、電磁弁４４を介して配管３８に接続されており、第２イオン交換器４２は、電磁弁４６を介して配管３８に接続されている。これら２つの電磁弁４４，４６を制御することで、第１イオン交換器４０及び第２イオン交換器４２の一方に濾液を供給できる。

第１イオン交換器４０又は第２イオン交換器４２に供給された濾液は、第１イオン交換器４０又は第２イオン交換器４２に含まれるイオン交換樹脂でイオン交換され、純水となる。一方、このような方法で生成された純水には、イオン交換樹脂から発生する微細な樹脂片等の屑が混入していることもある。そこで、第１イオン交換器４０及び第２イオン交換器４２の後段に配管４８を介して接続された精密フィルタ５０でこの屑を除去する。

なお、精密フィルタ５０へと純水を供給する配管４８には、純水の圧力を検出するための圧力センサ５２が設けられている。圧力センサ５２は、制御ユニットに接続されており、圧力センサ５２で検出した圧力の情報を含む信号が制御ユニットへと送られる。制御ユニットは、例えば、圧力センサ５２で検出した純水の圧力が閾値よりも大きくなると、精密フィルタ５０の機能が低下していると判断してオペレータにその旨を通知する。

また、精密フィルタ５０へと純水を供給する配管４８には、純水の比抵抗を検出するための比抵抗計５４が設けられている。比抵抗計５４は、制御ユニットに接続されており、比抵抗計５４で検出した比抵抗の情報を含む信号が制御ユニットへと送られる。制御ユニットは、例えば、比抵抗計５４で検出した純水の比抵抗が閾値よりも低くなると、第１イオン交換器４０又は第２イオン交換器４２の機能が低下していると判断してオペレータにその旨を通知する。

純水生成ユニット３４で生成された純水は、配管５６等を通じて温度調整ユニット５８へと送られる。温度調整ユニット５８で所定の温度に調整された純水は、配管６０等を通じて加工装置に供給される。

筐体４の上部前面には、制御ユニットへの指示等を入力するための操作パッド６２が設けられている。また、操作パッド６２に隣接する位置には、各種の情報を表示するためのモニタ６４が設置されている。

モニタ６４の側方には、収容空間の一部に通ずる開口部４ａが形成されている。開口部４ａ内には、例えば、上述した濾過ユニット１８のフィルタ２０及び濾液受けパン２２が収容される。すなわち、この収容空間の一部は、廃液（液体）をフィルタ２０に供給するための液体供給領域となる。

図３は、開口部４ａの近傍の構造を拡大した平面図であり、図４は、開口部４ａの近傍の構造を拡大した断面図である。なお、図４では、図３の一点鎖線で示す領域を矢印の方向に見た断面を示している。

図３及び図４に示すように、フィルタ２０及び濾液受けパン２２が収容される液体供給領域４ｂは、前方に配置された前壁６６、後方に配置された後壁６８、側方に配置された一対の側壁７０，７２及び上方に配置された天井壁７４によって区画されている。また、液体供給領域４ｂに通ずる開口部４ａは、前壁６６の上端縁、側壁７０，７２の上端縁及び天井壁７４の前端縁によって規定され、液体供給領域４ｂの前方から上方にかけて形成されている。

天井壁７４の前端部（開口部４ａの後端）には、複数（本実施形態では３個）の第１ヒンジ部材７６を介して、平板状の第１カバー板７８が連結されている。第１ヒンジ部材７６は、天井壁７４及び第１カバー板７８の上面側（外面側）に固定されており、第１カバー板７８は、第１ヒンジ部材７６を回転の中心として天井壁７４の上方側に回転する。この第１カバー板７８を閉じることで、開口部４ａの上方側の一部を覆うことができる。

第１カバー板７８の前端部（閉じた状態での前端部）には、複数（本実施形態では３個）の第２ヒンジ部材８０を介して、側面視でＬ字状の第２カバー板８２が連結されている。第２ヒンジ部材８０は、第１カバー板７８及び第２カバー板８２の下面側（内面側）に固定されており、第２カバー板８２は、第２ヒンジ部材８０を回転の中心として第１カバー板７８の下方側に回転する。この第２カバー板８２を閉じることで、開口部４ａの上方側の残りの一部及び開口部４ａの前方側を覆うことができる。

このように、第１カバー板７８と第２カバー板８２とを含む扉本体８４によって、開口部４ａは覆われる。扉本体８４の前面（第２カバー板８２の前面）には、扉本体８４を開閉する際にオペレータによって把持される取手（把持部）８６が設けられている。取手８６と扉本体８４とによって、液体供給領域４ｂの外部へと向かって飛散する液体を遮断するため開閉扉８８が構成される。

第２カバー板８２の側方下端側には、第２カバー板８２の下端側を側壁７０，７２に沿ってスライドさせるための２組のガイド機構９０が設けられている。各ガイド機構９０は、側壁７０，７２の内側に形成されたガイド溝７０ａ，７２ａに係合されている。ガイド溝７０ａ，７２ａは、開口部４ａの縁に沿う態様で形成されており、前方側の位置では概ね鉛直方向（上下方向）に伸長し、上方側の位置では概ね前後方向に伸長している。

図５は、ガイド機構９０を拡大した平面図である。なお、図５では、側壁７２側のガイド機構９０を示しているが、側壁７０側のガイド機構９０の構造も同様である。図５に示すように、側壁７２側のガイド機構９０は、金属、樹脂等の材料でなる支持構造９２を備えている。この支持構造９２は、第２カバー板８２の前面に螺子９４等で固定される固定部９２ａを含む。

固定部９２ａの側壁７２側（側壁７０側のガイド機構９０では側壁７０側、以下同様）には、側壁７２（又は側壁７０）に対して概ね平行な支持部９２ｂが設けられている。この支持部９２ｂの側壁７２（又は側壁７０）側には、側壁７２（又は側壁７０）に対して概ね垂直な方向に伸びる支持軸９６が固定されている。

支持部９２ｂに形成された貫通孔に側壁７２（又は側壁７０）側から支持軸９６を挿入した上で、この支持軸９６に側壁７０（又は側壁７２）側からナット９８を締め込むことで、支持軸９６は支持部９２ｂに固定される。支持軸９６には、ガイド溝７２ａ（又はガイド溝７０ａ）に係合するガイドローラー１００が取り付けられている。

ガイドローラー１００は、支持軸９６によって支持されるベアリング１０２と、ベアリング１０２の外周部に設けられた金属製の円筒部材１０４とで構成されており、支持軸９６の周りに回転する。そのため、ガイドローラー１００をガイド溝７２ａ（又はガイド溝７０ａ）に係合した状態で、第２カバー板８２の下端部を側壁７２（又は側壁７０）のガイド溝７２ａ（又はガイド溝７０ａ）に沿ってスライドさせることができる。

ここで、ガイド溝７２ａ（又はガイド溝７０ａ）は、開閉扉８８を開く際に、第２カバー板８２の下端側が流体供給領域４ｂの外部前方へとはみ出ないような位置、形状に形成されている。よって、開閉扉８８を開いても、第２カバー板８２に付着した液体が流体供給領域４ｂの外部前方に落下することはない。

図６（Ａ）は、開閉扉８８を開く際の各部の状態を示す断面図である。開閉扉８８を開く際には、まず、オペレータが取手８６を把持して上方に引き上げる。その結果、図６（Ａ）に示すように、第２カバー板８２の下端部は、概ね鉛直方向に伸びるガイド溝７０ａ，７２ａの前部に沿って上方に移動する。そのため、第２カバー板８２の下端側が流体供給領域４ｂの外部前方にはみ出ることはない。

図６（Ｂ）は、開閉扉８８が開かれた状態を示す断面図であり、図７は、開閉扉８８が開かれた状態を示す斜視図である。取手８６を上方に引き上げた後には、図６（Ｂ）及び図７に示すように、取手８６を後方に押し込む。

その結果、第２カバー板８２の下端部は、概ね前後方向に伸びるガイド溝７０ａ，７２ａの上部に沿って後方に移動する。この場合にも、第２カバー板８２の下端側が流体供給領域４ｂの外部前方にはみ出てしまうことはない。

なお、第１カバー板７８は、第１ヒンジ部材７６が谷折りされるように回転し、第２カバー板８２は、第２ヒンジ部材８０が山折りされるように回転する。つまり、第１カバー板７８及び第２カバー板８２は、流体供給領域４ｂの上方に突出する態様で折り畳まれることになる。その結果、第１カバー板７８及び第２カバー板８２に付着した液体は、開口部４ａを通じて、下方に位置する流体供給領域４ｂへと落下する。

また、上述のように、第２カバー板８２の下端側は、流体供給領域４ｂの外部前方にはみ出ないように側壁７０，７２に沿ってスライドするので、第２カバー板８２に付着した液体が流体供給領域４ｂの外部前方に落下することもない。

以上のように、本実施形態に係る廃液処理装置（開閉扉を有する装置）２は、流体供給領域４ｂに通ずる開口部４ａの上方側を覆う第１カバー板７８と第１カバー板７８の前方側に連結され開口部４ａの前方側を覆う第２カバー板８２とを含む開閉扉８８と、流体供給領域４ｂを区画する側壁７０，７２に沿って第２カバー板８２の下端側をスライドさせるガイド機構９０と、を備えるので、開閉扉８８を開く際に、第２カバー板８２の下端側が流体供給領域４ｂの外部前方に出てしまうことがない。

つまり、第１カバー板７８と第２カバー板８２とを含むように開閉扉８８を構成した上で、簡単なガイド機構９０を設けるだけで良いので、廃液処理装置２に係るコストを大幅に増加させることなく液体供給領域４ｂの外部への液体の落下を防止できる。

なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、フィルタ２０及び濾液受けパン２２が収容される液体供給領域４ｂについて説明したが、液体供給領域の態様に制限はない。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２廃液処理装置（開閉扉を有する装置）
４筐体
４ａ開口部
４ｂ液体供給領域
６カバー
８配管
１０廃液タンク
１２廃液ポンプ
１４配管
１６電磁弁
１８濾過ユニット
２０フィルタ
２２濾液受けパン
２４配管
２６濾液タンク
２８圧力センサ
３０濾液ポンプ
３２配管
３４純水生成ユニット
３６紫外線光源
３８配管
４０第１イオン交換器
４２第２イオン交換器
４４電磁弁
４６電磁弁
４８配管
５０精密フィルタ
５２圧力センサ
５４比抵抗計
５６配管
５８温度調整ユニット
６０配管
６２操作パッド
６４モニタ
６６前壁
６８後壁
７０，７２側壁
７０ａ，７２ａガイド溝
７４天井壁
７６第１ヒンジ部材
７８第１カバー板
８０第２ヒンジ部材
８２第２カバー板
８４扉本体
８６取手（把持部）
８８開閉扉
９０ガイド機構
９２支持構造
９２ａ固定部
９２ｂ支持部
９４螺子
９６支持軸
９８ナット
１００ガイドローラー
１０２ベアリング
１０４円筒部材

Claims

内部に液体が供給される液体供給領域と、
該液体供給領域の外部に向かって飛散する液体を遮断する開閉扉と、を備える開閉扉を有する装置であって、
該流体供給領域は、後方に配置される後壁と、側方に配置される一対の側壁と、で区画されると共に、前方から上方にかけて形成される開口部によって外部へと通じており、
該開閉扉は、
第１ヒンジ部材を介して該開口部の後端に連結され、該開口部の上方側を覆う第１カバー板と、該第１カバー板の前方側に第２ヒンジ部材を介して連結され、該開口部の前方側を覆う第２カバー板と、からなる扉本体と、
該扉本体に設けられ、該開閉扉を開閉する際にオペレータによって把持される把持部と、を含み、
該第２カバー板には、該開閉扉を開く際に該第２カバー板の下端側が該流体供給領域の外部に出ないように該第２カバー板の下端側を該側壁に沿ってスライドさせるガイド機構が設けられていることを特徴とする開閉扉を有する装置。